JP2015129725A - 微細配線短絡箇所の特定装置、微細配線短絡箇所の修理装置、微細配線短絡箇所の特定方法、及び微細配線短絡箇所の修理方法 - Google Patents

Abstract

【課題】タッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線の短絡箇所を比較的安価に検査可能とする。【解決手段】サーモカメラ部３において、プローブ１７は、タッチセンサ用フィルム５１の表面に形成された第１電極配線７３及び第１引き回し配線７５と、タッチセンサ用フィルム５１の裏面に形成された第２電極配線７７及び第２引き回し配線７９に対して、異なるパターンで電流を供給する。１台のサーモカメラ１９は、タッチセンサ用フィルム５１の表面側に配置され、第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９の温度分布を撮影する。サーモカメラ制御部３９は、サーモカメラ１９からの温度分布情報に基づいて短絡箇所を特定する。【選択図】図５

Description

本発明は、微細配線短絡箇所の特定装置、微細配線短絡箇所の修理装置、微細配線短絡箇所の特定方法、及び微細配線短絡箇所の修理方法に関する。

例えば、基体上に形成された回路パターンのリード部同士のショート不良の有無を検査するために、リード部にプローブを接触させて抵抗値を測定することが行われている。
また、特許文献１に示す回路パターン検査装置では、複数のリード部に電圧を印加しつつ、リード部の赤外線像（サーモグラフィ）を撮像して、その温度分布情報に基づいてリード部のオープン不良及びショート不良を検出している。

特開平６−２５２２２９号公報

一方、タッチセンサは、タッチセンサ用フィルムと、その両面に形成された微細配線（電極と、引き回し配線）とを有している。タッチセンサ用フィルムの微細配線の短絡箇所を特定し切断することは、複数のロール間でタッチセンサ用フィルムを送りながら実行される。
しかし、タッチセンサ用フィルムの両面を特許文献１のように温度分布情報に基づいて検査するためには２台のカメラが必要になり、又は１台のカメラの前にフィルムを反転させて通過させることが必要になり、いずれにしてもコストが高くなってしまい実用的ではない。

本発明の課題は、タッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線の短絡箇所を比較的安価に検査可能とすることにある。

以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。
本発明の一見地に係る微細配線短絡箇所の特定装置は、複数のロール間で送られる複数のタッチセンサの微細配線が両面に形成されたタッチセンサ用フィルムにおいて、微細配線の短絡箇所を特定するための装置である。この装置は、電流供給部と、１台のカメラと、特定部とを備えている。電流供給部は、タッチセンサ用フィルムの表面に形成された微細配線と、タッチセンサ用フィルムの裏面に形成された微細配線に対して、異なるパターンで電流を供給する。１台のカメラは、タッチセンサ用フィルムの片面側に配置され、微細配線の温度分布を撮影する。特定部は、カメラからの温度分布情報に基づいて短絡箇所を特定する。
この装置では、電流供給部がタッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線に対して表裏で異なる通電パターンを供給するので、表側の配線の発熱箇所と裏側の配線の発熱箇所とが重なっていたとしても、特定部は、表側の短絡箇所と裏側の短絡箇所とを判別できる。以上の結果、１台のカメラによって得られる温度分布情報に基づいて、特定部は、タッチセンサ用フィルムの両面の微細配線の短絡箇所を短時間で特定できる。また、カメラの台数が１台であるので、タッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線の短絡箇所を比較的安価に検査できる。
なお、タッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線とは、中央の電極配線と、周辺の引き回し配線とを含む。

電流供給部は、温度ノイズと電流供給による微細配線の発熱とを区別するための温度補償制御ステップを有していてもよい。
この装置では、温度補償制御によって、微細配線に短絡箇所がある場合のショート電流による微細配線の発熱と、短絡箇所周辺の温度ノイズとを区別できる。したがって、特定部は、短時間で正確に短絡箇所を特定できる。

この装置は、特定部によって特定された短絡箇所に関する情報が記憶される記憶部をさらに備えていてもよい。
この装置では、記憶部が短絡箇所に関する情報を記憶しているので、後工程においてこの情報を利用可能になる。
なお、記憶部とは、コンピュータのメモリ、その他何らかの手段で短絡箇所を記憶できるものであればよい。

本発明の他の見地に係る微細配線短絡箇所の修理装置は、上記の微細配線短絡箇所の特定装置と、画像処理装置と、修復装置とを備えている。画像処理装置は、特定部によって特定された短絡箇所を含むタッチセンサ用フィルムの部分的な範囲を画像処理することで、短絡箇所をより正確に特定する。修復装置は、画像処理装置によって特定された短絡箇所を切断することで、短絡箇所を修復する。
この装置では、画像処理装置は、特定装置によって特定された短絡箇所を含むタッチセンサ用フィルムの部分的な範囲を画像処理するだけでよいので、正確な短絡箇所の特定が短時間で終了する。それに対して、タッチセンサ用フィルムの全ての範囲を画像処理して短絡箇所を探索することになれば、短絡箇所の特定に膨大な時間が必要になり、それは実用的ではない。

