JP6570114B2 - アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、例えば、ハウジング内に設置されたねじとナットによるねじナット機構により上記ナットに固着された可動部を前後に移動させるアクチュエータに係り、特に、ナット移動時におけるナット両側の空気の流通を可能にする構成を改良することにより、ナットの強度を十分に確保できるように工夫したものに関する。

従来のアクチュエータを開示するものとして、例えば、特許文献１と特許文献２がある。
特許文献１に記載された電動シリンダは、シリンダケースを備えていて、このシリンダケース内にはボールネジが配置されており、このボールねじにはボールナットが螺合されている。このボールナットには、上記シリンダケースの前端に出没可能に設置された出力ロッドが固着されている。上記ボールねじの後端にはカップリングを介してモータの回転軸が連結されている。上記ボールねじが上記モータによって回転・駆動されると、上記ボールナットひいては上記ロッドが前後に移動される。

また、上記ボールナットには、上記ボールナットの移動方向に延長された貫通孔が形成されている。この貫通孔を通して、上記ボールナットが上記シリンダケース内で移動された際に、上記ボールナットの両側の空気を流通させることで、上記ボールナットの移動を円滑なものとしている。

また、特許文献２に記載された直線作動機も、前記特許文献１に記載された電動シリンダと同様の構成であり、ナットの外周側に空気流通用の溝が形成されている。

実開平２−１５０４５１号公報 実公平２−４１３８６号公報

上記従来の構成によると次のような問題があった。
すなわち、ボールナットやナットに、空気流通用の貫通孔や溝が形成されているため、上記ボールナットやナットの強度が十分に確保できないことが懸念されていた。このような問題は、特に、上記ボールナットやナットを小径化した場合に顕著である。

本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、ナット移動時におけるナット両側の空気の流通を可能にする構成を改良することにより、ナットの強度を十分に確保できるアクチュエータを提供することにある。

上記目的を達成するべく本願発明の請求項１によるアクチュエータは、ハウジングと、上記ハウジング内に配置されたねじと、上記ねじに螺合されたナットと、上記ナットに固着された可動部と、を具備し、上記ハウジング側に上記ナットが移動される際に上記ナットの両側の空気が相互に流通する空気流通路を設け、上記空気流通路は上記ハウジングの内周面に設けられた空気流通用溝であり、上記ナットには回転規制用凸部が直接又は間接的に設けられており、上記ハウジングの内周面には上記回転規制用凸部が係合することにより上記ねじの回転に伴う上記ナットの回転を規制する回転規制用凹部が設けられており、上記空気流通用溝は上記ハウジングの内周面であって上記回転規制用凹部以外の部分に設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項２によるアクチュエータは、ハウジングと、上記ハウジング内に配置されたねじと、上記ねじに螺合されたナットと、上記ナットに固着された可動部と、を具備し、上記ハウジング側に上記ナットが移動される際に上記ナットの両側の空気が相互に流通する空気流通路を設け、上記空気流通路は上記ハウジングの内周面に設けられた空気流通用溝であり、上記ナットには回転規制用凸部が直接又は間接的に設けられており、上記ハウジングの内周面には上記回転規制用凸部が係合することにより上記ねじの回転に伴う上記ナットの回転を規制する回転規制用凹部が設けられており、上記空気流通用溝は上記回転規制用凸部と上記回転規制用凹部の間に形成されていることを特徴とするものである。
また、請求項３によるアクチュエータは、請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記空気流通用溝は上記回転規制用凸部と上記回転規制用凹部の間であって放射方向外方に形成されていることを特徴とするものである。
また、請求項４によるアクチュエータは、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記空気流通用溝は上記ナットの移動方向に沿って延長・形成されていることを特徴とするものである。

