JP2013214964A - ウェハー基板付カメラモジュール及び製造方法 - Google Patents

ウェハー基板付カメラモジュール及び製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】ビデオ画像を撮像するための一体型カメラモジュールを提供する。
【解決手段】レンズアセンブリは、成型体によってカメラチップのセンサアレイ領域に対して適切な位置に強固に取り付けられる。成型体は、カメラチップ上に形成される。あるいは成型体は、任意にカメラチップが取り付けられるプリント基板上に形成される。レンズアセンブリは、接着剤により成型体の凹部の位置に保持される。成型体が形成されることにより、レンズアセンブリとカメラチップのセンサアレイ領域との間に精密な空隙がもたらされる。ある実施形態では、カメラチップ302が互いに分離する前又は後に、レンズホルダ306は、カメラチップ302の上全体に形成される。
【選択図】図16

Description

本発明は概して、デジタルカメラ装置の分野に関し、より詳細には、新規のアレイチップとレンズを組み合わせた装置に関する。創造性あるチップとレンズの一体型アセンブリは、主に最近では低価格カメラの製造に応用されている。このために、高価格又は複雑なカメラアセンブリとすることなく、高品質の画像を作り出すことが重要な要素となっている。
超小型のデジタルカメラモジュールは、小型の安価なカメラ、携帯電話、携帯型装置等の使用に適しており、非常に大きな需要がある。従来技術においては、このようなモジュールは、一般的にボードアセンブリ上に標準一体型チップ及び/又はチップを含んでおり、機械的ハウジングにより覆われている。レンズブロック又はアセンブリは、チップハウジングに取付けられ、機械的にチップハウジングに位置合わせされる。この配置には、取付け工程において著しく多量な部品が必要となる。また、一般的には、レンズブロック又はアセンブリ取付け時の位置合わせには、部品を支持するための何らかの取付け装置又は治具が必要となる。よって、これらは非常に大きな労働力を要する。さらに、取付け機構は一般的に精巧であり、例えば最終的に製造された装置が落下等した場合には、容易に適切な位置から外れてしまう。
サイズが小型であり、製造が安価であり、操作において耐久性及び信頼性があるカメラモジュールを製造する方法が望まれている。しかしながら、発明者の知識によれば、本発明が創出される以前においては、このような装置を製造する際に上述の如く部品を配置する方法が用いられてきた。
したがって、本発明の目的は、その製造方法が容易で且つ安価であるカメラモジュールを提供することである。
本発明のその他の目的は、サイズが非常に小型であるカメラモジュールを提供することである。
本発明のその他の目的は、操作する際、頑丈であり且つ信頼性があるカメラモジュールを提供することである。
本発明のその他の目的は、レンズが正確な位置に設置され、それにより積極的な位置合わせ(アクティブアラインメント)を必要とせずに最適画像品質が提供できるカメラモジュールを提供することである。
簡潔に述べると、本発明の一実施形態は、レンズアセンブリを備え、該レンズアセンブリは、レンズホルダとしての役目を持つ成型部品を用いて、カメラチップに関連して強固に取付けられる。成型部品は、カメラチップが既に取り付けられているプリント基板上の適所に形成される。そしてレンズアセンブリが成型部品に挿入され、接着剤によりその適切な位置に保たれる。本発明の創造性ある方法及び装置によると、最小限の部材と最小限の操作工程を用いて、レンズが、カメラチップのセンサ表面と関連付けられつつ正確に取付けられる。最終的に得られるユニットのサイズが極めて小型であり、またユニットが操作する際、頑丈であり且つ信頼性がある。
本発明のその他の一実施形態では、レンズホルダが、プリント基板とカメラチップ両方の上ではなく、カメラチップ(カメラチップの周辺端領域内)の全体に取り付けられている。本実施形態では、カメラチップとレンズホルダの組み合わせが、ともに1つのユニットとしてプリント基板の上に取り付けられる。さらに、レンズアセンブリがレンズホルダ内に配され、これはカメラチップがプリント基板に取り付けられる前もしくは後、又はカメラチップがまだシリコンウェハーの一体部分である間に行われる。尚、該シリコンウェハーからカメラチップが作られている。
その他のカメラモジュールは、画像撮像ICチップ(カメラチップ)と、レンズユニットと、画像撮像ICチップに取り付けられたレンズホルダを含む。これにより、レンズが画像撮像ICチップに対して適切な位置に配される。レンズホルダは、あらゆる方法を用いて画像撮像ICチップに取り付け可能である。この方法は、レンズホルダを直接画像撮像チップ上に成型する方法、又はレンズホルダを予備成型し、その予備成型したレンズホルダを画像撮像チップに接着する方法を含むが、これらに限定されない。
レンズホルダの収容部にレンズを配することにより、レンズが画像撮像ICチップに対して適切な位置に配される。レンズと画像撮像ICチップとの間の距離は、レンズ(又はレンズが内蔵されるアセンブリの一部)に隣接する基準面によって定められる。その他の方法として、特定用途において焦点合わせが必要である場合は、焦点機構(補完傾斜面)を、レンズホルダとレンズユニットの間に備えることが可能である。その他にも、レンズホルダを画像撮像ICチップに取り付ける前に、レンズホルダ内にレンズを内蔵することが可能である。
またその他のカメラモジュールは、カメラモジュールをホスト電子機器(例えば携帯電話の回路基板)に接続するための複数の電気接点部を含む。電気接点部は、画像撮像ICチップとレンズホルダの相対的サイズに応じて、画像撮像ICチップの上面、画像撮像ICチップの底面、又はこれらを組み合わせた位置に配される。例えば、レンズホルダの最大幅が画像撮像ICチップの幅と略同じである場合には、チップ上面には、電気接点部を配するための十分な領域がない可能性がある。この場合、少なくとも電気接点部のいくらかはICチップ底面に形成される。そして、ICチップを貫通して形成されるビアによって、ICチップの上面に形成される電気回路網に接続される。しかしながら、十分な領域がある場合には、電気接点部はICチップ表面の露出部分に形成される。
次に、カメラモジュールを製造する新規の方法を開示する。ある特定の方法は、個別画像撮像装置を複数有するとともに、個別画像撮像装置が上部に形成された基板(例えばシリコンウェハー)を含む。そして、複数のレンズホルダを基板上に固定し、レンズホルダそれぞれが画像撮像装置のそれぞれ1つに固定される。特に効果的な方法では、画像撮像装置が互いに分離する前に、レンズホルダが同時に画像撮像装置に固定される(例えば、成型、接着される等)。同様に、レンズユニット(裸レンズ、鏡筒等)が、ウェハーから分離する前に、レンズホルダに固定される。さらに、焦点調節が必要である場合、焦点調節は分離の前に行われる。このようにして、開示された方法によってカメラモジュールアセンブリはウェハー加工段階で内蔵される。これにより、複数且つウェハーレベルのカメラモジュールが一度に製造される。
