JP2013128267A - 圧電薄膜共振子及び圧電薄膜の製造方法 - Google Patents

圧電薄膜共振子及び圧電薄膜の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】比帯域や周波数温度特性の設計範囲を拡げることができ、設計の自由度を大幅に高め得る圧電薄膜共振子を得る。
【解決手段】厚み方向において、Ｓｃ濃度が均一ではない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウムからなる圧電薄膜６と、圧電薄膜６を挟んで対向するように第１及び第２電極５，７が設けられており、圧電薄膜６と第１及び第２の電極５，７とからなる圧電振動部を支持している基板２がさらに備えられている、圧電薄膜共振子１。
【選択図】図１

Description

本発明は、窒化アルミニウム系材料を用いた圧電薄膜共振子に関し、より詳細には、Ｓｃが含有されている窒化アルミニウム膜を用いた圧電薄膜共振子に関する。
従来、圧電薄膜を用いた圧電薄膜共振子が種々提案されている。下記の特許文献１には、このような圧電薄膜共振子などに用いられる圧電薄膜の製造方法が開示されている。すなわち、特許文献１では、窒素ガス雰囲気下で、アルミニウムとスカンジウムとを基板温度５℃〜４５０℃の範囲でスパッタリングする方法が開示されている。それによって、Ｓｃ含有窒化アルミニウム中のスカンジウムの含有率を０．５〜５０原子％の範囲とすることができ、圧電応答性を高めることができると記載されている。特許文献１ではＳｃ含有窒化アルミニウム薄膜におけるスカンジウム含有率は、上記のように０．５〜５０原子％であり、さらに３５〜４３原子％の範囲であることが好ましく、４３原子％であることが最も好ましいとされている。
特開２０１１−１５１４８号公報
しかしながら、特許文献１に記載のＳｃ含有率範囲のＳｃ含有窒化アルミニウム薄膜を用い、実際に圧電薄膜共振子を作製した場合、周波数温度係数ＴＣＦの絶対値が大きくなるという問題があった。従って、十分な比帯域を有しつつ、かつ周波数温度係数ＴＣＦの絶対値が小さい圧電薄膜装置を得ることができなかった。
また、特許文献１に記載のＳｃ含有窒化アルミニウム薄膜を用いた圧電薄膜共振子では、Ｓｃ濃度に応じた特性を得ることができるが、特性の変更が容易ではなかった。すなわち、比帯域や周波数温度特性などの様々な特性の設計の自由度が低かった。
本発明の目的は、Ｓｃ含有窒化アルミニウム薄膜を用いており、比帯域や周波数温度特性の設計範囲を拡げることができ、設計の自由度を大幅に高める圧電薄膜共振子及び圧電薄膜の製造方法を提供することにある。
本発明に係る圧電薄膜共振子は、厚み方向においてＳｃ濃度が均一ではない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウムからなる圧電薄膜を備える。この圧電薄膜を挟んで対向するように第１，第２の電極が設けられている。圧電薄膜と第１及び第２の電極とからなる圧電振動部を支持している基板がさらに備えられている。
本発明に係る圧電薄膜共振子のある特定の局面では、前記Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜が、Ｓｃ含有濃度が異なる複数の膜を積層してなる積層膜からなる。この場合には、複数の膜におけるＳｃ含有濃度を異ならせることにより、厚み方向においてＳｃ濃度が均一ではない濃度分布を容易に形成することができる。
本発明の他の特定の局面では、前記複数の膜が、Ｓｃを含有していない窒化アルミニウム膜と、Ｓｃを含有しているＳｃ含有窒化アルミニウム膜とを有する。このように、複数の膜は、Ｓｃを含有していない窒化アルミニウム膜を含んでいてもよい。それによって、Ｓｃ含有濃度の分布の多様性を高めることができる。
本発明に係る圧電薄膜共振子の他の特定の局面では、前記Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜において、Ｓｃ濃度が厚み方向において連続的に変化している。この場合には、結晶構造が連続しやすく、その結果、結晶性が良好となり、圧電性の劣化や弾性損失の小さいＳｃ含有窒化アルミニウム膜とすることができる。
本発明に係る圧電薄膜共振子の別の特定の局面では、前記Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜において、前記第１及び第２の電極に接する側に比べ、前記Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜の厚み方向中央において、Ｓｃ濃度が高くなっている。Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜では、Ｓｃ濃度が高いほど、電気機械結合係数を高めることができ、かつ誘電損失も大きくなる。Ｓｃ濃度が高くなっているＳｃ含有窒化アルミニウム膜の厚み方向中央には、厚み縦振動の応力が集中する。従って、電気機械結合係数が大きいが誘電損失が大きい部分にエネルギーが集中することにより、比帯域幅を効果的に拡げることができる。他方、第１及び第２の電極に接する側において、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜のＳｃ濃度が低くなっているため、圧電薄膜共振子全体の誘電損失を効果的に小さくすることができる。
本発明に係る圧電薄膜共振子のさらに別の特定の局面では、第１の電極が下部電極であり、第２の電極が上部電極であり、上部電極に接する圧電薄膜の表面部分が、Ｓｃを含まない窒化アルミニウムからなる。この場合には、結晶性に優れた窒化アルミニウムが圧電薄膜の上部表面に配置されているため、上部電極の結晶性を高めることができる。従って、このようにして作製した共振子で構成されるフィルタに高い電力を投入した場合、ストレスマイグレーションやエレクトロマイグレーションによる故障発生が抑制される。
