JP2013153063A - 液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レジスト液をスピンチャック20上のウエハW上に展開しやすくするために、PGMEA等の溶剤を前もってウエハW上に塗布する。塗布する前に、溶剤供給源42から供出した溶剤を一旦蒸留タンク51に貯蔵した上で、溶剤を加熱部53で加熱し溶剤を気化させ、気化した溶剤を冷却器60にて冷却することで蒸留による精製を行い、溶剤中のパーティクルを除去する。精製した溶剤は貯溜タンク71に一旦貯留した上で、溶剤供給路74からスピンチャック20上の溶剤ノズル40へと供給する。そして溶剤ノズル40からウエハWへと、溶剤の吐出を行い、溶剤をウエハWに塗布する。また、蒸留タンク51を定期的に洗浄することで、溶剤中のパーティクル濃度の上昇を抑える。
【選択図】図2
Description
基板保持部に水平に保持された基板に対して、処理液供給源から処理液ノズルを介して処理液を供給して液処理を行う装置において、
前記処理液供給源から供給された処理液を気化して蒸気を得るための気化部と、
前記気化部から得られた処理液の蒸気を冷却して液化するための冷却部と、
前記冷却部の冷却により得られた処理液を貯溜する貯溜タンクと、
前記貯溜タンク内の処理液を前記処理液ノズルに送り出すための送液機構と、を備えたことを特徴とする。
前記処理液供給源から供給された処理液を気化部により気化して蒸気を得る工程と、
前記気化部と貯溜タンクとの間の流路に設けられた冷却部により前記蒸気を冷却して液化し、処理液を得る工程と、
前記冷却部の冷却により得られた処理液を前記貯溜タンクに貯溜する工程と、
前記貯溜タンク内の処理液を、基板保持部に水平に保持された基板に対して、処理液ノズルを介して供給して液処理を行う工程と、を含むことを特徴とする。
前記処理液供給源から供給された処理液に対して、前記液処理方法を行う装置に用いられるコンピュータプログラムが記録された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、既述の方法を行うように構成されていることを特徴とする。
先ずレジスト塗布装置の全体構成について簡単に述べると、レジスト塗布装置は、図1に示すように基板であるウエハWを水平に保持するためのスピンチャック20及びカップ体23を含むカップモジュールと、ウエハWに溶剤及びレジスト液を夫々供給するための溶剤ノズル40及びレジストノズル30とを備えている。カップモジュールは、ウエハWから振り切られた溶剤等を受け止め、下部の排液路26aから排出すると共に、下部の排気路25aから排気してミストが処理雰囲気に飛散しないように構成されている。
溶剤供給路74には、上流側から送液機構を構成する送液ポンプ75、バルブ76及び流量計77が設けられ、先端側に溶剤ノズル40が接続されている。
そして精製溶剤がウエハ連続処理に当たり十分な量、貯溜タンク71へと貯溜されたところで、ウエハWに対して、精製後の溶剤を塗布する段階へと移る。
また精製後溶剤は蒸留後において処理に必要な量が専用のタンク内に確保される。よって、精製後溶剤を安定してウエハ表面に供給することができるので、プリウェット処理にあたり、パーティクルの量を抑制した溶剤でウエハ表面を継続的に処理することができる。
続いて、第1の実施形態の液処理装置における溶剤供給装置4の変形例について説明する。なお、前述の実施形態の各部位に相当する部位には同じ符号を付し、説明を省略する。
図3に示す構成例では、前述の実施形態で用いた送液ポンプ75を省いた構成となっている。ウエハWに対して溶剤の供出を行わないときは、バルブ77を閉じた上で、キャリアガスはキャリアガス供給源61から冷却器60の内管62、回収管73を経て、貯溜タンク71からガスバルブ85を介し外部へと排出する。ウエハWに対して溶剤を吐出する場合、ガスバルブ85を閉じた上で、バルブ77を開き、キャリアガス排出と共に溶剤ノズル40からウエハWに溶剤を吐出する。
即ち、この例は、溶剤をノズル40に送り出す送液機構としてのポンプの代わりに、キャリアガスの供給機構を用いた構成であり、キャリアガスの吐出圧を、バルブ74における溶剤の送液のために利用している。
