KR20200099171A - 결함 검출 시스템 - Google Patents

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KR20200099171A
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KR1020207020096A
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라울 앨버트 마틴
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포톤 다이나믹스, 인코포레이티드
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Abstract

테스트 대상 전기 회로에 의해 적어도 부분적으로 미리 결정된 시간에 테스트 대상 전기 회로의 일부를 선택적으로 활성화 시키기 위한 패턴 발생기, 적어도 하나의 열 센서를 포함하는 다수의 센서 그리고 상기 패턴 발생기의 출력을 수신하도록 동작하며 적어도 하나의 열 센서의 동작을 상기 패턴 발생기의 동작과 동기화하기 위해 상기 출력에 기초하는 동기화 발생기를 포함하는 결함 검출 시스템.

Description

결함 검출 시스템
2017 년 12 월 14 일 출원된 "차동 열 이미지를 이용한 전자 회로의 결함을 검출하기 위한 시스템 및 방법"에 대한 미국 가 특허 출원 제 62/598,471호 및 2018 년 1 월 11 일자로 출원된 결함 검출 시스템에 대한 미국 특허 출원 제 62/615,977 호가 참조되며, 본원 명세서에서 일체를 참고로 하고 그에 대하여 우선권이 주장된다.
본 발명은 전기 회로에서의 결함 검출에 관한 것이다.
전기 회로에 사용하기 위한 다양한 유형의 결함 검출 시스템 및 방법이 알려져 있다.
하나의 예는 미국 캘리포니아 주 산호세 소재 Orbotech Company의 Photon Dynamics, Inc.로부터 상업적으로 입수할 수 있는 Array Checker AC68xx 시스템 제품 군이다. 결함 검출 시스템은 바람직하게는 미국 특허 제 4,983,911 호 및 제 5,124,635 호에서의 설명에 따라 평판 디스플레이를 테스트하기 위해 사용되며 바람직하게는 다중 결함 검출 헤드를 사용한다.
반도체 산업에서, 단일 카메라 열 이미징은 미국 특허 제 9,546,907 호에 기술된 바와 같이 차동 서모그래피(differential thermography) 결함 검출을 위해 사용된다. 열 카메라는 시간이 지남에 따라 안정성 문제가 있는 것으로 알려져 있다. 따라서, 미국 특허 제 9,546,907 호에서와 같이, 하나의 특정 프레임 레이트에 대한 정적 캘리브레이션을 제공하고 카메라가 외부 동기화 없이 자유 실행 카메라 생성 트리거로 동작하도록 하는 것이 관례이다. 다중 열 센서의 동작이 동기화되어야 한다는 요구로 인해, 높은 열 감지 결함 검출 처리량을 제공하기 위해 통합된 차동 서모그래피 시스템에서 다중 열 센서를 사용하는 방법은 현재 알려져 있지 않다.
본 발명은 전기 회로에서의 결함을 검출하기 위한 개선된 시스템 및 방법을 제공함에 대한 것이다.
따라서, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따라, 테스트 대상 전기 회로에 의해 적어도 부분적으로 미리 결정된 시간에 상기 테스트 대상 전기 회로의 일부를 선택적으로 활성화 시키기 위한 패턴 발생기; 적어도 하나의 열 센서를 포함하는 다수의 센서; 그리고 상기 패턴 발생기의 출력을 수신하도록 동작하며 적어도 하나의 열 센서의 동작을 상기 패턴 발생기의 동작과 동기화하기 위해 상기 출력에 기초하는 동기화 발생기를 포함하는, 결함 검출 시스템이 제공된다.
바람직하게, 상기 적어도 하나의 열 센서는 적어도 하나의 레지스터 동작을 포함하여, 상기 동기화 발생기로부터 수신된 정보를 기록하고; 그리고 상기 정보의 출력을 제공하도록 한다. .
본 발명의 바람직한 실시 예에 따라, 이미지 처리 컴퓨터를 또한 포함하여, 상기 적어도 하나의 열 센서로부터 열 이미지 데이터를 수신하고; 상기 적어도 하나의 레지스터로부터 상기 정보의 상기 출력을 수신하며; 그리고 한 열 이미지를 출력하도록 한다. 또한, 상기 이미지 처리 컴퓨터는 상기 적어도 하나의 레지스터로부터의 정보에 기초하여, 상기 열 이미지 데이터 중 어느 것이 결함 검출과 관련이 있는지를 확인하고; 관련 없는 열 이미지 데이터를 폐기하며; 그리고 상기 열 이미지를 발생시키기 위해 결함 검출과 관련이 있는 것으로 확인 된 상기 열 이미지 데이터를 이용함에 의해, 한 열 이미지를 출력하도록 동작한다.
본 발명의 또 다른 바람직한 실시 예에 따라, 테스트 대상 전기 회로에 의해 적어도 부분적으로 미리 결정된 시간에 테스트 대상 전기 회로의 일부를 선택적으로 활성화 시키기 위한 패턴 발생기; 적어도 두 개의 열 센서를 포함하는 다수의 센서; 그리고 상기 패턴 발생기의 출력을 수신하도록 동작하며 적어도 두 개의 열 센서의 동작을 상기 패턴 발생기의 동작과 동기화하기 위해 상기 출력에 기초하는 동기화 발생기를 포함하는, 결함 검출 시스템이 제공된다.
본 발명의 한 바람직한 실시 예에 따라, 적어도 두 개의 열 센서는 적어도 하나의 레지스터 동작을 포함하여, 동기화 발생기로부터 수신된 정보를 기록하고; 그리고 상기 정보의 출력을 제공하도록 한다.
바람직하게, 상기 결함 검출 시스템은 이미지 처리 컴퓨터를 또한 포함하여, 상기 적어도 두 개의 열 센서로부터 열 이미지 데이터를 수신하고; 상기 적어도 하나의 레지스터로부터 상기 정보의 상기 출력을 수신하며; 그리고 한 열 이미지를 출력하도록 한다. 또한, 상기 이미지 처리 컴퓨터는 상기 적어도 하나의 레지스터로부터의 상기 정보에 기초하여, 상기 열 이미지 데이터 중 어느 것이 결함 검출과 관련이 있는지를 확인하고; 관련 없는 열 이미지 데이터를 폐기하며; 그리고 상기 열 이미지를 발생시키기 위해 결함 검출과 관련이 있는 것으로 확인 된 상기 열 이미지 데이터를 이용함에 의해, 한 열 이미지를 출력하도록 동작한다.