以上述べたように、本願発明の請求項１によるアクチュエータによると、ハウジングと、上記ハウジング内に配置されたねじと、上記ねじに螺合されたナットと、上記ナットに固着された可動部と、を具備し、上記ハウジング側に上記ナットが移動される際に上記ナットの両側の空気が相互に流通する空気流通路を設けたので、上記ナットの移動を円滑なものとしつつ、上記ナット側には空気流通用溝を設けないことで、上記ナットの強度を十分に確保することができる。
また、請求項２によるアクチュエータによると、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記空気流通路は上記ハウジングの内周面に設けられた空気流通用溝であるため、容易に形成することができる。
また、請求項３によるアクチュエータによると、請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記ナットには回転規制用凸部が直接又は間接的に設けられており、上記ハウジングの内周面には上記回転規制用凸部が係合することにより上記ねじの回転に伴う上記ナットの回転を規制する回転規制用凹部が設けられており、上記空気流通用溝は上記ハウジングの内周面であって上記回転規制用凹部以外の部分に設けられているため、上記空気流通用溝を大きく確保し、上記ナットの移動をより円滑なものとすることができる。
また、請求項４によるアクチュエータによると、請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記ナットには回転規制用凸部が直接又は間接的に設けられており、上記ハウジングの内周面には上記回転規制用凸部が係合することにより上記ねじの回転に伴う上記ナットの回転を規制する回転規制用凹部が設けられており、上記空気流通用溝は上記回転規制用凸部と上記回転規制用凹部の間に形成されているので、上記空気流通用溝を上記ハウジング側の回転規制用凹部内の潤滑剤を保持するためにも用いることができる。
また、請求項５によるアクチュエータによると、請求項４記載のアクチュエータにおいて、上記空気流通用溝は上記回転規制用凸部と上記回転規制用凹部の間であって放射方向外方に形成されているので、上記空気流通用溝を大きく確保することができる。
また、請求項６によるアクチュエータによると、請求項２〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記空気流通用溝は上記ナットの移動方向に沿って延長・形成されているので、上記ハウジングを、例えば、押し出し成形によって得ることができ、製造を容易にすると共にコストを低減させることができる。

本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図１のＩＩ―ＩＩ断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２のＩＩＩ部の拡大図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図３のＩＶ―ＩＶ断面図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図５（ａ）はナット収容部材の斜視図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＶｂ−Ｖｂ矢視図である。 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図６（ａ）は回転規制部材の斜視図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＶＩｂ−ＶＩｂ矢視図である。 本発明の第２の実施の形態を示す図で、アクチュエータの横断面図である。 本発明の第３の実施の形態を示す図で、アクチュエータの横断面図である。

以下、図１乃至図６を参照して本発明の第１の実施の形態について説明する。
この第１の実施の形態によるアクチュエータ１には、図１に示すように、中空形状のハウジング３がある。このハウジング３内には、例えば、図２に示すように、可動部としてのロッド５が前後方向（図２中左右方向）に移動可能に設置されている。このロッド５の先端部（図２中左側）は、上記ハウジング３の外部に出没可能に配置されていて、そこには先端金具６が螺合・固定されており、この先端金具６を介して図示しない取付対象物が設置されることになる。

図２乃至図４に示すように、上記ロッド５は中空部材であり、その内部には、ボールねじ軸１１が設置されている。このボールねじ軸１１の外周面には、螺旋溝１２が形成されている。また、上記ボールねじ軸１１は、上記ハウジング３の後端側（図２中右端側）に設置されたベアリングケース１３内に内装された軸受１５、１５によって回転可能に支持されている。また、このボールねじ軸１１は、上記ベアリングケース１３の後端側（図２中右端側）に設置されたモータケース１７内に内装されたモータ１９によって、回転・駆動される。上記ボールねじ軸１１の後端側（図２中右端側）と上記モータ１９の出力軸２１はオルダムカップリング機構２３によって連結されている。
上記オルダムカップリング機構２３は、上記ボールねじ軸１１に固着されたハブ２３ａと、上記モータ１９の出力軸２１に固着されたハブ２３ｂと、上記ハブ２３ａと上記ハブ２３ｂに対して係合されるスライダ２３ｃによって構成されている。