図4に示す構成例では、キャリアガスの吸排気装置の代替として、貯溜タンク71にガスバルブ85を介して減圧機構(吸引機構)である減圧ポンプ86を接続している。また蒸留タンク51及び貯溜タンク71は真空断熱タンクとして構成されている。そして蒸留時にはバルブ44を閉じ、気相空間を閉鎖系とした上で、減圧ポンプ86を稼働させ、加熱部53にて蒸留タンク51の溶剤を加熱する。この時、系内の圧力が低下しているので、溶剤の沸点も低下する。ウエハWに対して溶剤を吐出する場合は、送液ポンプ75と吐出バルブ76とで溶剤の制御を行う。
この変形例では、溶剤の沸点が低下しているので、溶剤を加熱する加熱部53の出力を低下させることができ、省エネルギーが可能であることに加え、収率の向上も期待できる。
図5に示す構成例では、キャリアガスの吸排気装置の代替として、ガスバルブ82とガスバルブ85との間に循環ポンプ87を接続し、蒸留時にはバルブ44及び吐出バルブ76を閉じることで、蒸留タンク51から冷却器60を経て貯溜タンク71、ガスバルブ85、循環ポンプ87、ガスバルブ82、そして蒸留タンク51へと内気が循環する循環系を形成する。ウエハWに対して溶剤を吐出する場合は、吐出バルブ76を開放状態とし、送液ポンプ75を駆動する。
この変形例では冷却器60において液化されなかった溶剤蒸気を、再び蒸留タンク51へと還流させることができるため、精製後の溶剤の回収効率が高くなる。
図6に示す構成例では、蒸留タンク51内における気相部位に、蒸留タンク51の横断面に適合した大きさに成形されたメッシュ状のあるいは多孔質のフィルタ91を設置する。このフィルタ91により、溶剤の突沸などで液面が不安定な状態になったときに、パーティクルを含んだ液塊やミスト状の溶剤が回収管61に混入することを防止する。フィルタ91の枚数は1枚でもよいが、複数枚を併用してもよい。またフィルタの材質としては例えばフッ素添加カーボン樹脂(商品名:テフロン(登録商標))を用いることが出来る。
このフィルタ91は、前述の実施形態あるいは各変形例と組み合わせてもよい。
図7に示す構成例では、気化部として蒸留タンク51を用いる代わりに気化器57を用いる。
気化器57は、扁平な円筒状の筐体と、この筐体内に横向きに設置された揮発用部材92と、この揮発用部材92を加熱する加熱部53とを備え、筐体の上面には、回収管61の上流端が接続されると共に、キャリアガス導入ポート83を介してキャリアガス供給路が接続されている。揮発用部材92は表面が溶剤の揮発面として形成されると共に、例えば中央部に配管42aの下流端の流出口が接続され、この流出口から揮発面に溶剤が供給されるように構成されている。
揮発面の一例としては、例えば中央部から放射状に伸びる細い溝が多数形成されているて、流出口からの溶剤が毛細管現象により揮発面全体に広がるように構成された構造を挙げることができる。また、揮発用部材92としては、例えば多孔質体を用いると共に前記流出口をこの多孔質体内に開口させ、流出口からの溶剤が多孔質体内に吸収され、多孔質体の上面(揮発面)から揮発する構成としてもよい。
このような例においては、加熱部53により揮発用部材92に保持された溶剤が加熱されて、溶剤蒸気がキャリアガスと共に回収管61へと送り込まれていく。当構成例では、キャリアガス機構により系内にキャリアガスを流しているが、変形例2の真空吸引による気体制御機構を用いて系内の圧力を調整してもよい。
溶剤は揮発用部材92へ供給され、連続的に気化されるので、気化器57にはマクロ的に見ると液層がない状態である。そのため、液塊やミスト状の溶剤の回収管61への混入を防止できる。
図8に示す構成例では、貯溜タンク71として第1の貯溜タンク71aと第2の貯溜タンク71bが設けられている。各タンクに設けられている液面センサ機構及びキャリアガス排出機構は、前述の実施形態での貯溜タンク71に備えられているものと同一である。回収管73から回収される精製後の溶剤は流量計66を介し、溶剤回収ポート65a、65bから、これらの貯溜タンク71a、71bにタンクの貯溜量などの状況に応じて分配される。タンク71a、71bからの精製後溶剤の取り出しポートには夫々バルブ79a、79bが備えられ、溶剤取り出しを制御している。貯溜タンク71aと71bはタンクの貯溜量などの状況に応じ相互に協働して精製後の溶剤の貯溜とウエハWへの溶剤の供出を行う。
