JP2013168605A - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
太陽電池の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013168605A JP2013168605A JP2012032440A JP2012032440A JP2013168605A JP 2013168605 A JP2013168605 A JP 2013168605A JP 2012032440 A JP2012032440 A JP 2012032440A JP 2012032440 A JP2012032440 A JP 2012032440A JP 2013168605 A JP2013168605 A JP 2013168605A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amorphous silicon
- silicon film
- type amorphous
- solar cell
- type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/548—Amorphous silicon PV cells
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】i型アモルファスシリコン膜7及び第1導電型アモルファスシリコン膜8をシリコン基板51に積層する工程と、i型アモルファスシリコン膜7及び第1導電型アモルファスシリコン膜8の一部を除去する工程と、i型アモルファスシリコン膜19及び第2導電型アモルファスシリコン膜20を積層する工程と、第2導電型アモルファスシリコン膜20を一部残す領域に、マスク材31を形成する工程と、i型アモルファスシリコン膜7と第1導電型アモルファスシリコン膜8とのエッチング速度の差を利用して、i型アモルファスシリコン膜19及び第2導電型アモルファスシリコン膜20をエッチングして除去する工程とを備えた太陽電池の製造方法。
【選択図】図4
Description
Claims (6)
- 半導体基板の一表面に、第1のi型アモルファスシリコン膜及び第1導電型アモルファスシリコン膜を積層する第1工程と、
前記第1のi型アモルファスシリコン膜及び前記第1導電型アモルファスシリコン膜の一部を除去する第2工程と、
前記半導体基板の一表面及び前記第1導電型アモルファスシリコン膜上に、第2のi型アモルファスシリコン膜及び第2導電型アモルファスシリコン膜を積層する第3工程と、
前記第2導電型アモルファスシリコン膜上の所定の領域に、マスク材を形成する第4工程と、
前記マスク材が形成された領域以外の、前記第2のi型アモルファスシリコン膜及び前記第2導電型アモルファスシリコン膜をエッチングして除去する第5工程を備え、
前記所定の領域は、前記第2工程で、前記i型アモルファスシリコン膜及び前記第1導電型アモルファスシリコン膜を除去した領域の上方の領域を含み、
前記エッチングにおいては、前記第2のi型アモルファスシリコン膜をエッチングする速度と、前記第1導電型アモルファスシリコン膜をエッチングする速度に差のあるエッチング液を用いた太陽電池の製造方法。 - 前記エッチング液は、アルカリ性溶液である請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記アルカリ性溶液は、アルカリ濃度が10wt%以上であり、
前記第1導電型アモルファスシリコン膜のドーパント濃度は、5×1017/cm3より大きい請求項2に記載の太陽電池の製造方法。 - 前記第4工程は、
前記第2導電型アモルファスシリコン膜上に、フォトレジストを塗布する第6工程と、
前記所定の領域を、露光によりフォトレジストに転写する第7工程と、
前記所定の領域以外の前記フォトレジストを現像液により除去する第8工程を備える請求項1〜3のいずれかに記載の太陽電池の製造方法。 - 前記第8工程及び前記第5工程を1工程で行う請求項4に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記第1導電型は、p型であり、前記第2導電型は、n型である請求項1〜5のいずれかに記載の太陽電池の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012032440A JP2013168605A (ja) | 2012-02-17 | 2012-02-17 | 太陽電池の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012032440A JP2013168605A (ja) | 2012-02-17 | 2012-02-17 | 太陽電池の製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015009495A Division JP5957102B2 (ja) | 2015-01-21 | 2015-01-21 | 太陽電池の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013168605A true JP2013168605A (ja) | 2013-08-29 |
Family
ID=49178772
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012032440A Pending JP2013168605A (ja) | 2012-02-17 | 2012-02-17 | 太陽電池の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013168605A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015141339A1 (ja) * | 2014-03-18 | 2015-09-24 | シャープ株式会社 | ヘテロ接合型バックコンタクトセルおよびヘテロ接合型バックコンタクトセルの製造方法 |
JP2016143855A (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-08 | シャープ株式会社 | 光電変換素子および光電変換素子の製造方法 |
JP2016154169A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | シャープ株式会社 | 光電変換素子および光電変換素子の製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008300440A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 太陽電池セル及び太陽電池モジュール |
JP2009147070A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Sharp Corp | 太陽電池の製造方法 |
WO2010113750A1 (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-07 | 三洋電機株式会社 | 太陽電池 |
JP2011040445A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Hitachi Ltd | 半導体受光装置及びその製造方法 |
-
2012
- 2012-02-17 JP JP2012032440A patent/JP2013168605A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008300440A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 太陽電池セル及び太陽電池モジュール |
JP2009147070A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Sharp Corp | 太陽電池の製造方法 |
WO2010113750A1 (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-07 | 三洋電機株式会社 | 太陽電池 |
JP2011040445A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Hitachi Ltd | 半導体受光装置及びその製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015141339A1 (ja) * | 2014-03-18 | 2015-09-24 | シャープ株式会社 | ヘテロ接合型バックコンタクトセルおよびヘテロ接合型バックコンタクトセルの製造方法 |
JP2016143855A (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-08 | シャープ株式会社 | 光電変換素子および光電変換素子の製造方法 |
WO2016125627A1 (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-11 | シャープ株式会社 | 光電変換素子および光電変換素子の製造方法 |
JP2016154169A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | シャープ株式会社 | 光電変換素子および光電変換素子の製造方法 |
WO2016132920A1 (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | シャープ株式会社 | 光電変換素子および光電変換素子の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6106403B2 (ja) | 光電変換素子及び光電変換素子の製造方法 | |
JP5891382B2 (ja) | 光電変換素子の製造方法 | |
WO2012132729A1 (ja) | 光電変換装置及びその製造方法 | |
JP2010183080A (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
US20130133729A1 (en) | Solar cell and manufacturing method thereof | |
JPWO2012132615A1 (ja) | 光電変換装置及びその製造方法 | |
WO2010104098A1 (ja) | 太陽電池の製造方法及び太陽電池 | |
JP2014075526A (ja) | 光電変換素子および光電変換素子の製造方法 | |
US9761749B2 (en) | Photoelectric conversion device | |
JP2013120863A (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP2014053459A (ja) | 光電変換素子の製造方法 | |
JP5820265B2 (ja) | 裏面電極型太陽電池及びその製造方法 | |
JPWO2010064549A1 (ja) | 薄膜光電変換装置の製造方法 | |
JP5139502B2 (ja) | 裏面電極型太陽電池 | |
JP2013168605A (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
WO2020149128A1 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP2014183073A (ja) | 光電変換素子および光電変換素子の製造方法 | |
JP5820989B2 (ja) | 光電変換素子の製造方法 | |
JP2014072209A (ja) | 光電変換素子および光電変換素子の製造方法 | |
WO2019227804A1 (zh) | 一种太阳能电池及其制备方法 | |
JP5957102B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
WO2014042109A1 (ja) | 光電変換素子および光電変換素子の製造方法 | |
JP2017045818A (ja) | 裏面電極型太陽電池セルおよび裏面電極型太陽電池セルの製造方法 | |
WO2017203751A1 (ja) | 太陽電池及びその製造方法、並びに太陽電池パネル | |
JP7169440B2 (ja) | 太陽電池の製造方法および太陽電池 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140918 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150804 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20151201 |