本発明に係る圧電薄膜共振子のさらに他の特定の局面では、前記Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜において、前記第１及び第２の電極に接する側に比べ、前記圧電薄膜の厚み方向中央において、Ｓｃ濃度が低くなっている。Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜は、窒化アルミニウム膜よりもアルカリ性溶液にエッチングされにくい特徴を持つ。すなわち、Ｓｃ濃度が高いほど、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜では、ＴＭＡＨ（Ｔｅｔｒａ Ｍｅｔｈｙｌ Ａｍｍｏｎｉｕｍ Ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ）を代表とするアルカリ性現像液などのアルカリ性溶液に対して、難エッチング性が高められる。厚み方向中央においてＳｃ濃度が低くなっている場合、第１及び第２の電極に接する側の領域において、Ｓｃ濃度が相対的に高くなり、アルカリ性溶液に対するエッチング耐性が高められることになる。従って、圧電薄膜上にアルカリ現像によりフォトリソグラフィー法に従ってレジストパターンを形成し、電極材料を蒸着法などによって成膜するリフトオフ法を使用する場合、アルカリ現像液により圧電薄膜表面が溶解し難い。すなわち、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜上では、一般的なアルカリ現像によりリフトオフ用レジストパターンを形成することができる。
圧電薄膜の厚み方向中央において、Ｓｃ濃度が低くなっている構成では、前記複数の膜において、前記第１の電極に接する膜及び前記第２の電極に接する膜が、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜からなり、前記圧電薄膜の厚み方向中央にＳｃを含有していない窒化アルミニウム膜が配置されていてもよい。
本発明に係る圧電薄膜共振子では、好ましくは、前記Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜のＳｃ含有濃度が０．５〜２４原子％の範囲にある。この場合には、十分な比帯域と良好な周波数温度特性とをより一層確実に両立することができる。
本発明の別の広い局面では、Ａｌからなる第１のターゲットと、ＳｃＮからなる第２のターゲットとを用い、厚み方向においてＳｃ濃度が均一ではない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウム膜を２元スパッタリング法により成膜する、圧電薄膜の製造方法が提供される。
本発明のさらに広い別の局面では、少なくとも窒素ガスを含む雰囲気下において、表面に複数の凹部が設けられているＡｌからなるターゲット本体と、該Ａｌからなるターゲット本体の前記凹部に埋め込まれており、ＳｃからなるＳｃターゲット部とを有する複合ターゲットを用い、スパッタリング法により厚み方向においてＳｃ濃度が均一ではない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウム膜を成膜する、圧電薄膜の製造方法が提供される。この方法の一例として、Ａｌからなるターゲット本体に貫通部を設け、その貫通部にＳｃを埋め込んでもよい。
本発明に係る圧電薄膜共振子では、圧電薄膜が、厚み方向においてＳｃ濃度が均一でない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウムからなるため、Ｓｃの濃度分布の調整により、比帯域や周波数温度特性などの様々な特性の設計の自由度が高い圧電薄膜共振子を提供することができる。
本発明に係る圧電薄膜の製造方法では、Ａｌからなる第１のターゲットと、ＳｃＮからなる第２のターゲットとを用いて、２元スパッタリング法により厚み方向においてＳｃ濃度が均一ではない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウム膜からなる圧電薄膜を得ることができる。従って、上記本発明の圧電薄膜共振子を、本発明の製造方法を用いて得られた圧電薄膜により容易に提供することができる。
本発明に係る他の圧電薄膜の製造方法では、上記複合ターゲットを用いて厚み方向においてＳｃ濃度が均一ではない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウムからなる圧電薄膜を得ることができる。従って、上記本発明の圧電薄膜共振子を、本発明の製造方法を用いて得られた圧電薄膜により容易に提供することができる。
（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係る圧電薄膜共振子の正面断面図及び該圧電薄膜共振子に用いられる圧電薄膜と第１及び第２の電極が積層されている要部を拡大して示す部分正面断面図である。 本発明の第１の実施形態において、圧電薄膜中のＳｃ濃度と、共振子の比帯域及び周波数温度係数ＴＣＦとの関係を示す図である。 本発明の一実施形態に係る圧電薄膜共振子が用いられる圧電フィルタの一例を示す回路図である。 図３に示した圧電フィルタの減衰量周波数特性を示す図である。 （ａ）及び（ｂ）は、本発明の第２の実施形態に係る圧電薄膜共振子における圧電薄膜と第１及び第２の電極が積層されている部分の要部を拡大して示す正面断面図であり、（ｂ）は、該圧電薄膜におけるＳｃ濃度の厚み方向に沿う濃度分布を示す図である。 