本発明のさらに他の見地に係る微細配線短絡箇所の特定方法は、複数のロール間で送られる複数のタッチセンサの微細配線が両面に形成されたタッチセンサ用フィルムにおいて、微細配線の短絡箇所を特定するための方法であって、下記のステップを備えている。
◎タッチセンサ用フィルムの表面に形成された微細配線と、タッチセンサ用フィルムの裏面に形成された微細配線とに対して、異なるパターンで電流を供給する電流供給ステップ
◎両面の微細配線の温度分布をタッチセンサ用フィルムの片面側から撮影するステップ
◎温度分布情報に基づいて短絡箇所を特定する特定ステップ
この方法では、電流供給部がタッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線に対して表裏で異なる通電パターンを供給するので、表側の配線の発熱箇所と裏側の配線の発熱箇所とが重なっていたとしても、特定ステップは、表側の短絡箇所と裏側の短絡箇所とを判別できる。以上の結果、１台のカメラによって得られる温度分布情報に基づいて、タッチセンサ用フィルムの両面の微細配線の短絡箇所を短時間で特定できる。また、カメラの台数が１台であるので、タッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線の短絡箇所を比較的安価に検査できる。

電流供給ステップは、温度ノイズと電流供給による微細配線の発熱とを区別するための温度補償制御を行ってもよい。
この方法では、温度補償制御によって、微細配線に短絡箇所がある場合のショート電流による微細配線の発熱と、短絡箇所周辺の温度ノイズとを区別できる。したがって、短時間で正確に短絡箇所を特定できる。

この方法は、特定方法によって特定された短絡箇所に関する情報を記憶部に記憶するステップをさらに備えていてもよい。
この方法では、記憶部が短絡箇所に関する情報を記憶しているので、後工程においてこの情報を利用可能になる。

本発明のさらに他の見地に係る微細配線短絡箇所の修理方法は、下記のステップを備えている。
◎上記の微細配線短絡箇所の特定方法
◎特定ステップによって特定された短絡箇所を含むタッチセンサ用フィルムの部分的な範囲を画像処理することで、短絡箇所をより正確に特定する画像処理ステップ
◎画像処理ステップによって特定された短絡箇所を切断することで、短絡箇所を修復する修復ステップ
この方法では、画像処理ステップは、特定ステップによって特定された短絡箇所を含むタッチセンサ用フィルムの部分的な範囲を画像処理するだけでよいので、正確な短絡箇所の特定が短時間で終了する。それに対して、タッチセンサ用フィルムの全ての範囲を画像処理することになれば、短絡箇所の特定に膨大な時間が必要になり、それは実用的ではない。

本発明によれば、タッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線の短絡箇所を比較的安価に検査できる。

本発明の一実施形態が採用された微細配線短絡箇所の修理装置の概要を説明するための模式図。 タッチセンサ用フィルムの部分平面図。 タッチセンサ用フィルムにおいてタッチセンサ用配線が形成された部分の断面図。 タッチセンサ用フィルムにおいてタッチセンサ用配線が形成された部分の平面図。 修理装置の制御構成を示すブロック構成図。 レーザリペアユニットの概略構成図。 タッチセンサ用フィルムにプローブを接続した状態を示す平面図。 短絡箇所を特定するための制御を示すフローチャート。 加熱と撮影のタイミングチャート。 図７の円Ａの拡大図。 図７の円Ｂの拡大図。 サーモグラフによって観察を行った場合のタッチセンサ用フィルムの平面図。 表面における微細配線と裏面における微細配線の位置関係を示す模式図。 表面の微細配線にだけ電流が供給された状態の温度分布を示す平面図。 裏面の微細配線にだけ電流が供給された状態の温度分布を示す平面図。 短絡箇所を修理するための制御を示すフローチャート。

（１）修理装置の概要説明
図１を用いて、本発明の一実施形態が採用された微細配線短絡箇所の修理装置１の概要を説明する。図１は、本発明の一実施形態が採用された微細配線短絡箇所の修理装置の概要を説明するための模式図である。

図に示すように修理装置１は、ロール巻きフィルム上でリペア工程を行う装置である。具体的には、修理装置１は、ロール間に長尺状のフィルムを送り出しながら、微細配線の短絡箇所を検出し、さらに短絡箇所を切断することで微細配線を修理するための装置である。

修理装置１は、主に、サーモカメラ部３と、レーザリペア部５とを有している。サーモカメラ部３は、温度分布情報に基づいて微細配線の短絡箇所を特定するための装置である。レーザリペア部５は、サーモカメラ部３によって特定された短絡箇所を含む部分的な領域を画像処理することによって短絡箇所を正確に特定し、さらに短絡箇所を切断することで修理を行うための装置である。

修理装置１は、タッチセンサ用フィルム５１を移動するための移動装置を有する。移動装置は、巻出しロール７と、巻取りロール９と、駆動ロール１１と、２個のダンサーロール１３と、複数のフリーロールとを有している。タッチセンサ用フィルム５１は、巻出しロール７から巻き出され、フリーロール及びダンサーロール１３によって向きを変更されながら移動し、最後に巻取りロール９に巻き取られる。サーモカメラ部３とレーザリペア部５は、タッチセンサ用フィルム５１の移動経路に沿って配置されている。駆動ロール１１は、サーモカメラ部３とレーザリペア部５の境界に配置されている。

