JP2013145037A - アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】ボールねじの転動体に、安定したグリスの供給ができるアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１０のスライダ６０には、グリスを注入するための注入口６６と、注入口６６から注入されたグリスが通り、ボールねじナット８０のねじ溝に通じるグリス通路（第１通路）が形成されている。グリス通路は、スライダ本体６１に形成されたグリス通路６７（第２通路）と、ボールねじナット８０に形成されたグリス通路８５（第３通路）と、スライダ本体６１とボールねじナット８０との間に形成されたグリス通路Ｗ（第４通路）とから構成されている。注入口６６から注入されたグリスは、グリス通路６７、８５、Ｗを通り、ボールねじナット８０とボールねじ軸５０との間に配置されたボールに供給される。これにより、注入口６６から、ボールに、直接、グリスを供給することができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、アクチュエータに関する。

アクチュエータは、例えば、ボールねじが、モータの回転運動を、ボールねじナットの直線運動に変換する。ボールねじナットは、スライダの内部に固定されており、このボールねじナットの直線運動に伴って、スライダが、ベースに形成されたレールに沿って直線運動する。このようなアクチュエータにおいては、ボールねじ軸に対するスライダの円滑な移動のために、ボールねじのボールに、グリス等の潤滑剤が供給されている。供給された潤滑剤は、時間の経過とともに、徐々に減少していくことから、適宜、潤滑剤を補給することが必要となる。

例えば、特許文献１には、スライダの内部に、グリス充填空間が形成されたアクチュエータが開示されている。特許文献１に記載のアクチュエータにおいて、グリスが減少すると、グリスは、グリス充填空間に補給される。このグリス充填空間は、ボールねじ軸に沿って、ボールねじナットの両側に形成されている。このため、スライダの直線運動によって、グリス充填空間のグリスは、ボールねじナットに巻き込まれる。これにより、グリスは、ボールねじナットとボールねじ軸との間を転動するボールに供給される。

特開２００１−４１３０４号公報

特許文献１に記載のアクチュエータにおいて、グリスは、スライダが直線運動をすることにより、ボールねじナット本体の両端に取り付けられたエンドキャップの内側を潜って、ボールねじナットとボールねじ軸との間を転動するボールに供給される。そのため、ボールねじナットとボールねじ軸との間を転動するボール全体に、グリスが十分に行き届かないおそれがある。また、スライダの移動速度によっては、グリスの塗り斑が大きくなるおそれもある。

本発明は、上述の事情の下になされたもので、ボールねじの転動体に、潤滑剤の安定した供給ができるアクチュエータを提供することを目的とする。

上述の目的を達成するために、本発明のアクチュエータは、
第１転動体が転動するボールねじを備えたアクチュエータであって、
第１ねじ溝が外周面に形成されたボールねじ軸と、
第２ねじ溝が内周面に形成されるとともに、前記第１転動体が通過する第１循環路が内部に形成され、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って、直線運動する移動体と、
前記第１ねじ溝と前記第２ねじ溝とに挟まれつつ、前記第１ねじ溝と前記第２ねじ溝との間を転動し、転動した後に前記第１循環路を通過し、前記第１循環路を通過した後に、再び、前記第１ねじ溝と前記第２ねじ溝との間を転動する複数の第１転動体と、
を有し、
前記移動体には、潤滑剤を注入するための注入口と、前記注入口から注入された前記潤滑剤が通り、前記第２ねじ溝と前記第１循環路との少なくともいずれか一方に通じる第１通路とが、形成されていることを特徴とする。

前記移動体は、
前記ボールねじ軸の回転運動を、直線運動に変換するボールねじナットと、
前記ボールねじナットからの前記潤滑剤の流出を防止する流出防止部材と、
を有し、
前記流出防止部材は、前記ボールねじ軸に沿って、前記ボールねじナットの両側に配置されていてもよい。

前記流出防止部材は、前記ボールねじ軸の外径と同等の内径を有する円環状に形成されており、前記ボールねじ軸の外周面に嵌め込まれていてもよい。

前記流出防止部材は、前記ボールねじ軸の前記第１ねじ溝に螺合する第３ねじ溝が形成された内周面を有する円環状に形成されており、前記ボールねじ軸に螺合しつつ、嵌め込まれていてもよい。

前記流出防止部材は、前記ボールねじナットから離間して配置され、
前記流出防止部材と前記ボールねじナットとの間は、前記移動体の移動に伴って流出する潤滑剤を保持する潤滑剤保持空間から構成されていてもよい。

前記流出防止部材は、潤滑油を含んだ素材からなっていてもよい。

前記移動体は、前記ボールねじナットを内部に配置する移動体本体を有し、
前記移動体本体には、前記潤滑剤が通過する第２通路が形成され、
前記ボールねじナットには、前記潤滑剤が通過する第３通路が形成され、
前記移動体本体と、前記ボールねじナットとの間には、前記潤滑剤が通る第４通路が形成され、
前記移動体に形成された前記第１通路は、前記第２通路と、前記第３通路と、前記第４通路とから構成されていてもよい。

前記アクチュエータは、
複数の第２転動体と、
前記移動体を、前記第２転動体を介して移動可能に支持するとともに、前記ボールねじ軸に沿って第１溝部が形成された支持体をさらに有し、
前記移動体の内部には、前記第１溝部に対向する第２溝部と、転動体が通過する第２循環路とが、形成され、
前記第２転動体は、前記第１溝部と前記第２溝部とに挟まれつつ、前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動し、転動した後に前記第２循環路を通過し、前記第２循環路を通過した後に、再び、前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動してもよい。

前記移動体には、前記注入口から注入された前記潤滑剤が通り、前記第１溝部と前記第２循環路との少なくともいずれか一方に通じる第５通路が形成されていてもよい。

前記注入口は、前記第１通路を介して、前記第５通路に通じていてもよい。

前記第２循環路の少なくとも一部には、潤滑油を含んだ潤滑油含有部材が配置されていてもよい。

前記潤滑油含有部材は、貫通孔が形成された円筒形状に形成され、
前記第２転動体は、前記貫通孔を通過してもよい。

前記注入口は、前記移動体に２つ形成され、
前記移動体が運動する方向を挟んで、前記移動体の両側に形成されていてもよい。

本発明によれば、第２ねじ溝と、第１循環路との少なくともいずれか一方に通じる第１通路が、移動体に形成されている。これにより、第１通路を介して、ボールねじの第１転動体に、直接、潤滑剤を供給することができ、この結果、第１転動体に、潤滑剤の安定した供給ができる。