본 발명의 또 다른 바람직한 실시 예에 따라, 미리 결정된 시간에 테스트 대상 전기 회로(ECUT)의 일부를 선택적으로 활성화 시키고 ECUT 특정 외부 동기화 펄스를 제공하기 위한 패턴 발생기; 그리고 다음을 포함한 차동 서모그래피 서브 시스템을 포함하는, 결함 검출 시스템이 더욱 제공된다:
제 1 펄스 주파수로 주기적 외부 판독 트리거 펄스를 요구하는 적어도 하나의 열 센서를 포함하는 다수의 센서; 그리고 동기화 발생기로서, 상기 적어도 하나의 열 센서를 동작시키기 위해 상기 패턴 발생기로부터 상기 ECUT 특정 외부 동기화 펄스를 수신하고 - 상기 ECUT 특정 외부 동기화 펄스는 상기 미리 결정된 시간과 조정되고 상기 ECUT에 의해 적어도 부분적으로 결정된 제 2 펄스 주파수를 가기며, 상기 제 2 펄스 주파수는 상기 제 1 주파수보다 큼-; 상기 ECUT- 특정 외부 동기화 펄스가 없을 때 상기 적어도 한 열 센서로 상기 주기적 외부 판독 트리거 펄스를 제공하며; 그리고 ECUT 특정 외부 판독 트리거 펄스 및 펄스를 나타내는 ECUT 특정 관련 판독을 상기 적어도 한 열 센서로 제공하고, 이에 의해 상기 적어도 하나의 열 센서의 동작을 상기 패턴 발생기의 동작과 동기화함으로써, 상기 ECUT- 특정 외부 판독 펄스가 상기 적어도 하나의 열 센서로 공급 될 때 상기 주기적 외부 판독 트리거 펄스가 상기 적어도 하나의 열 센서에 의해 수신되지 않도록 동작하는 상기 동기화 발생기.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따라, 상기 ECUT 특정 외부 동기화 펄스는 초기 외부 동기화 (IES) 펄스를 포함하며, 상기 동기화 발생기에 의해 수신될 때 상기 동기화 발생기가 대응하는 ECUT 특정 관련 판독 표시(RRIP) 펄스를 상기 적어도 하나의 열 센서로 제공하지만, 대응하는 ECUT 특정 외부 판독 트리거 펄스를 제공하지 않도록 한다.
바람직하게는, 상기 적어도 하나의 열 센서는 하나의 센서 어레이 및 적어도 하나의 레지스터를 포함하고, 수신된 ECUT 특정 외부 판독 트리거 펄스(received ECUT-specific external readout trigger pulse)의 시간에 인접한 시간에 수신된 펄스를 나타내는 ECUT 특정 관련 판독 값에 기초한 메타 데이터를 첨부하기 위해 상기 센서 어레이로부터 센서 어레이 데이터를 판독하는 때 동작할 수 있다. 또한 상기 적어도 하나의 열 센서는 상기 센서 어레이로부터 센서 어레이 데이터를 판독 할 때 동작하여, 수신된 ECUT 특정 외부 판독 트리거 펄스 시간 직전의 시간에 수신된 펄스를 나타내는 ECUT 특정 관련 판독에 기초하여 메타 데이터를 부가하도록 한다. 또한 또는 선택적으로, 상기 적어도 하나의 레지스터는 상기 ECUT 특정 외부 판독 트리거 펄스를 수신하는 제 1 레지스터 기록 타이밍 및 상기 ECUT 특정 관련 판독 펄스를 수신하는 제 2 레지스터 기록 타이밍을 포함한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따라, 상기 ECUT 특정 외부 동기화 펄스는 또한 상기 다수의 센서의 일부를 형성하는 비-열 센서로 공급된다.
바람직하게, 상기 관련 판독 펄스는 차동 서모그래피 결함 검출과 관련이 없는 판독 정보와 구별되는 차동 서모그래피 결함 검출과 관련된 센서 판독 정보를 식별하는 메타 데이터를 제공한다.
바람직하게, 상기 다수의 센서는 테스트 대상 상기 전기 회로의 주어진 부분을 동시에 관찰한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따라, 상기 다수의 센서는 적어도 하나의 비-열 센서를 포함한다. 또한, 상기 하나 이상의 비-열 센서는 하나 이상의 광학 센서를 포함한다. 또한 또는 선택적으로, 상기 하나 이상의 비-열 센서는 하나 이상의 전기장 센서를 포함한다.
본 발명은 도면과 함께 다음의 상세한 설명으로부터 보다 완전히 이해되고 인식 될 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따라 구성되고 동작하는 결함 검출 시스템의 간략화 된 블록도 이다.
도 2는 도 1의 결함 검출 시스템의 동작의 일부 측면의 단순화 된 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예의 기능을 이해하는데 유용한 단순화 된 파형도 이다.
도 4는 본 발명의 다른 바람직한 실시 예에 따라 구성되고 동작하는 결함 검출 시스템의 간략화 된 블록도 이다 .
도 5는 본 발명의 다른 바람직한 실시 예에 따라 구성되고 동작하는 결함 검출 시스템의 간략화 된 블록도 이다.
도 6은 본 발명의 다른 바람직한 실시 예에 따라 구성되고 동작하는 결함 검출 시스템의 간략화 된 블록도 이다.
이제 도 1을 참조하며, 도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따라 구성되고 동작하는 결함 검출 시스템(100)의 단순화된 블록도 이다. 도 1의 결함 검출 시스템은 바람직하게는 미국 캘리포니아 주 산호세에 있는 Orbotech Company의 Photon Dynamics, Inc.로부터 상업적으로 입수 가능한 Array Checker AC68xx 시스템 계열 중 하나 인 시스템 플랫폼에서 실현된다. 상기 결함 검출 시스템은 바람직하게는 미국 특허 제 4,983,911 호 및 제 5,124,635 호에서의 설명에 따라 평판 디스플레이를 테스트하기 위해 사용되며, 그 개시 내용은 본 명세서에 참조로 포함되며, 바람직하게는 다중 결함 검출 헤드(도시되지 않음)를 사용한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따르면, 결함 검출 시스템(100)은 열 센서 및 선택적으로 광학 센서(도시되지 않음) 및 전기장 센서(도시되지 않음)를 포함하는 다수의 센서를 사용한다. 하나 이상의 센서가 하나 이상의 결함 검출 헤드(도시되지 않음)에 장착된다. 일반적으로, 반드시 그런 것은 아니지만, 열 센서는 하나 이상의 결함 검출 헤드 상에 광학 센서 및/또는 전기장 센서와 함께 장착 될 수 있다. 다수의 센서는 바람직하게는 테스트 대상 전기 회로(ECUT)(110)의 상이한 영역을 동시에 볼 수 있다. 일반적으로, ECUT(110)는 평판 디스플레이이지만, 선택적으로 테스트될 적절한 전기 회로일 수 있다. ECUT(110)는 일반적으로 시험 동안 정지하고, 하나 또는 바람직하게는 하나 이상의 결함 검출 헤드 상에 장착된 센서는 ECUT(110)의 다양한 영역을 시험하기 위해 ECUT(110)에 대하여 이동된다. 바람직하게, 그러나 반드시 필수적이지는 않지만, ECUT(110)의 다수의 영역 테스트는 테스트 처리량을 향상시키기 위해 동시에 또는 거의 동시에 발생한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 감독 컴퓨터(112)는 이미지 처리 컴퓨터(IPC)(114)에 공급되는 이미지 정의 부분 및 패턴 발생기(120)에 공급되는 패턴 정의 부분을 포함하는 습득 플랜을 제공한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따르면, 패턴 발생기(120)는 테스트 대상 전기 회로의 디자인에 의해 적어도 부분적으로 미리 결정된 시간에 ECUT(110)의 미리 결정된 부분을 선택적으로 활성화 하도록 동작한다. 패턴 발생기(120)는 다양한 시간에 다양한 부분을 전기적으로 결합시키는 하나 이상의 종래의 프로브 어레이(130)를 통해 ECUT - 특정 활성화 펄스(ECUT-SEP)를 ECUT(110)에 제공한다. 패턴 발생기(120)는 또한 적어도 하나의 ECUT 테스트 센서의 동작을 ECUT(110) 일부의 활성화와 동기화하기 위해 ECUT - 특정 외부 동기화 펄스(ECUT-SESP)를 제공한다.