本発明の上記及びその他の目的と利点は、本明細書及び図面における幾つかの図に記載する如く、本発明を実施するための形態の詳細な説明、本発明の産業上の利用可能性により当業者にとって明確なものとなる。本明細書に記載されるもしくは議論される目的及び/又は利点は、発明の全ての可能な目的又は利点を網羅したものではない。さらにいえば、ある応用において、前記意図する目的及び/又は利点がかけた状態又は必要とされない場合であっても、本発明を実施することができる。
さらに、本発明の様々な実施形態は、上記の目的及び/又は利点について1つ以上を達成すればよく、必ずしも全てを達成する必要はないことを当業者により理解される。したがって、記載の目的及び利点は本発明の必須構成要素ではなく、制限として解釈されるべきものではない。
本発明の一体型カメラ及びレンズアセンブリの実施形態の側面からみた断面図である。 本発明の部分的に組み立てられた後の一体型カメラ及びレンズアセンブリの上面図である。 本発明のPCBアセンブリのその他の実施形態の上面図である。 本発明のフレキシブルコネクタの底面図である。 組み立てられた後のフレキシブルPCB装置の上面図である。 本発明を実施するために使用され得る基板ストリップの上面図である。 本発明を実施するために使用され得る鋳型枠の上面図である。 図7の鋳型挿入部の一つを示す側面からみた断面図である。 図6の基板ストリップの上面図であり、この基板ストリップ上の適所に保護テープが配されていることを示す。 創造性のある一体型カメラ及びレンズアセンブリのその他の実施形態の側面からみた断面図である。 一体型カメラ及びレンズアセンブリを製造するための創造性ある方法を示すフロー図である。 図11のカメラチップの取付け工程を実施するための1つの具体的な方法の概要を示すフローチャート図である。 図11のレンズ取付け部のオーバー・モールディング工程を実施するための1つの具体的な方法の概要を示すフローチャート図である。 図11の装置分離工程を実施するための、1つの具体的な方法の概要を示すフローチャート図である。 図11のレンズ取付け工程を実施するための1つの具体的な方法の概要を示すフローチャート図である。 本発明の変更形態のカメラモジュール及びレンズアセンブリの側面からみた断面図である。 図16のカメラモジュールの上面図である。 表面に複数の画像撮像装置を備える基板の一部の斜視図であり、各画像撮像装置がその上に成型体を備えること示す。 分離後の図18Aの基板の斜視図である。 本発明の変更形態のカメラモジュール及びレンズアセンブリの側面からみた断面図である。 図19のカメラモジュールの上面図である。 本発明のカメラモジュールの製造方法の概要を示すフローチャート図である。 本発明のカメラモジュールのその他の製造方法の概要を示すフローチャート図である。 本発明のカメラモジュールをホスト電子通信機器に取り付ける方法の概要を示すフローチャート図である。
以下、図面を参照して、本発明について説明する。図中、同じ或いは類似の要素であることを符号により示す。本発明は、本発明の目的を達成するための形態とともに説明される。しかしながら、本発明の原理や範囲から逸脱することなく、これらの説明により形態の変更が可能であれることは当業者により理解される。ここで記載される及び/又は図面で示される実施形態や変更形態は、本発明の一例であり、本発明の範囲を制限するものではない。特に言及しないかぎり、本発明の個々の特徴及び部材は、省略又は修正されてもよい。或いは、これらは、公知の同様の部材により置き換え可能である。又は、これら特徴及び部材は、将来開発され得る、或いは将来適用可能な代替品と考えられる未知の部材により置き換え可能である。請求項に記載の発明の原理及び範囲を維持するのであれば、本発明は多様な応用形態に修正可能である。本発明の潜在的な応用形態の範囲は大きく、このような応用形態の多くに適用可能とすることを意図されて発明されたものである。
以下の記載において、幾つかの公知の及び/又は一般に商業的に利用可能な構成部材については、とりわけ詳細には説明しない。これは、説明を不必要に複雑にすることにより、本発明の真の本質を不明瞭に開示してしまうことを避けるためである。以下の記載とともに示される図面に示す図表示は、必ずしも本発明が実際に実施されるときの大きさや比率で示されるものではない。むしろ、これら図表示は、単に、本発明の特定の特徴の相対的な配置を示すものにすぎず、重要な独創的特徴を理解させようとするものである。
本発明を実行するための公知の形態は、一体型カメラモジュールである。この創造性ある一体型カメラモジュールは、その側面図が図1に示され、一般参照符号(10)として特定される。一体型カメラモジュール(10)は、カメラチップ(12)を備える。このカメラチップ(12)は、その中身或いはそれ自体は、現在使用されている、あるいは将来開発されうる他のカメラチップと相違しない。このカメラチップ(12)は、その上にセンサアレイ領域(14)を備え、カメラチップ(12)は、さらに追加の部材(計時等のため部品)の多くも含まれうることを当業者により理解される。尚、これら追加の部材とは、センサアレイ領域(14)による画像撮像可能とするために、必要な又は備えられると望ましい部材である。図1の実施形態において、カメラチップ(12)は、プリント回路板(PCB:Printed Circuit Board)(16)に取付けられる(以下に詳説する)。カメラチップ(12)は電気的にPCB(16)と接続する。この接続は、複数の結合付属ワイヤ(17)(図1においては、単に2本だけ示す)により成される。
PCB(16)は、その上に、複数の受動素子(18)を備える。この受動素子(18)は、カメラチップ(12)上の部材と連結して、一体型カメラモジュール(10)の内側回路を構成する。任意に、PCB(16)は、幾つかの応用において、複数の底面接触パッド(20)を備える(図1には、図が不明確にならないように、数個の接触パッドのみを示す)。この底面接触パッド(20)は、一体型カメラモジュール(10)を外部部材(図示せず)と電気的に接続するためのものである。前記外部部材としては、作動ボタン、オプションのフラッシュ回路、外部デジタルメモリ、外部制御回路等が挙げられる。上記の部材で形成されるPCBアセンブリ(22)は、多くの点において、現在、類似のカメラモジュールのために使用されている部材とそれほど相違しない。
