JPWO2019198458A1 - 半導体ウェーハの評価方法および半導体ウェーハの製造方法 - Google Patents

Abstract

評価対象の半導体ウェーハの厚み方向の断面輪郭を示す輪郭曲線を作成することおよび上記輪郭曲線を二次微分することを含み、評価対象の半導体ウェーハは、ウェーハ外周縁部に面取り面が形成された半導体ウェーハであり、上記輪郭曲線は、Ｘ軸の値が水平方向位置座標に対応し、Ｙ軸の値が垂直方向位置座標に対応し、かつ評価対象の半導体ウェーハの一方の表面側の主面の外周縁部側部分から外周縁部の前記主面側部分までの領域の断面輪郭を示す曲線部分を含み、上記二次微分により得られた二次微分曲線から定められる指標に基づき、上記主面とこの主面と隣接する面取り面との境界部の形状を評価することを更に含む半導体ウェーハの評価方法が提供される。

Description

本発明は、半導体ウェーハの評価方法および半導体ウェーハの製造方法に関する。

近年、半導体ウェーハについて、ウェーハ外周縁部の形状を評価することが行われている（例えば特許文献１参照）。

特開２０１６−１３０７３８号公報

半導体ウェーハは、一般に、インゴットから切り出したウェーハに各種加工を施して製造される。インゴットから切り出したウェーハの外周縁部は、そのままでは角部を有するため割れや欠けが生じやすい。そこで、半導体ウェーハのデバイス形成面側となる表面（おもて面）側およびおもて面とは反対側の表面（裏面）側の少なくとも一方の外周縁部に面取り加工を施して面取り面を形成すことが、通常行われる。この面取り面に関して、特許文献１には、面取り面が白色で表示されるように画像を取得し、この画像の幅寸法から面取り面の幅寸法を算出することが提案されている（特許文献１の段落００６０〜００６２参照）。以下において、半導体ウェーハの「表面」とは、特記しない限り、上記のおもて面および裏面のいずれか一方または両方を言うものする。

半導体ウェーハの表面において、おもて面側の主面は、その上にデバイスが形成される平面であり、その裏側の平面が裏面側の主面である。ウェーハ外周縁部に形成された面取り面は、隣接する主面に対して傾斜した面形状を有する。したがって、半導体ウェーハの厚み方向の断面形状を見ると、主面とこの主面と隣接する面取り面との境界部において、形状が大きく変化する。この主面と面取り面との境界部の形状は、半導体デバイスの製造工程における欠け、キズの発生のし易さ等を予測するための指標とすることができる。例えば、半導体デバイスの製造工程において、熱処理時にウェーハを支持するウェーハサポートの形状に合わせてウェーハ表面（例えば裏面）と面取り面との境界部の形状を適切に設定することによって、接触による境界部の欠けやキズが発生し難くなるため、欠けやキズを原因とする転位（スリップ）や発塵の発生率を低減することができる。
しかし、特許文献１に記載の方法は、面取り面の幅寸法を求める方法であって、特許文献１に記載の方法では、面取り面と主面との境界部の形状を評価することはできない。

そこで本発明の目的は、半導体ウェーハの面取り面と主面との境界部の形状を評価するための新たな方法を提供することにある。

本発明の一態様は、
評価対象の半導体ウェーハの厚み方向の断面輪郭を示す輪郭曲線を作成すること、および、
上記輪郭曲線を二次微分すること、
を含み、
評価対象の半導体ウェーハは、ウェーハ外周縁部に面取り面が形成された半導体ウェーハであり、
上記輪郭曲線は、Ｘ軸の値が水平方向位置座標に対応し、Ｙ軸の値が垂直方向位置座標に対応し、かつ評価対象の半導体ウェーハの一方の表面側の主面の外周縁部側部分から外周縁部の上記主面側部分までの領域の断面輪郭を示す曲線部分を含み、
上記二次微分により得られた二次微分曲線から定められる指標に基づき、上記主面とこの主面と隣接する面取り面との境界部の形状を評価することを更に含む、半導体ウェーハの評価方法（以下、単に「評価方法」とも記載する。）、
に関する。

一態様では、上記評価方法は、
上記二次微分により得られた二次微分曲線のピーク領域の曲線上にあるＹ軸の値が同じ２点のＸ軸の値を特定すること、
上記二次微分前の輪郭曲線の上記曲線部分において、Ｘ軸の値が上記特定された値である２点間の領域を、円フィッティング領域として特定すること、
上記円フィッティング領域の輪郭形状に円をフィッティングさせて円を作成すること、および、
上記作成された円のサイズを上記指標とすること、
を含むことができる。本発明者らは鋭意検討を重ねた結果、上記円のサイズについて、面取り面と主面との境界部の形状がよりなだらかであるほど円のサイズはより大きく、面取り面と主面との境界部の形状がより急峻であるほど円のサイズはより小さくなることを新たに見出した。したがって、かかる円のサイズに基づけば、主面と面取り面との境界部の形状のなだらかさ／急峻さを評価することが可能となる。

一態様では、上記評価方法は、評価対象の半導体ウェーハの複数の異なる箇所においてそれぞれ上記円のサイズを求めることを含むことができ、上記複数の異なる箇所において求められた複数の円のサイズの代表値を指標として上記境界部の形状を評価することができる。

一態様では、上記代表値は、上記複数の円のサイズの平均値であることができる。

一態様では、上記評価方法は、上記二次微分により得られた二次微分曲線のピーク領域の曲線上にあるＹ軸の値が同じ２点のＸ軸の値を特定し、この特定された２点間のＸ軸方向の距離を上記指標とすることを含むことができる。本発明者らは鋭意検討を重ねた結果、面取り面と主面との境界部の形状がよりなだらかであるほど上記距離の値はより大きくなり、面取り面と主面との境界部の形状がより急峻であるほど上記距離の値はより小さくなることを新たに見出した。したがって、かかる距離の値に基づけば、主面と面取り面との境界部の形状のなだらかさ／急峻さを評価することが可能となる。