本発明の圧電薄膜共振子において、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜の成膜方法の一例を説明するための模式図である。 本発明の第３の実施形態に係る圧電薄膜共振子における圧電薄膜と第１及び第２の電極の積層構造を拡大して示す正面断面図である。 本発明の第３の実施形態の変形例に係る圧電薄膜共振子における圧電薄膜の厚み方向に沿うＳｃ濃度の濃度分布を示す図である。 本発明の第４の実施形態に係る圧電薄膜共振子における圧電薄膜と第１及び第２の電極の積層構造を拡大して示す正面断面図である。 （ａ）は、本発明の第４の実施形態の変形例に係る圧電薄膜共振子における圧電薄膜と第１及び第２の電極が積層されている要部を拡大して示す正面断面図であり、（ｂ）は、該圧電薄膜における厚み方向に沿ったＳｃの濃度分布を示す図である。 本発明の第５の実施形態の変形例の圧電薄膜共振子における圧電薄膜の厚み方向に沿うＳｃ濃度の分布を示す図である。 本発明の第６の実施形態に係る圧電薄膜共振子の正面断面図である。 本発明の第７の実施形態に係る圧電薄膜共振子の正面断面図である。 （ａ）及び（ｂ）は、本発明の圧電薄膜の製造方法の他の実施形態で用いられる複合ターゲットを示す平面図及び正面断面図であり、（ｃ）は複合ターゲットのさらに他の例を示す正面断面図である。 （ａ）及び（ｂ）は、本発明の圧電薄膜の製造方法のさらに他の実施形態で用いられる複合ターゲットを示す平面図及び正面断面図である。
以上、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る圧電薄膜共振子の正面断面図である。
圧電薄膜共振子１は、基板２を有する。基板２は、高抵抗シリコンやガラス、ＧａＡｓなどの適宜の材料からなる。本実施形態では、基板２は、Ｓｉ基板からなる。
基板２上に、絶縁膜３が形成されている。絶縁膜３は、必ずしも設けられずともよいが、後述の空隙Ａを形成するための工程に必要であるため、絶縁膜３が設けられている。絶縁膜３は、本実施形態では酸化ケイ素からなる。
絶縁膜３上に、共振子部分を保護するための保護膜４が形成されている。この保護膜４は、酸化ケイ素からなる。また、保護膜４の中央部分が、空隙Ａを隔てて、基板２及び絶縁膜３から隔てられている。
保護膜４上に、第１の電極５が下部電極として形成されている。第１の電極５上に、Ｓｃ含有窒化アルミニウムからなる圧電薄膜６が形成されている。圧電薄膜６上に、上部電極として第２の電極７が形成されている。
上記圧電薄膜６は、本実施形態では、厚み方向においてＳｃ濃度が均一ではない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウムからなる。より具体的には、図１（ｂ）に拡大して示すように、圧電薄膜６は、窒化アルミニウム膜６ａと、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｂと、窒化アルミニウム膜６ｃとをこの順序で積層した構造を有する。言い換えれば、第１の電極５側に位置するように窒化アルミニウム膜６ａが設けられており、第２の電極７側に位置するように窒化アルミニウム膜６ｃが設けられている。そして、圧電薄膜６の厚み方向中央に、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｂが配置されている。それによって、圧電薄膜６の厚み方向において、中央はＳｃ含有濃度が高く、第１の電極５及び第２の電極７側はＳｃ濃度が低くされている。
上記窒化アルミニウム膜６ａ、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｂ及び窒化アルミニウム膜６ｃは、薄膜形成方法により形成することができる。このような薄膜形成方法としては、スパッタリング、ＣＶＤなどを用いることができる。本実施形態では、スパッタリングにより、窒化アルミニウム膜６ａ、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｂ及び窒化アルミニウム膜６ｃが成膜されている。
上記のように、本実施形態では、窒化アルミニウム膜６ａ，６ｃと、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｂとが積層されている。それによって、Ｓｃ濃度が圧電薄膜６の厚み方向において濃度分布を有している。また、本実施形態では、圧電薄膜６におけるＳｃ濃度は、圧電薄膜６におけるＳｃの原子数と、アルミニウムの原子数との合計を１００原子％としたとき、０．５〜２４原子％の範囲とされていることが望ましい。それによって、十分な比帯域と良好な周波数温度特性とを両立することが可能となる。
圧電薄膜６上に第２の電極７が積層されている。空隙Ａの上方において、圧電薄膜６を介して第１の電極５と第２の電極７とが対向している。この第１の電極５と第２の電極７とが対向している部分が励振部を構成している。すなわち、交流電圧が印加された際に、当該励振部において、圧電効果によりバルク波が発生する。
上記第１の電極５及び第２の電極７は、適宜の導電性材料からなる。このような導電性材料としては、Ｐｔ、Ａｕ、Ｔｉ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｉｒ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｓｃなどの金属もしくはこれらの合金を用いることができる。また、第１の電極５及び第２の電極７は、複数の金属膜を積層してなる積層金属膜により構成されてもよい。
上記第２の電極７を覆うように保護膜８が形成されている。保護膜８は、第２の電極７及び圧電薄膜６を外部から保護し得る適宜の絶縁性材料からなる。このような絶縁性材料としては、酸化ケイ素、酸窒化ケイ素、窒化ケイ素などを挙げることができ、本実施形態では、酸化ケイ素により保護膜８が形成されている。