本発明によると、レンズアセンブリ(24)は、成型体(26)によって、PCBアセンブリ(22)に対して適切な位置とされるとともに、PCBアセンブリ(22)上の適所で、接着体(28)により支えられている。成型体(26)は、PCBアセンブリ(22)上で成型材料により形成される(後に詳説する)。成型体(26)は、精密な寸法公差を有する。これにより、レンズアセンブリ(24)が、成型体(26)内の凹型領域(29)(図2)の内側に位置するとき(図1に示す)、空隙(30)により、PCBアセンブリ(22)に対してレンズアセンブリ(24)の焦点が適切に合う。レンズアセンブリ(24)とセンサアレイ領域(14)の間の最適距離は、幾何学的に決定される。或いは、前記最適距離は、使用される特別なレンズ材料によっても決定される。空隙(30)の高さは、図1の図面が示す如く、Z軸(32)におけるレンズアセンブリ(24)の位置に依存する。この位置については、後に更に詳説する。
レンズアセンブリ(24)は、如何なる特別なレンズの様式を意図するものではない。むしろ、図中のレンズアセンブリ(24)は、説明することを目的とするため、表象的に示したものである。特別な様式に応じて、レンズアセンブリ(24)は、単一の材料から形成され得る。或いは、レンズアセンブリ(24)は、キャリア(図10参照)に取付けられて1以上のレンズが含まれてもよいし、追加の任意の部材を含んでもよい。
保護カバー(33)は、センサアレイ領域(14)上に配される。この保護カバー(33)により、製造或いは組み立て工程の間にセンサアレイ領域(44)が損傷することが防がれる。好ましくは、保護カバー(33)は、頑強で且つ光学的に不活性である材質により形成される。1つの特別な実施形態によると、保護カバーは、ガラスのカバーシートである。このガラスのカバーシートは、成型体(26)が形成される前或いは間のいずれかにおいて、センサアレイ領域(14)上に配されてもよい。
図2は、図1の一体型カメラモジュール(10)の概略的な上面図であり、一体型カメラモジュール(10)上にレンズアセンブリ(24)が配される前の状態を示す。図2が示とおり、X寸法(34)とY寸法(36)におけるレンズアセンブリ(24)(図1)の配置は、成型体(26)における凹型領域(29)の位置と公差により決定する。成型体(26)内に絞り部(38)が備わることにより、センサアレイ領域(14)が図面上で確認できる。
図3は、PCBアセンブリ(22a)の他の実施形態の上面図である。図3の実施形態によると、カメラチップ(12)が、変更形態のPCB(16a)に取付けられていることが確認できる。尚、本実施形態においては、この取付けは接着材料により成されている。極めて多数の付属ワイヤ(17)が、同様に極めて多数の接続パッド(42)と、変更形態のPCB(16a)上で接続している。これにより、変更形態のPCB(16a)とカメラチップ(12)の間で電気的接続が形成される。変更形態のPCBアセンブリ(22a)は、その上に、接続フィンガー状部(40)も備える。これにより、変更形態のPCBアセンブリ(22a)が外部回路と電気的に接続可能となる。図1に示す実施形態とは異なり、図3の実施形態は、全ての受動素子(18)がカメラチップ(12)の片側に位置する。
図4は、フレックス回路(44)の底面図である。フレックス回路(44)は、その上に、複数の接続フィンガー状部(40)を備え、これらが、変更形態のPCBアセンブリ上の同様の複数の接続フィンガー状部(40)と結合する。さらに、フレックス回路(44)は、複数のエッジ接続パッド(46)を備え、これにより、外部回路と接続可能とされる。
図5は、組み立てられた後のフレックス回路アセンブリ(48)の上面図であり、このフレックス回路アセンブリ(48)は、図4で示すフレックス回路(44)に、図3で示した変更形態のPCBアセンブリ(22a)が取付けられている。尚、変更形態のPCBアセンブリ(22a)は、フレックス回路(44)なしで剛性回路基板等に直接取り付けられてもよい。しかしながら、幾つかの応用形態においては、フレックス回路(44)により、変更形態のPCBアセンブリ(22a)の位置はより自由に決定される。更に、追加の回路は、必然的に或いは必要に応じて、フレックス回路(44)上に含まれてもよい。フレックス回路(44)は、トレース(図示せず)を備えてもよい。このトレースが備わると、接続フィンガー状部(40)とエッジ接続パッド(46)の間、或いは、前述した如く必要に応じて任意の追加の回路との間で電気的に接続することができる。
図5は、フレックス回路アセンブリ(48)では、変更形態のPCBアセンブリ(22a)が、ホットバー接続点(50)において、フレックス回路(44)に接続されていることを示す。この接続により、必要に応じて接続フィンガー状部(40)(図5で示す図では確認できない)が対を形成する。ホットバー接続方法をよく知る当業者は、この方法により、ホットバー接続点(50)で部材を接合することができる。
図6は、基板ストリップ(52)の概略上面図である。基板ストリップ(52)は、その上に、複数の(図中は100の)個々のPCB(16a)を備える。基板ストリップ(52)は、複数の(図中は18の)位置合せ孔(54)を備えて、基板ストリップ(52)が、1以上の配置ジグ(図示せず)上で整列可能とされる。
図7は、本発明に使用され得る鋳型枠(56)の概略上面図を示す。鋳型枠(56)は、ステンレス鋼等の金属で構成される。この鋳型枠を適用することにより、複数の(図中は100の)鋳型挿入部(58)を適所に備えることができる。鋳型挿入部(58)の位置決めは、基板ストリップ(52)上で鋳型枠(56)が配される際に、鋳型挿入部(58)が、基板ストリップ(52)(図6参照)上のPCB(16a)のそれぞれに対し正しく整列するように行われる。
図8は、1つの変更形態のPCBアセンブリ(22a)の上に鋳型挿入部58の1つが位置する場合の概略側面図である。後にさらに詳説するが、本明細書で述べたとおり、基板ストリップ(52)が、別々の変更形態のPCBアセンブリ(22a)に分けられる前を除いて、変更形態のPCBアセンブリ(22a)は、基板ストリップ(52)上で構成される。図8が示とおり、鋳型挿入部(58)は、弾力性を持つ非粘着性の層を構成する材料(59)で覆われる。このように、材料(59)で鋳型挿入部(58)を覆うことにより、その下に配されるセンサ(12)の損傷を防ぐ及び/又は鋳型挿入部(58)と成型体(26)の材料が接着することを防ぐ。被覆部材(59)に使用される具体的な材料は、成型体(26)の具体的な組成によって決めてもよい。また、この被覆部材(59)は必ずしも備えられる必要がないことを当業者により理解される。即ち、被覆部材(59)は、本発明において必須要素として考えられるべきものではない。更に言えば、成型の工程それ自体が、本発明の特徴とするものではない。成型技術がよく知られる分野における当業者は、成型体(26)及びここで述べた同等物を適切に形成するために必要な詳細を理解している。