一態様では、上記２点のＸ軸の値が特定されるＹ軸の値は、Ｙ軸の値が０の位置を０％とし、上記ピーク領域のピーク深さまたはピーク高さを１００％として、深さまたは高さが４０〜８０％の位置のＹ軸の値であることができる。

一態様では、上記評価方法は、上記輪郭曲線を、評価対象の半導体ウェーハを上記一方の表面側の上方から顕微鏡観察して取得された位置座標情報を用いて作成することを含むことができる。

一態様では、上記評価方法は、上記顕微鏡観察をレーザー顕微鏡によって行うことを含むことができる。

本発明の更なる態様は、
製品として出荷する候補の半導体ウェーハを製造すること、
上記候補の半導体ウェーハを上記評価方法によって評価すること、および、
評価の結果、良品と判定された半導体ウェーハを、製品半導体ウェーハとして出荷するための準備に付すこと、
を含む半導体ウェーハの製造方法、
に関する。

本発明の更なる態様は、
複数の半導体ウェーハを含む半導体ウェーハロットを製造すること、
上記半導体ウェーハロットから少なくとも１つの半導体ウェーハを抽出すること、
上記抽出された半導体ウェーハを上記評価方法によって評価すること、および、
上記評価の結果、良品と判定された半導体ウェーハと同じ半導体ウェーハロットの半導体ウェーハを製品半導体ウェーハとして出荷するための準備に付すこと、
を含む半導体ウェーハの製造方法、
に関する。

本発明の更なる態様は、
テスト製造条件下で評価用半導体ウェーハを製造すること、
上記製造された評価用半導体ウェーハを上記評価方法によって評価すること、
上記評価の結果に基づき、上記テスト製造条件に変更を加えた製造条件を実製造条件として決定するか、または上記テスト製造条件を実製造条件として決定すること、および、
上記決定された実製造条件下で半導体ウェーハを製造すること、
を含む半導体ウェーハの製造方法、
に関する。

一態様では、上記変更が加えられる製造条件は、半導体ウェーハ表面の研磨処理条件および面取り加工条件の少なくとも一方であることができる。

本発明の一態様によれば、半導体ウェーハの面取り面と主面との境界部の形状を評価するための新たな方法を提供することができる。

半導体ウェーハのおもて面側の主面の外周縁部側部分から外周縁部の上記主面側部分までの領域の断面輪郭を示す曲線部分を含む輪郭曲線の一例である。 図１に示されている輪郭曲線を二次微分して作成された二次微分曲線である。 円フィッティング領域を特定する手順の説明図である。 円フィッティング領域を特定する手順の説明図である。 図１に示されている輪郭曲線上で作成された円の一例を示す。 実施例において各種半導体ウェーハについて得られた円の直径（算術平均）を参照値に対してプロットしたグラフを示す。 実施例において各種半導体ウェーハについて得られた円の半径を、二次微分曲線のピーク領域の曲線上にあるＹ軸の値が同じ２点間のＸ軸方向の距離の値に対してプロットしたグラフである。 参照値を得るための評価方法により得られた二値化処理済像（ウェーハ厚み方向のみに１０倍拡大した後に二値化処理して得られた像）を示す。 参照値を得るための評価方法による評価結果の一例を示す。

［半導体ウェーハの評価方法］
本発明の一態様は、評価対象の半導体ウェーハの厚み方向の断面輪郭を示す輪郭曲線を作成することおよび上記輪郭曲線を二次微分することを含み、評価対象の半導体ウェーハはウェーハ外周縁部に面取り面が形成された半導体ウェーハであり、上記輪郭曲線はＸ軸の値が水平方向位置座標に対応し、Ｙ軸の値が垂直方向位置座標に対応し、かつ評価対象の半導体ウェーハの一方の表面側の主面の外周縁部側部分から外周縁部の上記主面側部分までの領域の断面輪郭を示す曲線部分を含み、上記二次微分により得られた二次微分曲線から定められる指標に基づき、上記主面とこの主面と隣接する面取り面との境界部の形状を評価することを更に含む半導体ウェーハの評価方法に関する。
以下、上記評価方法について、更に詳細に説明する。

＜評価対象の半導体ウェーハ＞
上記評価方法の評価対象の半導体ウェーハは、ウェーハの外周縁部に面取り加工が施されて面取り面が形成された半導体ウェーハであればよい。評価対象の半導体ウェーハは、一般に半導体基板として使用される各種半導体ウェーハであることができる。例えば、半導体ウェーハの具体例としては、各種シリコンウェーハを挙げることができる。シリコンウェーハは、例えば、シリコン単結晶インゴットから切り出された後に面取り加工等の各種加工を経たシリコン単結晶ウェーハであることができる。かかるシリコン単結晶ウェーハの具体例としては、例えば、研磨が施されて表面に研磨面を有するポリッシュドウェーハを挙げることができる。また、シリコンウェーハは、シリコン単結晶ウェーハ上にエピタキシャル層を有するエピタキシャルウェーハ、シリコン単結晶ウェーハにアニール処理により改質層を形成したアニールウェーハ等の各種シリコンウェーハであることもできる。

以下に、上記評価方法の各工程について、図面を参照しながら説明する。ただし、図面に示されている態様は例示であって、上記評価方法は図面に示す態様に限定されるものではない。