上記励振部が設けられている部分の周囲では、すなわち空隙Ａの外側では、保護膜４が絶縁膜３上に密着されている。従って、保護膜４上に積層されている他の層の高さも、励振部に比べて低くなっている。
なお、第１の電極５に接続されるように第１の電極パッド９が、空隙Ａが設けられている部分の外側に配置されている。同様に、第２の電極７に電気的に接続される第２の電極パッド１０が、空隙Ａが設けられている部分よりも外側の領域に配置されている。
圧電薄膜共振子１では、第１，第２の電極５，７間に交流電界を印加することにより、圧電薄膜６を伝搬するバルク波が励振される。このバルク波の基本波による共振現象を利用して、共振特性が得られる。
上記のように、本実施形態の圧電薄膜共振子１では、圧電薄膜６が、圧電薄膜６の厚み方向においてＳｃの濃度が均一ではない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウムからなる。そのため、Ｓｃの濃度分布を調整することにより、比帯域や周波数温度特性などの様々な特性を容易に制御することができる。
また、窒化アルミニウムの誘電損失はＳｃ含有窒化アルミニウムよりも小さい。他方、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｂの電気機械結合係数は、窒化アルミニウム膜６ａ，６ｃよりも大きい。他方、圧電薄膜共振子１における厚み縦振動の歪みエネルギーは、圧電薄膜６の中央付近に集中する。従って、本実施形態では、電気機械結合係数は大きいが、誘電損失が大きいＳｃ含有窒化アルミニウム膜６ｂが、歪みエネルギーが集中する厚み方向中央付近に配置されている。それによって、圧電薄膜共振子１の比帯域を効果的に拡げることができる。
加えて、電気機械結合係数が小さいが、誘電損失が小さい窒化アルミニウム膜６ａ，６ｃがＳｃ含有窒化アルミニウム膜６ｂの両側に積層されているため、圧電薄膜６の誘電損失を小さくすることが可能とされている。
さらに、上述したように、本実施形態では、圧電薄膜６におけるＳｃ含有濃度が、０．５〜２４原子％の範囲とされているため、それによっても、十分な比帯域を確保しつつかつ周波数温度係数ＴＣＦの絶対値を小さくすることが可能とされている。これを、図２を参照して説明する。
前述した特許文献１では、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜を用いる場合、良好な圧電応答性を得るには、Ｓｃ含有率は、０．５〜５０原子％の範囲とすることが必要であるとされていた。しかしながら、本願発明者らは、種々検討した結果、Ｓｃ含有率を上記範囲内としたとしても、共振子の比帯域を十分な大きさとし、かつ周波数温度係数ＴＣＦの絶対値を十分小さくし、さらに挿入損失も十分に小さくし得るほどに誘電損失を小さくすることができないことを見出した。そして、さらに検討した結果、Ｓｃ含有率を０．５〜２４原子％の範囲内とすれば、十分な比帯域を確保しつつ、周波数温度特性を改善し得ることを見出した。
図２は、上記実施形態の圧電薄膜共振子１における、圧電薄膜中のＳｃ濃度と、共振子比帯域とＴＣＦとの関係を示す。図２から明らかなように、Ｓｃ濃度が高くなるにつれて、共振子の比帯域は広くなる。
他方、周波数温度係数ＴＣＦは、逆に、Ｓｃ濃度が高くなるにつれて低下する。
従って、Ｓｃ濃度を高めた場合、共振子の比帯域の大きさと、ＴＣＦ改善効果とはトレードオフの関係にあることがわかる。
もっとも、周波数温度係数ＴＣＦは、Ｓｃ濃度が高くなるにつれて低下するが、特に、Ｓｃ濃度が０．５原子％〜２４原子％の範囲内においては、徐々に周波数温度係数ＴＣＦが低下している。２４原子％を超えると、図２から明らかなように、周波数温度係数ＴＣＦの絶対値が急激に大きくなる。
他方、この種の圧電薄膜共振子１では、比帯域は数％程度あれば、携帯電話などの無線通信に用いられるフィルタやデュプレクサに用いるのに十分であるとされている。すなわち、比帯域は、３％〜７％程度あれば十分である。従って、図２より、Ｓｃ濃度を０．５〜２４原子％の範囲内とすれば、十分な比帯域を確保しつつ、周波数温度係数ＴＣＦの絶対値を十分に小さくし得ることがわかる。加えて、Ｓｃ濃度が０．５〜２４原子％の範囲内では、共振子の比帯域の変化率や周波数温度係数ＴＣＦの変化率が小さい。よって、Ｓｃ濃度がプロセス上の理由により若干ばらついたとしても、比帯域や周波数温度係数ＴＣＦのばらつきが生じ難い。よって、所望とする特性の圧電薄膜共振子１を安定に得ることができる。
なお、上記圧電薄膜共振子１の製造方法に従っては、上記空隙Ａを有する従来より周知の圧電薄膜共振子と同様にして製造することができる。このような製造方法の一例を説明する。
基板２上に、絶縁膜３を薄膜形成法により形成する。次に、空隙Ａが形成される部分に、シリコン酸化膜、酸化亜鉛、ポリシリコン、ポリイミドなどの材料からなる犠牲層を形成する。
上記犠牲層を形成した後に、保護膜４を成膜する。次に、フォトリソグラフィー法により第１の電極５を形成する。しかる後、圧電薄膜６を薄膜形成法により形成し、フォトリソグラフィー法により第２の電極７を形成する。次に、保護膜８及び電極パッド９，１０を形成する。しかる後、あるいは電極パッド９，１０の形成に先立ち、エッチングにより犠牲層を除去する。
圧電薄膜６の形成に際し、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｂについては、後述する２種類のターゲットを用いたスパッタリング法を好適に用いることができる。