図9は、保護テープ(60)を備える基板ストリップ(52)の一実施形態を示す上面図である。保護テープ(60)は、PCBアセンブリ(16a)(図9では確認できない)上に備わり、本発明が組み立てられる間、これを保護する。保護テープ(60)の使用については、一体型カメラモジュール(10)の創造的な製造方法を後に説明する際に改めて詳しく述べる。
図10は本発明に関し、一体型カメラモジュール(10a)の他の実施形態を示す。図10は、変更形態のレンズアセンブリ(24a)が、プラスチック・レンズ・ハウジング(62)、及び第1レンズ(64)と第2レンズ(66)を備えることを示す。一体型カメラモジュール(10a)が、概して2つのレンズを必要とすることは、当業者により理解される。
従って、本発明者は、図10の図面に示した配置が最適な配置であると考える。しかしながら、本発明は1つのレンズを使用しても実施可能である。第1レンズ(64)と第2レンズ(66)の間の距離は、レンズ・ハウジング(62)の構造に依存して決定される。第1レンズ(64)とカメラチップ(12)の間の距離は、後述するように設定される。図10の実施形態においては、接続用坑部(70)は、成型体(26)周囲付近に備えられる。この接続用坑部(70)により接着体(28)が収容されることにより、成型体(26)内で、レンズ・アセンブリ(24a)が支持される。
図11は、本発明のカメラモジュールの組み立て方法(100)の1例を示すフロー図である。この実施形態においては、複数のカメラモジュールが一度に組み立てられる。まず、「カメラチップの取付け」工程(102)において、1以上のカメラチップ(12)が、それぞれ、1以上のPCB(16a)に取付けられる(図6参照)。次に、「レンズ取付け部のオーバー・モールディング」工程(103)が行われる。この工程において、レンズ取付け部(26)が、各カメラチップ(12)上で成型される。それから、「装置分離」工程(104)において、PCB(16a)が、それぞれ分離される(別々に切り離される)。次に、「レンズ取付け」工程(105)において、レンズ取付け成型体(26)(図10参照)の内側に、レンズ・ハウジング(62)が取付けられる。最後に、「包装」工程(106)において、完全な一体型カメラモジュール(10a)が包装される。その後、包装された一体型カメラモジュール(10a)は、小型カメラ、電話カメラ等の製造業者へ輸送されるか、或いは、本明細書で前述したフレックス回路(44)に接続される。
図12は、方法(100)の「カメラチップの取付け」工程(102)を実行するための具体的な手段(107)の概要を示すフローチャート図である。まず、「保護カバー位置決め」段階(108)において、保護カバー(33)の位置が、カメラチップ(12)(図10参照)上で決定される。任意に、保護カバー(33)の位置は、レンズ取付け部のオーバー・モールディング工程(103)の間に決められてもよいし、カメラチップ取付け工程(102)における他の段階において決められてもよいし、或いはこの位置決め段階自体を省略してもよい。次に、「はんだペースト・プリント」段階(110)において、はんだペースト・トレースが、基板ストリップ(52)の個々のPCB(16a)にプリントされる。さらに、「受動素子取付け」段階(112)において、受動素子(18)が、PCB(16a)上に配される。「リフロー」段階(114)において、基板ストリップ(52)に、リフローはんだ付け処理が施される。そして、「洗浄」段階(116)において、基板ストリップ(52)に一般的な洗浄が施され、この洗浄は、前述のリフローはんだ付け処理(144)の後に行われる。
「ダイボンディング」段階(118)において、カメラチップ(12)は、各PCB(16a)と(この実施形態においては、接着材料により)結合する。「オーブン硬化」段階(120)において、前記段階で塗布された接着材料は、オーブンにより硬化される。「プラズマ洗浄」段階(122)において、(後の段階で)ワイヤが接続する表面が不活性ガスによりエッチング処理される。「ワイヤ接続」段階(124)において、付属ワイヤ(17)がサーモソニックボンディングを用いて結合される。次に第2の「プラズマ洗浄」段階(126)において、PCB(16a)は再度洗浄される。
図13は、方法(100)における「レンズ取付け部のオーバー・モールディング」工程(103)を実施するための1つの具体的な方法(127)の概要を示すフローチャート図である。保護カバーの位置決め段階(128)において、保護カバー(33)はカメラチップ(12)上に配される。もし保護カバー(33)が、前述の段階のいずれかにおいて既に取り付けられている場合、或いは、保護カバーが不要である場合、このステップは必要ない。それから、「オーバー・モールディング」段階(129)において、鋳型枠(56)が基板ストリップ(52)上に配され、成型体(26)が、前述のとおり形成される。本明細書で既に述べたとおり、成型体(16)は、保護カバー(33)を適所に保持するとともに、特に、カメラチップ(12)のセンサアレイ領域(14)をシールするように機能する。一般的な従来技術の「オーバー・モールディング」を用いて、成型体(26)が形成されることは、当業者により理解される。この成型段階の後において、カメラチップ(12)のセンサアレイ領域(14)は露出している。最後に、「O/M硬化」段階(130)で、成型体(26)は、簡単に熱硬化される。
図14は、図11の装置分離工程(104)を実施するための、1つの具体的な方法(131)の概要を示すフローチャート図である。第1に、保護テープ(60)は、カバーテープを取付ける段階(132)において、全てのPCB(16a)(図9参照)上に配される。そして、「切離し単離」段階(134)で、個々のPCB(16a)は、別々に切り離される。保護テープ(60)も切離され、これにより、結果として得られる製品は、複数のこのPCBアセンブリ(22a)であり、これらそれぞれが、その適切な場所に、保護テープ(60)の各部分を備える。保護テープ(60)は、はんだ付け工程で部材を保護するために提供される、商業的に利用可能な商品、或いはこれの類似物である。最後に、「カバーテープの除去」段階(138)において、PCBアセンブリ(22a)のそれぞれから、保護テープ(60)の小片が取り除かれる。