＜輪郭曲線の作成＞
上記評価方法は、評価対象の半導体ウェーハの厚み方向の断面輪郭を示す輪郭（profile）曲線（一般に「断面プロファイル」と呼ばれることもある。）を作成することを含む。上記輪郭曲線は、Ｘ軸（横軸）の値が水平方向位置座標に対応し、Ｙ軸（縦軸）の値が垂直方向位置座標に対応し、かつ評価対象の半導体ウェーハの一方の表面側の主面の外周縁部側部分から外周縁部の上記主面側部分までの領域の断面輪郭を示す曲線部分を含む輪郭曲線である。そのような輪郭曲線の一例を、図１に示す。図１は、半導体ウェーハのおもて面側の主面の外周縁部側部分から外周縁部の上記主面側部分までの領域の断面輪郭を示す曲線部分を含む輪郭曲線である。Ｘ軸の値の単位およびＹ軸の値の単位は、いずれもμｍ（ミクロン）である。Ｘ軸の値は、半導体ウェーハの厚み方向の断面輪郭上の各位置の水平方向、即ち主面と平行な方向の位置座標に対応し、Ｙ軸の値は、半導体ウェーハの厚み方向の断面輪郭上の各位置の垂直方向、即ち厚み方向の位置座標に対応する。なお図１中、Ｘ軸の値が約２３０以上の領域にはノイズが現れているが、この領域は、断面輪郭上で境界部とは離れた領域に対応し境界部形状評価には影響を与えない。

上記輪郭曲線は、評価対象の半導体ウェーハの形状を評価すべき境界部を含む断面輪郭を示す輪郭曲線を作成可能な各種評価装置を用いて作成することができる。輪郭曲線の作成は、一態様では評価対象の半導体ウェーハからの試料の切り出しなしに所謂非破壊法で行うことができ、他の一態様では評価対象の半導体ウェーハから試料を切り出して（例えばへき開して）断面を露出させて行うこと（所謂破壊法）もできる。評価の容易性の観点からは、輪郭曲線の作成は非破壊法で行うことが好ましい。また、評価対象の半導体ウェーハの複数の異なる箇所において境界部の形状を評価することの容易性の観点からも、輪郭曲線の作成は非破壊法で行うことが好ましい。
非破壊法で輪郭曲線を作成するためには、評価対象の半導体ウェーハを一方の表面側の上方から観察することにより、半導体ウェーハの厚み方向の断面輪郭上の各位置の位置座標情報を取得可能な各種顕微鏡を用いることが好ましい。そのような顕微鏡としては、レーザー顕微鏡、白色干渉顕微鏡等、ならびに走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）および原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等の走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）等を挙げることができ、分解能等の観点からはレーザー顕微鏡および白色干渉顕微鏡が好ましく、レーザー顕微鏡がより好ましい。

＜二次微分曲線の作成＞
上記輪郭曲線の作成後、作成された輪郭曲線を二次微分することにより二次微分曲線を作成する。図２は、図１に示されている輪郭曲線を二次微分して作成された二次微分曲線である。二次微分は、市販の解析ソフトの使用等の公知の方法により行うことができる。

半導体ウェーハの厚み方向の断面形状を見ると、主面とこの主面と隣接する面取り面との境界部において形状が大きく変化する。半導体ウェーハの厚み方向の断面輪郭を示す輪郭曲線上では、Ｘ軸方向の座標変化に対してＹ軸方向の座標変化が大きい変曲領域が、境界部に対応する領域である。上記評価方法の一態様では、この変曲領域の形状変化の程度を、以下のように作成される円のサイズとして数値化することができる。

＜円フィッティング領域の特定＞
図３および図４は、円フィッティング領域を特定する手順の説明図である。
図３は、図２に示されている二次微分曲線に、説明のための楕円および破線を追加した図である。楕円で囲まれた部分はピーク領域である。このピーク領域において、曲線上にあるＹ軸の値が同じ２点とは、ピーク領域の曲線上の破線との交点２点である。本発明者らの検討によれば、円のサイズによる評価の精度をより高める観点からは、上記２点のＸ軸の値が特定されるＹ軸の値は、Ｙ軸の値が０の位置を基準（０％）とし、ピーク領域が谷型のピーク形状を有するならばピーク深さを１００％とし、ピーク領域が山型のピーク形状を有するならばピーク高さを１００％として、深さまたは高さが４０〜８０％の位置のＹ軸の値であることが好ましく、５０〜７０％の位置のＹ軸の値であることがより好ましく、５５％〜６５％の位置のＹ軸の値であることが更に好ましく、６０％の位置のＹ軸の値であることが最も好ましい。また、二次微分曲線に存在するピーク領域の数は、１つの場合もあり、２つ以上の場合もある。二次微分曲線に複数のピーク領域が存在する場合には、複数の谷型のピーク領域については、それらピーク領域の中で最も深いピーク深さを１００％とすることができる。複数の山形のピーク領域については、それらピーク領域の中で最も高いピーク高さを１００％とすることができる。そして、Ｙ軸の値が同じ２点のＸ軸の値としては、複数のピーク領域の中で最も離れた２点を採用することができる。一例として、二次微分曲線に２つのピーク領域（第１のピーク領域、第２のピーク領域）が存在する場合、Ｙ軸の値が同じＸ軸の値としては、第１のピーク領域における２点（Ｘ１、Ｘ２）と第２のピーク領域における２点（Ｘ３、Ｘ４）の合計４点が存在する。ここでＸ軸の値は、Ｘ１＜Ｘ２＜Ｘ３＜Ｘ４とする。この場合、円フィッティング領域を定めるためのＹ軸の値が同じ２点のＸ軸の値としては、最も離れた２点であるＸ１とＸ４を採用することができる。

また、上記評価方法の一態様では、円フィッティングを行うことなく、こうして特定される２点間のＸ軸方向の距離を指標として、境界部の形状を評価することもできる。例えば、上記の距離とは、図３中、楕円で囲まれたピーク領域の曲線上の破線との交点２点の間のＸ軸方向の距離であることができる。かかる態様においても、上記２点のＸ軸の値が特定されるＹ軸の値は、Ｙ軸の値が０の位置を基準（０％）とし、ピーク領域が谷型のピーク形状を有するならばピーク深さを１００％とし、ピーク領域が山型のピーク形状を有するならばピーク高さを１００％として、深さまたは高さが４０〜８０％の位置のＹ軸の値であることが好ましく、５０〜７０％の位置のＹ軸の値であることがより好ましく、５５％〜６５％の位置のＹ軸の値であることが更に好ましく、６０％の位置のＹ軸の値であることが最も好ましい。

