JP2013153350A - 赤外カメラを具備する配線欠陥検出装置、および当該赤外カメラの異常を検知する異常検知方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】欠陥検査装置は、液晶パネル2の配線欠陥を検出することができ、液晶パネル2の赤外画像を取得する赤外センサ3を備える。赤外センサ3は4つの赤外カメラから構成されるマクロセンサを有し、当該赤外カメラの撮像領域の一部を互いに重複させて得られる重複領域の撮像画像を取得して、当該赤外カメラに汚れがあるか否かを検知する。
【選択図】図1
Description
複数の赤外カメラを備え、当該複数の赤外カメラのそれぞれがパネルの部分領域の赤外画像を得ることによって、当該パネルに設けられた配線の欠陥の検出をおこなうための配線欠陥検出装置であって、
少なくとも2つの上記赤外カメラの視野が少なくとも一部において互いに重複しているときに当該少なくとも2つの赤外カメラのそれぞれから得られる赤外画像における、当該重複している領域に対応する部分画像に基づいて、当該少なくとも2つの赤外カメラに異常があるか否かの判定をおこなう判定手段をさらに備えていることを特徴としている。
上記複数の赤外カメラを移動させる移動手段と、
上記少なくとも2つの赤外カメラが、上記検出をおこなう際と、上記判定をおこなう際とで、視野を変えるように上記移動手段を制御する制御手段とをさらに備えていることが好ましい。
上記制御手段は、上記判定をおこなう際に、上記少なくとも2つの赤外カメラの視野の中心が一致するように上記移動手段を制御することが好ましい。
上記検出をおこなう際に、上記少なくとも2つの上記赤外カメラの視野が少なくとも一部において互いに重複していることが好ましい。
上記少なくとも2つの赤外カメラのそれぞれの上記部分画像に、当該少なくとも2つの赤外カメラのうちの任意の赤外カメラが発する熱に由来した異常画像が含まれる場合には、上記部分画像から当該異常画像をトリミングしたトリミング画像に対応する視野領域のうち、当該少なくとも2つの赤外カメラのそれぞれに共通する領域に対応する画像同士を比較することによって、上記判定をおこなうことが好ましい。
上記の構成を具備した配線欠陥検出装置の上記赤外カメラの異常を検知するカメラ異常検知方法であって、
少なくとも2つの上記赤外カメラの視野が少なくとも一部において互いに重複しているときに当該少なくとも2つの赤外カメラのそれぞれから得られる赤外画像における、当該重複している領域に対応する部分画像に基づいて、当該少なくとも2つの赤外カメラに異常があるか否かの判定をおこなう判定工程を含むことを特徴としている。
以下、図面を参照して、本発明に係る実施の一態様を詳細に説明する。本実施形態においては、複数の赤外センサを用いて液晶パネルの全面を撮影することで、走査線および信号線を赤外センサで走査する手間を省き、欠陥検査に要する時間を短縮することのできる欠陥検査装置に関して、当該複数の赤外センサの異常を適切に検知して、従来構成よりも検査信頼性の高い配線欠陥検出を実現することができる配線欠陥検出装置、および当該赤外センサの異常を検知するための異常検知方法について説明する。
以上のように、本実施形態の欠陥検査装置100によれば、マクロセンサ3aの4つの赤外センサの各撮像領域が少なくとも一部の領域において重複している重複領域に対応した温度測定結果を比較して、異常(汚れ)があるか否かを判定している。このように、同一領域を撮像することにより、複数の赤外センサ間で異なる対象物が視野内にある従来構成の場合と比較して、赤外センサの異常を、精度よく検知することができる。また、赤外センサの画素単位の比較が可能となるため、異常検知感度が向上する。
本発明に係る他の実施形態について、図10および図11に基づいて説明すれば以下の通りである。なお、本実施形態では、上記実施形態1との相違点について説明するため、説明の便宜上、実施形態1で説明した部材と同一の機能を有する部材には同一の部材番号を付し、その説明を省略する。
本発明に係る他の実施形態について、図12に基づいて説明すれば以下の通りである。なお、本実施形態では、上記実施形態1との相違点について説明するため、説明の便宜上、実施形態1で説明した部材と同一の機能を有する部材には同一の部材番号を付し、その説明を省略する。
2 液晶パネル
3 赤外センサ(赤外カメラ)
3a マクロセンサ(赤外カメラ)
3b ミクロセンサ(赤外カメラ)
4 センサ移動手段(移動手段)
4a〜4c センサ保持部
4d シフトガイドレール
4e ガイド保持部
4f ガントリーガイドレール
5 主制御部
6 電圧印加部
7 データ記憶部
8 プローブ
9 プローブ移動手段
