JP2021507222A - 欠陥検出システム - Google Patents
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Abstract
Description
発明の名称を「示差サーマル(熱,温度)画像を用いた電子回路の欠陥を検出するシステムおよび方法」(System and Method for Detecting Defects in Electronic Circuits using Differential Thermal Imaging)とする2017年12月14日出願の米国仮特許出願第62/598,471号,および発明の名称を「欠陥検出システム」(A Defect Detection System)とする2018年1月11日出願の米国仮特許出願第62/615,977号を参照して,その開示を参照により本書に援用し,その優先権を主張する。
パターン発生器120から一または好ましくは複数のサーマルセンサ150を動作するための(ECUT−SESP)パルスを受け付け(受信し),ここで上記ECUT−SESPパルスは,ECUT110が通電または非通電される所定の時間と同期され,かつ特定のECUTの設計によって少なくとも部分的に決定される第2のパルス周波数を有するもので,上記第2のパルス周波数は上記NECUTSパルスの第1の周波数よりも高く,
ECUT−SESPパルスが上記同期発生器140によって受信されないときに少なくとも一つのサーマルセンサ150に上記NECUTSパルスを提供し,
上記少なくとも一つのサーマルセンサ150にECUT特定外部読み出しトリガ(ECUT−S−ERTP)パルスおよび関連読み出し指示(RRIP)パルスを提供して上記少なくとも一つのサーマルセンサ150の動作を上記パターン発生器120の動作と同期し,これによりECUT−S−ERTPパルスが少なくとも一つのサーマルセンサ150に供給されているときにNECUTSパルスは少なくとも一つのサーマルセンサ150によって受信されず,それにより少なくとも一つのサーマルセンサ150からの不完全な読み出しが防止される。
Claims (19)
- 試験下電気回路によって少なくとも部分的に決定される所定時に試験下電気回路の部分を選択的に通電するパターン発生器,
少なくとも一つのサーマルセンサを含む複数のセンサ,および
上記パターン発生器の出力を受け取り,上記出力に基づいて上記少なくとも一つのサーマルセンサの動作を上記パターン発生器の動作に同期するように動作する同期発生器,
を備えている,欠陥検出システム。 - 上記少なくとも一つのサーマルセンサが少なくとも一つのレジスタを含み,上記レジスタが,
上記同期発生器から受け取った情報を記録し,
上記情報の出力を提供するように動作するものである,
請求項1に記載の欠陥検出システム。 - 画像処理コンピュータをさらに備え,上記画像処理コンピュータが,
上記少なくとも一つのサーマルセンサからサーマル画像データを受け取り,
上記少なくとも一つのレジスタから上記情報の上記出力を受け取り,
サーマル画像を出力するように動作するものである,
請求項2に記載の欠陥検出システム。 - 上記画像処理コンピュータが,上記少なくとも一つのレジスタからの上記情報に基づいて,
いずれの上記サーマル画像データが欠陥検出に関連するかを確認し,
非関連サーマル画像データを破棄し,
欠陥検出に関連することが確認された上記サーマル画像データを用いて上記サーマル画像を生成する,
ことによって,サーマル画像を出力するように動作するものである,
請求項3に記載の欠陥検出システム。 - 試験下電気回路によって少なくとも部分的に決定される所定時に試験下電気回路の部分を選択的に通電するパターン発生器,
少なくとも二つのサーマルセンサを含む複数のセンサ,および
上記パターン発生器の出力を受け取り,上記出力に基づいて上記少なくとも二つのサーマルセンサの動作を上記パターン発生器の動作に同期するように動作する同期発生器,
を備えている,欠陥検出システム。 - 上記少なくとも二つのサーマルセンサのそれぞれが少なくとも一つのレジスタを備え,上記レジスタが,
上記同期発生器から受け取った情報を記録し,
上記情報の出力を提供するように動作するものである,
請求項5に記載の欠陥検出システム。 - 画像処理コンピュータをさらに備え,上記画像処理コンピュータが,
上記少なくとも二つのサーマルセンサからサーマル画像データを受け取り,