동기화 발생기(140)는 패턴 발생기(120)로부터 ECUT-SESP 펄스를 수신하고 도 2 및 도 3을 참조하여 후술될 바와 같이 외부 판독 트리거 펄스(ERTP) 및 관련 판독 표시 펄스(RRIP)를 발성시킨다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따르면, 적어도 하나, 바람직하게는 다수의 외부 동기화 열 센서(externally synchronized thermal sensors)(150)가 ECUT 테스트 센서로서 사용된다. 광학 센서 및 전기장 센서(도시되지 않음)와 같은 센서가 추가로 사용될 수 있다. 외부 동기화 열 센서(150)의 바람직한 실시 예는 독일 Jena의 Jenoptics GMBH로부터 상업적으로 입수할 수 있는 IR-TCM 카메라로서, 외부 판독 트리거 펄스(ERTP) 및 관련 판독 표시 펄스(RRIP)를 수용한다. 열 센서(150)는 안정성을 유지하기 위해 열 센서(150)에 의해 결정된 적어도 제 1 펄스 주파수, 일반적으로 5 내지 7Hz인, 비 -ECUT 특정 주기적 판독 트리거 (NECUTS) 펄스를 필요로 한다.
열 센서(150) 각각은 바람직하게는 ERTP 펄스 및 RRIP 펄스의 수신 사이의 시간 관계에 관한 정보를 기록하고 출력하는 적어도 하나의 레지스터를 포함한다. 보다 구체적으로, 열 센서(150) 각각은 바람직하게는 ERTP 펄스 및 RRIP 펄스의 수신 타이밍을 나타내는 정보를 각각 기록 및 출력하는 제 1 및 제 2 레지스터(160 및 170)를 포함한다. 이들 레지스터로부터 다운로드 된 메타 데이터는 차동 서모그래피 결함 검출과 관련된 서모그래피 데이터가 차동 서모그래피 결함 검출과 무관한 서모그래피 데이터와 구별될 수 있게 한다.
바람직하게는, 열 센서(150) 및 이미지 처리 컴퓨터(114)가 함께 차동 서모그래피 기능을 제공한다. 원칙적으로, 다수의 열 센서(150)는 단일 열 센서(150)를 포함 할 수 있는 것으로 이해된다. 차동 서모그래피 시스템은 바람직하게는 전술한 바와 같이 패턴 발생기(120)로부터 ECUT-SESP 펄스를 수신하고, ECUT-SESP 펄스를 기초로 하여 적어도 하나의 열 센서(150)의 동작을 패턴 발생기(120)의 동작과 동기화 시키도록 동작한다.
차동 서모 그래피를 가능하게 하기 위해, 패턴 발생기는 ECUT-SEP 활성화 펄스(energizing pulses) 및 대응하는 동기화된 ECUT-SESP 펄스를 제공해야 하며, 이는 ECUT(110)의 주어진 부분의 고온 및 저온 상태에 대응하고, 활성화 및 비 통화 상태에 대응한다.
도 2를 참조하면, 도 1의 결함 검출 시스템의 동작의 일부 특징에 대한 간략화 된 흐름도이다.
처음에, 오퍼레이터는 감독 컴퓨터(112)에서 ECUT 특정 습득 플랜(ESAP)을 프로그래밍한다. 감독 컴퓨터(112)는 ESAP의 이미지 정의 부분을 이미지 처리 컴퓨터(114)로 분배하고, ESAP의 패턴 정의 부분을 패턴 발생기(120)로 분배한다.
명세서에서 사용되는 습득 플랜이라는 용어는 정의 및 명령의 목록을 지칭하며, 이는 일반적으로 습득 될 이미지의 목록, 습득 될 조건(콜드 이미지, 핫 이미지, 버려질 이미지 등) 그리고 개별 이미지로부터 합성 이미지를 생성하는 데 사용되는 수학 연산으로 구성된다.
패턴 발생기(120)는 ECUT-SESP 펄스를 동기화 발생기(140)에 제공하고, 또한 ECUT-SESP 펄스와 동기화 하여, 프로브 어레이(130)를 통해, ECUT-SEP 활성화 전압을 ECUT의 관련 부분을 활성화 시키거나 활성화 해제시키는 ECUT로 제공한다.
동기화 발생기(140)는 적어도 하나의 열 센서(150)에 의해 FSYNC 펄스로서 판독되는 ERTP 펄스를 지속적으로 제공한다. 동기화 발생기(140)는 일반적으로 적어도 하나의 열 센서(150)의 안정성을 유지하기 위해 적어도 하나의 열 센서(150)로 NECUTS 펄스로서 제1 펄스 주파수로 ERTP 펄스를 제공한다. 그러나, 처음 ECUT- SESP 펄스의 수신이 있자마자 그리고 ECUT-SESP 펄스가 미리 결정된 주파수, 일반적으로 9Hz로 수신되는 동안, 동기화 발생기(140)는 NECUTS 펄스를 제공하지 않으며, 오히려 ERTP/FSYNC 펄스로서 ECUT-SESP 펄스를 적어도 하나의 열 센서(150)로 제공한다. 동기화 발생기(140)는 또한 ECUT-SESP 펄스를 약간 뒤 따르고 이에 동기화된 RRIP 펄스를 공급한다. ECUT-SESP 펄스의 버스트를 수신한 후, 동기화 발생기(140)는 되돌아가서 NECUTS 펄스를 제공하며, ECUT-SESP 펄스의 추가 버스트가 수신될 때까지 상기 펄스를 제공한다.