図15は、方法(100)のレンズ取付け工程(105)を実施する時の具体的な方法の1つ(139)の概要を示すフローチャート図である。「レンズ取付け」段階(140)において、レンズアセンブリ(24a)の1つが、それぞれの成型体(26)(図10参照)内部へ挿入される。「焦点合わせ及び試験」段階(142)において、レンズアセンブリ(24a)を、(図1のZ軸(32))に沿って上下に移動させる。この作業により、カメラチップ(12)のセンサアレイ領域(14)に対して、レンズアセンブリ(24a)の焦点を合わせる。正確な焦点は、一般的な従来の自動テスト装置を用いて決定される。発明者は、この段階が将来的に省略され得ると考える。なぜなら、発明者らは、将来、「オーバー・モールディング」段階(128)の間で、カメラチップ(12)に関連して鋳型枠(56)の位置を参照することができると考えるからである。最後に、「グルーを施して硬化する」段階(144)において、本明細書で前述したとおり、紫外線硬化型接着剤(28)が施され、紫外線を用いて硬化させる。
図16は、本発明の変更形態のカメラモジュール(300)の側面からみた断面図である。カメラモジュール(300)は、画像撮像装置(302)(例えば、ICカメラチップ)を備える。この画像撮像装置(302)は、センサアレイ領域(304)を有する。カメラモジュール(300)は、レンズホルダ(306)(例えば、成型されたハウジング)を更に備える。このレンズホルダ(306)は、画像撮像装置(302)上全体に形成される。カメラモジュール(300)は、レンズホルダ(306)内に配されるレンズアセンブリ(308)を更に備える。本実施形態において、レンズホルダ(306)は、画像撮像装置(302)の上面部(310)上であって、この上面部の周辺端領域内に形成される。レンズホルダ(306)は、凹部(312)を形作り、この凹部(312)にレンズアセンブリ(308)を収容する。そしてレンズホルダ(306)は、センサアレイ領域(304)に対して適切な位置にレンズアセンブリ(308)の位置を定める。センサアレイ領域(304)は、この上でレンズアセンブリ(308)により焦点が合わせられた光学画像を、電子信号へと変換するために機能する。これにより、画像撮像装置(302)は、光学像をデジタル画像データへ変換することができ、デジタル画像データを、例えば携帯電話やPDA等のホスト電子機器(図示せず)の回路へ提供することができる。
レンズアセンブリ(308)は、レンズホルダ(306)を介して、画像撮像装置(302)ごとに取付けられる、或いは配される。本実施形態において、レンズアセンブリ(308)は、凹部(312)によって横方向に配列するとともに、レンズホルダ(306)により垂直に支持されている。これにより、レンズアセンブリ(308)とセンサアレイ領域(304)の間で空隙(314)を備えるようになる。レンズホルダ(306)の上面は基準面として機能し、この基準面は、Z方向(315)に沿ったセンサアレイ領域(304)からの所定の距離にレンズアセンブリ(308)を位置づける。従って、レンズアセンブリ(308)により送られた画像は、正しくセンサアレイ領域(304)に焦点があわせられる。任意に、変更形態の焦点調整機構(例えば、コンプリメンタリ・スレッド・セット(Complementary thread sets))がレンズホルダ(306)及びレンズアセンブリ(308)に備えられて、センサアレイ領域(304)に対して、レンズアセンブリ(308)を正しい位置に定めてもよい。多くの場合で、レンズアセンブリ(308)を正しい位置に配して、焦点が合わせられると、レンズアセンブリ(308)は、(例えば、接着材料により)レンズホルダ(306)に強固に固定されて、この所望の焦点位置が維持される。
カメラモジュール(300)は、センサアレイ領域(304)上に任意の保護部材をさらに備えてもよい。レンズホルダ(306)が、画像撮像装置(302)上に取付けられる前あるいは後で、例えば、ガラス膜等の保護カバー(318)がセンサアレイ領域(304)上に配される。レンズホルダ(306)が取付けられる前に保護カバー(318)が配される場合は、レンズホルダ(306)が画像撮像装置(302)上に形成された時点においても、保護カバー(308)が適切な位置を保てるように、レンズホルダ(306)が取付けられる。
ホスト電子機器(例えば、携帯電話、PDA等)への電気的接続を促進するために、画像撮像装置(302)は、複数の電気接点部(320)を備えてもよい。この電気接点部により、画像撮像装置(302)(即ち、カメラモジュール(300))が、ホスト電子機器のプリント基板(PCB:Printed Circuit Board)(322)と電気的に接続可能となる。本実施形態において、電気接点部(320)は、画像撮像装置(302)の底面に形成される導体パッドである。電気接点部(320)は、複数の補助的な電気接点部(324)と電気的に接続する。これら補助的な電気接点部(324)は、はんだボール(326)により、PCB(322)上に形成される。このはんだボール(326)は、PCB(322)とカメラモジュール(300)を機械的に固定する役目も果たす。さらに、電気接点部(320)は、複数のビア(328)(図中、2つだけを示す)によって、画像撮像装置(302)の電子回路(図示せず)とも接続する。前記ビア(328)は、画像撮像装置(302)を貫いて形成される。ビア(328)が、画像撮像装置(302)の製造のあらゆる工程で、またあらゆる手段により形成されてもよい。前記手段としては、例えば、ドリル加工や化学的エッチング処理の手段が採用されるが、これらに限定されない。最後に、PCB(322)は、既知のあらゆる任意の手段を用いて、ホスト機器に取付けられる。
カメラモジュール(300)の重要な利点の1つは、カメラモジュール(300)の大きさが、従来のモジュールより非常に小さいことである。とりわけ、レンズホルダ(306)は、画像撮像装置(302)の上面(310)の周辺端領域内に形成される。従って、カメラモジュール(300)のフットプリントは、画像撮像装置(302)の外側の寸法よりも大きくならない。さらに、レンズホルダ(306)の大きさを小さくすることにより、レンズホルダ(306)の製造に伴う材料費を削減することもできる。
図17は、カメラモジュール(300)の概略上面図である。この図は、このカメラモジュール(300)からレンズアセンブリ(308)が取り除かれた様子を示す。図17が示すとおり、レンズホルダ(306)は、円筒シェルハウジングであり、画像撮像装置(302)の上面(310)の周辺端領域内に形成されている。従って、レンズホルダ(306)は、X寸法(330)とY寸法(332)において、画像撮像装置(302)のフットプリントを超えることはない。本発明の実施形態において、レンズホルダ(306)の幅/直径は、画像撮像装置(302)の幅と、略同じであり、レンズホルダ(306)は、画像撮像装置(302)の縁から越える必要性がない。レンズホルダ(306)は、必ずしも円形である必要はない。確かに、この特定の構造が、有利と考えられるが、レンズホルダ(306)は、特別な応用に応じて、任意の適切な形状とすることができる。