ダンサーロール１３は、サーモカメラ部３の上流位置とレーザリペア部５の上流位置とにそれぞれ設けられている。ダンサーロール１３は、固定されておらず、重力だけでタッチセンサ用フィルム５１を下に押しつけてテンションをかけるロールである。ダンサーロールによって、サーモカメラ部３とレーザリペア部５それぞれでのタッチセンサ用フィルム５１の送りを自由に行っても、タッチセンサ用フィルム５１にテンションを加え続けることができる。また、サーモカメラ部３とレーザリペア部５それぞれにおけるタッチセンサ用フィルム５１の送りを、他のユニットでの動きを考慮せず行える。

（２）タッチセンサ用フィルムの説明
図２を用いて、タッチセンサ用フィルム５１上のワーク個片の配置を説明する。図２は、タッチセンサ用フィルムの部分平面図である。図に示すように、タッチセンサ用フィルム５１には複数のタッチセンサ用配線５３が形成されている。タッチセンサ用配線５３とは、１台のタッチセンサとなる配線の集合体である。タッチセンサ用配線５３は、フォトリソグラフィによってタッチセンサ用フィルム５１上に形成されている。
この実施形態では、タッチセンサ用配線５３は、タッチセンサ用フィルム５１の幅方向に３個が配置されており、タッチセンサ用フィルム５１の長手方向に多数個が配置されている。タッチセンサ用配線５３は、タッチセンサ用フィルム５１の両側の面に形成されている。タッチセンサ用フィルム５１の表面の幅方向両側には、タッチセンサ用フィルム５１の長手方向に並んだ３個のタッチセンサ用配線５３ごとに、ページの位置基準としてのアライメントマーク５７が形成されている。このアライメントマーク５７によって、３列３行合計９個のタッチセンサ用配線５３の領域を１ページ５５として管理可能になっている。なお、この実施形態では、１ページ５５の領域は、５００ｍｍ×５００ｍｍになっている。

図３及び図４を用いて、各タッチセンサ用配線５３の構成を説明する。図３は、タッチセンサ用フィルムにおいてタッチセンサ用配線が形成された部分の断面図である。図４は、タッチセンサ用フィルムにおいてタッチセンサ用配線が形成された部分の平面図である。図に示すように、タッチセンサ用フィルム５１の表面には第１電極配線７３と第１引き回し配線７５とが形成されている。第１電極配線７３は、図４の中央部分において図４の左右方向に延びる複数の電極である。第１引き回し配線７５は、図の周辺部分において第１電極配線７３の両端から伸びており、複数の端子８１まで延びている配線である。タッチセンサ用フィルム５１の裏面には、第２電極配線７７と第２引き回し配線７９とが形成されている。第２電極配線７７は、図４の中央部分において図４の上下方向に延びる複数の電極である。第２引き回し配線７９は、図４の周辺部分において第２電極配線７７の両端から伸びており、複数の端子（図示せず）まで延びている配線である。以上に述べたように、平面視では、第１電極配線７３と第２電極配線７７が互いに重なった位置に配置され、第１引き回し配線７５と第２引き回し配線７９が互いに重なった位置に配置されている。
なお、第１引き回し配線７５及び第２引き回し配線７９は、例えば、線の幅が１０μｍであり、線間が１０μｍである。したがって、第１引き回し配線７５及び第２引き回し配線７９においては、第１電極配線７３及び第２電極配線７７に比べて、短絡がより生じやすくなっている。

（３）修理装置の詳細説明
図１及び図５を用いて、修理装置１の詳細を説明する。図５は、修理装置の制御構成を示すブロック構成図である。

（３−１）サーモカメラ部
サーモカメラ部３は、２台のアライメントカメラ１５と、プローブ１７（電流供給部の一例）と、１台のサーモカメラ１９（カメラの一例）と有している。２台のアライメントカメラ１５は、タッチセンサ用フィルム５１の表面側の幅方向両側に配置されており、アライメントマーク５７を検出するための装置である。なお、２台のアライメントカメラ１５は、基準側カメラと従属側カメラとから構成されている。プローブ１７は、２台のアライメントカメラ１５より下流側に配置され、タッチセンサ用配線５３の両側の配線に電流を供給するための装置である。

プローブ１７は、タッチセンサ用配線５３の両側の配線に電流を供給するための装置である。プローブ１７は、タッチセンサ用フィルム５１の両側にそれぞれ配置された２台のプローブからなる。図７を用いてプローブ１７を説明する。図７は、タッチセンサ用フィルムにプローブを接続した状態を示す平面図である。表側のプローブ１７は、電源８３と、複数の抵抗器８５と、複数のプローブ端子８７とを有している。電源８３は、タッチセンサ用配線５３に電流を流すための装置である。複数の抵抗器８５は、安全な電流値を保つための部材である。表側のプローブ１７の複数のプローブ端子８７は、第１電極配線７３の片側から延びる第１引き回し配線７５に接続された端子８１にそれぞれ接続可能である。なお、短絡箇所の位置によって電流値が大きく変動しないように、電圧を高くしておき、抵抗値も配線抵抗より十分大きくしておくことが望ましい。
裏側のプローブ１７は表側のプローブ１７と構造及び動作が同じであるので、説明を省略する。なお、裏側のプローブ１７を裏面側の端子（図示せず）に当てて、裏面の配線にも同様に加熱電流を流すと、裏面から熱が表に伝わり、裏側にカメラを配置しなくても表面側からサーモカメラ１９によって観察できる。