本発明に係るアクチュエータの斜視図である。 アクチュエータのＹＺ断面図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線におけるＸＺ断面図である。 一部を分解したアクチュエータのＸＺ断面図である。 スライダ、ボール、及びレールを分解して示す斜視図である。 （Ａ）は、スライダのＹＺ断面図である。（Ｂ）は、（Ａ）のＢ−Ｂ線におけるＸＹ断面図である。 （Ａ）は、スライダ本体の斜視図である。（Ｂ）は、（Ａ）のＢ−Ｂ線におけるＸＺ断面図である。 （Ｃ）は、図７（Ｂ）のＣ−Ｃ線におけるＹＺ断面図である。（Ｄ）は、図７（Ｂ）のＤ−Ｄ線におけるＸＹ断面図である。 ボールねじナット、ボール、及びボールねじ軸を分解して示す側面図である。 （Ａ）ボールねじナットの斜視図である。（Ｂ）は、ボールねじナットのＹＺ断面図である。（Ｃ）は、（Ｂ）のＣ−Ｃ線におけるＸＺ断面図である。 ボールねじナットへの、ボールねじ軸等の取り付けを説明するためのＹＺ断面図である。 （Ａ）は、スライダ本体、カラー、ボールねじナット等を分解して示すＹＺ断面図である。（Ｂ）は、スライダに形成されたグリス通路を説明するための模式図である。 （Ａ）は、スライダ本体への、カラー、ボールねじナット等の取り付けを説明するためのＹＺ断面図である。（Ｂ）は、（Ａ）の部分拡大図である。（Ｃ）は、（Ａ）の部分拡大図である。 （Ａ）は、潤滑パイプ、ガイドパイプ、リターンキャップ等の斜視図である。（Ｂ）は、潤滑パイプ、ガイドパイプ、リターンキャップのＸＹ断面図である。 レールへの、スライダの取り付けを説明するためのＸＹ断面図である。 （Ａ）は、アクチュエータの動作を説明するためのＹＺ断面図（その１）である。（Ｂ）は、アクチュエータの動作を説明するためのＹＺ断面図（その２）である。（Ｃ）は、アクチュエータの動作を説明するためのＹＺ断面図（その３）である。 （Ａ）は、グリスの注入方法を説明するためのＸＺ断面図である。（Ｂ）は、グリス通路におけるグリスの流れ方を説明するための模式図である。 （Ａ）は、グリスの注入方法を説明するためのＸＹ断面図（その１）である。（Ｂ）は、グリスの注入方法を説明するためのＸＹ断面図（その２）である。 スライダの変形例である。 （Ａ）は、ボールねじナットの変形例（その１）である。（Ｂ）は、ボールねじナットの変形例（その２）である。 （Ａ）は、スライダ本体等の変形例（その１）である。（Ｂ）は、スライダ本体等の変形例（その２）である。

以下、本発明の第１実施形態に係るアクチュエータ１０について、図を参照しながら説明する。なお、理解を容易にするため、ＸＹＺ座標を設定し、適宜参照する。

アクチュエータ１０は、図１に示すように、Ｙ軸方向に往復移動するスライダ６０を有するアクチュエータである。アクチュエータ１０は、モータユニット２０と、ハウジング３０と、ベアリングユニット４０と、ボールねじ軸５０と、スライダ６０とを有している。また、アクチュエータ１０の先端（−Ｙ側の端部）には、キャップ１１が取り付けられている。キャップ１１は、複数のボルトやねじ等によって、ハウジング３０に固定されている。

モータユニット２０は、図２に示すように、モータ２１と、モータ２１を収納するケースと、ケーブルとを有する。

モータ２１は、例えば、ＡＣサーボモータであり、出力軸２２、ロータ、ステータ、エンコーダ、減速器等を有している。モータ２１には、ケーブルを介して電源からの電力が供給される。モータ２１に電力が供給されることによって、モータ２１のロータが回転する。なお、このロータの回転運動は、例えば、減速器によって所定の減速比で減速され、出力軸２２に出力されてもよい。また、本実施形態においては、モータ２１は、ＡＣサーボモータであるが、モータの種類は、任意であり、これに限られない。例えば、モータ２１は、ステッピングモータ等であってもよい。

ハウジング３０は、図３及び図４に示すように、スライダ６０をＹ軸方向に移動可能に支持するレール３１と、スライダ６０の上部を覆う上面（＋Ｚ側の面）カバー３７と、スライダ６０の側面（＋Ｘ側の面及び−Ｘ側の面）を覆う一対の側面のカバー３８とを有する。

レール３１は、Ｙ軸方向を長手方向とする板状のベース３２と、このベース３２の＋Ｘ側及び−Ｘ側に形成された側壁３３、３４とを有する。レール３１は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。レール３１には、側壁３３の−Ｘ側の面及び側壁３４の＋Ｘ側の面には、凹部３３ａ、３４ａがそれぞれ形成されている。この凹部３３ａ、３４ａには、Ｙ軸方向を長手方向とする略直方体に形成された鋼製部材３５、３６が取り付けられている。鋼製部材３５の−Ｘ側の面及び鋼製部材３６の＋Ｘ側の面には、溝部３５ａ、３６ａがそれぞれ形成されている。溝部３５ａ、３６ａの内面は、略湾曲面として構成されている。

ベアリングユニット４０は、図２に示すように、ハウジング３０の＋Ｙ側の端部に、ボルト等によって固定されている。ベアリングユニット４０は、ベアリングハウジング４１と、ベアリング４２と、押さえ部材４３とを有している。ベアリングハウジング４１には、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔が形成されている。この貫通孔には、ベアリング４２が、−Ｙ側から嵌め込まれ、押さえ部材４３によって固定される。ベアリング４２は、ボールねじ軸５０を回転可能に支持する。

ボールねじ軸５０は、外周に螺旋状のねじ溝５１ａが形成されたボールねじ軸本体５１と、ボールねじ軸本体５１の＋Ｙ側の端部に形成された小径部５２とを有している。小径部５２は、その径がボールねじ軸本体５１の径よりも小さく形成されている。この小径部５２は、モータ２１の出力軸２２に連結される。小径部５２と、モータ２１の出力軸２２とが連結されることにより、ボールねじ軸５０は、出力軸２２とともに回転する。