NECUTS 펄스인지 ECUT-SESP 펄스인지에 관계없이 ERTP/FSYNC 펄스에 응답하는 적어도 하나의 열 센서(150)는 동기화 발생기(140)로부터 수신하고 열 이미지 데이터를 통합하여 판독한다. 이 같은 열 이미지 데이터는 ERTP 및 RRIP 펄스의 열 센서(150) 각각에 의한 수신 사이의 시간 관계를 나타내는, 레지스터 출력(160, 170)과 함께 이미지 처리 컴퓨터(114)로 공급되며, 어느 출력 열 이미지가 상기 습득 플랜에 따라 상기 결합 검출과 관련되는 가를 상기 이미지 처리 컴퓨터 (114)가 확인할 수 있도록 한다.
상기 이미지 처리 컴퓨터(114)는 상기 습득 플랜에 따라 계산을 수행하고 ECUT(110)의 관련 열 이미지를 출력한다.
보다 구체적으로, 동기화 발생기(140)는 바람직하게는:
하나 또는 다수의 열 센서(150)를 동작시키기 위해 패턴 발생기로부터 ECUT-SESP펄스를 수신하고 - 상기 ECUT-SESP 펄스는 미리 결정된 시간과 조정되고 동기화되며, 상기 미리 결정된 시간에 ECUT(110)가 활성화 되거나 활성화 되지 않고, 그리고 상기 특정 ECUT디자인에 의해 적어도 부분적으로 결정된 제 2 펄스 주파수를 가기며, 상기 제 2 펄스 주파수는 상기 NECUTS 펄스의 제 1 펄스 주파수보다 큼-;
상기 ECUT-SESP 펄스가 상기 동기화 발생기(140)에 의해 수신되지 않을 때 상기 적어도 한 열 센서(150)로 상기 NECUTS 펄스를 제공하며; 그리고
ECUT 특정 외부 판독 트리거(ECUT-S-ERTP) 펄스 및 관련 판독 표시(RRIP) 펄스를 상기 적어도 한 열 센서로 제공하고, 이에 의해 상기 적어도 하나의 열 센서의 동작을 상기 패턴 발생기(120)의 동작과 동기화함으로써, 상기 ECUT-S-ERTP 펄스가 상기 적어도 하나의 열 센서(150)로 공급 될 때 상기 NECUTS 펄스가 상기 적어도 하나의 열 센서(150)에 의해 수신되지 않도록 하며, 이에 의해 상기 적어도 하나의 열 센서(150)로부터 완전하지 못한 판독을 막도록 한다.
이제 도 3을 참조하면, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 패턴 발생기(120), 동기화 발생기(140) 및 적어도 하나의 열 센서(150)의 상기 설명된 기능을 이해하는데 유용한 단순화 된 파형도 이다.
도 3에 도시 된 바와 같이, 패턴 발생기(120)는 일반적으로 3Hz인 버스트 주파수로 ECUT-S-ERTP 펄스의 버스트를 발생시킨다. 각각의 버스트는 일반적으로 9Hz인 전형적인 ECUT-S-ERTP 펄스 주파수로 초기 외부 동기화(IES) 펄스 및 그 후 적어도 2개의 ECUT-S-ERTP 펄스를 인큐브한다. 차동 서모그래피 결함 검출을 수행하기 위해 최소로, 한 펄스는 현재 테스트 대상 ECUT(110)의 일부를 활성화시키는 것에 대응하는 핫 펄스이고, 다른 한 펄스는 현재 테스트 대상 ECUT(110)의 일부를 비활성화시키는 것에 대응하는 콜드 펄스이다.
전술한 바와 같이, 패턴 발생기(120)의 출력은 동기화 발생기(140)에서 수신되며, 이는 ECUT- 특정 펄스의 수신이 없는 경우 바람직하게는 주기적 외부 판독 트리거(P-ERTP) 펄스를 지속적으로 제공한다. IES 펄스의 수신 즉시 그리고 각 버스트에서 수신된 ECUT-특정 펄스의 마지막 펄스에 이어서, 미리 결정된 기간, 일반적으로 200 밀리 초(5Hz에 해당) 동안, 동기화 발생기는 P-ERTP 펄스를 제공하지 않는다.
IES 펄스의 수신에 응답하여, 동기화 발생기(140)는 바람직하게는 IES 펄스의 수신 후에, 고정된 시간, 일반적으로 약 90 내지 100 밀리 초에 초기 관련 판독 표시(RRIP) 펄스를 생성하지만, ECUTS-ERTP를 생성하지는 않는다. 이것은 열 센서(150)로부터의 어느 판독 값이 테스트와 관련되는 가에 대한 모호성을 피하기 위한 것이다.
일반적으로 ECUT(110)의 활성화 시간에 대응하는 한 버스트에서의 제 2 ECUT-S-ERTP 펄스 버스트에 응답하여, 동기화 발생기(140)는 ECUT-S-ERTP 펄스를 열 센서(150)로 전송한다. ECUT-S-ERTP 펄스의 수신에 응답하여, 열 센서는 그 이미지 데이터를 이미지 처리 컴퓨터(114)로 판독하여 보내고, 이미지 처리 컴퓨터는 또한 레지스터(160 및 170)의 출력을 수신한다. 따라서 이미지 처리 컴퓨터(114)는 열 센서(150)에 의한 ECUT-S-ERTP 펄스 수신이 초기 RRIP 펄스의 수신을 뒤 따르고 따라서 상기 해당 이미지 데이터를 관련 데이터로 유지한다.
동기화 발생기(140)는 또한 제 2 ECUT-S-ERTP 펄스의 수신 후 고정 시간, 일반적으로 약 90 내지 100 밀리 초에 제 2 관련 판독 표시(RRIP) 펄스를 생성한다.
유사하게, 버스트에서의 제 3 ECUT-S-ERTP 펄스, 일반적으로 ECUT(110)의 비 활성화 시간에 대응하는 펄스에 응답하여, 동기화 발생기(140)는 ECUT-S-ERTP 펄스를 열 센서(150)로 전송한다. 열 센서(150)는 ECUT-S-ERTP 펄스의 수신에 응답하여 그 이미지 데이터를 이미지 처리 컴퓨터(114)로 판독하여 전송하고, 이 같은 이미지 처리 컴퓨터는 또한 레지스터(160 및 170)의 출력을 수신한다. 따라서 이미지 처리 컴퓨터(114)는 수신이 열 센서(150)에 의한 ECUT-S-ERTP 펄스의 수신이 RRIP 펄스의 수신을 밀접하게 뒤 따르고 따라서 대응하는 이미지 데이터를 관련 데이터로서 유지한다.
동기화 발생기(140)는 또한 제 2 ECUT-ERTP 펄스의 수신 후 고정된 시간, 일반적으로 약 90 내지 100 밀리 초에 제 3 RRIP (Relevant Readout Indicating) 펄스를 생성 할 수 있다. 버스트 내에 단지 3 개의 ECUT-ERTP 펄스가 있는 상황에서, 이 같은 제 3 RRIP 펄스의 수신과 관련된 정보는 바람직하게는 이미지 처리 컴퓨터(114)에 의해 버려진다.