１台のサーモカメラ１９は、２台のアライメントカメラ１５より下流側に配置されており、タッチセンサ用フィルム５１の表面に対向して配置されている。サーモカメラ１９は、赤外光サーモグラフィ（熱画像）を得るための装置であり、具体的には、タッチセンサ用配線５３の両側の配線の温度分布を撮像するための装置である。この実施形態では、サーモカメラ１９は、タッチセンサ用フィルム５１の１ページ５５を一度に撮影可能である。ただし、サーモカメラ１９は、タッチセンサ用フィルム５１の１ページ５５の領域を分割して撮影してもよい。

また、サーモカメラ部３は、サーモカメラ制御部３９（特定部の一例）を有している。サーモカメラ制御部３９は、ＣＰＵ，ＲＡＭ，ＲＯＭを有するコンピュータとしての制御機能を有している。サーモカメラ制御部３９は、内部に記憶部４０を有している。
以上の構成によって、サーモカメラ制御部３９は、アライメントカメラ１５の画像を取り込みさらに画像処理することができ、プローブ１７に駆動指令及び通電指令を送信することができ、さらにサーモカメラ１９の画像を取り込んで画像処理することができる。より具体的には、サーモカメラ制御部３９は、サーモカメラ１９からの温度分布情報に基づいて、微細配線の短絡箇所を特定できる。なお、サーモカメラ１９が熱感知可能な電流の最小値は、タッチセンサ用配線５３の電流の最大許容値より十分に小さいことが必要である。
サーモカメラ制御部３９の他の機能については後述する。

（３−２）レーザリペア部
レーザリペア部５は、サーモカメラ部３の下流側に配置されている。レーザリペア部５は、２台のアライメントカメラ２１と、２台のレーザリペアユニット２３、２５とを有している。２台のアライメントカメラ２１は、タッチセンサ用フィルム５１の表面側の幅方向両側に配置されており、アライメントマーク５７を検出するための装置である。２台のレーザリペアユニット２３、２５は、２台のアライメントカメラ２１の下流側に配置され、タッチセンサ用フィルム５１に対して異なる主面の側に配置されている。

図６を用いて、レーザリペアユニット２３、２５について詳細に説明する。図６は、レーザリペアユニットの概略構成図である。
レーザリペアユニット２３、２５は、短絡箇所の周辺を撮影するとともに、短絡箇所を切断するための装置である。レーザリペアユニット２３、２５は、Ｙ軸スライドガイド６１と、Ｘ軸スライドガイド６３と、スライダユニット６５と、レーザノズル６７（修復部の一例）と、位置探査カメラ６９と、スライダ駆動部９５（図５）とを有している。Ｙ軸スライドガイド６１は上下方向に延びる２本のガイドであり、Ｘ軸スライドガイド６３はＹ軸スライドガイド６１に対して上下方向に移動可能になっている。Ｘ軸スライドガイド６３は左右方向に延びており、スライダユニット６５はＸ軸スライドガイド６３に対して左右方向に移動可能になっている。レーザノズル６７と、位置探査カメラ６９は、スライダユニット６５に搭載され、タッチセンサ用フィルム５１側を向いている。スライダ駆動部９５は、Ｘ軸スライドガイド６３及びスライダユニット６５を駆動する。これにより、レーザノズル６７と位置探査カメラ６９は、タッチセンサ用フィルム５１の１ページ５５の中のさらに部分的な箇所の正面側に移動して、その位置でそれぞれ画像撮影とレーザ切断を実行できる。

また、レーザリペア部５は、図５に示すように、レーザリペア制御部４１（画像処理装置の一例）を有している。レーザリペア制御部４１は、ＣＰＵ，ＲＡＭ，ＲＯＭを有するコンピュータとしての制御機能を有している。サーモカメラ制御部３９は、内部に記憶部４０を有している。
以上の構成により、レーザリペア制御部４１は、アライメントカメラ２１の画像を取り込んで画像処理することができ、スライダ駆動部９５に駆動指令を送信することができ、位置探査カメラ６９からの画像を取り込んで画像処理することができ、さらにレーザノズル６７にレーザ駆動指令を送信できる。レーザリペア制御部４１の他の機能については後述する。

（３−３）その他の構成
修理装置１は、図５に示すように、ロール制御部３５と、ロール駆動部３７とを有している。ロール制御部３５は、ＣＰＵ，ＲＡＭ，ＲＯＭを有するコンピュータとしての制御機能を有している。ロール駆動部３７は、モータ及び動力伝達装置からなり、駆動ロール１１を駆動可能である。

修理装置１は、さらに、図５に示すように、制御部３１を有している。制御部３１は、ロール制御部３５、サーモカメラ制御部３９、及びレーザリペア制御部４１の上位のコントローラである。制御部３１は、ＣＰＵ，ＲＡＭ，ＲＯＭを有するコンピュータとしての制御機能を有している。制御部３１は、内部に記憶部３３を有している。制御部３１は、ロール制御部３５、サーモカメラ制御部３９、及びレーザリペア制御部４１と交信可能である。また、ロール制御部３５、サーモカメラ制御部３９、及びレーザリペア制御部４１は互いに交信可能でもよい。
また、ロール制御部３５、サーモカメラ制御部３９、レーザリペア制御部４１及び制御部３１は、１つのＣＰＵ及びそこで実行されるプログラムであってもよい。