図４中、上図は図１に示されている輪郭曲線であり、下図は図２に示されている二次微分曲線であり、下図では図３に示されているように説明のための破線が付されている。図４中の一点破線は、上図と下図とでＸ軸の値が同じ位置を示している。そして図４には、上記二次微分曲線のピーク領域の曲線上において、図３に示されているように特定されたＹ軸の値が同じ２点と同じＸ軸の値を有する２点（２本の一点破線のそれぞれと輪郭曲線との交点）を、上記輪郭曲線上で特定することにより特定された円フィッティング領域が示されている。なお図４では説明のためのみに一点破線を示したが、二次微分曲線において特定された２点のＸ軸の値と同じＸ軸の値を有する２点として、輪郭曲線上の２点を特定すればよい。

＜円の作成＞
以上のように円フィッティング領域が特定されたならば、円フィッティング領域の輪郭形状（曲線形状）に円をフィッティングさせて円を作成する。フィッティングは、市販の解析ソフトの使用等の公知の方法で行うことができる。図５には、図１に示されている輪郭曲線上で作成された円の一例が示されている。図１のＸ軸およびＹ軸の単位はμｍ（ミクロン）であるため、円の大きさは、単位μｍ（ミクロン単位）で表すことができる。

＜境界部の形状評価＞
境界部の形状評価は、一態様では、上記円のサイズに基づき行うことができる。詳しくは、円のサイズがより小さいほど境界部の形状はより急峻であると判断することができ、円のサイズがより大きいほど境界部の形状はよりなだらかであると判断することができる。このように円のサイズを用いて境界部の形状を評価できることは、数値に基づき客観的に評価を行うことができるため評価の信頼性の観点から好ましい。また、円のサイズという数値に基づき評価を行うことができることは、過去の評価結果との対比が容易である点からも好ましい。
上記の円のサイズは、例えば、評価対象の半導体ウェーハのある一箇所における円の直径または半径であることができる。または、上記評価方法は、評価対象の半導体ウェーハの複数の異なる箇所においてそれぞれ上記円のサイズを求めることを含むことができる。こうして複数の異なる箇所において求められた複数の円のサイズの代表値を指標として、上記境界部の形状を評価することができる。例えば代表値としては、複数の円の直径または半径の平均値（例えば算術平均）、最小値、最大値等であることができる。

また、境界部の形状評価は、一態様では、円フィッティングを行うことなく、上記のように特定された２点間のＸ軸方向の距離を指標として行うことができる。詳しくは、上記距離の値がより小さいほど境界部の形状はより急峻であると判断することができ、上記距離の値がより大きいほど境界部の形状はよりなだらかであると判断することができる。このように距離の値を用いて境界部の形状を評価できることは、数値に基づき客観的に評価を行うことができるため評価の信頼性の観点から好ましい。また、このように数値に基づき評価を行うことができることは、過去の評価結果との対比が容易である点からも好ましい。
上記の距離の値は、例えば、評価対象の半導体ウェーハのある一箇所において上記のように求められた距離の値であることができる。または、上記評価方法は、評価対象の半導体ウェーハの複数の異なる箇所においてそれぞれ上記の距離を求めることを含むことができる。こうして複数の異なる箇所において上記のように求められた距離の値の代表値を指標として、上記境界部の形状を評価することができる。例えば代表値としては、複数の距離の値の平均値（例えば算術平均）、最小値、最大値等であることができる。

以上の通り、上記評価方法によれば、半導体ウェーハのウェーハ表面（おもて面または裏面）において、主面とこの主面と隣接する面取り面との境界部の形状を評価することができる。

［半導体ウェーハの製造方法］
本発明の一態様にかかる半導体ウェーハの製造方法（第一の製造方法）は、
製品として出荷する候補の半導体ウェーハを製造すること、
上記候補の半導体ウェーハを上記評価方法によって評価すること、および、
評価の結果、良品と判定された半導体ウェーハを、製品半導体ウェーハとして出荷するための準備に付すこと、
を含む半導体ウェーハの製造方法、
である。

本発明の他の一態様にかかる半導体ウェーハの製造方法（第二の製造方法）は、
複数の半導体ウェーハを含む半導体ウェーハロットを製造すること、
上記半導体ウェーハロットから少なくとも１つの半導体ウェーハを抽出すること、
上記抽出された半導体ウェーハを上記評価方法によって評価すること、および、
上記評価の結果、良品と判定された半導体ウェーハと同じ半導体ウェーハロットの半導体ウェーハを製品半導体ウェーハとして出荷するための準備に付すこと、
を含む半導体ウェーハの製造方法、
である。

本発明の他の一態様にかかる半導体ウェーハの製造方法（第三の製造方法）は、
テスト製造条件下で評価用半導体ウェーハを製造すること、
上記製造された評価用半導体ウェーハを上記評価方法によって評価すること、
上記評価の結果に基づき、上記テスト製造条件に変更を加えた製造条件を実製造条件として決定するか、または上記テスト製造条件を実製造条件として決定すること、および、
上記決定された実製造条件下で半導体ウェーハを製造すること、
を含む半導体ウェーハの製造方法、
である。

第一の製造方法は、いわゆる出荷前検査として上記評価方法による評価を実施する。また、第二の製造方法では、いわゆる抜き取り検査を行った結果、良品と判定された半導体ウェーハと同じロットの半導体ウェーハを製品半導体ウェーハとして出荷するための準備に付す。第三の製造方法では、テスト製造条件下で製造された半導体ウェーハを評価し、この評価結果に基づき実製造条件を決定する。第一の製造方法、第二の製造方法および第三の製造方法のいずれにおいても、半導体ウェーハの評価は、先に説明した本発明の一態様にかかる評価方法によって行われる。

