JP2013137295A - 貼合基板の回転ズレ量計測装置、貼合基板の回転ズレ量計測方法、及び貼合基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源201は、ノッチNの開口部正面側であって貼合ウェハWの外縁部から所定間隔離れた位置に配置され、光Bを出射してノッチNを含む貼合ウェハWの外縁部を照射する。カメラ202は、光源201が出射した光BのうちノッチNを含む貼合ウェハWの外縁部で鏡面反射した反射光Rを受光して光電変換することにより、反射光Rの輝度分布を画像として出力する。コンピュータ9は、カメラ202が出力した画像からノッチN1及びN2の位置を解析してノッチ位置ズレ量を求め、更に半導体ウェハS1とS2の中心位置ズレ量を用いて、半導体ウェハS1とS2の回転ズレ量を算出する。
【選択図】図8
Description
図4は、中心位置ズレ量計測装置2の全体構成を模式的に示す図である。この中心位置ズレ量計測装置2は、半導体ウェハS1及びS2の直径及び中心位置ズレ量を測定する装置であり、輪郭測定部3、エッジ形状測定部4、コンピュータ5を備えて構成される。ここで、中心位置ズレ量計測装置2は、例えば、特開2012−7898号公報に記載された手法を採用すればよい。以下、説明する。
次に、ノッチ位置ズレ量の測定方法について説明する。
図8は、鏡面反射を用いてノッチNの形状情報を取得し、回転ズレ量を算出する場合における回転ズレ量計測装置1の構成を示した図である。光源201とカメラ202(撮像部)とはノッチ形状取得部200に相当する。光源201は、光ファイバの出射端や発光ダイオード等であり、貼合ウェハWの外縁部から所定間隔離れた位置であってノッチNの開口部正面側に配置され、ノッチNに向けて光Bを出射する。
図13は、レーザー顕微鏡を用いてノッチNの形状情報を取得する場合における回転ズレ量計測装置1の構成を示した図である。レーザー顕微鏡203はノッチ形状取得部200に相当する。レーザー顕微鏡203は、レーザー光源、光学レンズ及び受光素子等で構成され、ノッチNの開口部正面側であって、貼合ウェハWの外縁部から所定間隔離れた位置に配置されている。レーザー顕微鏡203は、レーザー光源の出射したレーザー光のうちノッチNで反射した光を光学レンズを介して受光素子で受光する。そして、受光素子が受光した光を光電変換してノッチNを視覚的に拡大した画像を生成し、その画像をコンピュータ9へ出力する。
図14は、カメラ群を用いてノッチNの形状情報を取得する場合における回転ズレ量計測装置1の構成を示した図である。カメラ204(第1撮像部)及びカメラ205(第2撮像部)はノッチ形状取得部200に相当する。以下、カメラ204及びカメラ205をまとめて「カメラ群300」という。カメラ群300は、貼合ウェハWを挟んで厚さ方向(矢印T方向)に互いに対向し、且つノッチNから所定間隔離れた位置にそれぞれ配置されている。
図16は、赤外線カメラを用いてノッチNの形状情報を取得する場合における回転ズレ量計測装置1の構成を示した図である。赤外線カメラ207(赤外線カメラ)と赤外光源206とはノッチ形状取得部200に相当する。赤外線カメラ207と赤外光源206とは、貼合ウェハWを挟んで厚さ方向(矢印T方向)に互いに対向し、且つノッチNから所定間隔離れた位置にそれぞれ配置されている。尚、図16では、赤外線カメラ207を半導体ウェハS1側、赤外光源206を半導体ウェハS2側に配置しているが、逆でも構わない。
次に、本実施の形態における貼合ウェハWの製造方法について説明する。本実施の形態における貼合ウェハWの製造方法は、上記の回転ズレ量検出装置による回転ズレ量検出方法を用いて貼合ウェハWを検品することを特徴とする。
2 中心位置ズレ量計測装置
3 輪郭測定部
4 エッジ形状測定部
5、9 コンピュータ
200 ノッチ形状取得部
201 光源
202、204、205 カメラ
203 レーザー顕微鏡
207 赤外線カメラ
210 ノッチ位置ズレ量算出部
220 回転ズレ量算出部
1801 半導体基板
1802 支持基板
1803 接着剤層
2001 貼合部
2002 検品部
N、N1、N2 ノッチ
NB、NB1、NB2 ノッチ底部
NK、NK1 ノッチ肩部
O1、O2 中心位置
S、S1、S2 半導体ウェハ
W 貼合ウェハ
x1 中心位置ズレ量
x2 ノッチ位置ズレ量
θ 回転ズレ量
Claims (10)
- ノッチが外縁部に形成された円盤状の基板が当該基板の厚さ方向に複数枚重ねて貼り合わされた貼合基板の各基板間の回転ズレ量を検出する貼合基板の回転ズレ量計測装置であって、
各基板の中心位置のズレ量である中心位置ズレ量を取得する中心位置ズレ量取得手段と、
各基板のノッチの形状情報を取得するノッチ形状取得手段と、