（４）動作手順
以下、微細配線短絡箇所の修理装置１の動作手順を説明する。
（４−１）準備作業
最初に、使用者は、手作業でタッチセンサ用フィルム５１を巻出しロール７から巻取りロール９に引き回す。なお、最初に引き出されるフィルムは、通常はリードフィルムと呼ばれ、製品加工されていない部分が使用される。
次に、使用者は、手動操作によって、タッチセンサ用フィルム５１の１ページ目のアライメントマーク５７がアライメントカメラ１５より少し上流側に位置するところまで送り出す。
次に、使用者は、自動起動スイッチを押す。これにより、以後は、制御部３１、ロール制御部３５、サーモカメラ制御部３９、及びレーザリペア制御部４１による修理装置１の自動制御が行われる。

（４−２）サーモカメラ動作
ロール制御部３５が、ロール駆動部３７を介して駆動ロール１１を回転させる。そして、基準側のアライメントカメラ１５がタッチセンサ用フィルム５１のアライメントマーク５７を視野中心に捉えた位置で、ロール制御部３５がロール駆動部３７を介して駆動ロール１１を停止する。その結果、上記の位置で、タッチセンサ用フィルム５１が停止させられる。また、従属側のアライメントカメラ１５が、タッチセンサ用フィルム５１が停止した位置でのアライメントマーク５７の位置を読み取る。そして、基準のアライメントマーク５７の位置と従属のアライメントマーク５７の位置とに基づいて、制御部において、タッチセンサ用フィルム５１のθ方向のずれが補正される。

以下、図８を用いて、サーモカメラ制御部３９による制御動作を説明する。図８は、短絡箇所を特定するための制御を示すフローチャートである。なお、このフローチャートにおける各ステップは同時に又は一部重なって実行されてもよい。
サーモカメラ制御部３９は、タッチセンサ用フィルム５１が所定位置に停止するのを待つ（図８のステップＳ１）。
タッチセンサ用フィルム５１が所定位置に停止すれば、サーモカメラ制御部３９が、両側のプローブ１７をタッチセンサ用フィルム５１側に接近させ、プローブ１７をタッチセンサ用配線５３の両側の端子（例えば、表側の端子８１）に接触させて電流供給を行い（図８のステップＳ２）、次にサーモカメラ１９によってタッチセンサ用フィルム５１の表面と裏面の撮影を行う（図８のステップＳ３）。
また、このとき、タッチセンサ用フィルム５１の１ページ５５内において検査されるタッチセンサ用配線５３の数は、単数であっても複数であってもよい。

以下、図９を用いて、ステップＳ２の電流供給動作とステップＳ３の撮影動作を詳細に説明する。この制御動作は、以下の２種類の制御を含んでいる。
・表側の配線と裏側の配線と電流供給のパターンを異ならせることで表側の熱画像と裏側の熱画像とを判別可能とする制御。
・微細配線に短絡箇所がある場合のショート電流による微細配線の発熱と、短絡箇所周辺の温度ノイズとを区別するための温度補償制御。この制御が必要な理由は、実際のサーモグラフ画像では、温度の高いもの、例えばカメラ自体がワークに写り込んだりしてノイズとなるからである。
なお、図９は、加熱と撮影のタイミングチャートである。
最初に、サーモカメラ制御部３９が、サーモカメラ１９によって加熱前のリファレンス撮影を行い、その撮影画像を取り込む。この画像を、画像Ｎｏ．０とする。

撮影直後に、サーモカメラ制御部３９は、通電指令を送信することで表面側のプローブ１７によって第１電極配線７３と第１引き回し配線７５に加熱電流を送るとともに、同期させてサーモカメラ１９による表面撮影を行い、その画像を取り込む。この画像を画像Ｎｏ．１とする。

表面の加熱された部分の温度が降下するまで待機し、次は、サーモカメラ制御部３９は、通電指令を送信することで裏面側のプローブ１７によって第２電極配線７７と第２引き回し配線７９に加熱電流を送るとともに、同期させてサーモカメラ１９による裏面撮影を行い、その画像を取り込む。この画像を画像Ｎｏ．２とする。
なお、上記の待機時間は、熱的な環境の変わらない短時間である必要があり、例えば０．１秒〜１秒程度である。

サーモカメラ制御部３９は、画像Ｎｏ．１、画像Ｎｏ２それぞれから画像Ｎｏ．０を減算する画像処理を行う。このことにより、画像Ｎｏ．１と画像Ｎｏ．２から、加熱パルス電流以外の影響で発生した環境の熱ノイズが除去される。
サーモカメラ制御部３９は、ノイズ除去された画像Ｎｏ．１、画像Ｎｏ．２から、表面、裏面それぞれの短絡箇所の位置を読み取る（図８のステップＳ４）。

サーモカメラ制御部３９は、短絡箇所の位置情報を記憶部４０に記憶する（図８のステップ５）。また、サーモカメラ制御部３９は、短絡箇所の位置情報を制御部３１に送信して、制御部３１が短絡箇所の位置情報を記憶部３３に記憶してもよい。また、短絡箇所の位置情報は、レーザリペア制御部４１の記憶部４２に記憶されてもよい。
サーモカメラ制御部３９は、タッチセンサ用フィルム５１の１ページ５５内における全ての配線を探索したか否かを判断し（図８のステップＳ６）、「Ｙｅｓ」であれば処理を終了し、「Ｎｏ」であればステップＳ２に戻る。