これらの貯溜タンクは3つ以上用いてもよい。貯溜タンクが複数あることで、精製後の溶剤のウエハWに対する吐出をより安定した状態で継続できる。
4 処理液(溶剤)供給装置
30 レジストノズル
40 処理液(溶剤)ノズル
42 処理液(溶剤)供給源
43 フィルタ
51 蒸留タンク
53 加熱部
54 排液路
57 気化器
60 冷却器
61 回収管
62 内管
71、71a、71b 貯溜タンク
74 処理液(溶剤)供給路
75 送液ポンプ
81 キャリアガス供給源
86 減圧ポンプ
87 循環ポンプ
91 フィルタ
92 揮発用部材
100 制御部
Claims (11)
- 基板保持部に水平に保持された基板に対して、処理液供給源から処理液ノズルを介して処理液を供給して液処理を行う装置において、
前記処理液供給源から供給された処理液を気化して蒸気を得るための気化部と、
前記気化部から得られた処理液の蒸気を冷却して液化するための冷却部と、
前記冷却部の冷却により得られた処理液を貯溜する貯溜タンクと、
前記貯溜タンク内の処理液を前記処理液ノズルに送り出すための送液機構と、を備えたことを特徴とする液処理装置。 - 前記基板保持部に保持された基板に対してレジスト液を供給するレジストノズルを備え、
前記処理液は、レジスト液を基板に供給する前に基板に吐出される溶剤であることを特徴とする請求項1記載の液処理装置。 - 前記気化部は、処理液を蒸留するための蒸留タンクと、前記蒸留タンク内に貯溜されている処理液を加熱するための加熱部と、を備えたことを特徴とする請求項1または2記載の液処理装置。
- 前記処理液供給源と蒸留タンクとの間の流路に異物を除去するためのフィルタ部を設けたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の液処理装置。
- 前記蒸留タンク内にキャリアガスを導入するためのガス導入部と、前記貯溜タンク内のキャリアガスを排出するためのガス排出部と、を備えたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の液処理装置。
- 前記貯溜タンク内の蒸気雰囲気を減圧するための減圧排気路を備えたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の液処理装置。
- 前記処理液供給源から供給された処理液を気化部により気化して蒸気を得る工程と、
前記気化部と貯溜タンクとの間の流路に設けられた冷却部により前記蒸気を冷却して液化し、処理液を得る工程と、
前記冷却部の冷却により得られた処理液を前記貯溜タンクに貯溜する工程と、
前記貯溜タンク内の処理液を、基板保持部に水平に保持された基板に対して、処理液ノズルを介して供給して液処理を行う工程と、を含むことを特徴とする液処理方法。 - 前記処理液は溶剤であり、
前記液処理を行う工程の後、レジストノズルから前記基板にレジスト液を供給することを特徴とする請求項7記載の液処理方法。 - 前記蒸気を得る工程と、処理液を蒸留タンクに貯溜する工程と、前記蒸留タンク内に貯溜されている処理液を加熱する工程と、を含むことを特徴とする請求項7または8記載の液処理方法。
- 前記処理液供給源の処理液を気化する工程の前に、処理液供給源と気化部との間の流路に設けられたフィルタ部を前記処理液を通過させる工程を行うことを特徴とする請求項7ないし9のいずれか一項に記載の液処理方法。
- 前記処理液供給源から供給された処理液に対して、前記液処理方法を行う装置に用いられるコンピュータプログラムが記録された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項7ないし10のいずれか一項に記載の液処理方法を実施するためのものであることを特徴とする記憶媒体。
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