이제 본 발명의 또 다른 바람직한 실시 예에 따라 구성되고 동작하는 결함 검출 시스템(300)의 단순화 된 블록도, 도 4를 참조한다. 도 4의 결함 검출 시스템은 바람직하게는 미국 캘리포니아 주 산호세에 있는 Orbotech Company의 Photon Dynamics, Inc.로부터 상업적으로 입수 가능한 Array Checker AC68xx 시스템 계열 중 하나인 시스템 플랫폼에서 구현된다. 결함 검출 시스템은 바람직하게는 미국 특허 제 4,983,911호 및 제 5,124,635호 에서 개시된 설명에 따라 평판 디스플레이를 테스트하기 위해 사용되며, 그 개시 내용은 본 명세서에 참조로 포함되며, 바람직하게는 다중 결함 검출 헤드(도시되지 않음)를 사용한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따르면, 결함 검출 시스템(300)은 열 센서 및 선택적으로 광학 센서 및 전기장 센서(도시되지 않음)를 포함하는 다수의 센서를 사용한다. 하나 이상의 센서가 하나 이상의 결함 검출 헤드(도시되지 않음)에 장착된다. 일반적으로, 반드시 그런 것은 아니지만, 열 센서는 다수의 결함 검출 헤드 상에 광학 센서 및/또는 전기장 센서와 함께 장착될 수 있다. 다수의 센서는 바람직하게는 테스트 대상 전기 회로(ECUT)(310)의 상이한 영역을 동시에 볼 수 있다. 일반적으로, ECUT (310)는 평판 디스플레이이지만, 대안 적으로 테스트될 적절한 전기 회로일 수 있다. ECUT (310)는 일반적으로 시험 동안 정지하고, 바람직하게는 다수의 결함 검출 헤드 상에 장착된 센서는 ECUT(310)의 다양한 영역을 테스트하기 위해 ECUT(310)에 대해 이동된다. 바람직하게 그러나 필요 불가결한 경우는 아니지만, ECUT(310)는 테스트 처리량을 향상시키기 위해 동시에 또는 거의 동시에 발생된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 감독 컴퓨터(312)는 다수의 이미지 처리 컴퓨터 (IPC)(314)에 공급되는 이미지 정의 부분 및 패턴 발생기(320)에 공급되는 패턴 정의 부분을 포함하는 습득 플랜을 제공한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따르면, 패턴 발생기(320)는 테스트 대상 전기 회로의 설계에 의해 적어도 부분적으로 결정된 미리 결정된 시간에 ECUT(310)의 미리 결정된 부분을 선택적으로 활성화 하도록 동작한다. 패턴 발생기(320)는 ECUT(310)의 다양한 부분을 다양한 시간에 전기적으로 결합시키는, 하나 이상의 종래의 프로브 어레이(330)를 통해 ECUT-특정 활성화 펄스(ECUT-SEP)를 ECUT(310)로 제공한다. 패턴 발생기(320)는 또한 적어도 하나의 ECUT 테스트 센서의 동작을 ECUT (310)의 일부의 활성화와 동기화하기 위해 ECUT- 특정 외부 동기화 펄스(ECUT-SESP)를 제공한다.
다수의 동기화 발생기(340)는 패턴 발생기(320)로부터 ECUT-SESP 펄스를 수신하고, 도 2 및 도 3을 참조하여 전술한 바와 같이 외부 판독 트리거 펄스(ERTP) 및 관련 판독 표시 펄스(RRIP)를 생성한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따르면, 다수의 외부 동기화 열 센서(350)가 ECUT 테스트 센서로서 사용된다. 광학 센서 및 전기장 센서(도시되지 않음)와 같은 센서가 추가로 사용될 수 있다. 외부 동기화 열 센서(externally synchronized thermal sensors)(350)의 바람직한 실시 예는 독일 Jena의 Jenoptics GmbH로부터 상업적으로 입수 할 수 있는 IR-TCM 카메라로서, 외부 판독 트리거 펄스(ERTP) 및 관련 판독 표시 펄스(RRIP)를 수용한다. 열 센서(350)는 안정성을 유지하기 위해 열 센서(350)에 의해 결정된 적어도 제 1 펄스 주파수, 일반적으로 5-7Hz인 비 -ECUT 특정 주기적 판독 트리거 (NECUTS) 펄스를 필요로 한다.
열 센서(350) 각각은 바람직하게는 ERTP 펄스의 수신과 RRIP 펄스의 수신 사이의 시간 관계에 관한 정보를 기록하고 출력하는 적어도 하나의 레지스터를 포함한다. 보다 구체적으로, 열 센서(350) 각각은 바람직하게는 제 1 및 제 2 레지스터 (360 및 370)를 포함하며, 이들 레지스터는 ERTP 펄스 및 RRIP 펄스의 수신 타이밍을 나타내는 정보를 각각 기록 및 출력한다. 이들 레지스터로부터 다운로드된 메타 데이터는 차동 서모그래피 결함 검출과 관련된 열 이미지 데이터가 차동 서모그래피 결함 검출과 무관 한 열 이미지 데이터로부터 구별될 수 있게 한다.
바람직하게는, 열 센서(350)와 이미지 처리 컴퓨터(314)는 함께 차동 서모그래피 기능을 제공한다. 상기 차동 서모그래피 시스템은 바람직하게는 다수의 동기화 발생기(340)를 포함하고, 이들 각각은 전술한 바와 같이 패턴 발생기(320)로부터 ECUT-SESP 펄스를 수신하고, 그리고 ECUT-SESP 펄스에 기초하여 열 센서(350)의 동작을 패턴 발생기(320) 동작과 동기화 시키도록 동작한다.
차동 서모 그래피를 가능하게 하기 위해, 상기 패턴 발생기는 ECUT-SEP 활성화 펄스 및 상응하는 동기화된 ECUT-SESP 펄스를 제공해야 하며, 이는 ECUT(310)의 주어진 부분의 핫 및 콜드(hot and cold) 상태에 상응하며, 해당 부분의 활성화 및 비 활성화 상태에 대응한다.
이제 본 발명의 또 다른 바람직한 실시 예에 따라 구성되고 동작하는 결함 검출 시스템(500)의 간략화된 블록도, 도 5를 참조한다. 도 5의 결함 검출 시스템은 바람직하게는 미국 캘리포니아 주 산호세에 있는 Orbotech Company의 Photon Dynamics, Inc. 로부터 상업적으로 입수 가능한 Array Checker AC68xx 시스템 계열 중 하나 인 시스템 플랫폼에서 구현된다. 상기 결함 검출 시스템은 바람직하게는 미국 특허 제 4,983,911 호 및 제 5,124,635 호의 발명 명세서 설명에 따라 평판 디스플레이를 테스트하기 위해 사용되며, 그 개시 내용은 본 명세서에 참조로 포함되며, 바람직하게는 다중 결함 검출 헤드(도시되지 않음)를 사용한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따르면, 결함 검출 시스템(500)은 열 센서 및 전압 이미징 광학 시스템(VIOS)과 같은 다른 센서를 포함하는 다수의 상이한 센서를 사용한다. 바람직한 VIOS 센서 시스템은 미국 특허 제 4,983,911 호에 기재되어있다. 상기 센서 중 하나 이상이 하나 이상의 결함 검출 헤드(도시되지 않음)에 장착된다. 일반적으로, 반드시 그런 것은 아니지만, 열 센서는 다수의 결함 검출 헤드 상에 광학 센서 및/또는 전기장 센서와 함께 장착 될 수 있다. VIOS 센서는 단독으로 또는 광학 센서 및/또는 전기장 센서와 함께 장착 될 수 있다.