スライダ６０は、図５に示すように、複数のボール３９（転動体）を介して、ハウジング３０のレール３１に支持されている。このボール３９の転動により、スライダ６０は、レール３１に沿って、＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の双方向に移動する。スライダ６０は、図６（Ａ）に示すように、スライダ本体６１と、ボールねじナット８０と、カラー９０、９１と、ボールねじナット８０を固定する固定部材９２とを有している。また、図６（Ｂ）に示すように、潤滑パイプ９４と、ガイドパイプ９５と、リターンキャップ９６とを有している。

スライダ本体６１は、図７（Ａ）に示すように、略直方体の部材で、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。スライダ本体６１の上面（＋Ｚ側の面）と、側面（＋Ｘ側の面及び−Ｘ側の面）とからなるコーナー部分近傍には、＋Ｚ方向に突出する取付部６２が形成されている。取付部６２の上面には、複数のねじ孔が形成されている。これらのねじ孔に挿入されたボルトやねじによって、ロボットアームや他のアクチュエータなどの移動対象機器が固定される。

また、スライダ本体６１には、図７（Ｂ）に示すように、ボールねじナット８０等を収納するための貫通孔６３と、潤滑パイプ９４等を収納するための一対の貫通孔６４、６５が形成されている。

貫通孔６３は、図８（Ｃ）に示すように、Ｙ軸方向に貫通して形成されている。また、貫通孔６３は、丸孔形状の小径部６３ａと、この小径部６３ａの＋Ｙ側に形成された中径部６３ｂと、この中径部６３ｂの＋Ｙ側に形成された大径部６３ｃとから構成されている。また、大径部６３ｃには、グリス循環溝６３ｄが形成されている。貫通孔６３の内径は、小径部６３ａの内径が最も小さく、大径部６３ｃに形成されたグリス循環溝６３ｄの内径が最も大きくなっている。貫通孔６３の小径部６３ａは、内径が、ボールねじ軸本体５１の外径よりもやや大きく形成されている。これにより、小径部６３ａの内周面と、ボールねじ軸本体５１の外周面とは、非接触状態となる。また、貫通孔６３の中径部６３ｂには、カラー９０が配置される。中径部６３ｂは、カラー９０を嵌め込むことができるように、カラー９０の形状に対応した凹形状に形成されている。また、貫通孔６３の大径部６３ｃには、ボールねじナット８０が配置される。

また、スライダ本体６１の＋Ｘ側の側面及び−Ｘ側の側面には、図７（Ｂ）に示すように、グリスを注入するための一対の注入口６６が形成されている。注入口６６は、ハウジング３０のカバー３７、３８との間から露出するように形成されている（図１参照）。この注入口６６は、スライダ本体６１内に形成されたグリス通路６７を介して、貫通孔６３に通じている。詳しくは、注入口６６は、グリス通路６７を介して、貫通孔６３の大径部６３ｃに形成されたグリス循環溝６３ｄに通じている。このグリス通路６７は、Ｘ軸方向に貫通して形成される。また、注入口６６には、逆止弁が取り付けられている。この逆止弁により、注入されたグリスが、注入口６６から逆流するのを防ぐ。

貫通孔６４、６５は、図８（Ｄ）に示すように、Ｙ軸方向に貫通して形成されている。貫通孔６４、６５は、転動したボール３９が通過する循環路として用いられる。この貫通孔６４、６５は、図７（Ｂ）に示すように、スライダ本体６１内にグリス通路６８を介して、貫通孔６３に通じている。詳しくは、貫通孔６４、６５は、グリス通路６８を介して、貫通孔６３の大径部６３ｃに形成されたグリス循環溝６３ｄに通じている。グリス通路６８は、Ｘ軸方向に貫通して形成される。

また、スライダ本体６１の上面には、図７（Ａ）に示すように、樹脂からなるシート６９が、ボルトやねじによって、取り付けられている。このシート６９は、スライダ本体６１の上部を覆うカバー３７が撓んだ場合に、このカバー３７とスライダ本体６１とが接触することを防ぐ。

また、スライダ本体６１の＋Ｘ側の側面及び−Ｘ側の側面には、図７（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、凹部６１ａ、６１ｂがそれぞれ形成されている。凹部６１ａ、６１ｂは、Ｙ軸方向に沿って形成されている。この凹部６１ａ、６１ｂには、Ｙ軸方向を長手方向とする略直方体に形成された鋼製部材７０、７１が取り付けられている。鋼製部材７０の＋Ｘ側の面及び鋼製部材７１の−Ｘ側の面には、溝部７０ａ、７１ａがそれぞれ形成されている。溝部７０ａ、７１ａの内面は、略湾曲面として構成されている。また、溝部７０ａ、７１ａには、Ｘ軸方向に貫通して形成された孔部７０ｂ、７１ｂが形成されている。

ボールねじナット８０は、図９に示すように、複数のボール５９（転動体）を介して、ボールねじ軸５０に取り付けられている。そして、ボールねじ軸５０の回転運動に伴って、Ｙ軸方向に沿って直線運動をする。ボールねじナット８０は、図１０（Ａ）に示すように、ナット本体８１と、ナット本体８１に固定されたエンドキャップ８６、８７とを有している。

ナット本体８１は、図１０（Ｂ）に示すように、貫通孔が形成された略円筒形状の部材である。ナット本体８１は、円筒部８２と、円筒部８２の＋Ｙ側の端部に形成されたフランジ部８３とから構成される。ナット本体８１の円筒部８２は、外径が、スライダ本体６１の貫通孔６３の大径部６３ｃの内径と同等に形成されている。ナット本体８１の円筒部８２は、スライダ本体６１の貫通孔６３の大径部６３ｃに嵌め込まれる。これにより、大径部６３ｃに形成されたグリス循環溝６３ｄの内周面と、ナット本体８１の円筒部８２の外周面とによって、グリス通路Ｗが形成される。

