JP2013194257A5 - - Google Patents
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Claims (8)
- 必須成分として、ギ酸銅又はその水和物を０．０１〜３．０モル／ｋｇと、酢酸銅又はその水和物を０．０１〜３．０モル／ｋｇと、下記一般式（１）または下記一般式（１’）のいずれかで表されるジオール化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種のジオール化合物と、下記一般式（２）で表されるピペリジン化合物と、これらを溶解せしめる有機溶剤とを含有してなり、かつ、
上記ギ酸銅又はその水和物１モル／ｋｇに対して、上記ジオール化合物を０．１〜６．０モル／ｋｇの範囲で含み、さらに、上記ギ酸銅又はその水和物１モル／ｋｇに対して、上記ピペリジン化合物を０．１〜６．０モル／ｋｇの範囲で含むことを特徴とする銅膜形成用組成物。
（一般式（１）中、Ｘは、水素原子、メチル基、エチル基、又は３−アミノプロピル基のいずれかを表す。一般式（１’）中、Ｒ1及びＲ2は、それぞれ独立に、水素又は炭素数１〜４のアルキル基を表し、場合によっては互いに結合して隣接する窒素原子とともに５員環又は６員環を形成してもよい。）
（一般式（２）中、Ｒはメチル基若しくはエチル基を表し、ｍは０又は１を表す。） - 前記ジオール化合物が、Ｎ−メチルジエタノールアミン、ジエタノールアミン、Ｎ−エチルジエタノールアミン及びＮ−アミノプロピルジエタノールアミンからなる群より選ばれる少なくとも１種を含む請求項１に記載の銅膜形成用組成物。
- 前記ジオール化合物が、Ｎ−メチルジエタノールアミンである請求項１に記載の銅膜形成用組成物。
- 前記ピペリジン化合物が、２−メチルピペリジンである請求項１〜３のいずれか１項に記載の銅膜形成用組成物。
- 前記ギ酸銅又はその水和物の含有量が０．１〜２．５モル／ｋｇで、前記酢酸銅又はその水和物の含有量が０．１〜２．５モル／ｋｇであり、かつ、前記ジオール化合物を、前記ギ酸銅又はその水和物１モル／ｋｇに対して０．２〜５．０モル／ｋｇの範囲で含み、前記ピペリジン化合物を、前記ギ酸銅又はその水和物１モル／ｋｇに対して０．２〜５．０モル／ｋｇの範囲で含む請求項１〜４のいずれか１項に記載の銅膜形成用組成物。
- 前記ジオール化合物と前記ピペリジン化合物の含有量の和が、ギ酸銅と酢酸銅の含有量の和１モル／ｋｇに対して、０．５〜２．０モル／ｋｇである請求項１〜５のいずれか１項に記載の銅膜形成用組成物。
- 前記有機溶剤が、アルコール系溶剤、ジオール系溶剤及びエステル系溶剤からなる群から選ばれる少なくとも１種の有機溶剤を含む請求項１〜６のいずれか１項に記載の銅膜形成用組成物。
- 請求項１〜７のいずれか１項に記載の銅膜形成用組成物を基体上に塗布する塗布工程と、その後に、該基体を１００〜４００℃に加熱することによって銅膜を形成する工程とを有することを特徴とする銅膜の製造方法。
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