＜第一の製造方法＞
第一の製造方法において、製品として出荷する候補の半導体ウェーハロットの製造は、一般的な半導体ウェーハの製造方法と同様に行うことができる。例えば、シリコンウェーハの一態様であるポリッシュドウェーハは、チョクラルスキー法（ＣＺ法）等により育成されたシリコン単結晶インゴットからのシリコンウェーハの切断（スライシング）、面取り加工、粗研磨（例えばラッピング）、エッチング、鏡面研磨（仕上げ研磨）、上記加工工程間または加工工程後に行われる洗浄を含む製造工程により製造することができる。また、アニールウェーハは、上記のように製造されたポリッシュドウェーハにアニール処理を施して製造することができる。エピタキシャルウェーハは、上記のように製造されたポリッシュドウェーハの表面にエピタキシャル層を気相成長（エピタキシャル成長）させることにより製造することができる。

製造された半導体ウェーハは、本発明の一態様にかかる評価方法によって、主面とこの主面と隣接する面取り面との境界部の形状が評価される。評価方法の詳細は、先に記載した通りである。そして評価の結果、良品と判定された半導体ウェーハは、製品半導体ウェーハとして出荷するための準備に付される。良品と判定するための基準は、製品半導体ウェーハに求められる品質に応じて決定すればよい。例えば一態様では、求められた円のサイズまたは先に記載した２点間のＸ軸方向の距離がある値以上（即ち閾値以上）であることを、良品と判定するための基準とすることができる。また、円のサイズまたは上記の距離の値としては、同一半導体ウェーハの異なる箇所における評価により求められた複数の円のサイズまたは複数の距離の値の代表値（例えば平均値（例えば算術平均）、最小値、最大値等）を用いることもできる。この点は、第二の製造方法および第三の製造方法についても同様である。製品半導体ウェーハとして出荷するための準備としては、例えば梱包等を挙げることができる。こうして第一の製造方法によれば、主面と面取り面との境界部の形状が製品半導体ウェーハに望まれる形状である半導体ウェーハを、安定的に市場に供給することが可能となる。

＜第二の製造方法＞
第二の製造方法における半導体ウェーハロットの製造も、例えば先に第一の製造方法について記載したように、一般的な半導体ウェーハの製造方法と同様に行うことができる。半導体ウェーハロットに含まれる半導体ウェーハの総数は特に限定されるものではない。製造された半導体ウェーハロットから抜き出し、いわゆる抜き取り検査に付す半導体ウェーハの数は少なくとも１つであり、２つ以上であってもよく、その数は特に限定されるものではない。

半導体ウェーハロットから抽出された半導体ウェーハは、本発明の一態様にかかる評価方法によって、主面とこの主面と隣接する面取り面との境界部の形状が評価される。評価方法の詳細は、先に記載した通りである。そして評価の結果、良品と判定された半導体ウェーハと同じ半導体ウェーハロットの半導体ウェーハを、製品半導体ウェーハとして出荷するための準備に付す。良品と判定するための基準は、製品半導体ウェーハに求められる品質に応じて決定すればよい。例えば一態様では、求められた円のサイズまたは先に記載した２点間のＸ軸方向の距離がある値以上（即ち閾値以上）であることを、良品と判定するための基準とすることができる。製品半導体ウェーハとして出荷するための準備については、例えば先に第一の製造方法について記載した通りである。第二の製造方法によれば、主面と面取り面との境界部の形状が製品半導体ウェーハに望まれる形状である半導体ウェーハを、安定的に市場に供給することが可能となる。また、本発明の一態様にかかる評価方法は非破壊での評価が可能であるため、第二の製造方法の一態様では、半導体ウェーハロットから抽出されて評価に付された半導体ウェーハも、評価の結果、良品と判定されたものであれば、製品半導体ウェーハとして出荷するための準備に付し、準備の後に製品半導体ウェーハとして出荷することができる。

＜第三の製造方法＞
第三の製造方法について、テスト製造条件および実製造条件としては、半導体ウェーハの製造のための各種工程における各種条件を挙げることができる。半導体ウェーハの製造のための各種工程については、先に第一の製造方法について記載した通りである。なお、「実製造条件」とは、製品半導体ウェーハの製造条件を意味するものとする。

第三の製造方法では、実製造条件を決定するための前段階として、テスト製造条件を設定し、このテスト製造条件下で評価用半導体ウェーハを製造する。製造された半導体ウェーハは、本発明の一態様にかかる評価方法によって、主面とこの主面と隣接する面取り面との境界部の形状が評価される。評価方法の詳細は、先に記載した通りである。評価用半導体ウェーハは、少なくとも１つであり、２つ以上であってもよく、その数は特に限定されるものではない。評価の結果、評価用半導体ウェーハの境界部の形状が、製品半導体ウェーハに望まれる形状であれば、このテスト製造条件を実製造条件として製品半導体ウェーハを製造して出荷することにより、境界部の形状が所望の形状である製品半導体ウェーハを、安定的に市場に供給することができる。他方、評価の結果、評価用半導体ウェーハの境界部の形状が、製品半導体ウェーハに望まれる形状とは異なる場合には、テスト製造条件に変更を加えた製造条件を実製造条件として決定する。変更を加える製造条件は、境界部の形状に影響を及ぼすと考えられる製造条件であることが好ましい。そのような製造条件の一例としては、半導体ウェーハの表面（おもて面および／または裏面）の研磨条件を挙げることができる。かかる研磨条件の具体例としては、粗研磨条件および鏡面研磨条件を挙げることができ、より詳しくは、研磨液の種類、研磨液の砥粒濃度、研磨パットの種類（例えば硬さ等）等を挙げることができる。また、製造条件の一例としては、面取り加工条件を挙げることもでき、詳しくは、面取り加工における研削、研磨等の機械加工条件を挙げることができ、より詳しくは、面取り加工に用いる研磨テープの種類等を挙げることができる。こうしてテスト製造条件に変更を加えた製造条件を実製造条件として決定し、この実製造条件下で製品半導体ウェーハを製造し出荷することにより、境界部の形状が所望の形状である製品半導体ウェーハを、安定的に市場に供給することができる。なおテスト製造条件に変更を加えた製造条件下で改めて評価用半導体ウェーハを製造し、この評価用半導体ウェーハを本発明の一態様にかかる評価方法により評価して、この製造条件を実製造条件とするか更に変更を加えるかを判定することを、１回または２回以上繰り返してもよい。
以上の第三の製造方法において、評価用半導体ウェーハの境界部の形状が製品半導体ウェーハに望まれる形状であるか否かの判定方法については、先に第一の製造方法および第二の製造方法の良品の判定に関する記載を参照できる。