この装置では、上記のように、プローブ１７がタッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された微細配線に対して表裏で異なる通電パターンを供給する（具体的には、加熱電流をパルス電流とし、電流を流す信号に同期させてサーモカメラ１９による撮影を行い、かつ、表面の撮影時刻と裏面の撮影時刻に時間差を設ける）ので、表側の配線の発熱箇所と裏側の配線の発熱箇所とが重なっていたとしても、サーモカメラ制御部３９は、表側の短絡箇所と裏側の短絡箇所とを判別できる。以上の結果、１台のサーモカメラ１９によって得られる温度分布情報に基づいて、サーモカメラ制御部３９は、タッチセンサ用フィルム５１の両面の微細配線の短絡箇所を短時間で特定できる。また、サーモカメラ１９の台数が１台であるので、タッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された微細配線の短絡箇所を比較的安価に検査できる。

この装置では、上記のように温度補償制御を行うことよって、微細配線に短絡箇所がある場合のショート電流による微細配線の発熱と、短絡箇所周辺の温度ノイズとを区別できる。したがって、サーモカメラ制御部３９は、短時間で正確に短絡箇所を特定できる。なお、温度補償制御は必ずしも行わなくてもよい。

以下、図７、図１０〜図１２を用いて、図８のステップＳ４におけるサーモグラフィによる短絡箇所の探索を具体的に説明する。図１０は、図７の円Ａの拡大図である。図１１は、図７の円Ｂの拡大図である。図１２は、サーモグラフによって観察を行った場合のタッチセンサ用フィルムの平面図である。
図７において、回路に短絡箇所がなければ、プローブ１７を当てられた各回路は独立しているので電流は流れない。しかし、短絡箇所があればそこを通じて電流が流れる。

例えば、図７の円Ａ及び円Ｂに短絡箇所が発生していたとする。図１０に示すように，円Ａの箇所では、第１引き回し配線７５間に短絡箇所１０１が形成されている。また、図１１に示すように、円Ｂの箇所では、第１電極配線７３間に短絡箇所１０３が形成されている。
サーモカメラ制御部３９が読み取った画像は、図１２のようになる。したがって、高い温度部分の終点部分に短絡箇所があることが分かる。

図１３〜図１５を用いて、図９のタイミングチャートで示したように表側と裏側とで通電パターンを変更した場合のメリットを説明する。図１３は、表面における微細配線と裏面における微細配線の位置関係を示す模式図である。図１４は、表面の微細配線にだけ電流が供給された状態の温度分布を示す平面図である。図１５は、裏面の微細配線にだけ電流が供給された状態の温度分布を示す平面図である。

図１３に示すように、表側の微細配線１０５と裏側の微細配線１０７とが平面視で重なった位置に配置されている場合は、両側の配線に短絡箇所があれば、表側の発熱部分と裏側の発熱部分が重なってしまう。そして、その場合は、いずれの側の配線が短絡しているのかを判別することが困難である。しかし、例えば上述のように、表面加熱・撮影時刻と裏面加熱・撮影時刻とをずらせば、表側の配線の発熱箇所と裏側の配線の発熱箇所とが重なっていたとしても、サーモカメラ制御部３９は、表側の短絡箇所と裏側の短絡箇所とを判別できる。以上の結果、１台のサーモカメラ１９によって得られる温度分布情報に基づいて、サーモカメラ制御部３９は、タッチセンサ用フィルム５１の両面の微細配線の短絡箇所を短時間で特定できる。例えば、図１４では、表面の微細配線にだけ電流が供給された状態であり、したがって表側の微細配線１０５における短絡箇所１０９に関連する配線が発熱している。また、図１５では、裏面の微細配線にだけ電流が供給された状態であり、裏側の微細配線１０７の短絡箇所１１１に関連する配線が発熱している。
以上の結果、表側の熱画像と裏側の熱画像が平面視で重なる位置にあったとしても、サーモカメラ制御部３９は、表側の熱画像と裏側の熱画像とを区別でき、その結果、表側の短絡箇所と裏側の短絡箇所を正確に判断できる。

（４−３）レーザリペア部
タッチセンサ用フィルム５１がレーザリペア部５に送り込まれてきたら、アライメントカメラ２１を用いてサーモカメラ部３で行ったのと同じ手順でフィルムの位置を固定し、θ方向のずれ量が読み取られる。

図１６を用いて、レーザリペア制御部４１によるレーザリペアユニット２３とレーザリペアユニット２５の制御動作を説明する。図１６は、短絡箇所を修理するための制御を示すフローチャートである。なお、このフローチャートにおける各ステップは同時に又は一部重なって実行されてもよい。
レーザリペア制御部４１は、タッチセンサ用フィルム５１が所定位置に停止するのを待つ（図１６のステップＳ１１）。
レーザリペア制御部４１は、例えばサーモカメラ制御部３９の記憶部４０から、短絡箇所の位置データを読み出す（図１６のステップＳ１２）。

レーザリペア制御部４１は、サーモカメラ部３によって得られた短絡箇所の位置データと、レーザリペア部５でのθ方向のずれ量を基に、スライダ駆動部９５を介してＹ軸スライドガイド６１とＸ軸スライドガイド６３によって、スライダユニット６５とともにレーザノズル６７及び位置探査カメラ６９を短絡箇所位置の正面付近に移動させる（図１６のステップＳ１３）。
なお、短絡箇所の位置データは、サーモカメラ制御部３９の記憶部４０から読み出されてもよいし、制御部３１の記憶部３３から読み出されてもよいし、レーザリペア制御部４１の記憶部４２から読み出されてもよい。

