JP2013218772A - 不揮発性メモリ、電子装置及び検証方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】消去ベリファイ時に、N個のメモリセル21に含まれるメモリセル21aに接続される選択ワード線WLaに第1のゲート電圧を供給し、M個のリファレンスセル31に含まれるリファレンスセル31aに接続される選択ワード線WLbに第1のゲート電圧を供給し、メモリセルアレイ2に接続された第1の非選択ワード線に第2のゲート電圧を供給し、リファレンスセルアレイ3に接続された第2の非選択ワード線に第3のゲート電圧を供給するゲート電圧発生部5、を設ける。ここで、第2の非選択ワード線に接続されたリファレンスセルに流れる電流は、第1の非選択ワード線に接続されたメモリセルに流れる電流より大きい。
【選択図】図1
Description
たとえば、消去試験の際には、消去パルスが印加されたメモリセルが消去状態となっているか否かを検証するため、そのメモリセルに接続されるビット線の電流と消去ベリファイ用のリファレンスセルに接続されるビット線の電流との比較が行われる。たとえば、メモリセルに接続されるビット線に流れる電流が、リファレンスセルに接続されるビット線に流れる電流より大きくなると、検証結果は“Pass”、すなわち、正しく消去されていると判定される。
メモリセルアレイは、N個のメモリセルに接続された第1ビット線を有する。リファレンスセルアレイは、N個より少ないM個のリファレンスセルに接続された第2ビット線を有する。比較部は、第1ビット線に流れる第1の電流と、第2ビット線に流れる第2の電流とを比較する。ゲート電圧発生部は、消去ベリファイ時に、N個のメモリセルに含まれる第1のメモリセルに接続される第1選択ワード線に第1のゲート電圧を供給し、M個のリファレンスセルに含まれる第1のリファレンスセルに接続される第2選択ワード線に第1のゲート電圧を供給し、メモリセルアレイに接続された第1の非選択ワード線に第2のゲート電圧を供給し、リファレンスセルアレイに接続された第2の非選択ワード線に第3のゲート電圧を供給する。ここで、第2の非選択ワード線に接続されたリファレンスセルに流れる電流は、第1の非選択ワード線に接続されたメモリセルに流れる電流より大きい。
この検証方法は、N個のメモリセルに接続された第1ビット線を有するメモリセルアレイと、N個より少ないM個のリファレンスセルに接続された第2ビット線を有するリファレンスセルアレイと、を有する不揮発性メモリのメモリセルの状態を検証する際に、比較部が、第1ビット線に流れる第1の電流と、第2ビット線に流れる第2の電流とを比較する。そして、ゲート電圧発生部が、消去ベリファイ時にN個のメモリセルに含まれる第1のメモリセルに接続される第1選択ワード線に第1のゲート電圧を供給し、M個のリファレンスセルに含まれる第1のリファレンスセルに接続される第2選択ワード線に第1のゲート電圧を供給し、メモリセルアレイに接続された第1の非選択ワード線に第2のゲート電圧を供給し、リファレンスセルアレイに接続された第2の非選択ワード線に第3のゲート電圧を供給する。ここで、第2の非選択ワード線に接続されたリファレンスセルに流れる電流は、第1の非選択ワード線に接続されたメモリセルに流れる電流より大きい。
(第1の実施の形態)
図1は、第1の実施の形態の不揮発性メモリの一例を示す図である。
比較部4は、複数のメモリセル21の状態を検証する際に、検証対象のメモリセル21を接続したビット線BLに流れる電流と、比較対象のリファレンスセル31を接続したビット線BLrに流れる電流とを比較して比較結果を出力する。
制御部6は、不揮発性メモリ1の各部を制御する。たとえば、消去ベリファイの結果、比較部4から、あるメモリセル21が“Fail”と判定された場合、制御部6は、そのメモリセル21が含まれるメモリセル群(以下セクタと呼ぶ)に消去パルスを追加するような制御を行う。また、たとえば、比較部4からセクタの全メモリセル21について“Pass”が出力された場合、制御部6は、セクタへの消去パルスの印加を停止させる。