また、上記モータ１９の後端側にはエンコーダ２５が設置されており、上記モータ１９の出力軸２１の回転方向や回転角度等を検出できるようになっている。

上記ボールねじ軸１１には、ボールねじナット３１が螺合されている。このボールねじナット３１は、略円筒形のボールねじナット本体３３と、このボールねじナット本体３３の前後方向両端側にそれぞれ設置されたエンドキャップ３５ａ、３５ｂとから構成される。上記ボールねじナット本体３３の内周面には図示しない螺旋溝が形成されるとともに、上記ボールねじナット本体３３の内部には図示しない無負荷循環路が形成されている。また、上記エンドキャップ３５ａ、３５ｂの内部には、図示しないリターン路がそれぞれ形成されている。上記ボールねじ軸１１の螺旋溝１２と上記ボールねじナット本体３３の図示しない螺旋溝との間の空間、上記エンドキャップ３５ａの図示しないリターン路、上記ボールねじナット本体３３の図示しない無負荷循環路、及び、上記エンドキャップ３５ｂの図示しないリターン路内には、図示しない複数の鋼球が転動・循環される。
また、上記ボールねじナット本体３３の後端にはフランジ部３７が突設されている。
また、上記エンドキャップ３５ａとロッド５の内周段付部との間には環状の潤滑部材８が設置されている。

また、図２に示すように、上記ボールねじナット３１には、ナット収容部材４１を介して、上記ロッド５が固着されている。このナット収容部材４１は、図５に示すように、略円筒形であり、その内部に上記ボールねじナット３１が収容されている。図２に示すように、上記ナット収容部材４１の内周面の前後方向（図２中左右方向）の略中央付近には雌ねじ部４３が形成されている。この雌ねじ部４３に上記ロッド５の後端側（図２中右側）に形成された雄ねじ部４５が螺合されている。

また、上記ナット収容部材４１の内周面の、上記雌ねじ部４３の後方（図２中右側）は縮径されていて、この縮径された部分の前方側の面（図２中左側の面）がナット当接部４７となっている。上記フランジ部３７は、上記ロッド５の後端面（図２中右側の面）と上記ナット当接部４７との間に挟持されている。すなわち、上記ロッド５をナット収容部材４１に螺合・固定することにより、上記フランジ部３７が上記ロッド５の後端面（図２中右側の面）と上記ナット当接部４７との間に挟持され、それによって、ロッド５、ナット収容部材４１、ボールねじナット３１が一体化されることになる。

また、上記ナット収容部材４１の外周側の前後方向（図５（ａ）中左下から右上に向かう方向）中央付近には、周方向に等間隔な３箇所に回転防止用係合凸部４８ａ、４８ｂ、４８ｃが突出・形成されている。
また、上記ナット収容部材４１の外周面の、上記回転防止用係合凸部４８ａ、４８ｂ、４８ｃ間には前後移動防止用係合凹部４９、４９、４９が形成されている。

また、上記ナット収容部材４１の外周側の後端側（図５（ａ）中右上側）には、治具用凸部５０、５０、５０（図５（ａ）には、これらの内２つを図示している）が突出・形成されている。これら治具用凸部５０、５０、５０は、上記ロッド５を上記ナット収容部材４１に螺合させる際に、図示しない治具によって上記ナット収容部材４１を把持する際に用いられる。

また、上記ナット収容部材４１の外周側には、図２、図３に示すように、樹脂製の回転規制部材５１が被冠される構成になっている。
なお、回転規制部材５１の材質としては樹脂に限定されるものではなく、例えば、金属製でもよい。

また、図６に示すように、上記回転規制部材５１は回転規制部材本体５３を備えていて、この回転規制部材本体５３は、略円筒形状をなす部材にスリット５２を形成し略Ｃ字型の横断面形状を成している。上記回転規制部材本体５３の外周側であって周方向に等間隔な３箇所には、固定用係合凸部５５ａ、５５ｂ、５５ｃが突出・形成されている。これら固定用係合凸部５５ａ、５５ｂ、５５ｃの内周側には回転防止用係合凹部５６ａ、５６ｂ、５６ｃがそれぞれ形成されている。

また、上記固定用係合凸部５５ｃは上記スリット５２を跨って設けられており、右側固定用係合凸部５５ｃ_１と左側固定用係合凸部５５ｃ_２に分かれている。また、回転防止用係合凹部５６ｃも、上記スリット５２を跨って設けられており、右側回転防止用係合凹部５６ｃ_１と左側回転防止用係合凹部５６ｃ_２に分かれている。

上記回転防止用係合凹部５６ａ、５６ｂ、５６ｃには、上記回転規制部材５１が上記ナット収容部材４１に被冠された際、上記ナット収容部材４１の回転防止用係合凸部４８ａ、４８ｂ、４８ｃが係合される。
また、上記回転防止用係合凸部４８ａ、４８ｂ、４８ｃの周方向両外側面が、上記回転規制部材本体５３の回転防止用係合凹部５６ａ、５６ｂ、５６ｃの周方向内側面に当接され、それによって、上記回転規制部材５１と上記ナット収容部材４１ひいてはボールねじナット３１の相対的な回転が規制される。