また、サーモカメラ１９からの短絡箇所の位置データにはＸＹ方向それぞれに１〜２ｍｍ程度の誤差がある。そこで、位置探査カメラ６９によって誤差範囲内（例えば、３ｍｍ×３ｍｍの領域）を撮影しさらにレーザリペア制御部４１が画像処理することで（可視光画像処理）、レーザリペア制御部４１は、短絡箇所の正確な位置と形状を得る（図１６のステップＳ１４）。このように、位置探査カメラ６９はタッチセンサ用フィルム５１の１ページ５５全体（例えば５００ｍｍ×５００ｍｍの領域）全てを探索するのではなく、スポット１点に移動して撮影を行えばよいので、移動時間及びその後の画像処理の時間が極端に短くなる。
レーザリペア制御部４１は、レーザノズル６７を駆動することで、レーザによって短絡箇所を切断する（図１６のステップＳ１５）。

レーザリペア制御部４１は、タッチセンサ用フィルム５１の１ページ５５内における全ての短絡を切断したか否かを判断し（図１６のステップＳ１６）、「Ｙｅｓ」であれば処理を終了し、「Ｎｏ」であればステップＳ１２に戻る。すなわち、短絡箇所が複数ある場合は、以上の動作が繰り返される。
以上の動作は、レーザリペアユニット２３とレーザリペアユニット２５によってタッチセンサ用フィルム５１の両面で個別同時に行うことができる。

短絡箇所の位置データ及び形状データを基に、レーザリペア制御部４１が、レーザ駆動指令を送信することで、レーザノズル６７にレーザを照射させる。その結果、レーザが短絡箇所を焼切り、それにより短絡状態が解消される。

（５）実施形態の特徴
（Ａ）サーモカメラ部３（微細配線短絡箇所の特定装置の一例）は、複数のロール間で送られる複数のタッチセンサの第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９（微細配線の一例）が両面に形成されたタッチセンサ用フィルム５１（タッチセンサ用フィルムの一例）において第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９の短絡箇所を特定するための装置である。この装置は、プローブ１７（電流供給部の一例）と、１台のサーモカメラ１９（カメラの一例）と、サーモカメラ制御部３９（特定部の一例）とを備えている。プローブ１７は、タッチセンサ用フィルム５１の表面に形成された第１電極配線７３及び第１引き回し配線７５と、タッチセンサ用フィルム５１の裏面に形成された第２電極配線７７及び第２引き回し配線７９に対して、異なるパターンで電流を供給する。１台のサーモカメラ１９は、タッチセンサ用フィルム５１の表面側に配置され、第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９の温度分布を撮影する。サーモカメラ制御部３９は、サーモカメラ１９からのサーモグラフィ（温度分布情報の一例）に基づいて短絡箇所を特定する。
この装置では、プローブ１７がタッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９に対して表裏で異なる通電パターンを供給するので、表側の配線の発熱箇所と裏側の配線の発熱箇所とが重なっていたとしても、サーモカメラ制御部３９は、表側の短絡箇所と裏側の短絡箇所とを判別できる。以上の結果、１台のサーモカメラ１９によって得られるサーモグラフィに基づいて、サーモカメラ制御部３９は、タッチセンサ用フィルム５１の両面の第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９の短絡箇所を短時間で特定できる。また、サーモカメラ１９の台数が１台であるので、タッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９の短絡箇所を比較的安価に検査できる。

（Ｂ）微細配線短絡箇所の特定方法は、複数のロール間で送られる複数のタッチセンサの第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９（微細配線の一例）が両面に形成されたタッチセンサ用フィルム５１（タッチセンサ用フィルムの一例）において、第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９の短絡箇所を特定するための方法であって、下記のステップを備えている。
◎図９のタイミングチャートに示すように、プローブ１７が、タッチセンサ用フィルム５１の表面に形成された第１電極配線７３及び第１引き回し配線７５と、タッチセンサ用フィルム５１の裏面に形成された第２電極配線７７及び第２引き回し配線７９に対して、異なるパターンで電流を供給する電流供給ステップ（図８のステップＳ２）
◎図１のサーモカメラ１９によって、両面の微細配線の温度分布をタッチセンサ用フィルム５１の主面側から撮影するステップ（図８のステップＳ３）
◎図５のサーモカメラ制御部３９によって、図１１に示す熱画像に基づいて短絡箇所Ａ、Ｂを特定する特定ステップ（図８のステップＳ４）
この方法では、タッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された微細配線に対して表裏で異なる通電パターンを供給されるので、表側の配線の発熱箇所と裏側の配線の発熱箇所とが重なっていたとしても、特定ステップは、表側の短絡箇所と裏側の短絡箇所とを判別できる。以上の結果、１台のサーモカメラ１９によって得られる熱画像に基づいて、タッチセンサ用フィルム５１の両面の微細配線の短絡箇所を短時間で特定できる。また、サーモカメラ１９の台数が１台であるので、タッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された微細配線の短絡箇所を比較的安価に検査できる。