レンズホルダ(306)は、たいていは、センサアレイ領域(304)を塞がないようにして、その周囲を囲む。レンズホルダ(306)は、センサアレイ領域(304)に対して適した位置に配される。レンズアセンブリ(308)が凹部(312)に配設された時、レンズホルダ(306)の壁が、センサアレイ領域(304)に対するレンズアセンブリ(308)の位置(例えば中央)を決定する。従って、レンズアセンブリ(308)により送信された画像は、センサアレイ領域(304)に対し、側方向において正しく位置する。
図18Aは、基板(400)(例えば、シリコンウェハー)の一部を示す斜視図である。この基板(400)は、その表面に複数の(図中は9の)個別の画像撮像装置(302)が形成され、これら個別画像撮像装置(302)はそれぞれセンサアレイ領域(304)を有する。さらに、複数のレンズホルダ(306)の各1つは、各1つの画像撮像装置(302)上全体に形成されている。このレンズホルダ(306)は、画像撮像装置(302)の周辺端領域内に形成される。画像撮像装置(302)が、基板(400)上に形成された後、略同時に、レンズホルダ(306)が、単一の成型作業により、各画像撮像装置(302)上に形成される。画像撮像装置(302)は、その後それぞれ別々に分離(分離工程)されて、別々のカメラモジュール(300)が複数製造される。
図18Aは、一体型カメラモジュール(300)がレンズホルダ(306)上にレンズアセンブリ(308)を備えていない様子を示す。但し、レンズアセンブリ(308)がレンズホルダ(306)上に取付けられるのは、カメラモジュール(300)が別々に分離される前であってもよいし又は後であってもよい。例えば、レンズホルダ(306)がウェハー(400)上に形成される後であって、ウェハー(400)が分離される前に、レンズアセンブリ(308)は、レンズホルダ(306)に挿入されてもよい。事実、ウェハー(400)が分離される前に、レンズアセンブリ(308)がレンズホルダ(306)内に配される場合は、レンズアセンブリ(308)は、センサアレイ領域(304)が分離工程の間に汚染されることを防ぐ。
本発明は、レンズホルダ(306)がウェハー(400)上に略同時に形成されることにより、重要な利点を有する。ウェハーを製造する際に1つの工程で複数のレンズホルダ(306)を形成することにより、製造時間が短縮される。また、ウェハーを製造する際に1つの工程で複数のレンズホルダ(306)を形成することによる他の利点は、ウェハー(400)からカメラチップ(312)を切り放した後でレンズホルダ(306)を形成する工程から生じるような組立誤差を削減することができる。結果として、使用可能なカメラモジュール(300)の生産率は飛躍的に高まる。
図18Bは、基板(400)の斜視図であり、基板(400)を分離した後の、別々のカメラモジュール(300)を示す。レンズホルダ(306)は、ウェハー(400)の製造途中で形成され、画像撮像装置(302)に直接的に固定されるため、カメラモジュール(300)は、単一部品として、PCB(たとえば、PCB(322))に直接取付けられる。この取付けは、レンズホルダ(306)と画像撮像装置(302)の配置の調整に関する心配なく、従来の部品配置装備や工程により行われる。しかしながら、基板(400)が分離された後及び/又は画像撮像装置(302)がPCB或いは他の基材に取付けられた後、レンズホルダ(306)が画像撮像装置(302)に形成されることも、本発明の特徴の範囲内である。
図19は、本発明の他の実施形態による変更形態のカメラモジュール(500)を側面からみた断面図である。カメラモジュール(500)は、画像撮像装置(502)(例えば、カメラ一体型回路チップ)を備え、前記画像撮像装置(502)は、センサアレイ領域(504)を有する。カメラモジュール(500)はレンズホルダ(506)(例えば、成型されたハウジング)を更に備え、これは、画像撮像装置(502)上全体に形成される。前記カメラモジュール(500)は、レンズアセンブリ(508)を更に備え、これはレンズホルダ(506)内に位置する。レンズホルダ(306)の如く、レンズホルダ(506)は、画像撮像装置(502)の上面(510)(図20)の周辺端領域内に形成される。加えて、センサアレイ領域(304)の如く、センサアレイ領域(504)は、レンズアセンブリ(508)を通過して得られた光学像を電子イメージデータへ変換することができる。
本実施形態において、レンズホルダ(506)とレンズアセンブリ(508)は変更形態の焦点合わせのための特徴を含む。具体的には、レンズホルダ(506)は凹部(512)と凸部(513)を形作る。凹部(512)は、レンズアセンブリ(508)を収容し、レンズアセンブリ(508)をセンサアレイ領域(504)に対して側面方向に位置決めする。凸部(513)は、レンズアセンブリ(508)を支持して、レンズアセンブリ(508)が、センサアレイ領域(504)より高い所定の高さの位置に決定するために使用される基準面として機能する。これにより、レンズアセンブリ(508)により作り出された画像の焦点が、正しくセンサアレイ領域(504)に合わされる。さらに、凸部(513)がレンズアセンブリ(508)とセンサアレイ領域(504)の間の保護空隙(514)を提供することにより、レンズアセンブリ(508)と画像撮像装置(502)の間の意図しない接触を避けることができる。一度、レンズアセンブリ(508)が、正しい位置に配されると、隣接の凸部(513)、接着部(516)が提供されて、レンズアセンブリ(508)が画像撮像装置(502)に対し相対的に移動することを防ぐ。
カメラモジュール(300)の如く、カメラモジュール(500)は、センサアレイ領域(504)上に任意の保護部材を含む。例えば、ガラス膜等の保護カバー(518)は、レンズホルダ(506)の画像撮像装置(502)への取付けの前、間、或いは後でセンサアレイ領域(504)上に配される。レンズホルダ(506)の取り付けより前或いは間で保護カバーが配される場合は、レンズホルダ(506)は、保護カバー(518)が適所に置かれるように調整される。
カメラモジュール(300)とカメラモジュール(500)の他の相違点は、電子導体パッドの位置の相違である。画像撮像装置(502)の底面に形成される代わりに、カメラモジュール(500)は、複数の電気接点部(520)(例えば、ワイヤボンドパッド)を備え、この接点部(520)は画像撮像装置(502)の上表面(510)における周囲のあたりに形成される。上表面(510)において十分な空間がある限り、上表面(510)に接点部(520)を形成することにより、ビアを形成して画像撮像装置(502)の背面まで貫く必要がない。