消去試験時、たとえば、セクタの複数のメモリセル21への消去パルスの印加後、メモリセル21が1つずつ選択され、消去ベリファイが行われる。たとえば、図1のように、メモリセル21aが選択され、メモリセル21aに接続されたビット線BLaが、比較部4の一方の入力端子に接続される。一方、リファレンスセルアレイ3においては、消去ベリファイ用のリファレンスセル31aが選択され、リファレンスセル31aに接続されたビット線BLbが比較部4の他方の入力端子に接続される。
(第2の実施の形態)
図2は、第2の実施の形態の不揮発性メモリの一例を示す図である。
Xデコーダ53は、内部アドレス生成回路61から供給される内部アドレス(ロウアドレス)をもとに、メモリセルに接続されているワード線を選択し、そのワード線にゲート電圧発生部59で発生されたゲート電圧を印加する。Xデコーダ54は、ステートマシン62からの選択信号をもとに、リファレンスセルに接続されているワード線を選択し、そのワード線にゲート電圧発生部59で発生されたゲート電圧を印加する。
ゲート電圧発生部59は、前述した図1のゲート電圧発生部5と同様の機能を有している。ゲート電圧発生部59は、ステートマシン62からのモード信号に応じて、所定のゲート電圧を発生する。
(消去試験時の検証方法)
図3は、消去試験時の検証方法の一例の流れを示すフローチャートである。
まず、ステートマシン63の制御のもと、一旦セクタの全メモリセルに対してプリプログラムが行われる(ステップS10)。これにより、セクタの全メモリセルが書き込み状態となる。
図4は、消去試験時のメモリセルの閾値電圧分布の推移の例を示す図である。縦軸はメモリセル数、横軸は閾値電圧Vtを示している。
ビット線電流Ibは、リーク電流の影響で、ビット線に選択メモリセルだけが接続されている場合に対して、閾値電圧Vt=Vtspとした非選択メモリセルがビット線に多く接続されているほど大きくなる。たとえば、同一ビット線上に非選択メモリセルが10ビット接続されている場合には、選択メモリセルだけの場合よりもΔIb分のリーク電流がビット線に流れ込むことになる。
リファレンスセルアレイ52は、複数のリファレンスセル70、3本のビット線BLr1,BLr2,BLr3、ソース線SLr、ワード線WLr1,WLr2,WLr3,WLr4,WLr5,WLr6を有している。また、図中の黒丸は、コンタクトを示している。
トランジスタ56aのドレインは、ビット線BLr1に接続されており、トランジスタ56bのドレインは、ビット線BLr2に接続されており、トランジスタ56cのドレインは、ビット線BLr3に接続されている。トランジスタ56a,56b,56cのソースには、センスアンプ60が接続されており、ゲートには、図2に示したステートマシン62からの選択信号が入力される。
図8は、電圧(Ver−ΔV)の設定例を示す図である。縦軸はリファレンスセルのセル電流Id、横軸はリファレンスセルのゲート電圧Vgを示している。
また、消去ベリファイ用のリファレンスセル70aと同一ビット線BLr2に接続するダミーセル70dの数を調整することで、ビット線BLr2に流れる電流量を容易に調整することができる。
(ゲート電圧発生部59と、Xデコーダ54の例)
図9は、ゲート電圧発生部とXデコーダの回路例を示す図である。図9では、図7に示したリファレンスセルアレイ52及びYデコーダ56についても図示してある。
トランジスタ120,129はインバータとなっている。トランジスタ120,129のゲートにはレベルシフタ111の出力信号が入力され、トランジスタ120のソースには信号VPが供給され、トランジスタ129のソースは接地されている。また、トランジスタ120,129のドレインはワード線WLr1に接続されている。
消去ベリファイを行う場合、図3に示したように、プリプログラムが行われ、リファレンスセル70の閾値電圧が設定される。このとき、ステートマシン62により、モード信号WR,ERS,PGM,SPGM,DUM0(さらに、モード信号DUM0に対応する回路部135,136に供給される信号)は“1”、図9に示されている他のモード信号は“0”と設定される。
第3の実施の形態の不揮発性メモリは、第2の実施の形態の不揮発性メモリ50と同様に、図2に示したような各部を有している。ただし、図9に示した第2の実施の形態の不揮発性メモリ50のリファレンスセルアレイ52、Xデコーダ54、ゲート電圧発生部59の回路構成とは、以下のように異なっている。