また、上記回転規制部材５１の内側であって上記回転防止用係合凹部５６ａ、５６ｂ、５６ｃ相互間には、前後移動防止用係合凸部５７、５７、５７が形成されている。これら前後移動防止用係合凸部５７、５７、５７は上記ナット収容部材４１の前後移動防止用係合凹部４９、４９、４９に係合される。上記前後移動防止用係合凸部５７の前後方向外端面は、上記前後移動防止用係合凹部４９の前後方向（図２中左右方向）内端面に当接しており、それによって、上記回転規制部材５１と上記ナット収容部材４１ひいてはボールねじナット３１の前後方向（図２中左右方向）への相対的な移動が規制される。

上記回転規制部材本体５３の外周側であって、上記固定用係合凸部５５ａ、５５ｂ、５５ｃの間には回転規制用凸部６１、６１、６１が突出・形成されている。これら回転規制用凸部６１、６１、６１は、周方向に等間隔に配置されている。一方、図４に示すように、上記ハウジング３の内側には、回転規制用凹部としての３本の溝６３、６３、６３が前後方向（図４（ａ）中紙面垂直方向）に延長・形成されている。上記回転規制用凸部６１、６１、６１が上記溝６３、６３、６３に係合されることにより、上記ボールねじ軸１１が回転された際の上記ボールねじナット３１の回転が規制されるとともに、上記ボールねじナット３１ひいては上記ロッド５が前後方向（図２中左右方向）にガイドされることになる。
なお、上記ハウジング３の内周側には、上記固定用係合凸部５５ａ、５５ｂ、５５ｃに対応する溝６４、６４、６４が形成されている。これら固定用係合凸部５５ａ、５５ｂ、５５ｃが溝６４、６４、６４に僅かな隙間を介して係合することによっても回転を規制する構成になっている。

また、上記回転規制用凸部６１、６１、６１には、図６（ａ）に示すように、それぞれ後端側（図６（ａ）中右上端側）に切欠部６５が形成されており、この切欠部６５の両側が弾性保持部６７、６７となっている。これら弾性保持部６７、６７の外側部は外方に出っ張った形状をなしている。上記回転規制用凸部６１、６１、６１が上記溝６３、６３、６３に圧入されることにより、上記弾性保持部６７、６７が相互に接近する方向に弾性変形され、それによって、弾性保持力が発揮されることになる。又、上記弾性保持部６７、６７が上記溝６３内で適宜弾性変形することにより動作時の振動に起因した衝撃を吸収するように構成されている。又、上記切欠部６５の奥には略円形をなす貫通孔６８が穿孔されていて、上記弾性保持部６７、６７の基部の厚みを薄くしている。それによって、弾性保持部６７、６７が弾性変形し易い構成になっている。

また、上記回転規制部材本体５３の前端側（図６（ａ）中左側）には、３つの支持部７１、７１、７１を介して、ストッパ当接部７３が一体に設けられている。このストッパ当接部７３は、図２、図３に示すように、上記回転規制部材５１が上記ナット収容部材４１に被冠された際、上記ナット収容部材４１の前端側（図３中左端側）に突出・配置される。図２に示すように、上記ハウジング３内部の前端側（図２中左端側）にはストッパ７５が設置されており、上記ボールねじナット３１ひいては上記ナット収容部材４１が前端まで移動されると（図２中左側に移動される）、上記ストッパ当接部７３が上記ストッパ７５に当接される。それによって、上記ナット収容部材４１が上記ストッパ７５に直接当接することを防止している。

なお、上記回転規制部材本体５３の前端側（図６（ａ）中左側）に上記ストッパ当接部７３が一体に設けられている関係で、上記回転規制部材５１は、前端側（図５（ａ）中左下側）から上記ナット収容部材４１に被冠される。