ナット本体８１の貫通孔の内周面には螺旋状のねじ溝８１ａが形成されている。このねじ溝８１ａと、ボールねじ軸本体５１のねじ溝５１ａとの間には、ボール５９が配置される。また、ナット本体８１には、ボール５９が循環する循環路８４が形成されている。循環路８４は、Ｙ軸方向を貫通して形成され、図１０（Ｃ）に示すように、Ｙ軸を中心とする円周に沿って等間隔に３箇所に形成されている。なお、本実施形態においては、循環路８４は、３箇所に形成されているが、循環路８４の形成数は、任意である。２つ以下であってもよいし、４つ以上であってもよい。また、ナット本体８１には、径方向に貫通する２つのグリス通路８５が、形成されている。グリス通路８５は、ナット本体８１の外周から、ナット本体８１の貫通孔内に通じている。詳しくは、グリス通路８５は、ナット本体８１の外周から、ナット本体８１の貫通孔内に形成されたねじ溝８１ａに通じている。グリス通路８５は、ナット本体８１のねじ溝８１ａと、ボールねじ軸本体５１のねじ溝５１ａとの間に配置されるボール５９に、グリスを供給するために用いられる。

エンドキャップ８６、８７は、図１０（Ａ）に示すように、ナット本体８１の−Ｙ側の端部及び＋Ｙ側の端部に、３本のボルトによって取り付けられている。エンドキャップ８６、８７には、図１０（Ｂ）に示すように、ボール５９が循環する循環路８８、８９が形成されている。循環路８８、８９は、円弧状の通路から構成されている。

上述のように構成されたボールねじナット８０には、図１１に示すように、ボール５９を介して、ボールねじ軸５０が挿入される。ボールねじ軸５０が挿入されると、ボール５９は、ナット本体８１のねじ溝８１ａと、ボールねじ軸本体５１のねじ溝５１ａとの間に挟まれる。ナット本体８１のねじ溝８１ａと、ボールねじ軸本体５１のねじ溝５１ａとの間で、ボール５９が転動することにより、ボールねじナット８０は、ボールねじ軸本体５１に沿って、円滑に移動する。ボール５９は、ナット本体８１の循環路８４と、エンドキャップ８６、８７の循環路８８、８９にも配置される。また、ボール５９には、ボール５９を円滑に転動させるためのグリスが供給される。

カラー９０は、図１２（Ａ）及び図１３（Ａ）に示すように、ボールねじナット８０の−Ｙ側に配置され、ナット本体８１のねじ溝８１ａと、ボールねじ軸本体５１のねじ溝５１ａとの間に供給されたグリスの流出を防ぐ部材である。カラー９０は、円環状に形成されている。そして、カラー９０は、内径が、ボールねじ軸本体５１の外径と同等になるように形成されている。また、カラー９０は、オイルを含有する素材からなる。カラー９０に用いられる素材は、例えば、ポリエチレン、ポリエステル等のポリマー素材である。

カラー９１は、ボールねじナット８０の＋Ｙ側に配置され、カラー９０と同様に、ナット本体８１のねじ溝８１ａと、ボールねじ軸本体５１のねじ溝５１ａとの間に供給されたグリスの流出を防ぐ部材である。カラー９１は、円環状に形成されている。そして、カラー９１は、内径が、ボールねじ軸本体５１の外径と同等になるように形成されている。また、カラー９１は、カラー９０と同様に、オイルを含有する素材からなる。カラー９１に用いられる素材は、例えば、ポリエチレン、ポリエステル等のポリマー素材である。

固定部材９２は、ボールねじナット８０を、スライダ本体６１に固定する部材である。固定部材９２は、複数のボルトによって、スライダ本体６１に固定される。また、固定部材９２には、貫通孔９３が形成されている。この貫通孔９３は、丸孔形状の小径部９３ａと、小径部９３ａの−Ｙ側に形成された中径部９３ｂと、中径部９３ｂの−Ｙ側に形成された大径部９３ｃとから構成されている。貫通孔９３の内径は、小径部９３ａの内径が最も小さく、大径部９３ｃの内径が最も大きくなっている。貫通孔９３の小径部９３ａは、内径が、ボールねじ軸本体５１の外径よりもやや大きく形成されている。これにより、小径部９３ａの内周面と、ボールねじ軸本体５１の外周面とは、非接触状態となる。また、貫通孔９３の中径部９３ｂには、カラー９１が配置される。中径部９３ｂは、カラー９１を嵌め込むことができるように、カラー９１の形状に対応した凹形状に形成されている。また、貫通孔９３の大径部９３ｃには、ボールねじナット８０のエンドキャップ８７が挿入される。

次に、ボールねじナット８０の取り付け方法について、図１２及び図１３を参照して説明する。

先ず、図１２（Ａ）及び図１３（Ａ）を参照するとわかるように、カラー９０が、スライダ本体６１に形成された貫通孔６３の中径部６３ｂに嵌め込まれる。次に、ボールねじナット８０が、スライダ本体６１に形成された貫通孔６３の大径部６３ｃに嵌め込まれる。ボールねじナット８０が嵌め込まれると、ボールねじナット８０のエンドキャップ８６と、ナット本体８１の円筒部８２とが、スライダ本体６１に形成された貫通孔６３の大径部６３ｃ内に配置される。そして、ナット本体８１のフランジ部８３が、貫通孔６３の＋Ｙ側の開口縁部に当接する。スライダ本体６１に形成された貫通孔６３の大径部６３ｃは、図１２（Ａ）に示すように、Ｙ軸方向の長さ（深さ）Ｌ１が、ナット本体８１の円筒部８２とエンドキャップ８６とのＹ軸方向の長さＬ２よりも長く形成されている。このため、図１３（Ｂ）に示すように、ボールねじナット８０の−Ｙ側に、空間Ｒ１が形成される。空間Ｒ１は、ボールねじ軸５０とボールねじナット８０との間から流出したグリスを保持するために用いられる。

また、ボールねじナット８０が嵌め込まれると、大径部６３ｃに形成されたグリス循環溝６３ｄの内周面と、ナット本体８１の円筒部８２の外周面とによって、グリス通路Ｗが形成される。グリス通路Ｗは、図１２（Ｂ）に示すように、円環状に形成される。グリス通路Ｗが形成されることにより、スライダ本体６１内に形成されたグリス通路６７と、ナット本体８１に形成されているグリス通路８５とが、連通する。また、スライダ本体６１内に形成されたグリス通路６７と、グリス通路６８とが連通する。