図9に示した第2の実施の形態の不揮発性メモリ50のリファレンスセルアレイ52、ゲート電圧発生部59と同様の要素については同一符号を付している。なお、図10には、Yデコーダ56も図示してある。
ゲート電圧発生部59aは、図9に示したゲート電圧発生部59と同様に、コンパレータ80とトランジスタ81〜84を有しているほか、抵抗R10,R11,R12,R13,R14,R15,R16,R17を有している。図9に示したゲート電圧発生部59より、抵抗の数が増えているのは、抵抗分圧により取り出す電圧が増えているからである。
NAND回路151,154には、モード信号ERS,VRが入力される。NAND回路151,154の出力信号は、消去ベリファイの実行時に“0”となり、その他の場合には“1”となる。
トランジスタ170,171はインバータとなっている。トランジスタ170,171のゲートにはレベルシフタ160の出力信号が入力され、トランジスタ170のソースには信号VPが供給され、トランジスタ175のソースは接地されている。また、トランジスタ170,175のドレインはワード線WLr1に接続されている。
プログラムベリファイ用のリファレンスセル70bのプログラムが行われる場合、ステートマシン62により、モード信号WR,PGMは“1”、図10に示されている他のモード信号は“0”と設定される。
これにより、トランジスタ170,171,173がオンし、トランジスタ172,174,175〜177がオフする。消去ベリファイ時には、信号VPの電圧レベルが電圧Verとなるため、電圧Verが選択ワード線であるワード線WLr1に印加される。また、上記のようなトランジスタ170〜177の状態により、電圧VRPが、非選択ワード線であるワード線WLr3に印加され、電圧VRSが非選択ワード線であるワード線WLr5に印加される。
なお、電圧VRP,VRSは、メモリセルアレイ側で発生するリーク電流の大きさに応じてゲート電圧発生部59aの抵抗R10〜R17にて設定される。
なお、第3の実施の形態では、消去ベリファイ時に、メモリセルアレイ側で発生するリーク電流に相当する電流を得るために、上記のような電圧VRP,VRSが印加される非選択リファレンスセルが多い方が好ましい。
図11は、不揮発性メモリを備えた電子装置の例を示す図である。図11では、電子装置としてマイクロコントローラ(以下マイコンと略す)の例が示されている。
不揮発性メモリ202は、図2に示したような各部を有し、ROM(Read Only Memory)と同じようにプログラム格納用メモリとして用いられる。CPU201からの制御信号をもとに、ステートマシン62がモード信号を生成し、前述したような各種の動作が行われる。
クロック生成部205は、たとえば、PLL(Phase Locked Loop)回路を有し、電子装置200を動作させるためのクロック信号を生成する。
通信処理部207は、たとえば、USB(Universal Serial Bus)インタフェースなどであり、外部機器などとの間で信号の送受信を行う。
第1乃至第3の実施の形態の不揮発性メモリは、精度のよい消去ベリファイが可能であるので、消去状態となっていないにも関わらず、消去状態であると認識されるメモリセルの発生を抑制できる。そのため、このような不揮発性メモリを用いた電子装置200では、メモリセルの状態が誤って認識されることによる誤動作が抑制される。
2 メモリセルアレイ
3 リファレンスセルアレイ
4 比較部
5 ゲート電圧発生部
6 制御部
21,21a メモリセル
31,31a,31b,31c リファレンスセル
BL,BLr,BLa,BLb ビット線
WL,WLr,WLa,WLb ワード線
SL,SLr ソース線
Claims (8)
- N個のメモリセルに接続された第1ビット線を有するメモリセルアレイと、
N個より少ないM個のリファレンスセルに接続された第2ビット線を有するリファレンスセルアレイと、
前記第1ビット線に流れる第1の電流と、前記第2ビット線に流れる第2の電流とを比較する比較部と、