上記実施形態の圧電薄膜共振子は、圧電共振子や様々なフィルタ装置に用いることができる。図３は、上記圧電薄膜共振子を用いた圧電フィルタ装置の回路図である。フィルタ装置１１は、入力端子１２と出力端子１３とを有する。入力端子１２と出力端子１３とを結ぶ直列腕に、直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ３が設けられている。直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ３は互いに直列に接続されている。また、直列腕とグラウンド電位を結ぶ第１，第２の並列腕が設けられている。第１の並列腕は、直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２間の接続点とグラウンド電位との間を結んでいる。第１の並列腕には、第１の並列腕共振子Ｐ１が設けられている。第２の並列腕は、一端が直列腕共振子Ｓ２，Ｓ３間の接続点に、他端がグラウンド電位に接続されている。第２の並列腕に並列腕共振子Ｐ２が設けられている。
従って、直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ３と並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２を含むラダー型フィルタが構成されている。
本実施形態では、並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２が第１の実施形態の圧電薄膜共振子１からなる。他方、直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ３は、圧電薄膜としてＳｃを含有しない窒化アルミニウム膜を用いたことを除いては、上記圧電薄膜共振子１と同様の構造の第２の圧電薄膜共振子からなる。
図４は、本実施形態のフィルタ装置の減衰量周波数特性を示す。ラダー型回路では、並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２の共振周波数が、通過帯域低域側端部の減衰特性に影響する。従って、本実施形態では、図４の矢印Ｂで示す通過帯域の低域側の肩部の周波数位置が、並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２の共振周波数に依存する。そして、並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２が前述したＳｃ濃度が厚み方向において均一ではない濃度分布を有する窒化アルミニウム膜を用いているため、温度変化により、共振周波数が直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ３よりも大きく動く。従って、並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２が上記実施形態の圧電薄膜共振子１からなるため、通過帯域低域側の上記肩部の周波数位置を調整し、帯域幅の拡大を図ることができるとともに、温度特性を調整することができる。
なお、上記第２の実施形態とは逆に、直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ３が上記実施形態の圧電薄膜共振子からなり、並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２がＳｃを含有していない窒化アルミニウム膜からなる圧電薄膜共振子とした場合には、逆に、通過帯域高域側の肩部の周波数位置を、Ｓｃ含有率を調整することにより調整することができる。また、周波数温度特性もＳｃ含有率を調整することにより改善することができる。
上記のように、複数の圧電薄膜共振子を有するフィルタ装置において、少なくとも１つの圧電薄膜共振子を第１の実施形態に係る圧電薄膜共振子で構成し、残りの圧電薄膜共振子をＳｃを含有しない窒化アルミニウム膜からなる圧電薄膜を用いた第２の圧電薄膜共振子とすることにより、帯域幅を調整し、帯域幅を拡大したり、周波数温度特性を改善したりすることができる。
上記実施形態では、圧電薄膜６が窒化アルミニウム膜６ａ，６ｃと、厚み方向中央に配置されたＳｃ含有窒化アルミニウム膜６ｂとを有する積層膜により構成されていた。本発明の圧電薄膜共振子では、圧電薄膜は、このような複数の膜を積層した構造を有するものに限定されない。図５（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係る圧電薄膜共振子における圧電薄膜と第１及び第２の電極が積層されている部分の要部を拡大して示す正面断面図であり、（ｂ）は、該圧電薄膜におけるＳｃ濃度の厚み方向に沿う濃度分布を示す図である。
図５（ａ）に示すように、圧電薄膜６Ａを介して第１の電極５と第２の電極７とが対向している。第２の実施形態のその他の構造は、第１の実施形態と同様であるため、図１（ａ）を参照して行った説明を援用することにより、その他の説明については省略する。
第２の実施形態の特徴は、圧電薄膜６Ａが、Ｓｃを含有している窒化アルミニウムからなるが、Ｓｃ濃度が、図５（ｂ）に示す濃度分布を有することにある。すなわち、圧電薄膜６Ａにおいては、厚み方向中央においてＳｃ濃度が最も高く、第１の電極５側、及び第２の電極７側にいくにつれて、Ｓｃ濃度が低くなるように連続的にＳｃ濃度が変化している。このように、本発明の圧電薄膜共振子では、圧電薄膜中のＳｃ濃度は、圧電薄膜の厚み方向中央において連続的に変化していてもよい。
本実施形態においても、圧電薄膜６Ａの厚み方向中央においてＳｃ濃度が最も高くなっているため、第１の実施形態と同様に、厚み縦振動の応力が集中する厚み方向中央付近に、Ｓｃ濃度が高い領域が配置されている。従って、電気機械結合係数が大きいが、誘電損失が大きいＳｃを高濃度に含む窒化アルミニウム領域が、歪みエネルギーが集中する部分に配置されているため、共振子の比帯域を効果的に拡げることができる。また、第１の電極５及び第２の電極７に近い部分では、Ｓｃ濃度が低くなっているため、電気機械結合係数は小さいが、誘電損失が小さい。そのため、圧電薄膜６Ａ全体の誘電損失を小さくすることができる。