次に、図１２（Ａ）及び図１３（Ａ）を参照するとわかるように、カラー９１が、固定部材９２に形成された貫通孔９３の中径部９３ｂに嵌め込まれる。カラー９１が嵌め込まれた固定部材９２は、複数のボルトによって、スライダ本体６１に固定される。固定部材９２が、スライダ本体６１に固定されると、ボールねじナット８０のエンドキャップ８７が、固定部材９２に形成された貫通孔９３の大径部９３ｃ内に配置される。そして、ナット本体８１のフランジ部８３が、固定部材９２に形成された貫通孔９３の−Ｙ側の開口縁部に当接する。固定部材９２に形成された貫通孔９３の大径部９３ｃは、図１２（Ａ）に示すように、Ｙ軸方向の長さ（深さ）Ｌ３が、ボールねじナット８０のエンドキャップ８７とのＹ軸方向の長さＬ４よりも長く形成されている。このため、図１３（Ｃ）に示すように、ボールねじナット８０の＋Ｙ側に、空間Ｒ２が形成される。空間Ｒ２は、ボールねじ軸５０とボールねじナット８０との間から流出したグリスを保持するために用いられる。

潤滑パイプ９４は、図１４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、円筒形状に形成された部材である。潤滑パイプ９４は、例えば、ポリマー樹脂を熱硬化させることにより形成される。潤滑パイプ９４の孔は、ボール３９が循環する循環路９４ａから構成されている。潤滑パイプ９４は、スライダ本体６１に形成された貫通孔６４、６５にそれぞれ挿入される。潤滑パイプ９４の外径は、貫通孔６４、６５の内径よりもやや小さくなっており、これにより、潤滑パイプ９４の外周と、貫通孔６４、６５の内周との間に、所定のクリアランスＣが形成される。この潤滑パイプ９４は、オイルを含有しており、この潤滑パイプ９４をボール３９が通過すると、ボール３９にオイルが付着する。

ガイドパイプ９５は、潤滑パイプ９４と同等の外径及び内径に形成された円筒形状の部材である。ガイドパイプ９５の孔は、ボール３９が循環する循環路９５ａから構成されている。ガイドパイプ９５は、スライダ本体６１に形成された貫通孔６４、６５に挿入され、潤滑パイプ９４の両側（＋Ｙ側及び−Ｙ側）に配置される。ガイドパイプ９５の外径も、潤滑パイプ９４の外径と同様に、貫通孔６４、６５の内径よりもやや小さくなっており、これにより、ガイドパイプ９５の外周と、貫通孔６４、６５の内周との間に、微小なクリアランスＣが形成される。また、ガイドパイプ９５の円筒壁には、ガイドパイプ９５の外部と循環路９５ａとを連通させる孔９５ｂが形成されている。ガイドパイプ９５には、４つの孔９５ｂが形成されている。

リターンキャップ９６は、スライダ本体６１の貫通孔６４、６５の開口を覆うように取り付けられている。リターンキャップ９６は、２本のボルトによって固定されている。このリターンキャップ９６の内部には、ボール３９が、循環する循環路９７が形成されている。循環路９７は、略Ｕ字状に形成された通路から構成される。

上述のように構成されたスライダ６０は、図５に示すように、複数のボール３９を介して、ハウジング３０のレール３１に取り付けられる。スライダ６０が取り付けられると、図１５に示すように、ボール３９は、スライダ本体６１の側面に取り付けられた鋼製部材７０、７１の溝部７０ａ、７１ａと、レール３１に取り付けられた鋼製部材３５、３６の溝部３５ａ、３６ａとの間に挟まれる。スライダ本体６１の側面に取り付けられた鋼製部材７０、７１の溝部７０ａ、７１ａと、レール３１に取り付けられた鋼製部材３５、３６の溝部３５ａ、３６ａとの間で、ボール３９が転動することにより、スライダ６０は、レール３１に沿って、＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の双方向に円滑に移動する。ボール３９は、潤滑パイプ９４の循環路９４ａ、ガイドパイプ９５の循環路９５ａ、リターンキャップ９６の循環路９７にも配置される。また、ボール３９には、ボール３９を円滑に転動させるためのグリスやオイルが供給される。

上述のように構成されたアクチュエータ１０の動作について、図１６、図１１、図１３、図１５を用いて説明する。

先ず、モータユニット２０のモータ２１に電源が供給されることによって、図１６（Ａ）に示すように、モータ２１の出力軸２２が所定の方向に回転（正転）する。出力軸２２が所定の方向に回転（正転）すると、出力軸２２に接続されているボールねじ軸５０も、出力軸２２とともに回転（正転）する。

ボールねじ軸５０が回転（正転）すると、図１６（Ｂ）に示すように、ボールねじ軸５０の回転運動に伴って、ボールねじナット８０が、例えば、−Ｙ方向に直線運動をする。

このとき、図１１を参照するとわかるように、ナット本体８１のねじ溝８１ａと、ボールねじ軸本体５１のねじ溝５１ａとの間に挟まれたボール５９は、ねじ溝８１ａの内周面、及びねじ溝５１ａの内周面に転がり接触しながら転動する。そして、ボール５９は、ねじ溝８１ａ及びねじ溝５１ａに沿って、＋Ｙ方向に移動していき、ねじ溝８１ａとねじ溝５１ａとの間から、＋Ｙ側のエンドキャップ８７の循環路８９に移動する。エンドキャップ８７の循環路８９に移動したボール５９は、ナット本体８１の循環路８４と、−Ｙ側のエンドキャップ８６の循環路８８とを通過する。そして、エンドキャップ８６の循環路８８から、再び、ねじ溝８１ａとねじ溝５１ａとの間に移動する。そして、ボール５９は、ねじ溝８１ａの内周面、及びねじ溝５１ａの内周面に転がり接触しながら転動する。ボール５９が転動することにより、ボールねじナット８０は、−Ｙ方向に円滑に直線運動をする。

また、ボールねじナット８０は、−Ｙ方向に直線運動をすると、ボールねじ軸５０とボールねじナット８０との間から、グリスが流出する。グリスの流出は、図１３（Ｃ）を参照するとわかるように、ボールねじナット８０の＋Ｙ側に配置されたカラー９１によって塞き止められる。これにより、グリスは、空間Ｒ２に保持される。