消去ベリファイ時に、前記N個のメモリセルに含まれる第1のメモリセルに接続される第1選択ワード線に第1のゲート電圧を供給し、前記M個のリファレンスセルに含まれる第1のリファレンスセルに接続される第2選択ワード線に前記第1のゲート電圧を供給し、前記メモリセルアレイに接続された第1の非選択ワード線に第2のゲート電圧を供給し、前記リファレンスセルアレイに接続された第2の非選択ワード線に第3のゲート電圧を供給するゲート電圧発生部と、を有し、
前記第2の非選択ワード線に接続された前記リファレンスセルに流れる電流は、前記第1の非選択ワード線に接続された前記メモリセルに流れる電流より大きいことを特徴とする不揮発性メモリ。 - 前記第3のゲート電圧は、前記第1のゲート電圧と前記第2のゲート電圧の中間のゲート電圧であることを特徴とする、請求項1記載の不揮発性メモリ。
- 前記リファレンスセルはNチャネル型メモリセルで構成されており、前記第3のゲート電圧は前記第2のゲート電圧よりも高いことを特徴とする、請求項1記載の不揮発性メモリ。
- 前記第2の非選択ワード線は、前記第2ビット線に接続された非選択リファレンスセルに接続されており、
前記第3のゲート電圧は、前記第1のゲート電圧よりも低い電圧である、請求項3記載の不揮発性メモリ。 - 前記第2ビット線に接続された非選択リファレンスセルの閾値電圧は、前記第1のリファレンスセルの閾値電圧と同じ電圧に設定されている、請求項4記載の不揮発性メモリ。
- 前記第2の非選択ワード線は、前記M個のリファレンスセルに含まれ第3ビット線に接続された第2のリファレンスセルに接続され、
前記第2のリファレンスセルは前記消去ベリファイとは異なるベリファイにおいて選択され第4のゲート電圧が供給されるリファレンスセルであり、
前記第3のゲート電圧は、前記第4のゲート電圧よりも低く、
前記第3ビット線は、前記消去ベリファイ時に、前記第2ビット線に接続される、請求項3記載の不揮発性メモリ。 - 不揮発性メモリと、
前記不揮発性メモリを制御するプロセッサと、を有し、
前記不揮発性メモリは、
N個のメモリセルに接続された第1ビット線を有するメモリセルアレイと、
N個より少ないM個のリファレンスセルに接続された第2ビット線を有するリファレンスセルアレイと、
前記第1ビット線に流れる第1の電流と、前記第2ビット線に流れる第2の電流とを比較する比較部と、
消去ベリファイ時に前記N個のメモリセルに含まれる第1のメモリセルに接続される第1選択ワード線に第1のゲート電圧を供給し、前記M個のリファレンスセルに含まれる第1のリファレンスセルに接続される第2選択ワード線に前記第1のゲート電圧を供給し、前記メモリセルアレイに接続された第1の非選択ワード線に第2のゲート電圧を供給し、前記リファレンスセルアレイに接続された第2の非選択ワード線に第3のゲート電圧を供給するゲート電圧発生部と、を有し、
前記第2の非選択ワード線に接続された前記リファレンスセルに流れる電流は、前記第1の非選択ワード線に接続された前記メモリセルに流れる電流より大きいことを特徴とする電子装置。 - N個のメモリセルに接続された第1ビット線を有するメモリセルアレイと、N個より少ないM個のリファレンスセルに接続された第2ビット線を有するリファレンスセルアレイと、を有する不揮発性メモリの前記メモリセルの状態を検証する際に、
比較部が、前記第1ビット線に流れる第1の電流と、前記第2ビット線に流れる第2の電流とを比較し、
ゲート電圧発生部が、消去ベリファイ時に前記N個のメモリセルに含まれる第1のメモリセルに接続される第1選択ワード線に第1のゲート電圧を供給し、前記M個のリファレンスセルに含まれる第1のリファレンスセルに接続される第2選択ワード線に前記第1のゲート電圧を供給し、前記メモリセルアレイに接続された第1の非選択ワード線に第2のゲート電圧を供給し、前記リファレンスセルアレイに接続された第2の非選択ワード線に第3のゲート電圧を供給し、
前記第2の非選択ワード線に接続された前記リファレンスセルに流れる電流は、前記第1の非選択ワード線に接続された前記メモリセルに流れる電流より大きいことを特徴とする検証方法。
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