なお、上記のようなＳｃ濃度が連続的に変化している圧電薄膜６Ａは適宜の方法で形成し得るが、好ましくは、図６に示すスパッタリング装置２１を用いて行い得る。スパッタリング装置２１では、圧電薄膜６Ａが形成される前の素子２２に対して、Ａｌからなる第１のターゲット２３と、Ｓｃからなる第２のターゲット２４を用い、窒素ガス雰囲気中でスパッタリングを行う。すなわち、２元スパッタリング法により圧電薄膜６Ａを形成する。この場合、スパッタリングに際しての条件を時間的に変化させることにより、上記濃度分布を持たせることができる。また、２元スパッタリング法のターゲットとして、Ａｌからなる第１のターゲット、ＳｃＮからなる第２のターゲットを用いてもよい。この場合、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜中に含有される不純物としての酸素濃度が減るため、安定して高い圧電定数を有するＳｃ含有窒化アルミニウム膜を形成することができる。
なお、前述した第１の実施形態において、窒化アルミニウム膜６ａ，６ｃは、Ａｌターゲットを用いてスパッタリングすることにより形成し得る。他方、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｂについては、図６に示した２元スパッタリング法の他、ＳｃＡｌ合金からなるターゲットを用いた１元スパッタリング法により形成してもよい。もっとも、Ｓｃ含有Ａｌ合金ターゲットは非常に硬く加工性に乏しいため、上記２元スパッタリングを用いることが望ましい。簡易的には、Ａｌターゲット上にＳｃペレットを置いてスパッタリングしてもよい。
また、上記厚み方向においてＳｃ濃度が均一ではない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウム膜からなる圧電薄膜は他の方法でも製造することができる。たとえば、図１４（ａ）及び（ｂ）に示す複合ターゲット７１を用い、スパッタリング法により成膜することもできる。この複合ターゲット７１は、ターゲット本体７２を有する。ターゲット本体７２は、Ａｌ板からなる。ターゲット本体７２の上面に、複数の凹部７２ａが形成されている。この複数の凹部７２ａは、エロージョン領域Ｅに位置している。複数の凹部７２ａに、Ｓｃターゲット７３が埋め込まれている。より具体的には、円盤状のターゲット本体７２の上面において、リング状に位置しているエロージョン領域Ｅに、複数のＳｃターゲット７３が該リング状のエロージョン領域Ｅの周方向に均一に分散配置されている。
上記のように凹部７２ａにＳｃターゲット７３が埋め込まれている複合ターゲット７１を用いることにより、少なくとも窒素ガスを含む雰囲気下でスパッタリングすれば、上記と同様に厚み方向においてＳｃ濃度が異なる、すなわちＳｃの濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウム膜を容易に得ることができる。
また、図１４（ｃ）のように、Ａｌからなるターゲット本体７２に貫通部７２ｂを設け、その貫通部７２ｂにＳｃターゲット７３を埋め込んだターゲットを用いても、上記と同様の効果を得ることができる。
また、図１５（ａ）及び（ｂ）に示すような、Ａｌからなるリング状のターゲット本体７４を用いてもよい。ターゲット本体７４は、中央に開口７４ａを有するリング状の形状を有している。上記ターゲット本体７４の上面７４ｂは、外周縁に至るにつれ下方に傾斜している環状傾斜面とされている。この環状傾斜面である上面７４ｂにおいて、周方向に複数の凹部７４ｃが設けられている。各凹部７４ｃにＳｃターゲット７３が埋め込まれている。ターゲット本体７４の下面７４ｄは平坦面とされている。
このように、ターゲット本体７４の上面を環状傾斜面とし、該環状傾斜面にＳｃターゲット７３を埋め込んでもよい。この複合ターゲット７１Ａを用いた場合においても、上記と同様に、少なくとも窒素ガス含有雰囲気下においてスパッタリングを行うことにより、Ｓｃ濃度が厚み方向において異なる濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウム膜を容易に得ることができる。
なお、上記複数のＳｃターゲット７３は、ターゲット本体７２，７４において、前述したようにエロージョン領域に配置されていることが好ましい。これは、エロージョン領域はスパッタ率が高いため、比較的高価なＳｃを効率よくスパッタすることが可能となることによる。もっとも、複数のＳｃターゲット７３の配置位置は特に限定されるものではない。
Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜は、窒化アルミニウム膜に比べて、誘電損失は大きいが、電気機械結合係数が大きい。また、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜は、窒化アルミニウム膜に比べてバンドギャップが狭く、絶縁耐圧が低い。また、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜の結晶性は、窒化アルミニウム膜よりも悪くなりやすく、ロッキングカーブ半値幅も広くなりやすい。他方、アルカリ溶液によるエッチングに際しては、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜は、窒化アルミニウム膜よりもエッチングされ難いという特徴を有する。
従って、Ｓｃ含有濃度を上記のように圧電薄膜６や圧電薄膜６Ａの厚み方向において変化させることにより、上記Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜の特徴を活かし、様々な特性の圧電薄膜共振子を得ることができ、圧電薄膜共振子の設計の自由度を大幅に高めることができる。
