JP2013141737A - 研磨剤回収方法、研磨剤回収装置、ガラスの研磨方法およびガラス研磨システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨装置10で粒子状の酸化セリウム系研磨剤を用いてリン酸ガラスあるいはフツリン酸ガラスなどのガラス13を研磨した際、もしくはガラス研磨装置10の洗浄およびガラスの研磨に用いる研磨パッド12のドレッシングなどのメンテナンスの際に発生する研磨排水22を、ポンプ26で送出して、フィルタ24で粗大粒子を除去した後、中空糸膜フィルタ32に通して、研磨剤が濃縮された濃縮水とガラスの成分を含有する濾過水とに分離し、濃縮水を濃縮水出口36から排出する。
【選択図】図1
Description
Claims (10)
- 粒子状の研磨剤を用いてリン酸ガラスおよびフツリン酸ガラスのいずれかのガラスを研磨した際に発生する排水もしくは前記ガラスの研磨に用いるガラス研磨装置の洗浄および前記ガラスの研磨に用いる研磨パッドのドレッシングのいずれかの作業の際に発生する排水のいずれかの研磨排水を前記研磨剤が濃縮された濃縮水と前記ガラスの成分を含有する濾過水とに限外濾過膜を用いて分離する濃縮工程を具備することを特徴とする研磨剤回収方法。
- 前記濾過水は、イオン化したガラス成分を含有することを特徴とする請求項1に記載の研磨剤回収方法
- 前記研磨剤は水中での分散性が高い良分散性であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の研磨剤回収方法。
- 前記研磨剤は酸化セリウム系、ジルコニア系、アルミナ系およびガーネット系のいずれかであることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の研磨剤回収方法。
- 粒子状の研磨剤を用いてリン酸ガラスおよびフツリン酸ガラスのいずれかのガラスを研磨した際に発生する排水もしくは前記ガラスの研磨に用いるガラス研磨装置の洗浄および前記ガラスの研磨に用いる研磨パッドのドレッシングのいずれかの作業の際に発生する排水のいずれかの研磨排水を前記研磨剤が濃縮された濃縮水と前記ガラスの成分を含有する濾過水とに限外濾過膜を用いて分離する濃縮工程と、
前記濃縮水を前記ガラスの研磨に用いる再利用工程と、
を具備することを特徴とするガラスの研磨方法。 - 粒子状の研磨剤を用いてリン酸ガラスおよびフツリン酸ガラスのいずれかのガラスを研磨した際、もしくはガラス研磨装置をメンテナンスした際に発生する研磨排水から前記研磨剤を回収する研磨剤回収装置において、
前記研磨排水が供給される入口と濃縮水出口と濾水口とが形成された容器と、
前記容器内に前記入口と前記濃縮水出口との間に流路を形成しその流路と前記濾水口との間を仕切る限外濾過膜と、
を具備することを特徴とする研磨剤回収装置。 - 前記研磨排水を前記入口に送出するポンプと、
前記入口に供給される前に前記研磨排水から所定の大きさ以上の粒子を取り除くフィルタと、
をさらに具備することを特徴とする請求項6に記載の研磨剤回収装置。 - 前記濃縮水出口から排出される濃縮水を再び前記入口に供給する循環配管をさらに具備することを特徴とする請求項6または請求項7に記載の研磨剤回収装置。
- 粒子状の研磨剤を水に混合した研磨剤懸濁液を用いてリン酸ガラスおよびフツリン酸ガラスのいずれかのガラスを研磨、もしくはメンテナンスして研磨排水を排出するガラス研磨装置と、
前記研磨排水が供給される入口と濃縮水出口と濾水口とが形成された容器と、前記容器内に前記入口と前記濃縮水出口との間に流路を形成しその流路と前記濾水口との間を仕切る限外濾過膜と、を備えた研磨剤回収装置と、
を具備することを特徴とするガラス研磨システム。 - 前記研磨剤回収装置が回収した前記研磨剤を前記研磨装置に供給する再利用手段をさらに具備することを特徴とする請求項9に記載のガラス研磨システム。
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