また、図４に示すように、上記ハウジング３の内周面の、隣接する上記溝６３と上記溝６４の間には、それぞれ、空気流通路として空気流通用溝７７が形成されている。これら空気流通用溝７７は、上記ボールねじナット３１の移動方向（図４中紙面垂直方向）に沿って延長・形成されている。上記ハウジング３の前後端は、上記ストッパ７５と前記したベアリングケース１３によって閉塞されているため、上記空気流通用溝７７を介して、上記ボールねじナット３１の移動によって付勢される空気を、上記ボールネジナット３１の両側間で流通させることで、上記ボールねじナット３１の移動を円滑なものとしている。

次に、この第1の実施の形態による作用について説明する。
まず、モータ１９によってボールねじ軸１１が回転されると、ボールねじナット３１、ナット収容部材４１ひいてはロッド５が前後方向（図２中左右方向）に移動される。
その際、回転規制部材５１の回転規制用凸部６１、６１、６１とハウジング３の内側の溝６３、６３、６３との係合構造、及び、固定用係合凸部５５ａ、５５ｂ、５５ｃと溝６４、６４、６４との係合構造によって、上記ボールねじナット３１の回転が規制されるとともに、前後方向（図２中左右方向）にガイドされる。
個々の回転規制用凸部６１の弾性保持部６７、６７は上記溝６３内に弾性変形可能な状態で内装されており、弾性変形することにより上記ボールねじナット３１の移動の際の振動に起因した衝撃が吸収され、また、アクチュエータ１の駆動時に発生する騒音が低減される。

また、上記ボールねじナット３１及び上記ナット収容部材４１が前端まで移動される（図２中左側に移動される）と、上記ストッパ当接部７３が上記ストッパ７５に当接され、上記ナット収容部材４１が上記ストッパ７５に直接当接することはないので、上記ナット収容部４１の損傷を防止してその保護を図ることができる。

また、上記ボールねじナット３１が移動された際、上記ボールねじナット３１の両側の空気が上記空気流通用溝７７を介して相互間で流通することになり、それによって、上記ボールねじナット３１の移動を円滑なものとしている。

次に、この第1の実施の形態による効果について説明する。
まず、上記ボールねじナット３１が移動された際、上記ボールねじナット３１の両側の空気が上記空気流通用溝７７を介して相互間で流通することになり、それによって、上記ボールねじナット３１の移動を円滑なものとすることができる。
また、上記空気流通用溝７７はハウジング３に形成されていて、上記ボールねじナット３１には形成されていないため、上記ボールねじナット３１の強度を十分に確保することができる。
また、上記空気流通用溝７７は、上記ハウジング３の溝６３や溝６４以外の部分、すなわち、上記ハウジング３の肉厚な部分に形成されているので、上記空気流通用溝７７を大きく確保でき、上記ボールねじナット３１の移動をより円滑なものとすることができる。
また、上記空気流通用溝７７は、上記ボールねじナット３１の移動方向（図4中紙面垂直方向）に沿って延長・形成されているので、ハウジング３を、例えば、押し出し成形によって得ることができ、製造を容易にすると共にコストを低減させることができる。

次に、図７を参照して本発明の第２の実施の形態を説明する。
この第２の実施の形態によるアクチュエータ８１は、前記第１の実施の形態のアクチュエータ１とは異なる場所に空気流通用溝を設けている。すなわち、図７に示すように、前記第１の実施の形態では隣接する溝６３と溝６４の間に空気流通用溝７７を形成していたが、この第２の実施の形態の場合には、上記溝６３及び溝６４の底部に空気流通路としての空気流通用溝８３を形成している。
なお、その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同様であり、図中同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。

この第２の実施の形態の場合は、前記第１の実施の形態における作用・効果に加え、次のような作用・効果を奏するものである。
まず、空気流通用溝８３が溝６３及び溝６４の底部に設けられているため、そこに回転規制部材５１の動作を円滑にするための潤滑剤を保持することもできる。
なお、空気流通用溝８３内に潤滑剤が保持されていても空気の流通を阻害するようなことはない。
また、上記空気流通用溝８３は、上記溝６３、６４の底部に形成されているので、例えば、溝６３、６４の側部に設ける場合に比べてスペース的に制約が少なく、より大きな空気流通用溝８３を確保することができ、それによって、上記ボールねじナット３１の移動をより円滑なものとすることができる。