第一の製造方法、第二の製造方法および第三の製造方法のその他の詳細については、半導体ウェーハの製造方法に関する公知技術を適用することができる。

以下に、本発明を実施例に基づき更に説明する。ただし、本発明は実施例に示す態様に限定されるものではない。

１．半導体ウェーハの評価
（１）輪郭曲線の作成
ウェーハ表面の研磨条件および面取り加工条件が異なる四種類の半導体ウェーハ（直径３００ｍｍの表面が（１００）面のシリコン単結晶ウェーハ（ポリッシュドウェーハ））を準備した。これら半導体ウェーハを、おもて面側からレーザー顕微鏡（キーエンス社製ＶＫ−Ｘ２００）を用いて顕微鏡観察し、ノッチ部を０°として、左回りに、４５°、９０°、１３５°、１８０°、２２５°、２７０°および３１５°の各箇所において、おもて面側の主面の外周縁部側部分から外周縁部の上記主面側部分までの領域の断面輪郭を示す曲線部分を含む輪郭曲線を得た。

（２）円フィッティング領域の特定および円の作成
解析ソフトを使用して、上記輪郭曲線を二次微分して二次微分曲線を得た。得られた二次微分曲線のピーク領域（谷型）において、Ｙ軸の値が０の位置を０％とし、ピーク深さを１００％として、深さ６０％の位置のＹ軸の値が同じ２点のＸ軸の値を特定した。
こうして特定されたＸ軸の値を持つ２点を上記輪郭曲線上で特定し、この２点間の領域を円フィッティング領域として特定した。
次いで、こうして特定された円フィッティング領域の輪郭形状（曲線形状）に円をフィッティングさせて円を作成し、作成された円の直径を求めた。上記四種類の半導体ウェーハ（以下、「ウェーハ１」、「ウェーハ２」、「ウェーハ３」、「ウェーハ４」と呼ぶ。）について、上記各箇所において求められた円の直径の算術平均を、表１に示す。

２．参照値取得のための評価方法の説明
本発明の一態様にかかる評価方法において得られる円のサイズが境界部の形状の指標となり得る値であることは、例えば、以下の評価方法により取得される参照値と、本発明の一態様にかかる評価方法により得られる円のサイズとが、良好な相関性を示すことにより確認することができる。
まず半導体ウェーハについて、評価すべき境界部を含む断面像を得る。断面像は、例えば、半導体ウェーハをへき開面でへき開して露出させた断面を顕微鏡で撮像することにより取得することができる。
取得された断面像を、ウェーハ厚み方向のみに拡大した拡大像を作成する。ウェーハ厚み方向のみに拡大することにより、断面形状の輪郭において、境界部の形状を主面（いわゆる水平面）に対して強調することができるため、拡大像を用いることにより、拡大していない断面像を用いるよりも境界部のなだらかさ／急峻さを精度よく評価することができる。更に拡大像を二値化処理することにより、断面形状の輪郭をより鮮明に表示させることができるため、境界部のなだらかさ／急峻さを一層精度よく評価することができる。
こうして得られた二値化処理済像において、ウェーハ断面形状の輪郭では、通常、主面と面取り面との境界部の形状は曲線形状となる。そこで、この輪郭上で、主面と面取り面との境界部の曲線の形状に、この曲線の形状に近似するか一致する円弧形状を有する円をフィッティングさせる。こうして得られた円（曲率円）のサイズ、例えば直径または半径がより大きいほど、境界部の形状はよりなだらかであると判断することができ、上記円のサイズがより小さいほど境界部の形状はより急峻であると判断することができる。例示として、図９に、異なる二種類の半導体ウェーハについて、上記方法により得られた二値化処理済像（ウェーハ厚み方向のみに１０倍拡大した後に二値化処理して得られた像）を示す。図９には境界部の曲線の形状とほぼ一致する円弧を有する円も示されている。円の中に示されている数値は、円の直径である。図９中、サンプル１とサンプル２の断面形状を対比すると、サンプル２の境界部の形状はサンプル１の境界部の形状と比べてなだらかである。円のサイズについてサンプル１とサンプル２とを対比すると、サンプル２について得られた円の直径はサンプル１について得られた円の直径より大きい。以上の通り参照値取得のための評価方法により求められる円のサイズと境界部の形状とは相関している。

３．参照値の取得
上記１．で評価した四種類の半導体ウェーハを、それぞれ（１１０）面でへき開して断面観察用試料を作製した。
作製した断面観察用試料を、微分干渉顕微鏡を用いて、明るさやコントラストを調整して、上記３．で評価した境界部を含む断面像（撮像倍率：５００倍）を取得した。
取得した断面像を画像処理ソフト（Ａｄｏｂｅ社製ソフト名Ｐｈｏｔｏｓｈｏｐ ＣＳ５）に取り込み、ウェーハ厚み方向のみに１０倍に拡大した後、二値化処理を行った。
上記二値化処理を行って得られた二値化処理済像をソフト（マイクロソフト社製パワーポイント）に取り込み、同ソフトの図形描画ツールを用いて、断面形状の輪郭上、境界部の曲線の形状と円弧の形状がほぼ一致する円を描画した。曲線の形状と円弧の形状がほぼ一致することは、目視で判断した。図８に、上記方法により得られた二値化処理済像（ウェーハ厚み方向のみに１０倍拡大した後に二値化処理して得られた像）を示す。図８には境界部の曲線の形状とほぼ一致する円弧を有する円も示されている。図８中、円の中に示されている数値は円の直径（単位：任意単位）であり、これらの値を参照値とする。

