JP2013131586A - 裏面電極型太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板1の裏面の一部にi型非晶質半導体層2及び第1導電型の非晶質半導体層3を積層する工程と、第1導電型の非晶質半導体層3に一部重複させてi型非晶質半導体層4及び第2導電型の非晶質半導体層5を積層する工程と、第1導電型の非晶質半導体層3及び第2導電型の非晶質半導体層5上に透明電極6を形成する工程と、透明電極6上に金属電極7を形成する工程と、第1導電型の非晶質半導体層3と第2導電型の非晶質半導体層5の重複領域を含む領域の上方の、透明電極6及び金属電極7をウエットエッチングで分離する工程を備える。
【選択図】図2
Description
材、11 裏面電極型太陽電池、61 n型用透明電極、62 p型用透明電極、71 n型用金属電極、72 p型用金属電極、81 n型用電極、82 p型用電極、91 遮蔽板、92 遮蔽板。
Claims (6)
- 半導体基板の裏面の一部に、i型非晶質半導体層及び第1導電型の非晶質半導体層を積層する第1工程と、
前記第1導電型の非晶質半導体層に一部重複させて、i型非晶質半導体層及び第2導電型の非晶質半導体層を積層する第2工程と、
前記第1導電型の非晶質半導体層及び前記第2導電型の非晶質半導体層上に、透明電極を形成する第3工程と、
前記透明電極上に、金属電極を形成する第4工程と、
前記第1導電型の非晶質半導体層と前記第2導電型の非晶質半導体層の重複領域の上方の、前記透明電極及び前記金属電極をウエットエッチングで除去する第5工程を備えた裏面電極型太陽電池の製造方法。 - 前記第5工程は、フォトリソグラフィ法により行われる請求項1に記載の裏面電極型太陽電池の製造方法。
- 前記第1導電型は、n型である請求項1または2に記載の裏面電極型太陽電池の製造方法。
- 前記第3工程は、スパッタリング法により形成し、前記第4工程は、蒸着法により形成する請求項1〜3のいずれかに記載の裏面電極型太陽電池の製造方法。
- 前記第1工程及び前記第2工程の処理温度は、他の工程の処理温度よりも高い請求項1〜4のいずれかに記載の裏面電極型太陽電池の製造方法。
- 前記第1工程及び前記第2工程の処理温度は、120℃〜200℃である請求項5に記載の裏面電極型太陽電池の製造方法。
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