図７は、本発明の第３の実施形態に係る圧電薄膜共振子における圧電薄膜と第１，第２の電極とが積層されている部分の要部を拡大して示す正面断面図である。
第３の実施形態では、第２の実施形態と同様に、圧電薄膜以外の部分は第１の実施形態と同様であるため、他の部分については図１（ａ）を参照して行った説明を援用することにより省略する。
図７に示すように、圧電薄膜６Ｂを介して第１，第２の電極５，７が対向している。圧電薄膜６Ｂでは、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｄ、窒化アルミニウム膜６ｅ及びＳｃ含有窒化アルミニウム膜６ｆがこの順序で積層されている。すなわち、第１の実施形態とは逆に、厚み方向中央に窒化アルミニウム膜６ｅが設けられており、厚み方向両側に、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｄ，６ｆが設けられている。従って、Ｓｃ濃度は、圧電薄膜６Ｂの中央において最も低く、第１，第２の電極５，７側においてＳｃ濃度が高くなっている。
第３の実施形態では、圧電薄膜６Ｂは、積層膜により形成されていたが、第２の実施形態と同様に、Ｓｃ濃度が厚み方向において連続的に傾斜している圧電薄膜を用いてもよい。すなわち、図８に濃度分布を示す変形例のように、Ｓｃ濃度が圧電薄膜の厚み方向中央においても低く、厚み方向両側に至るにつれてＳｃ濃度が連続的に高くなるように変化する構造を有していてもよい。
上述したように、Ｓｃ含有窒化アルミニウムは、窒化アルミニウムよりもアルカリ現像液に対する耐エッチング性が高い。第３の実施形態及び上記図８に示した濃度分布を有する変形例では、第２の電極７を、例えばリフトオフ法により形成する場合、圧電薄膜６Ｂの上面がアルカリ現像液に晒される。この場合、第３の実施形態及び上記変形例では、第２の電極７側に位置している部分におけるＳｃ含有濃度が高く、あるいはＳｃ含有窒化アルミニウム膜６ｆからなるため、耐エッチング性に優れている。すなわち、アルカリ現像以外の特殊な方法でレジストパターンを形成する必要はない。また、圧電薄膜６Ｂの上面にアルカリ現像液に対する保護膜を形成する必要がない。
加えて、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｆやＳｃ含有濃度が高い窒化アルミニウムは、耐エッチング性に優れているので、一般的なアルカリ現像液を用いて第２の電極７等を形成することができる。
さらに、前述したように、図１（ａ）に示した空隙Ａの形成に際し、有機レジストを犠牲層として用い、その犠牲層を除去する方法では、犠牲層のエッチングに用いられるアルカリ性エッチャントにより、窒化アルミニウムが溶解するおそれがある。これに対して、第３の実施形態及び上記変形例では、圧電薄膜６Ｂの下方に位置している部分のＳｃ含有率が高い。そのため、耐エッチング性に優れているので、犠牲層形成に際してのエッチングによっても圧電薄膜の損傷が生じ難い。従って、良好な圧電特性を発現する圧電薄膜共振子を提供することができる。
図９は、第４の実施形態に係る圧電薄膜共振子における圧電薄膜と第１及び第２の電極の積層構造を拡大して示す正面断面図である。第４の実施形態では、圧電薄膜６Ｃを介し、第１，第２の電極５，７が対向している。圧電薄膜６Ｃは、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｇ上に、窒化アルミニウム膜６ｈを積層した構造を有する。
本実施形態では、結晶性が良好な窒化アルミニウム膜６ｈがＳｃ含有窒化アルミニウム膜６ｇ上に積層されている。従って、窒化アルミニウム膜６ｈ上に成膜される上部電極としての第２の電極７の結晶性を高めることができる。それによって、第２の電極７の結晶性を高め、耐電力性を高めることができる。
図１０（ａ）は第４の実施形態の変形例に係る圧電薄膜共振子の圧電薄膜及び第１，第２の電極が積層されている部分を示す正面断面図である。本変形例では、圧電薄膜６ＤにおいてＳｃ濃度が厚み方向において連続的に変化している。この濃度分布を図１０（ｂ）に示す。図１０（ｂ）に示すように、圧電薄膜６Ｄでは、上面から下面にいくにつれてＳｃ濃度が高くなっている。従って、本変形例では、圧電薄膜６Ｃを用いた第４の実施形態と同様に、上部電極である第２の電極７の結晶性を高め、耐電力性を高めることができる。
なお、第４の実施形態では、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｇ上に窒化アルミニウム膜６ｈが積層されていたが、逆に、窒化アルミニウム膜６ｈ上に、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｇが積層されていてもよい。
すなわち、第２の電極７側にＳｃ含有窒化アルミニウム膜６ｇが配置されていてもよい。このような図９と積層順序が逆になっている構造の圧電薄膜を有する圧電薄膜共振子が、本発明の第５の実施形態である。また、第５の実施形態の変形例として、図１１に示すＳｃ濃度の濃度分布を有する圧電薄膜を用いた圧電薄膜共振子が挙げられる。すなわち、図１０（ｂ）とは逆に、圧電薄膜中において、Ｓｃ濃度が上面から下面にいくにつれて低くなるように連続的に変化している圧電薄膜を用いてもよい。
上記第５の実施形態及びその変形例に係る圧電薄膜共振子では、窒化アルミニウム膜またはＳｃ濃度が非常に低い窒化アルミニウム領域が下方の第１の電極５側に位置している。そして、窒化アルミニウム膜上またはＳｃ濃度が低い窒化アルミニウム領域上にＳｃ窒化アルミニウム膜またはＳｃ濃度が高い窒化アルミニウム領域が積層されているため、結晶性が良好な窒化アルミニウム膜またはＳｃ濃度が低い窒化アルミニウム領域が第１の電極５上で成長され、成膜される。従って、上方のＳｃ含有窒化アルミニウム膜やＳｃ濃度が高い窒化アルミニウム領域の結晶性を高めることができる。