다수의 센서는 바람직하게는 테스트 대상 전기 회로(ECUT)(510)의 상이한 영역을 동시에 관찰할 수 있다. 일반적으로, ECUT(510)는 평판 디스플레이이지만, 선택적으로 테스트될 임의의 적절한 전기 회로일 수 있다. ECUT(510)는 일반적으로 시험 동안 정지하고, 바람직하게는 다수의 결함 검출 헤드 상에 장착 된 센서는 ECUT (510)의 다양한 영역을 시험하기 위해 ECUT(510)에 대해 이동된다. 바람직하게 그러나 필요 불가결한 경우는 아니지만, ECUT(510)는 테스트 처리량을 향상시키기 위해 동시에 또는 거의 동시에 발생한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 감독 컴퓨터(512)는 다수의 이미지 처리 컴퓨터 (IPC)(514)로 공급되는 이미지 정의 부분 및 패턴 발생기(520)로 공급되는 패턴 정의 부분을 포함하는 습득 플랜을 제공한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따르면, 패턴 발생기(520)는 테스트 대상 전기 회로의 설계에 의해 적어도 부분적으로 미리 결정된 시간에 ECUT(510)의 미리 결정된 부분을 선택적으로 활성화 하도록 동작한다. 패턴 발생기(520)는 ECUT(510)의 다양한 부분을 다양한 시간에 전기적으로 접속시키는 하나 이상의 종래의 프로브 어레이 (530)를 통해 ECUT-특정 활성화 펄스(ECUT-SEP)를 ECUT(510)로 제공한다. 패턴 발생기(520)는 또한 적어도 하나의 ECUT 테스트 센서의 동작을 ECUT(510)의 일부의 활성화와 동기화하기 위해 ECUT 특정 외부 동기화 펄스(ECUT-SESP)를 제공한다.
동기화 발생기(540)는 패턴 발생기(520)로부터 ECUT-SESP 펄스를 수신하고, 도 2 및 도 3을 참조하여 상술한 바와 같이 외부 판독 트리거 펄스(ERTP) 및 관련 판독 표시 펄스(RRIP)를 생성한다.
본 발명의 이 같은 바람직한 실시 예에 따르면, 적어도 하나의 외부 동기화 열 센서(550)가 ECUT 테스트 센서로서 사용된다. 광학 센서 및 전기장 센서(도시되지 않음)와 같은 센서가 추가로 사용될 수 있다. 외부 동기화 열 센서(550)의 바람직한 실시 예는 독일 Jena의 Jenoptics GmbH로부터 상업적으로 판매되는 IR-TCM 카메라이며, 이는 외부 판독 트리거 펄스(ERTP) 및 관련 판독 표시 펄스(RRIP)를 수용한다. 열 센서(550)는 이들 센서의 안정성을 유지하기 위해 열 센서(550)에 의해 결정된 적어도 제 1 펄스 주파수, 일반적으로 5-7Hz인, 비-ECUT 특정 주기적 판독 트리거(NECUTS) 펄스를 필요로 한다.
열 센서(550) 각각은 바람직하게는 ERTP 펄스의 수신과 RRIP 펄스의 수신 사이의 시간 관계에 관한 정보를 기록하고 출력하는 적어도 하나의 레지스터를 포함한다. 보다 구체적으로, 열 센서(550) 각각은 바람직하게는 ERTP 펄스 및 RRIP 펄스의 수신 타이밍을 나타내는 정보를 각각 기록 및 출력하는 제 1 및 제 2 레지스터(560 및 570)를 포함한다. 이들 레지스터로부터 다운로드 된 메타 데이터는 차동 서모그래피 결함 검출과 관련된 서모그래피 데이터와 차동 서모그래피 결함 검출과 무관한 서모그래피 데이터와 구별될 수 있게 한다.
바람직하게, 열 센서(550) 및 이미지 처리 컴퓨터(514)는 함께 차동 서모그래피 기능을 제공한다. 차동 서모그래피 시스템은 바람직하게는 적어도 하나의 동기화 발생기(540)를 포함하며, 이들 각각은 전술한 바와 같이 패턴 발생기(520)로부터 ECUT-SESP 펄스를 수신하고, ECUT-SESP 펄스에 기초하여 열 센서(550)의 동작을 패턴 발생기(520)의 동작과 동기화 시키도록 동작한다.
차동 서모그래피를 가능하게 하기 위해, 패턴 발생기는 ECUT-SEP 활성화 펄스 및 상응하는 동기화된 ECUT-SESP 펄스를 제공해야 하며, 이들 펄스는 ECUT(510)의 주어진 부분에 대한 핫 및 콜드 상태에 대응하며, 활성화 상태(energized states) 및 비 활성화 상태에 대응한다. 이 같은 실시 예에서, 제 2 동기화 발생기(580)는 패턴 발생기(520)로부터 입력을 수신하고 조명 및 카메라 트리거 출력을 전압 이미징 광학 시스템(VIOS)(590)으로 제공하기 위해 제공되며, 이는 미국 특허 제 4,983,911 호에 기술된 바와 같이 작동한다.
이제 본 발명의 또 다른 바람직한 실시 예에 따라 구성되고 동작하는 결함 검출 시스템(600)의 단순화 된 블록도, 도 6을 참조한다. 도 6의 결함 검출 시스템은 바람직하게는 미국 캘리포니아 주 산호세에 있는 Orbotech Company의 Photon Dynamics, Inc.로부터 상업적으로 입수 가능한 Array Checker AC68xx 시스템 계열중 하나인 시스템 플랫폼에서 실현된다. 상기 결함 검출 시스템은 바람직하게는 미국 특허 제 4,983,911 호 및 제 5,124,635 호에서의 설명에 따라 평판 디스플레이를 테스트하기 위해 사용되며, 그 개시 내용은 본 명세서에 참조로 포함되며, 바람직하게는 다중 결함 검출 헤드(도시되지 않음)를 사용한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따르면, 결함 검출 시스템(600)은 열 센서 및 전압 이미징 광학 시스템(VIOS)과 같은 다른 센서를 포함하는 다수의 상이한 센서를 사용한다. 바람직한 VIOS 센서 시스템은 미국 특허 제 4,983,911 호에 기재되어있다. 상기 센서 중 하나 이상이 하나 이상의 결함 검출 헤드(도시되지 않음)에 장착된다. 일반적으로, 반드시 그런 것은 아니지만, 열 센서는 다수의 결함 검출 헤드 상에 광학 센서 및/또는 전기장 센서와 함께 장착 될 수 있다. VIOS 센서는 단독으로 또는 광학 센서 및/또는 전기장 센서와 함께 장착 될 수 있다.