9a プローブ保持部
9b ガントリーガイドレール
9c 上下ガイドレール
9d ガイド保持部
9e シフトガイドレール
11 基板アライメントステージ
12 アライメントカメラ
13 光学カメラ
17 画素部
18 周辺回路部
19a〜19d 端子部
21 プローブ針
21a〜21d プローブ針
23 欠陥部
24 欠陥ブロック
100 欠陥検査装置
331 赤外カメラ
332 赤外カメラ
333 赤外カメラ
334 赤外カメラ
R 確認位置(液晶パネルの中央)
Claims (6)
- 複数の赤外カメラを備え、当該複数の赤外カメラのそれぞれがパネルの部分領域の赤外画像を得ることによって、当該パネルに設けられた配線の欠陥の検出をおこなうための配線欠陥検出装置であって、
少なくとも2つの上記赤外カメラの視野が少なくとも一部において互いに重複しているときに当該少なくとも2つの赤外カメラのそれぞれから得られる赤外画像における、当該重複している領域に対応する部分画像に基づいて、当該少なくとも2つの赤外カメラに異常があるか否かの判定をおこなう判定手段をさらに備えていることを特徴とする配線欠陥検出装置。 - 上記複数の赤外カメラを移動させる移動手段と、
上記少なくとも2つの赤外カメラが、上記検出をおこなう際と、上記判定をおこなう際とで、視野を変えるように上記移動手段を制御する制御手段とをさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載の配線欠陥検出装置。 - 上記制御手段は、上記判定をおこなう際に、上記少なくとも2つの赤外カメラの視野の中心が一致するように上記移動手段を制御することを特徴とする請求項2に記載の配線欠陥検出装置。
- 上記検出をおこなう際に、上記少なくとも2つの上記赤外カメラの視野が少なくとも一部において互いに重複していることを特徴とする請求項1から3までの何れか1項に記載の配線欠陥検出装置。
- 上記少なくとも2つの赤外カメラのそれぞれの上記部分画像に、当該少なくとも2つの赤外カメラのうちの任意の赤外カメラが発する熱に由来した異常画像が含まれる場合には、上記部分画像から当該異常画像をトリミングしたトリミング画像に対応する視野領域のうち、当該少なくとも2つの赤外カメラのそれぞれに共通する領域に対応する画像同士を比較することによって、上記判定をおこなうことを特徴とする請求項1から4までの何れか1項に記載の配線欠陥検出装置。
- 請求項1から5までの何れか1項に記載の配線欠陥検出装置の上記赤外カメラの異常を検知する異常検知方法であって、
少なくとも2つの上記赤外カメラの視野が少なくとも一部において互いに重複しているときに当該少なくとも2つの赤外カメラのそれぞれから得られる赤外画像における、当該重複している領域に対応する部分画像に基づいて、当該少なくとも2つの赤外カメラに異常があるか否かの判定をおこなう判定工程を含むことを特徴とする異常検知方法。
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Cited By (5)
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CN107597883A (zh) * | 2017-09-29 | 2018-01-19 | 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 | 一种位置可调节的钢板凸点高度检测装置 |
CN110047778A (zh) * | 2018-01-15 | 2019-07-23 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理装置、基片处理方法和存储介质 |
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Cited By (8)
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CN107597883A (zh) * | 2017-09-29 | 2018-01-19 | 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 | 一种位置可调节的钢板凸点高度检测装置 |
JP2021507222A (ja) * | 2017-12-14 | 2021-02-22 | フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド | 欠陥検出システム |
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