次に、本発明の第３の実施の形態について、図８を参照しながら説明する。
この第３の実施の形態によるアクチュエータ９１は、前記第１の実施の形態のアクチュエータ１と第２の実施の形態のアクチュエータ８１を組み合わせ構成となっている。すなわち、上記ハウジング３の内周面には、空気流通路として空気流通用溝７７と空気流通用溝８３の両方が形成されている。
なお、その他の構成は前記第１、第２の実施の形態と同じであり、図中同一部分には同一の符号を付して示しその説明は省略する。

この第３の実施の形態の場合は、前記第１の実施の形態における作用・効果と、前記第２の実施の形態における作用・効果の両方を奏するものである。また、より多くの空気流通用溝７７、８３が確保されているので、上記ボールねじナット３１の移動をより円滑なものとすることができる。

なお、本発明は前記第１〜第３の実施の形態に限定されない。
まず、前記第１〜第３の実施の形態の場合には、空気流通路として空気流通用溝を例に挙げて説明したが、孔、溝と孔の組み合せ、等でもよい。
また、空気流通用溝の数や横断面形状等についてはこれを特に限定するものではない。
また、回転規制用凹部内に空気流通用溝を設ける場合、底部に限定されるものではなく、例えば、側部に設ける構成も考えられる。
また、前記第１〜第３の実施の形態の場合には、上記回転規制用凹部に係合される回転規制用凸部はボールねじナットに被冠された回転規制部材に形成されているが、上記ボールねじナットに上記回転規制用凸部を直接設けるようにしてもよい。
また、可動部としては、ロッド以外にも、スライダ等、様々なものが考えられる。
また、前記第１〜第３の実施の形態の場合にはハウジング内が気密に保持されている場合を例に挙げて説明したが、外気と連通しているような構成でも同様に適用可能である。
その他、図示した構成は一例であり様々な場合が考えられる。

本発明は、例えば、ハウジング内に設置されたねじとナットによるねじナット機構により上記ナットに固着された可動部を前後に移動させるアクチュエータに係り、ナット移動時におけるナット両側の空気の流通を可能にする構成を改良することにより、ナットの強度を十分に確保できるように工夫したものに関し、特に、産業用ロボットに用いられるアクチュエータに好適である。

１ アクチュエータ
３ ハウジング
５ ロッド（可動部）
１１ ボールねじ軸（ねじ）
３１ ボールねじナット（ナット）
６１ 回転規制用凸部
６３ 溝（回転規制用凹部）
７７ 空気流通用溝
８１ アクチュエータ
８３ 空気流通用溝
９１ アクチュエータ

Claims (4)

1. ハウジングと、
   上記ハウジング内に配置されたねじと、
   上記ねじに螺合されたナットと、
   上記ナットに固着された可動部と、
   を具備し、
   上記ハウジング側に上記ナットが移動される際に上記ナットの両側の空気が相互に流通する空気流通路を設け、
   上記空気流通路は上記ハウジングの内周面に設けられた空気流通用溝であり、
   上記ナットには回転規制用凸部が直接又は間接的に設けられており、
   上記ハウジングの内周面には上記回転規制用凸部が係合することにより上記ねじの回転に伴う上記ナットの回転を規制する回転規制用凹部が設けられており、
   上記空気流通用溝は上記ハウジングの内周面であって上記回転規制用凹部以外の部分に設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
2. ハウジングと、
   上記ハウジング内に配置されたねじと、
   上記ねじに螺合されたナットと、
   上記ナットに固着された可動部と、
   を具備し、
   上記ハウジング側に上記ナットが移動される際に上記ナットの両側の空気が相互に流通する空気流通路を設け、
   上記空気流通路は上記ハウジングの内周面に設けられた空気流通用溝であり、
   上記ナットには回転規制用凸部が直接又は間接的に設けられており、
   上記ハウジングの内周面には上記回転規制用凸部が係合することにより上記ねじの回転に伴う上記ナットの回転を規制する回転規制用凹部が設けられており、
   上記空気流通用溝は上記回転規制用凸部と上記回転規制用凹部の間に形成されていることを特徴とするアクチュエータ。
3. 請求項２記載のアクチュエータにおいて、
   上記空気流通用溝は上記回転規制用凸部と上記回転規制用凹部の間であって放射方向外方に形成されていることを特徴とするアクチュエータ。
4. 請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
   上記空気流通用溝は上記ナットの移動方向に沿って延長・形成されていることを特徴とするアクチュエータ。

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