다수의 센서는 바람직하게는 테스트 대상 전기 회로(ECUT)(610)의 상이한 영역을 동시에 관찰할 수 있다. 일반적으로, ECUT(610)는 평판 디스플레이이지만, 선택적으로 테스트될 임의의 적절한 전기 회로일 수 있다. ECUT(610)는 일반적으로 시험 동안 정지하고, 바람직하게는 다수의 결함 검출 헤드 상에 장착 된 센서는 ECUT (610)의 다양한 영역을 시험하기 위해 ECUT(610)에 대해 이동된다. 바람직하게 그러나 필요 불가결한 경우는 아니지만, ECUT(510)는 테스트 처리량을 향상시키기 위해 동시에 또는 거의 동시에 발생한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 감독 컴퓨터(612)는 한 이미지 처리 컴퓨터 (IPC)(614)로 공급되는 이미지 정의 부분 및 패턴 발생기(620)로 공급되는 패턴 정의 부분을 포함하는 습득 플랜(acquisition plan )을 제공한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따르면, 패턴 발생기(620)는 테스트 대상 전기 회로의 설계에 의해 적어도 부분적으로 미리 결정된 시간에 ECUT(610)의 미리 결정된 부분을 선택적으로 활성화 하도록 동작한다. 패턴 발생기(620)는 ECUT(610)의 다양한 부분을 다양한 시간에 전기적으로 접속시키는 하나 이상의 종래의 프로브 어레이 (630)를 통해 ECUT-특정 활성화 펄스(ECUT-SEP)를 ECUT(610)로 제공한다. 패턴 발생기(620)는 또한 적어도 하나의 ECUT 테스트 센서의 동작을 ECUT(610)의 일부의 활성화와 동기화하기 위해 ECUT 특정 외부 동기화 펄스(ECUT-SESP)를 제공한다.
동기화 발생기(640)는 패턴 발생기(620)로부터 ECUT-SESP 펄스를 수신하고, 도 2 및 도 3을 참조하여 상술한 바와 같이 외부 판독 트리거 펄스(ERTP) 및 관련 판독 표시 펄스(RRIP)를 생성한다.
본 발명의 이 같은 바람직한 실시 예에 따르면, 적어도 하나의 외부 동기화 열 센서(650)가 ECUT 테스트 센서로서 사용된다. 광학 센서 및 전기장 센서(도시되지 않음)와 같은 센서가 추가로 사용될 수 있다. 외부 동기화 열 센서(650)의 바람직한 실시 예는 독일 Jena의 Jenoptics GmbH로부터 상업적으로 판매되는 IR-TCM 카메라이며, 이는 외부 판독 트리거 펄스(ERTP) 및 관련 판독 표시 펄스(RRIP)를 수용한다. 열 센서(650)는 이들 센서의 안정성을 유지하기 위해 열 센서(650)에 의해 결정된 적어도 제 1 펄스 주파수, 일반적으로 5-7Hz인, 비-ECUT 특정 주기적 판독 트리거(NECUTS) 펄스를 필요로 한다.
열 센서(650) 각각은 바람직하게는 ERTP 펄스의 수신과 RRIP 펄스의 수신 사이의 시간 관계에 관한 정보를 기록하고 출력하는 적어도 하나의 레지스터를 포함한다. 보다 구체적으로, 열 센서(650) 각각은 바람직하게는 ERTP 펄스 및 RRIP 펄스의 수신 타이밍을 나타내는 정보를 각각 기록 및 출력하는 제 1 및 제 2 레지스터(660 및 670)를 포함한다. 이들 레지스터로부터 다운로드 된 메타 데이터는 차동 서모그래피 결함 검출과 관련된 서모그래피 데이터와 차동 서모그래피 결함 검출과 무관한 서모그래피 데이터와 구별될 수 있게 한다.
바람직하게, 열 센서(650) 및 이미지 처리 컴퓨터(614)는 함께 차동 서모그래피 기능을 제공한다. 차동 서모그래피 시스템은 바람직하게는 적어도 하나의 동기화 발생기(640)를 포함하며, 이들 각각은 전술한 바와 같이 패턴 발생기(620)로부터 ECUT-SESP 펄스를 수신하고, ECUT-SESP 펄스에 기초하여 열 센서(650)의 동작을 패턴 발생기(620)의 동작과 동기화 시키도록 동작한다.
차동 서모그래피를 가능하게 하기 위해, 패턴 발생기는 ECUT-SEP 활성화 펄스 및 상응하는 동기화된 ECUT-SESP 펄스를 제공해야 하며, 이들 펄스는 ECUT(610)의 주어진 부분에 대한 핫 및 콜드 상태에 대응하며, 활성화 상태(energized states) 및 비 활성화 상태에 대응한다. 이 같은 실시 예에서, 동기화 발생기(640)는 추가로 조명 및 카메라 트리거 출력을 전압 이미징 광학 시스템(VIOS)(690)으로 제공하며, 이는 미국 특허 제 4,983,911 호에 기술된 바와 같이 작동한다.
당업자는 본 발명이 앞서 특별히 도시되고 설명된 것으로 제한되지 않는다는 것을 이해할 것이다. 오히려, 본 발명의 범위는 전술한 다양한 특징의 조합 및 하위 조합뿐만 아니라 종래 기술에는 없는 수정 및 변형을 포함한다.

Claims (19)

  1. 테스트 대상 전기 회로에 의해 적어도 부분적으로 미리 결정된 시간에 상기 테스트 대상 전기 회로의 일부를 선택적으로 활성화 시키기 위한 패턴 발생기;
    적어도 하나의 열 센서를 포함하는 다수의 센서; 그리고
    상기 패턴 발생기의 출력을 수신하도록 동작하며 적어도 하나의 열 센서의 동작을 상기 패턴 발생기의 동작과 동기화하기 위해 상기 출력에 기초하는 동기화 발생기를 포함하는, 결함 검출 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 열 센서는 적어도 하나의 레지스터 동작을 포함하여,
    상기 동기화 발생기로부터 수신된 정보를 기록하고; 그리고
    상기 정보의 출력을 제공하도록 함을 특징으로 하는 결함 검출 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서, 이미지 처리 컴퓨터를 또한 포함하여,
    상기 적어도 하나의 열 센서로부터 열 이미지 데이터를 수신하고;
    상기 적어도 하나의 레지스터로부터 상기 정보의 상기 출력을 수신하며; 그리고
    한 열 이미지를 출력하도록 함을 특징으로 하는 결함 검출 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 이미지 처리 컴퓨터는 상기 적어도 하나의 레지스터로부터의 상기 정보에 기초하여,
    상기 열 이미지 데이터 중 어느 것이 결함 검출과 관련이 있는지를 확인하고;
    관련 없는 열 이미지 데이터를 폐기하며; 그리고
    상기 열 이미지를 발생시키기 위해 결함 검출과 관련이 있는 것으로 확인 된 상기 열 이미지 데이터를 이용함에 의해,
    한 열 이미지를 출력하도록 동작하는, 결함 검출 시스템.