また、ボールねじナット８０の−Ｙ側に形成された空間Ｒ１に、グリスが保持されている場合には、図１３（Ｂ）を参照するとわかるように、ボールねじナット８０は、空間Ｒ１に保持されているグリスを巻き込みながら、−Ｙ方向に移動する。これにより、ボールねじ軸５０とボールねじナット８０との間にグリスが供給される。

また、カラー９０は、潤滑油を含有する素材からなるため、潤滑油が、カラー９０からしみ出されることで、ボールねじナット８０は、空間Ｒ１に保持されているグリスに加えて、潤滑油を巻き込みながら、−Ｙ方向に移動する。

ボールねじナット８０が、−Ｙ方向に移動すると、図１６（Ｂ）に示すように、ボールねじナット８０に固定されているスライダ本体６１も、ボールねじナット８０とともに−Ｙ方向に移動をする。スライダ本体６１は、レール３１に沿って、−Ｙ方向に移動する。

このとき、図１５に示すように、スライダ本体６１の側面に取り付けられた鋼製部材７０、７１の溝部７０ａ、７１ａと、レール３１に取り付けられた鋼製部材３５、３６の溝部３５ａ、３６ａとの間に挟まれたボール３９は、溝部７０ａ、７１ａの内周面、及び溝部３５ａ、３６ａの内周面に転がり接触しながら転動する。ボール３９は、＋Ｙ方向に移動していき、溝部７０ａ、７１ａと溝部３５ａ、３６ａの間から、＋Ｙ側のリターンキャップ９６の循環路９７に移動する。＋Ｙ側のリターンキャップ９６の循環路９７に移動したボール３９は、＋Ｙ側のガイドパイプ９５の循環路９５ａと、潤滑パイプ９４の循環路９４ａと、−Ｙ側のガイドパイプ９５の循環路９５ａと、−Ｙ側のリターンキャップ９６の循環路９７とを、順番に通過していく。なお、潤滑パイプ９４の循環路９４ａを通過すると、ボール３９に、潤滑パイプ９４からオイルが供給される。そして、−Ｙ側のリターンキャップ９６の循環路９７から、再び、溝部７０ａ、７１ａと溝部３５ａ、３６ａとの間に移動する。そして、ボール３９は、溝部７０ａ、７１ａの内周面、及び溝部３５ａ、３６ａの内周面に転がり接触しながら転動する。ボール３９が転動することにより、スライダ６０は、レール３１に沿って、−Ｙ方向に円滑に移動する。

以上により、スライダ６０の−Ｙ方向への移動が完了する。

次に、モータユニット２０の出力軸２２が所定の方向とは逆方向に回転（逆転）すると、出力軸２２に接続されているボールねじ軸５０は、出力軸２２とともに逆転する。

ボールねじ軸５０が逆転すると、図１６（Ｃ）に示すように、ボールねじ軸５０の回転運動に伴って、ボールねじナット８０が、例えば、＋Ｙ方向に直線運動をする。

このとき、図１１に示すように、ナット本体８１のねじ溝８１ａと、ボールねじ軸本体５１のねじ溝５１ａとの間に挟まれたボール５９は、ねじ溝８１ａの内周面、及びねじ溝５１ａの内周面に転がり接触しながら転動する。このため、ボールねじナット８０は、＋Ｙ方向に円滑に直線運動をする。

また、ボールねじナット８０は、＋Ｙ方向に直線運動をすると、ボールねじ軸５０とボールねじナット８０との間から、グリスが流出する。グリスの流出は、図１３（Ｂ）を参照するとわかるように、ボールねじナット８０の−Ｙ側に配置されたカラー９０によって塞き止められる。これにより、グリスは、空間Ｒ１に保持される。

また、ボールねじナット８０は、図１３（Ｃ）を参照するとわかるように、空間Ｒ２に保持されているグリスを巻き込みながら、＋Ｙ方向に移動する。これにより、ボールねじ軸５０とボールねじナット８０との間にグリスが供給される。

また、カラー９１は、潤滑油を含有する素材からなるため、潤滑油が、カラー９１からしみ出されることで、ボールねじナット８０は、空間Ｒ２に保持されているグリスに加えて、潤滑油を巻き込みながら、＋Ｙ方向に移動する。

ボールねじナット８０が、＋Ｙ方向に移動すると、図１６（Ｃ）に示すように、ボールねじナット８０に固定されているスライダ本体６１も、ボールねじナット８０とともに＋Ｙ方向に移動をする。スライダ本体６１は、レール３１に沿って、＋Ｙ方向に移動する。

このとき、図１５に示すように、スライダ本体６１の側面に取り付けられた鋼製部材７０、７１の溝部７０ａ、７１ａと、レール３１に取り付けられた鋼製部材３５、３６の溝部３５ａ、３６ａとの間に挟まれたボール３９は、溝部７０ａ、７１ａの内周面、及び溝部３５ａ、３６ａの内周面に転がり接触しながら転動する。このため、スライダ６０は、レール３１に沿って、＋Ｙ方向に円滑に移動する。

以上により、スライダ６０の＋Ｙ方向への移動が完了し、スライダ６０は、初期位置まで戻る。

次に、アクチュエータ１０へのグリスの注入方法ついて、図１７及び図１８を用いて説明する。

アクチュエータ１０にグリスを注入する場合には、アクチュエータ１０のユーザは、図１７（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、先ず、スライダ本体６１に形成された注入口６６に、グリスを注入する。注入口６６からグリスが注入されると、グリスは、スライダ本体６１に形成されたグリス通路６７を流れる。そして、グリスは、スライダ本体６１とナット本体８１との間に形成されたグリス通路Ｗに移動する。グリス通路Ｗに移動したグリスは、さらに、ナット本体８１に形成されたグリス通路８５を通過して、ボールねじ軸５０とボールねじナット８０との間に流入する。この結果、ボールねじ軸５０とボールねじナット８０との間に配置されているボール５９に、グリスが供給される。