図20は、カメラモジュール(500)の概略上面図であり、カメラモジュール(500)からレンズアセンブリ(508)を取り除いた状態を示す。図20が示すとおり、レンズホルダ(506)は、円筒形ハウジングであり、このハウジングは、画像撮像装置(502)の上面(510)の周辺端領域に形成されている。レンズホルダ(506)の幅/直径は、画像撮像装置(502)の幅より幾分小さい。レンズホルダ(506)は、画像撮像装置(502)の上表面(510)上に形成されたいずれの電気接点部(520)も塞がない。
図20は、突起部(513)の上面を示す。突起部(513)は一般的に円形であり、これにより、レンズアセンブリ(508)の外周全ての周辺が支持される。しかしながら、調整可能な焦点機構を備えるために、凸部(513)の基準面を変形して、段差や傾斜部分を備えてもよい。
次に、図21A〜図22を参照して、本発明の方法を説明する。本発明の方法を明確に説明することを目的として、本発明の方法は、特定の機能を果たす前述の実施形態の具体的な要素を参照して説明される。しかしながら、これら要素は、他の要素と置き換えることができ、この他の要素が、本明細書で明示されていても或いは本発明の開示を考慮して作り出されるものであっても、本発明の範囲を逸脱することなく、引用される要素と置き換えることができる。従って、本発明の方法は、特定の機能を果たすいかなる具体的な要素に限定されるものではない。さらに、示される方法の工程は、必ずしも示された順番で行われる必要なない。例えば、方法が2以上の工程を含む場合、これら工程は、異なる順番或いは同時に行われもよい。さらに、記載される方法の幾つかの方法は任意(例えば、「任意である」と明記してない場合でも)に行われるものであり、従って省略してもよい。本明細書で記載される方法のこれらの或いは他の変更は、特に前述した本発明の記載を考慮すると明白であると容易に理解でき、本発明の全範囲内のものであるといえる。
図21Aは、本発明の実施形態の一つのカメラモジュール(例えば、カメラモジュール(300))を製造するための方法(600A)の概要を示すフローチャートである。第1工程(602)において、基板(例えば、基板(400))が準備される。尚、この基板上には、複数の個別画像撮像装置(302)が配される。次に、第2工程(604)において、複数のレンズホルダ(306)(例えば、成型されたハウジング)が基板(400)上に固定される。これにより、各レンズホルダ(306)は、個別の画像撮像装置(302)の1つずつに固定される。次に、任意の第3工程(606)において、レンズアセンブリ(308)が、レンズホルダ(306)のそれぞれに取付けられる。さらに、第4工程(608)において、個別画像撮像装置(302)がそれぞれ分離される。これにより、複数の別々のカメラモジュール(300)が製造される。最後に、任意の第5工程(610)で、レンズアセンブリ(308)が、第3工程(606)においてレンズホルダ(306)内に配されない場合は、レンズアセンブリ(308)が、レンズホルダ(306)内の適所に配される。
図21Bは、カメラモジュール(300)を製造するための他の方法(600B)の概略を示すフローチャート図である。第1工程(602)において、基板(例えば、基板(400))が準備される。尚、この基板上には、複数の個別画像撮像装置(302)が形成されている。次に、第2工程(612)において、個別画像撮像装置(302)が、それぞれ分離されて、複数の別々の画像撮像装置(302)を形成する。次に第3工程(614)において、レンズホルダ(306)は別々の画像撮像装置(302)上全体に形成されて、カメラモジュール(300)が形成される。最後に、任意の第4工程(616)において、レンズアセンブリ(308)が、レンズホルダ(306)に取付けられる。
図22は、本発明のカメラモジュールを、ホスト電子通信装置の回路基板(例えば、PCB、フレックス回路基板等)に取付けるための方法(700)の概略を示すフローチャート図である。第1工程(702)において、カメラモジュール(カメラモジュール(300))が準備される。尚、このカメラモジュールは、レンズホルダ(306)とともに画像撮像装置(302)を備え、前記レンズホルダ(306)は、画像撮像装置(302)上全体に形成されている。次に、第2工程(704)において、ホスト装置の回路基板(例えば、PCB(322))が準備される。最後に、第3工程(706)において、カメラモジュール(300)が、PCB(322)に直接取付けられる。この取付けは、例えば、画像撮像装置(302)の電気接点部(320)をPCB(322)の補助的な電気接点部(324)にはんだ付け処理をすることにより行われる。
前述の方法(600A)、(600B)及び(700)は、図16〜18Bで示したカメラモジュール(300)を参照して説明したが、これら方法は、本明細書で具体的に説明していないカメラモジュールと同様、図19及び20で示したカメラモジュール(500)に対しても適用可能である。
本発明の価値や範囲に影響を及ぼすことなく、本発明は様々な変更形態を採り得る。例えば、本明細書で述べた実施形態に関連して示し、説明した部品の大きさ、形状、量は、これらそれぞれ、或いは全てが、特別な応用のために必要に応じて、或いはより便利となるように変更可能である。
同様に、本明細書で述べたPCB(16)の代わりに、セラミック等の他の代替材料も使用可能である。
他の変更形態としては、本明細書で述べた空気で満たされた空隙(30)を光学的に透明なスペーサと置き換えることである。前記スペーサとしては、例えば、透明なプラスチック、ガラス、或いは幾つかの他の光学的に許容される材料からなるものである。カメラチップ(12)とレンズ(24)の両方と隣接するようにスペーサを備えることにより、レンズ取付け作業中にレンズの焦点をあわせる必要がない。さらに、ズームレンズアセンブリ等の第2のレンズは、予め機械的に光学的中心を定めたレンズアセンブリ(24)或いは(24a)に適合する。スペーサは保護カバーとしても機能し、これにより、保護カバーを別途備える必要がなくなる。
本発明者らは、接着材料によって、成型体(26)や類似物内にレンズアセンブリ(24)と(24a)を取付けることが最も実現可能な方法であると考える。しかし、機械的クリップ或いはこの同等物等の他の機械的手段によって、カメラチップ(12)に対してレンズアセンブリ(24)及び(24a)が、PCB(16)に固定されることも本発明の範囲内である。
本発明の方法の変更形態は、「切離し単離」段階(134)の前にレンズアセンブリ(24a)を成型体(26)に取付けることを含む。当然のことながら、この方法は、他の幾つかの変更を伴い、「切離し単離」段階(134)、及びこれら類似する段階の間において、センサアレイ領域(14)が保護される。