４．評価結果
上記四種類の半導体ウェーハについて、それぞれ、上記１．で得られた円の直径（算術平均）を、上記３．で得られた参照値に対してプロットしたグラフを、図６に示す。図６中、４つのプロットについて最小二乗法により求められた近似直線も示す。近似直線の相関係数の二乗Ｒ^２は０．９９超であり、きわめて良好な相関性を示している。この結果から、上記１．で得られた円のサイズが境界部の形状評価のための指標となり得ることが示された。円のサイズという数値に基づく評価によれば、例えば、過去の経験から良品と判定可能な閾値（円のサイズ）を定めることにより、良品判定を容易に行うことができる。
上記のように得られる円のサイズは、先に記載したように出荷前検査に用いることができ、ロットからの抜き取り検査に用いることができ、半導体ウェーハの実製造条件の決定のために用いることもできる。

５．円フィッティング領域の検討
（１）輪郭曲線の作成
直径３００ｍｍのエピタキシャルウェーハを用意し、おもて面側からレーザー顕微鏡（キーエンス社製ＶＫ−Ｘ２００）を用いてノッチ部と逆側を顕微鏡観察して、おもて面側の主面の外周縁部側部分から外周縁部の上記主面側部分までの領域の断面輪郭を示す曲線部分を含む輪郭曲線を得た。
上記操作を１０回実施した。

（２）円フィッティング領域の特定および円の作成
解析ソフトを使用して、上記１０回の操作によりそれぞれ得られた輪郭曲線を二次微分して二次微分曲線を得た。得られた二次微分曲線のピーク領域（谷型）において、Ｙ軸の値が０の位置を０％とし、ピーク深さを１００％として、深さ４０％、５０％、６０％、７０％、８０％の位置のＹ軸の値が同じ２点のＸ軸の値を特定し、これら２点の間の領域を円フィッティング領域として円をフィッティングさせた。こうして作成された円の半径を表２に示す。

先に記載した通り、上記２点のＸ軸の値が特定されるＹ軸の値は、Ｙ軸の値が０の位置を０％とし、ピーク領域のピーク深さまたはピーク高さを１００％として、深さまたは高さが４０〜８０％の位置のＹ軸の値であることが好ましい。上記のように求められる標準偏差の値が小さいほど円のサイズによる評価の精度向上の観点からは好ましいため、表２に示す標準偏差の値から、上記２点のＸ軸の値が特定されるＹ軸の値は、Ｙ軸の値が０の位置を０％とし、ピーク領域のピーク深さまたはピーク高さを１００％として、深さまたは高さが５０〜７０％の位置のＹ軸の値であることがより好ましく、６０％程度（例えば５５〜６５％）が更に好ましく、６０％が一層好ましいと言うことができる。

図７は、ウェーハ表面の研磨条件および面取り加工条件が異なる複数の半導体ウェーハ（直径３００ｍｍの表面が（１００）面のシリコン単結晶ウェーハ（ポリッシュドウェーハ））について、上記と同様に求められた円の半径と、この円を円フィッティングにより作成するために特定した二次微分曲線のピーク領域の曲線上にあるＹ軸の値が同じ２点間のＸ軸方向の距離の値との関係を示すグラフである。ここでは、得られた二次微分曲線のピーク領域（谷型）において、Ｙ軸の値が０の位置を０％とし、ピーク深さを１００％として、深さ６０％の位置のＹ軸の値が同じ２点のＸ軸の値を特定した。図７中、各種プロットについて最小二乗法により求められた近似直線も示す。近似直線の相関係数の二乗Ｒ^２は０．７超であり、良好な相関性を示している。上記の通り、円のサイズは境界部の形状評価のための指標となり得る。かかる円のサイズと上記の距離の値が良好な相関性を示していることから、上記の距離の値も境界部の形状評価のための指標となり得ることが確認できる。

本発明は、シリコンウェーハ等の各種半導体ウェーハの製造分野において有用である。

第三の製造方法では、実製造条件を決定するための前段階として、テスト製造条件を設定し、このテスト製造条件下で評価用半導体ウェーハを製造する。製造された半導体ウェーハは、本発明の一態様にかかる評価方法によって、主面とこの主面と隣接する面取り面との境界部の形状が評価される。評価方法の詳細は、先に記載した通りである。評価用半導体ウェーハは、少なくとも１つであり、２つ以上であってもよく、その数は特に限定されるものではない。評価の結果、評価用半導体ウェーハの境界部の形状が、製品半導体ウェーハに望まれる形状であれば、このテスト製造条件を実製造条件として製品半導体ウェーハを製造して出荷することにより、境界部の形状が所望の形状である製品半導体ウェーハを、安定的に市場に供給することができる。他方、評価の結果、評価用半導体ウェーハの境界部の形状が、製品半導体ウェーハに望まれる形状とは異なる場合には、テスト製造条件に変更を加えた製造条件を実製造条件として決定する。変更を加える製造条件は、境界部の形状に影響を及ぼすと考えられる製造条件であることが好ましい。そのような製造条件の一例としては、半導体ウェーハの表面（おもて面および／または裏面）の研磨条件を挙げることができる。かかる研磨条件の具体例としては、粗研磨条件および鏡面研磨条件を挙げることができ、より詳しくは、研磨液の種類、研磨液の砥粒濃度、研磨パッドの種類（例えば硬さ等）等を挙げることができる。また、製造条件の一例としては、面取り加工条件を挙げることもでき、詳しくは、面取り加工における研削、研磨等の機械加工条件を挙げることができ、より詳しくは、面取り加工に用いる研磨テープの種類等を挙げることができる。こうしてテスト製造条件に変更を加えた製造条件を実製造条件として決定し、この実製造条件下で製品半導体ウェーハを製造し出荷することにより、境界部の形状が所望の形状である製品半導体ウェーハを、安定的に市場に供給することができる。なおテスト製造条件に変更を加えた製造条件下で改めて評価用半導体ウェーハを製造し、この評価用半導体ウェーハを本発明の一態様にかかる評価方法により評価して、この製造条件を実製造条件とするか更に変更を加えるかを判定することを、１回または２回以上繰り返してもよい。
以上の第三の製造方法において、評価用半導体ウェーハの境界部の形状が製品半導体ウェーハに望まれる形状であるか否かの判定方法については、先に第一の製造方法および第二の製造方法の良品の判定に関する記載を参照できる。