また、スライダ本体６１には、グリス通路６８も形成されているため、グリス通路Ｗに移動したグリスは、このグリス通路６８を通過して、スライダ本体６１に形成された貫通孔６４、６５に移動する。貫通孔６４、６５に移動したグリスは、図１８（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、潤滑パイプ９４及びガイドパイプ９５の外周と、貫通孔６４、６５の内周との間に形成されたクリアランスＣを通過する。そして、グリスは、ガイドパイプ９５に形成された孔９５ｂから、ガイドパイプ９５の循環路９５ａに流入する。この結果、循環路９５ａに配置されているボール３９に、グリスが供給される。また、貫通孔６４、６５に移動したグリスは、鋼製部材７０、７１に形成された孔部７０ｂ、７１ｂから、鋼製部材７０，７１の溝部７０ａ、７１ａの内周面に流入する。この結果、溝部７０ａ、７１ａに配置されているボール３９に、グリスが供給される。

以上、説明したように、本実施形態に係るアクチュエータ１０によれば、注入口６６から、ナット本体８１の貫通孔内に形成されたねじ溝８１ａに通じているグリス通路６７、８５、Ｗが、スライダ６０に形成されている。これにより、注入口６６から、ボールねじ軸５０とボールねじナット８０との間を転動するボール５９に、直接、グリスを供給することができる。結果的に、ボール５９に、安定したグリスの供給ができるようになる。また、グリスの塗り斑等を生じにくくすることができる。

また、ボール５９に、安定したグリスの供給ができるようになることから、ボールねじの安定した動作につながり、ひいては、アクチュエータ１０の高寿命化に寄与することができる。

また、本実施形態に係るアクチュエータ１０では、カラー９０、９１が、ボールねじ軸５０に沿って、ボールねじナット８０の−Ｙ側及び＋Ｙ側に配置され、ボールねじナット８０の−Ｙ側及び＋Ｙ側には、空間Ｒ１、Ｒ２が形成されている。これにより、ボールねじ軸５０とボールねじナット８０との間から、流出したグリスを保持することができる。

また、本実施形態に係るアクチュエータ１０では、グリスを注入するための注入口６６は、ハウジング３０のカバー３７とカバー３８との間から露出している。これにより、カバー３７、３８等を取り外さなくとも、グリスの注入作業をすることができ、作業性が良好となる。また、グリスの注入作業を含む、アクチュエータ１０のメンテナンス作業の工数を減らすことができる。

また、本実施形態に係るアクチュエータ１０では、注入口６６は、スライダ本体６１の＋Ｘ側の側面及び−Ｘ側の側面それぞれに形成されている。これにより、グリスを注入するための注入口６６を、２つのうちから、適宜、選択できる。例えば、アクチュエータ１０の設置状態によっては、スライダ本体６１の＋Ｘ側の側面近傍に、別の装置等が配置されて、スライダ本体６１の＋Ｘ側の側面に形成された注入口６６から、グリスの注入作業がしづらい場合がある。この場合、スライダ本体６１の−Ｘ側の側面に形成された注入口６６から、グリスの注入作業を行うことができる。

また、本実施形態に係るアクチュエータ１０では、グリス通路６７、８５、Ｗに加えて、グリス通路６８が、スライダ６０に形成されている。このグリス通路６８は、注入口６６から、スライダ本体６１に形成された貫通孔６４、６５に通じている。これにより、注入口６６から、貫通孔６４、６５内に配置されたボール３９に、直接、グリスを供給することができる。結果的に、ボール３９に、安定したグリスの供給ができるようになる。また、グリスの塗り斑等を生じにくくすることができる。

また、本実施形態に係るアクチュエータ１０では、注入口６６から、ナット本体８１の貫通孔内に形成されたねじ溝８１ａと、スライダ本体６１に形成された貫通孔６４、６５とに、それぞれ通じている。したがって、注入口６６からグリスを注入することにより、ボールねじ軸５０とボールねじナット８０との間を転動するボール５９と、貫通孔６４、６５内に配置されたボール３９とのいずれにも、グリスを供給することができる。このため、アクチュエータ１０へのグリスの注入回数を低減させることができ、作業性が良好となる。

また、本実施形態に係るアクチュエータ１０では、鋼製部材７０、７１に孔部７０ｂ、７１ｂが形成されている。この孔部７０ｂ、７１ｂは、鋼製部材７０、７１の溝部７０ａ、７１ａに通じている。これにより、注入口６６から、スライダ６０とレール３１との間を転動するボール３９にも、直接、グリスを供給することができる。そのため、ボール３９に、安定したグリスの供給ができるようになる。また、グリスの塗り斑等を生じにくくすることができる。

また、カラー９０、９１は、潤滑油を含有する素材からなるため、潤滑油が、カラー９０、９１からしみ出されることで、ボール５９に、潤滑油とグリスとの両方を供給することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態等によって限定されるものではない。

例えば、本実施形態においては、スライダ本体６１と、ボールねじナット８０とは、別体で構成されている。しかしながら、これに限らず、図１９に示すように、スライダ本体と、ボールねじナットとが一体に構成されていてもよい。

また、本実施形態においては、ボールねじナット８０に形成されたグリス通路８５は、ねじ溝８１ａに通じている。しかしながら、これに限らず、図２０（Ａ）に示すように、グリス通路８５は、ボールねじナット８０に形成された循環路８４に通じていてもよい。この循環路８４にも、ボール５９が配置されているため、ボール５９に、直接、グリスを供給することができる。

また、グリス通路８５は、図２０（Ｂ）に示すように、ねじ溝８１ａと循環路８４との両方に通じていてもよい。この場合、ねじ溝８１ａで転動するボール５９と、循環路８４に配置されたボール５９とのいずれにも、直接、グリスを供給することができる。結果的に、ボール５９に、安定したグリスの供給ができるようになる。また、グリスの塗り斑等を生じにくくすることができる。

また、本実施形態においては、スライダ本体６１に形成されたグリス通路６８は、貫通孔６４，６５と、鋼製部材７０、７１の溝部７０ａ、７１ａとの両方に通じているが、図２１（Ａ）に示すように、貫通孔６４，６５だけに通じていてもよい。また、図２１（Ｂ）に示すように、溝部７０ａ、７１ａだけに通じていてもよい。

また、本実施形態においては、カラー９０、９１は、円環状に形成され、内径が、ボールねじ軸本体５１の外径と同等になるように形成されている。しかしながら、これに限らず、カラー９０、９１の内周面に、ボールねじ軸本体５１のねじ溝５１ａに対応したねじ溝を形成し、カラー９０、９１を、ボールねじ軸本体５１に螺合してもよい。