前記ノッチの形状情報から各基板のノッチ位置を求め、当該各ノッチ位置から各基板間におけるノッチ位置のズレ量であるノッチ位置ズレ量を算出するノッチ位置ズレ量算出手段と、
前記中心位置ズレ量及び前記ノッチ位置ズレ量に基づいて、各基板間の回転ズレ量を算出する回転ズレ量算出手段とを備える貼合基板の回転ズレ量計測装置。 - 前記複数の基板の中の何れか1つを基準基板とし、
前記中心位置ズレ量取得手段は、前記基準基板の中心位置である基準中心位置と前記基準基板以外の基板の中心位置との間のズレ量を前記中心位置ズレ量として取得し、
前記ノッチ位置ズレ量算出手段は、前記基準基板のノッチ位置である基準ノッチ位置と前記基準基板以外の基板のノッチ位置との間のズレ量を前記ノッチ位置ズレ量として算出し、
前記回転ズレ量算出手段は、前記中心位置ズレ量及び前記ノッチ位置ズレ量を用いて、前記基準基板の中心位置及び前記ノッチ位置間を結んだ直線と、前記基準基板以外の基板の中心位置及びノッチ位置間を結んだ直線とがなす角度を前記回転ズレ量として算出する請求項1に記載の貼合基板の回転ズレ量計測装置。 - 前記ノッチ形状取得手段は、前記ノッチの開口部の正面側に配置され、全ての前記基板のノッチの形状情報を同時に取得する請求項1又は2記載の貼合基板の回転ズレ量計測装置。
- 前記ノッチ形状取得手段は、
前記基板の周方向に沿って複数の角度から前記ノッチを含む前記基板の外縁部を照射する光源と、
前記光源が出射した光が前記ノッチを含む外縁部で反射した反射光を受光し、当該反射光の輝度情報を前記ノッチの形状情報として出力する撮像部とを備え、
前記ノッチ位置ズレ量算出手段は、前記輝度情報から各基板のノッチ位置を求める請求項3に記載の貼合基板の回転ズレ量計測装置。 - 前記ノッチ形状取得手段は、前記ノッチの開口部の正面側から全ての基板のノッチ形状の画像を取得し、取得した画像を前記形状情報として出力するレーザー顕微鏡である請求項3に記載の貼合基板の回転ズレ量計測装置。
- 前記ノッチ形状取得手段は、前記ノッチを挟んで前記基板の厚さ方向に所定間隔離れた位置に配置され、前記貼合基板の一方の面側又は両面側から前記ノッチの形状情報を取得する請求項1又は2記載の貼合基板の回転ズレ量計測装置。
- 前記ノッチ形状取得手段は、
前記ノッチから前記基板の厚さ方向に所定間隔離れた位置に配置され、前記貼合基板の前記一方の面側から前記ノッチを撮影して第1形状情報を出力する第1撮像部と、
前記ノッチから前記基板の厚さ方向に所定間隔離れた位置に配置され、前記貼合基板の前記他方の面側から前記ノッチを撮影して第2形状情報を出力する第2撮像部とを備え、
前記ノッチ位置ズレ量算出手段は、前記第1形状情報及び前記第2形状情報から各基板のノッチ位置を求める請求項6記載の貼合基板の回転ズレ量計測装置。 - 前記ノッチ形状取得手段は、
前記ノッチから前記基板の厚さ方向に所定間隔離れた位置に配置され、前記貼合基板の前記一方の面側から前記ノッチを照射する赤外光源と、
前記ノッチから前記基板の厚さ方向に前記所定間隔離れた位置であって、前記貼合基板の前記他方の面側に配置され、前記赤外光源が出射した赤外光のうち、前記基板を透過した透過光を受光して、前記透過光の強度情報を前記ノッチの形状情報として出力する赤外線カメラとを備え、
前記ノッチ位置ズレ量算出手段は、前記強度情報から各基板のノッチ位置を求める請求項6に記載の貼合基板の回転ズレ量計測装置。 - ノッチが外縁部に形成された円盤状の基板が当該基板の厚さ方向に複数枚重ねて貼り合わされた貼合基板の各基板間の回転ズレ量を検出する貼合基板の回転ズレ量計測方法であって、
各基板の中心位置のズレ量である中心位置ズレ量を取得する中心位置ズレ量取得ステップと、
各基板のノッチの形状情報を取得するノッチ形状取得ステップと、
前記ノッチの形状情報から各基板のノッチ位置を求め、当該各ノッチ位置から各基板間におけるノッチ位置のズレ量であるノッチ位置ズレ量を算出するノッチ位置ズレ量算出ステップと、
前記中心位置ズレ量及び前記ノッチ位置ズレ量に基づいて、各基板間の回転ズレ量を算出する回転ズレ量算出ステップとを備える貼合基板の回転ズレ量計測方法。 - ノッチが外縁部に形成された円盤状の半導体基板とノッチが外縁部に形成された円盤状の支持基板とを貼り合わせて貼合基板を製造する貼合基板の製造方法であって、
前記ノッチが重なるように前記半導体基板と前記支持基板とを貼り合わせる貼合ステップと、
前記支持基板が貼り合わされた前記半導体基板の回転ズレ量を請求項9記載の回転ずれ量計測方法を用いて計測する回転ズレ量計測ステップと、
前記回転ズレ量計測ステップにより計測された回転ズレ量に基づき、前記貼合基板を検品する検品ステップとを備える貼合基板の製造方法。
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