追加の部材及び/又は部分は、本発明に容易に追加可能である。1つの可能な実施形態は、成型体(26)上にガラスカバーを備えることである。このカバーは幾つかの機能を果たす。即ち、このカバーにより、保管、輸送及び作業の際にセンサアレイ領域(14)が保護され、或いは、ピックアンドプレース方式により装置が持ち上げられることが可能となる。さらに、前記カバーは、リフローはんだ付け処理の間、センサアレイ領域(14)を保護する。
当業者は、本発明の範囲を逸脱することなく、カメラモジュール(300)と(500)の(上述したものを含む)変更形態を実現可能である。例えば、ウェハー(400)上の画像撮像装置(302)の数を多くしてもよいし、少なくしてもよい。他の実施形態においては、単一の保護カバーがウェハー(400)上に配されることにより、ウェハー(400)が分割されるとき、各カメラモジュール(300)は保護カバーの一部を備えるようにしてもよい。他の実施形態においては、ウェハー(400)が分割されるときに第2の保護カバーをレンズホルダ(306)上に配することにより、この保護カバーの破片がレンズホルダ(306)に入らないようにされてもよい。他の実施形態としては、レンズホルダ(306)が形成された後どの時点において、レンズアセンブリ(308)が、レンズホルダ(306)内に配されてもよい。前記時点としては、例えば、単離の段階の前、或いは単離の段階の後であってカメラモジュール(300)がPCB(322)に取付けられる前、或いはカメラモジュール(300)がPCB(322)に取付けられる後であってもよい。
前述は、本発明の利用可能な実施形態の幾つかの例のごく一部である。当業者は、本発明の原理と範囲から逸脱することなく成された様々な他の改良や変更に、容易に気づくことができる。従って、本明細書の開示は、請求の範囲を制限することを意図するものではなく、本発明の全範囲を包含するものとして解釈される。
創造性ある一体型カメラモジュール(10)(10a)は、小型デジタルカメラ、携帯電話等の超小型装置において、視像を撮像するために広く一般的に用いられることを目的としている。この装置及び方法は、様々な用途に適しており、VGA解像度から1.3メガピクセル、またはそれ以上の範囲におけるセンサモジュールの使用を含む。本明細書に記載の方法及び装置は構成部品の成型が安価で、工程においては従来の方法を用いてハウジングを取り付けた場合と比較してコストが低い。この主な理由は、複数のレンズを一度に取り付けるというよりむしろ、多数の一体型カメラモジュール(10)が配されたパネル全体上で、成型処理が一度に実施できるからである。また成型合成物のコストは、レンズを取り付けるために以前から用いられている個々のハウジング材のコストと比較して低い。
さらに、カメラモジュール(300)(500)を用いる場合は、複数のレンズホルダ(306)(506)が、画像撮像装置(302)(502)のウェハー(400)上に同時にそれぞれ形成される。こうすることで、レンズホルダ(306)(506)のサイズ、カメラモジュール(300)(500)を製造するために必要な時間、及び総原価を著しく減少させることとなる。
本発明によると、カメラモジュール(10)(300)(500)の最終的なアセンブリは、より頑丈であり、X及びY軸においてより正確である。これは、センサ鋳型の配置とオーバー・モールディング挿入部の位置が、基盤上の同じ局所的基準特性によって制御されるよう確保され、これにより達成される。現行の方法では、ハウジングを配置するためには、ガイドピン及びその他の手段を使用することが必要となる。これら従来の方法は、三次元的に精度が向上しており、安定な外形寸法を備えている成型体と比較して、必然的に大きな公差を伴う。
前述したように、Z次元の精度は、カメラチップ(12)(302)(502)自身の表面を基準とすることで達成される。このZ次元の精度は、カメラの焦点合わせのキーポイントとなる基準である。将来これにより、大抵の場合の積極的な位置合わせ(アクティブアラインメント)が不要になることが予測される。また、レンズアセンブリをネジ式ハウジング内で回転させることなく位置合わせがされるということは、必然的にレンズ配置をより安定にする。
さらに予測されることとして、本発明に係る必要な部品数が減少すること、それにより、さらにコストが削減される。
本発明のカメラモジュール(10)(10a)(300)(500)は、容易に製造され、カメラシステムのための現存の設計形状及びその他未だ考え出されていないものを用いて一体化されて、本明細書に記載した利点が提供される。これにより、本発明は、産業上、直に一般的なものとして認められることが期待できる。この理由及びその他の理由をもって、本発明の実用性及び産業上の利用可能性は、その対象範囲及び長期にわたる存続期間の両方において、大きな意義を有することが期待できる。

Claims (4)

  1. 画像撮像ICチップと、レンズと、該画像撮像ICチップの上面に形成されたレンズホルダを備えるカメラモジュールであって、
    前記レンズホルダにより、前記レンズが前記画像撮像ICチップに対して適切な位置に配され、
    前記画像撮像ICチップはベアチップであり、
    前記レンズホルダは全体に前記画像撮像ICチップの前記上面の周辺端領域内に形成されたことを特徴とするカメラモジュール。
  2. カメラモジュールの製造方法であって、該製造方法は、
    複数の個別画像撮像装置を有するとともに、該個別画像撮像装置がその上部に形成されたシリコンウェハーを提供する工程と、
    複数のレンズホルダを前記シリコンウェハー上に形成する工程とを備え、前記レンズホルダのそれぞれが、前記複数の画像撮像装置のそれぞれ1つの上面に形成され、
    前記複数の個別画像撮像装置は複数のベアチップであり、前記複数のレンズホルダのそれぞれは、全体に前記画像撮像装置の前記それぞれ1つの前記上面の周辺端領域内に配されることを特徴とする製造方法。
  3. 複数の個別画像撮像装置と、
    複数のレンズホルダとを備え、該複数のレンズホルダのそれぞれは前記画像撮像装置のそれぞれ1つの上面に形成され、
    前記複数の個別画像撮像装置はベア画像撮像チップであり、
    前記複数のレンズホルダのそれぞれは、全体に前記画像撮像装置それぞれの前記上面の周辺端領域内に形成されたことを特徴とするシリコンウェハー。
  4. 他の電子通信装置に情報を提供するための情報回路と、カメラモジュールとを備え、
    該カメラモジュールが、感光性領域を含む上面を有する画像撮像ICチップを含み、前記画像撮像ICチップはベア画像撮像ICチップであり、
    該カメラモジュールは、前記ベア画像撮像ICチップの前記上面の周辺端領域内に形成されたハウジングをさらに備えることを特徴とする電子通信装置。
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