  5. 테스트 대상 전기 회로에 의해 적어도 부분적으로 미리 결정된 시간에 상기 테스트 대상 전기 회로의 일부를 선택적으로 활성화 시키기 위한 패턴 발생기;
    적어도 두 개의 열 센서를 포함하는 다수의 센서; 그리고
    상기 패턴 발생기의 출력을 수신하도록 동작하며 적어도 두 개의 열 센서의 동작을 상기 패턴 발생기의 동작과 동기화하기 위해 상기 출력에 기초하는 동기화 발생기를 포함하는, 결함 검출 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 열 센서는 적어도 하나의 레지스터 동작을 포함하여,
    상기 동기화 발생기로부터 수신된 정보를 기록하고; 그리고
    상기 정보의 출력을 제공하도록 함을 특징으로 하는 결함 검출 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서, 이미지 처리 컴퓨터를 또한 포함하여,
    상기 적어도 두 개의 열 센서로부터 열 이미지 데이터를 수신하고;
    상기 적어도 하나의 레지스터로부터 상기 정보의 상기 출력을 수신하며; 그리고
    한 열 이미지를 출력하도록 함을 특징으로 하는 결함 검출 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 이미지 처리 컴퓨터는 상기 적어도 하나의 레지스터로부터의 상기 정보에 기초하여,
    상기 열 이미지 데이터 중 어느 것이 결함 검출과 관련이 있는지를 확인하고;
    관련 없는 열 이미지 데이터를 폐기하며; 그리고
    상기 열 이미지를 발생시키기 위해 결함 검출과 관련이 있는 것으로 확인 된 상기 열 이미지 데이터를 이용함에 의해, 한 열 이미지를 출력하도록 동작하는, 결함 검출 시스템.
  9. 미리 결정된 시간에 테스트 대상 전기 회로(ECUT)의 일부를 선택적으로 활성화 시키고 ECUT 특정 외부 동기화 펄스를 제공하기 위한 패턴 발생기; 그리고
    다음을 포함한 차동 서모그래피 서브 시스템을 포함하는, 결함 검출 시스템:
    제 1 펄스 주파수로 주기적 외부 판독 트리거 펄스를 요구하는 적어도 하나의 열 센서를 포함하는 다수의 센서; 그리고
    동기화 발생기로서,
    상기 적어도 하나의 열 센서를 동작시키기 위해 상기 패턴 발생기로부터 상기 ECUT 특정 외부 동기화 펄스를 수신하고 - 상기 ECUT 특정 외부 동기화 펄스는 상기 미리 결정된 시간과 조정되고 상기 ECUT에 의해 적어도 부분적으로 결정된 제 2 펄스 주파수를 가기며, 상기 제 2 펄스 주파수는 상기 제 1 주파수보다 큼-;
    상기 ECUT- 특정 외부 동기화 펄스가 없을 때 상기 적어도 한 열 센서로 상기 주기적 외부 판독 트리거 펄스를 제공하며; 그리고
    ECUT 특정 외부 판독 트리거 펄스 및 펄스를 나타내는 ECUT 특정 관련 판독을 상기 적어도 한 열 센서로 제공하고, 이에 의해 상기 적어도 하나의 열 센서의 동작을 상기 패턴 발생기의 동작과 동기화함으로써, 상기 ECUT- 특정 외부 판독 펄스가 상기 적어도 하나의 열 센서로 공급 될 때 상기 주기적 외부 판독 트리거 펄스가 상기 적어도 하나의 열 센서에 의해 수신되지 않도록 동작하는 상기 동기화 발생기.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 ECUT 특정 외부 동기화 펄스는 초기 외부 동기화 (IES) 펄스를 포함하며, 상기 동기화 발생기에 의해 수신될 때 상기 동기화 발생기가 대응하는 ECUT 특정 관련 판독 표시(RRIP) 펄스를 상기 적어도 하나의 열 센서로 제공하지만, 대응하는 ECUT 특정 외부 판독 트리거 펄스를 제공하지 않도록 함을 특징으로 하는 결함 검출 시스템.
  11. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 열 센서는 하나의 센서 어레이 및 적어도 하나의 레지스터를 포함하고, 수신된 ECUT 특정 외부 판독 트리거 펄스의 시간에 인접한 시간에 수신된 펄스를 나타내는 ECUT 특정 관련 판독 값에 기초한 메타 데이터를 첨부하기 위해 상기 센서 어레이로부터 센서 어레이 데이터를 판독하는 때 동작할 수 있음을 특징으로 하는 결함 검출 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 열 센서는 상기 센서 어레이로부터 센서 어레이 데이터를 판독 할 때 동작하여, 수신된 ECUT 특정 외부 판독 트리거 펄스 시간 직전의 시간에 수신 된 펄스를 나타내는 ECUT 특정 관련 판독에 기초하여 메타 데이터를 부가하도록 함을 특징으로 하는 결함 검출 시스템.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 레지스터는 상기 ECUT 특정 외부 판독 트리거 펄스를 수신하는 제 1 레지스터 기록 타이밍 및 상기 ECUT 특정 관련 판독 펄스를 수신하는 제 2 레지스터 기록 타이밍을 포함함을 특징으로 하는 결함 검출 시스템.
  14. 제 9 항에 있어서, 상기 ECUT 특정 외부 동기화 펄스는 또한 상기 다수의 센서의 일부를 형성하는 비-열 센서로 공급됨을 특징으로 하는 결함 검출 시스템.
  15. 제 9 항에 있어서, 상기 관련 판독 펄스는 차동 서모그래피 결함 검출과 관련이 없는 판독 정보와 구별되는 차동 서모그래피 결함 검출과 관련된 센서 판독 정보를 식별하는 메타 데이터를 제공함을 특징으로 하는 결함 검출 시스템.
  16. 제 1 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다수의 센서는 테스트 대상 상기 전기 회로의 주어진 부분을 동시에 관찰함을 특징으로 하는 결함 검출 시스템.
  17. 제 1 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다수의 센서는 적어도 하나의 비-열 센서를 포함함을 특징으로 하는 결함 검출 시스템.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 하나 이상의 비-열 센서는 하나 이상의 광학 센서를 포함함을 특징으로 하는 결함 검출 시스템.
  19. 제 17 항 또는 제 18 항에 있어서, 상기 하나 이상의 비-열 센서는 하나 이상의 전기장 센서를 포함함을 특징으로 하는 결함 검출 시스템.
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