３．参照値の取得
上記１．で評価した四種類の半導体ウェーハを、それぞれ（１１０）面でへき開して断面観察用試料を作製した。
作製した断面観察用試料を、微分干渉顕微鏡を用いて、明るさやコントラストを調整して、上記１．で評価した境界部を含む断面像（撮像倍率：５００倍）を取得した。
取得した断面像を画像処理ソフト（Ａｄｏｂｅ社製ソフト名Ｐｈｏｔｏｓｈｏｐ ＣＳ５）に取り込み、ウェーハ厚み方向のみに１０倍に拡大した後、二値化処理を行った。
上記二値化処理を行って得られた二値化処理済像をソフト（マイクロソフト社製パワーポイント）に取り込み、同ソフトの図形描画ツールを用いて、断面形状の輪郭上、境界部の曲線の形状と円弧の形状がほぼ一致する円を描画した。曲線の形状と円弧の形状がほぼ一致することは、目視で判断した。図８に、上記方法により得られた二値化処理済像（ウェーハ厚み方向のみに１０倍拡大した後に二値化処理して得られた像）を示す。図８には境界部の曲線の形状とほぼ一致する円弧を有する円も示されている。図８中、円の中に示されている数値は円の直径（単位：任意単位）であり、これらの値を参照値とする。

Claims (12)

1. 評価対象の半導体ウェーハの厚み方向の断面輪郭を示す輪郭曲線を作成すること、および、
   前記輪郭曲線を二次微分すること、
   を含み、
   評価対象の半導体ウェーハは、ウェーハ外周縁部に面取り面が形成された半導体ウェーハであり、
   前記輪郭曲線は、Ｘ軸の値が水平方向位置座標に対応し、Ｙ軸の値が垂直方向位置座標に対応し、かつ評価対象の半導体ウェーハの一方の表面側の主面の外周縁部側部分から外周縁部の前記主面側部分までの領域の断面輪郭を示す曲線部分を含み、
   前記二次微分により得られた二次微分曲線から定められる指標に基づき、前記主面と該主面と隣接する面取り面との境界部の形状を評価することを更に含む、半導体ウェーハの評価方法。
2. 前記二次微分により得られた二次微分曲線のピーク領域の曲線上にあるＹ軸の値が同じ２点のＸ軸の値を特定すること、
   前記二次微分前の輪郭曲線の前記曲線部分において、Ｘ軸の値が前記特定された値である２点間の領域を、円フィッティング領域として特定すること、
   前記円フィッティング領域の輪郭形状に円をフィッティングさせて円を作成すること、および、
   前記作成された円のサイズを前記指標とすることを含む、請求項１に記載の半導体ウェーハの評価方法。
3. 評価対象の半導体ウェーハの複数の異なる箇所においてそれぞれ前記円のサイズを求めることを含み、
   前記複数の異なる箇所において求められた複数の円のサイズの代表値を指標として、前記主面と該主面と隣接する面取り面との境界部の形状を評価する、請求項２に記載の半導体ウェーハの評価方法。
4. 前記代表値は、前記複数の円のサイズの平均値である、請求項３に記載の半導体ウェーハの評価方法。
5. 前記二次微分により得られた二次微分曲線のピーク領域の曲線上にあるＹ軸の値が同じ２点のＸ軸の値を特定し、該特定された２点間のＸ軸方向の距離を前記指標とすることを含む、請求項１に記載の半導体ウェーハの評価方法。
6. 前記２点のＸ軸の値が特定されるＹ軸の値は、Ｙ軸の値が０の位置を０％とし、前記ピーク領域のピーク深さまたはピーク高さを１００％として、深さまたは高さが４０〜８０％の位置のＹ軸の値である、請求項２〜５のいずれか１項に記載の半導体ウェーハの評価方法。
7. 前記輪郭曲線を、評価対象の半導体ウェーハを前記一方の表面側の上方から顕微鏡観察して取得された位置座標情報を用いて作成することを含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載の半導体ウェーハの評価方法。
8. 前記顕微鏡観察を、レーザー顕微鏡によって行うことを含む、請求項７に記載の半導体ウェーハの評価方法。
9. 製品として出荷する候補の半導体ウェーハを製造すること、
   前記候補の半導体ウェーハを請求項１〜８のいずれか１項に記載の評価方法によって評価すること、および、
   評価の結果、良品と判定された半導体ウェーハを、製品半導体ウェーハとして出荷するための準備に付すこと、
   を含む半導体ウェーハの製造方法。
10. 複数の半導体ウェーハを含む半導体ウェーハロットを製造すること、
    前記半導体ウェーハロットから少なくとも１つの半導体ウェーハを抽出すること、
    前記抽出された半導体ウェーハを請求項１〜８のいずれか１項に記載の評価方法によって評価すること、および、
    前記評価の結果、良品と判定された半導体ウェーハと同じ半導体ウェーハロットの半導体ウェーハを製品半導体ウェーハとして出荷するための準備に付すこと、
    を含む半導体ウェーハの製造方法。
11. テスト製造条件下で評価用半導体ウェーハを製造すること、
    前記製造された評価用半導体ウェーハを請求項１〜８のいずれか１項に記載の評価方法によって評価すること、
    前記評価の結果に基づき、前記テスト製造条件に変更を加えた製造条件を実製造条件として決定するか、または前記テスト製造条件を実製造条件として決定すること、および、
    前記決定された実製造条件下で半導体ウェーハを製造すること、
    を含む半導体ウェーハの製造方法。
12. 前記変更が加えられる製造条件は、半導体ウェーハ表面の研磨処理条件および面取り加工条件の少なくとも一方である、請求項１に記載の半導体ウェーハの製造方法。

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