上記少なくとも一つのレジスタから上記情報の上記出力を受け取り,
サーマル画像を出力するように動作するものである,
請求項6に記載の欠陥検出システム。 - 上記画像処理コンピュータが,上記少なくとも一つのレジスタからの上記情報に基づいて,
いずれの上記サーマル画像データが欠陥検出に関連するかを確認し,
非関連サーマル画像データを破棄し,
欠陥検出に関連することが確認された上記サーマル画像データを用いて上記サーマル画像を生成する,
ことによって,サーマル画像を出力するように動作するものである,
請求項7に記載の欠陥検出システム。 - 所定時に試験下電気回路(ECUT)の部分を選択的に通電しかつECUT特定外部同期パルスを提供するパターン発生器,
少なくとも第1のパルス周波数の周期的外部読み出しトリガパルスを要求する少なくとも一つのサーマルセンサを含む複数のセンサを含む,示差サーモグラフィ・サブシステム,および
上記少なくとも一つのサーマルセンサを動作するために,上記パターン発生器から,上記所定時に合わせられ,上記ECUTによって少なくとも部分的に決定される,上記第1の周波数よりも高い第2のパルス周波数を有する上記ECUT特定外部同期パルスを受け取り,
上記ECUT特定外部同期パルスの無いときに上記少なくとも一つのサーマルセンサに上記周期的外部読み出しトリガパルスを提供し,
上記少なくとも一つのサーマルセンサにECUT特定外部読み出しトリガパルスおよびECUT特定関連読み出し指示パルスを提供し,これによって上記少なくとも一つのサーマルセンサの動作を上記パターン発生器の動作に同期し,これにしたがって上記ECUT特定外部読み出しパルスが上記少なくとも一つのサーマルセンサに供給されるときに上記周期的外部読み出しトリガパルスが少なくとも一つのサーマルセンサによって受信されないように動作する同期発生器,を備えている,
欠陥検出システム。 - 上記EUCT特定外部同期パルスが初期外部同期(IES)パルスを含み,これが上記同期発生器によって受け付けられたときに,上記同期発生器は,対応するECUT特定関連読み出し指示(RRIP)パルスを上記少なくとも一つのサーマルセンサに提供しかつ対応するECUT特定外部読み出しトリガパルスを提供しないようにする,
請求項9に記載の欠陥検出システム。 - 上記少なくとも一つのサーマルセンサがセンサ・アレイおよび少なくとも一つのレジスタを含み,上記センサ・アレイからセンサ・アレイ・データを読み出すときに,受け付けたECUT特定外部読み出しトリガパルスの時間に隣接する時間に受信したECUT特定関連読み出し指示パルスに基づいて,そこにメタデータを付加するように動作する,
請求項9または10に記載の欠陥検出システム。 - 上記少なくとも一つのサーマルセンサが,上記センサ・アレイからセンサ・アレイ・データを読み出すときに,受け付けたECUT特定外部読み出しトリガパルスの時間の直前の時間に受信されるECUT特定関連読み出し指示パルスに基づくメタデータを,そこに付加するように動作する,請求項11に記載の欠陥検出システム。
- 上記少なくとも一つのレジスタが,上記ECUT特定外部読み出しトリガパルスの受け付けのタイミングを記録する第1のレジスタおよび上記ECUT特定関連読み出しパルスの受信のタイミングを記録する第2のレジスタを含む,請求項11または請求項12に記載の欠陥検出システム。
- 上記ECUT特定外部同期パルスが,上記複数のセンサの一部を形成する非サーマルセンサにも供給される,請求項9に記載の欠陥検出システム。
- 上記関連読み出しパルスが,示差サーモグラフィ欠陥検出と関係しない読み出し情報と区別されるものとして示差サーモグラフィ欠陥検出に関連するセンサ読み出し情報を識別するメタデータを提供する,請求項9に記載の欠陥検出システム。
- 上記複数のセンサが上記試験下電気回路の所与の部分を同時に観察する,請求項1から15のいずれかに記載の欠陥検出システム。
- 上記複数のセンサが少なくとも一つの非サーマルセンサを含む,請求項1から16のいずれかに記載の欠陥検出システム。
- 上記少なくとも一つの非サーマルセンサが少なくとも一つの光学センサを含む,請求項17に記載の欠陥検出システム。
- 上記少なくとも一つの非サーマルセンサが少なくとも一つの電磁センサを含む,請求項17または18に記載の欠陥検出システム。
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