（６）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。

（ａ）前記実施形態では、タッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された微細配線に対して表裏で異なる通電パターンを供給する方法として、加熱電流をパルス電流として、さらに表面加熱・撮影時刻と裏面加熱・撮影時刻とをずらしていた。しかし、タッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された微細配線に対して表裏で異なる通電パターンを供給する方法は、前記実施形態に限定されない。
例えば、表側のプローブ１７から配線に供給する電流の周波数と、裏側のプローブ１７から配線に供給する電流の周波数を変更してもよい。その場合は、例えば表側の配線の発熱が第１の周期で行われ、裏側の配線の発熱が第２の周期で行われるので、サーモカメラ制御部３９は、画像処理によって各発熱を区別して異なる熱画像として認識できる。
別の方法として、表側のプローブ１７から加熱電流パルスを出すパターンと、裏側のプローブ１７から加熱電流パルスを出すパターンとを異ならせてもよい。その場合は、各プローブ１７から、例えばモールス信号のように異なる長さの信号が出力される。

（ｂ）環境の熱ノイズを防止するための他の手段としては、プローブが微細配線に与える電流を、直流ではなく、０．１Ｈｚ〜１０Ｈｚ程度の交流とし、所望の熱画像（赤外光サーモグラフィ）をフリッカさせてもよい。また、プローブが配線に与える電流を、単なる交流ではなく直流以外の何らかの変調を加えた信号電流としてもよい。その場合、制御部による画像処理によって、フリッカする信号だけを残すことで、ノイズが除去された画像が得られる。

（ｃ）前記実施形態ではサーモカメラ部とレーザリペア部が連続して動作するように１台の装置に組み込まれていたが、サーモカメラ部は単独で用いられてもよい。その場合、短絡箇所の情報は、例えば制御部の記憶部に記憶されて後に利用可能な状態で保持されている必要がある。

（ｄ）タッチセンサ用配線の形状、位置、個数は前記実施形態に限定されない。

本発明は、微細配線短絡箇所の特定装置、微細配線短絡箇所の修理装置、微細配線短絡箇所の特定方法、及び微細配線短絡箇所の修理方法に広く適用できる。

１ 微細配線短絡箇所の修理装置
３ サーモカメラ部
５ レーザリペア部
１７ プローブ
１９ サーモカメラ
３３ 記憶部
３９ サーモカメラ制御部
４０ 記憶部

Claims (8)

1. 複数のロール間で送られる複数のタッチセンサの微細配線が両面に形成されたタッチセンサ用フィルムにおいて、微細配線の短絡箇所を特定するための装置であって、
   前記タッチセンサ用フィルムの表面に形成された前記微細配線と、前記タッチセンサ用フィルムの裏面に形成された前記微細配線に対して、異なるパターンで電流を供給する電流供給部と、
   前記タッチセンサ用フィルムの片面側に配置され、前記微細配線の温度分布を撮影するための１台のカメラと、
   前記カメラからの温度分布情報に基づいて前記短絡箇所を特定する特定部と、
   を備えている、微細配線短絡箇所の特定装置。
2. 前記電流供給部は、温度ノイズと電流供給による前記微細配線の発熱とを区別するための温度補償制御を行う、請求項１に記載の微細配線短絡箇所の特定装置。
3. 前記特定部によって特定された前記短絡箇所に関する情報が記憶される記憶部をさらに備えている、請求項１又は２に記載の微細配線短絡箇所の特定装置。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載の前記微細配線短絡箇所の特定装置と、
   前記特定装置によって特定された前記短絡箇所を含む前記タッチセンサ用フィルムの部分的な範囲を画像処理することで、前記短絡箇所をより正確に特定する画像処理装置と、
   前記画像処理装置によって特定された前記短絡箇所を切断することで、前記短絡箇所を修復する修復装置と、
   を備えた微細配線短絡箇所の修理装置。
5. 複数のロール間で送られる複数のタッチセンサの微細配線が両面に形成されたタッチセンサ用フィルムにおいて、微細配線の短絡箇所を特定するための方法であって、
   前記タッチセンサ用フィルムの表面に形成された前記微細配線と、前記タッチセンサ用フィルムの裏面に形成された前記微細配線に対して、異なるパターンで電流を供給する電流供給ステップと、
   前記両面の前記微細配線の温度分布を前記タッチセンサ用フィルムの片面側から撮影するステップと、
   温度分布情報に基づいて前記短絡箇所を特定する特定ステップと、
   を備えた微細配線短絡箇所の特定方法。
6. 前記電流供給ステップは、温度ノイズと前記電流供給による前記微細配線の発熱とを区別するための温度補償制御を行うステップを有する、請求項５に記載の微細配線短絡箇所の特定方法。
7. 前記特定ステップによって特定された前記短絡箇所に関する情報を記憶部に記憶するステップをさらに備えている、請求項５又は６に記載の微細配線短絡箇所の特定方法。
8. 請求項５〜７のいずれかに記載の前記微細配線短絡箇所の特定方法と、
   前記特定方法によって特定された前記短絡箇所を含む前記タッチセンサ用フィルムの部分的な範囲を画像処理することで、前記短絡箇所をより正確に特定する画像処理ステップと、
   前記画像処理ステップによって特定された前記短絡箇所を切断することで、前記短絡箇所を修復する修復ステップと、
   を備えた微細配線短絡箇所の修理方法。
   

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