また、本実施形態においては、ガイドパイプ９５には、孔９５ｂが４つ形成されている。しかしながら、これに限らず、５つ以上の多くの孔を形成してもよい。また、３つ以下でもよい。

また、本実施形態においては、ガイドパイプ９５に、グリスが通過する孔９５ｂが形成されている。しかしながら、これに限らず、潤滑パイプ９４に、グリスが通過する孔を形成してもよい。この場合、ガイドパイプ９５を無くすことも可能である。

本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。

１０ アクチュエータ
１１ キャップ
２０ モータユニット
２１ モータ
２２ 出力軸
３０ ハウジング
３１ レール（支持体）
３２ ベース
３３、３４ 側壁
３３ａ、３４ａ 凹部
３５、３６ 鋼製部材
３５ａ、３６ａ 溝部
３７、３８ カバー
３９ ボール（第２転動体）
４０ ベアリングユニット
４１ ベアリングハウジング
４２ ベアリング
４３ 押さえ部材
５０ ボールねじ軸
５１ ボールねじ軸本体
５１ａ ねじ溝（第１ねじ溝）
５２ 小径部
５９ ボール（第１転動体）
６０ スライダ（移動体）
６１ スライダ本体
６１ａ、６１ｂ 凹部
６２ 取付部
６３、６４、６５ 貫通孔
６３ａ 小径部
６３ｂ 中径部
６３ｃ 大径部
６３ｄ グリス循環溝
６６ 注入口
６７ グリス通路（第２通路）
６８ グリス通路（第５通路）
６９ シート
７０、７１ 鋼製部材
７０ａ、７１ａ 溝部
７０ｂ、７１ｂ 孔部
８０ ボールねじナット
８１ ナット本体
８１ａ ねじ溝（第２ねじ溝）
８２ 円筒部
８３ フランジ部
８４ 循環路
８５ グリス通路（第３通路）
８６、８７ エンドキャップ
８８、８９ 循環路
９０、９１ カラー（流出防止部材）
９２ 固定部材
９３ 貫通孔
９３ａ 小径部
９３ｂ 中径部
９３ｃ 大径部
９４ 潤滑パイプ
９４ａ、９５ａ、９７ 循環路
９５ ガイドパイプ
９６ リターンキャップ
Ｗ グリス通路（第４通路）
Ｃ クリアランス
Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４ 長さ

Claims (13)

1. 第１転動体が転動するボールねじを備えたアクチュエータであって、
   第１ねじ溝が外周面に形成されたボールねじ軸と、
   第２ねじ溝が内周面に形成されるとともに、前記第１転動体が通過する第１循環路が内部に形成され、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って、直線運動する移動体と、
   前記第１ねじ溝と前記第２ねじ溝とに挟まれつつ、前記第１ねじ溝と前記第２ねじ溝との間を転動し、転動した後に前記第１循環路を通過し、前記第１循環路を通過した後に、再び、前記第１ねじ溝と前記第２ねじ溝との間を転動する複数の前記第１転動体と、
   を有し、
   前記移動体には、潤滑剤を注入するための注入口と、前記注入口から注入された前記潤滑剤が通り、前記第２ねじ溝と前記第１循環路との少なくともいずれか一方に通じる第１通路とが、形成されていることを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記移動体は、
   前記ボールねじ軸の回転運動を、直線運動に変換するボールねじナットと、
   前記ボールねじナットからの前記潤滑剤の流出を防止する流出防止部材と、
   を有し、
   前記流出防止部材は、前記ボールねじ軸に沿って、前記ボールねじナットの両側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記流出防止部材は、前記ボールねじ軸の外径と同等の内径を有する円環状に形成されており、前記ボールねじ軸の外周面に嵌め込まれていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記流出防止部材は、前記ボールねじ軸の前記第１ねじ溝に螺合する第３ねじ溝が形成された内周面を有する円環状に形成されており、前記ボールねじ軸に螺合しつつ、嵌め込まれていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
5. 前記流出防止部材は、前記ボールねじナットから離間して配置され、
   前記流出防止部材と前記ボールねじナットとの間は、前記移動体の移動に伴って流出する前記潤滑剤を保持する潤滑剤保持空間から構成されていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
6. 前記流出防止部材は、潤滑油を含んだ素材からなることを特徴とする請求項２乃至５のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
7. 前記移動体は、前記ボールねじナットを内部に配置する移動体本体を有し、
   前記移動体本体には、前記潤滑剤が通る第２通路が形成され、
   前記ボールねじナットには、前記潤滑剤が通る第３通路が形成され、
   前記移動体本体と、前記ボールねじナットとの間には、前記潤滑剤が通る第４通路が形成され、
   前記移動体に形成された前記第１通路は、前記第２通路と、前記第３通路と、前記第４通路とから構成されることを特徴とする請求項２乃至６のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
8. 複数の第２転動体と、
   前記移動体を、前記第２転動体を介して移動可能に支持するとともに、前記ボールねじ軸に沿って第１溝部が形成された支持体をさらに有し、
   前記移動体の内部には、前記第１溝部に対向する第２溝部と、転動体が通過する第２循環路とが、形成され、
   前記第２転動体は、前記第１溝部と前記第２溝部とに挟まれつつ、前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動し、転動した後に前記第２循環路を通過し、前記第２循環路を通過した後に、再び、前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
9. 前記移動体には、前記注入口から注入された前記潤滑剤が通り、前記第１溝部と前記第２循環路との少なくともいずれか一方に通じる第５通路が形成されていることを特徴とする請求項８に記載のアクチュエータ。
10. 前記注入口は、前記第１通路を介して、前記第５通路に通じていることを特徴とする請求項９に記載のアクチュエータ。
11. 前記第２循環路の少なくとも一部には、潤滑油を含んだ潤滑油含有部材が配置されていることを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
12. 前記潤滑油含有部材は、貫通孔が形成された円筒形状に形成され、
    前記第２転動体は、前記貫通孔を通過することを特徴とする請求項１１に記載のアクチュエータ。
13. 前記注入口は、前記移動体に２つ形成され、
    前記移動体が運動する方向を挟んで、前記移動体の両側に形成されていることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか一項に記載のアクチュエータ。

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