なお、上述してきた実施形態及び変形例では、圧電バルク波の基本波を用いたが、図１２に示す圧電薄膜共振子５１のように、圧電バルク波の２倍波を用いた構成であってもよい。ここでは、圧電薄膜共振子５１は、第２の電極７の上面に積層された厚みの厚い酸化ケイ素膜５２を有する。その他の構造は、圧電薄膜共振子１と同様である。このように、厚みの厚い酸化ケイ素膜５２を積層し、その質量負荷効果等を利用することにより、圧電バルク波の２倍波を利用することができる。
なお、酸化ケイ素の弾性定数の温度特性の極性は、窒化アルミニウムの弾性定数の温度特性の極性と逆である。そのため、酸化ケイ素膜５２の厚みが大きい圧電薄膜共振子５１では、第１の実施形態の基本波を利用した圧電薄膜共振子１に比べ周波数温度特性が良好である。すなわちＴＣＦの絶対値が小さくなる。
図１３は、本発明の第７の実施形態としてのこのような圧電薄膜共振子を示す模式的正面断面図である。
圧電薄膜共振子６１では、空隙Ａが設けられておらず、第１の電極５と基板２との間に、音響反射層６２が設けられている。音響反射層６２は、相対的に高い音響インピーダンス層６２ａ，６２ｃと、相対的に低い音響インピーダンス層６２ｂ，６２ｄとを交互に積層した構造を有する。このような音響反射層６２を有する公知の圧電薄膜共振子においても、前述した第１の実施形態と同様に、圧電薄膜をＳｃ含有窒化アルミニウムにより構成することにより、第１の実施形態と同様に、十分な比帯域を確保しつつ、周波数温度特性を改善することができる。
１…圧電薄膜共振子
２…基板
３…絶縁膜
４…保護膜
５…第１の電極
６…圧電薄膜
６Ａ…圧電薄膜
６Ｂ…圧電薄膜
６Ｃ…圧電薄膜
６Ｄ…圧電薄膜
６ａ…窒化アルミニウム膜
６ｂ…Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜
６ｃ…窒化アルミニウム膜
６ｄ，６ｆ…Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜
６ｅ…窒化アルミニウム膜
６ｇ…Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜
６ｈ…窒化アルミニウム膜
７…第２の電極
８…保護膜
９，１０…電極パッド
１１…フィルタ装置
１２…入力端子
１３…出力端子
２１…スパッタリング装置
２２…素子
２３…第１のターゲット
２４…第２のターゲット
５１…圧電薄膜共振子
５２…酸化ケイ素膜
６１…圧電薄膜共振子
６２…音響反射層
６２ａ，６２ｃ…高い音響インピーダンス層
６２ｂ，６２ｄ…低い音響インピーダンス層
７１…複合ターゲット
７１Ａ…複合ターゲット
７２…ターゲット本体
７２ａ…凹部
７２ｂ…貫通部
７３…Ｓｃターゲット
７４…ターゲット本体
７４ａ…開口
７４ｂ…上面
７４ｃ…凹部
７４ｄ…下面
Ｐ１，Ｐ２…並列腕共振子
Ｓ１〜Ｓ３…直列腕共振子
本発明に係る圧電薄膜共振子のある特定の局面では、前記圧電薄膜が、Ｓｃ含有濃度が異なる複数の膜を積層してなる積層膜からなる。この場合には、複数の膜におけるＳｃ含有濃度を異ならせることにより、厚み方向においてＳｃ濃度が均一ではない濃度分布を容易に形成することができる。
本発明に係る圧電薄膜共振子の他の特定の局面では、前記圧電薄膜において、Ｓｃ濃度が厚み方向において連続的に変化している。この場合には、結晶構造が連続しやすく、その結果、結晶性が良好となり、圧電性の劣化や弾性損失の小さいＳｃ含有窒化アルミニウム膜とすることができる。
本発明に係る圧電薄膜共振子の別の特定の局面では、前記圧電薄膜において、前記第１及び第２の電極に接する側に比べ、前記圧電薄膜の厚み方向中央において、Ｓｃ濃度が高くなっている。Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜では、Ｓｃ濃度が高いほど、電気機械結合係数を高めることができ、かつ誘電損失も大きくなる。Ｓｃ濃度が高くなっているＳｃ含有窒化アルミニウム膜の厚み方向中央には、厚み縦振動の応力が集中する。従って、電気機械結合係数が大きいが誘電損失が大きい部分にエネルギーが集中することにより、比帯域幅を効果的に拡げることができる。他方、第１及び第２の電極に接する側において、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜のＳｃ濃度が低くなっているため、圧電薄膜共振子全体の誘電損失を効果的に小さくすることができる。
本発明に係る圧電薄膜共振子のさらに他の特定の局面では、前記圧電薄膜において、前記第１及び第２の電極に接する側に比べ、前記圧電薄膜の厚み方向中央において、Ｓｃ濃度が低くなっている。Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜は、窒化アルミニウム膜よりもアルカリ性溶液にエッチングされにくい特徴を持つ。すなわち、Ｓｃ濃度が高いほど、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜では、ＴＭＡＨ（Ｔｅｔｒａ Ｍｅｔｈｙｌ Ａｍｍｏｎｉｕｍ Ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ）を代表とするアルカリ性現像液などのアルカリ性溶液に対して、難エッチング性が高められる。厚み方向中央においてＳｃ濃度が低くなっている場合、第１及び第２の電極に接する側の領域において、Ｓｃ濃度が相対的に高くなり、アルカリ性溶液に対するエッチング耐性が高められることになる。従って、圧電薄膜上にアルカリ現像によりフォトリソグラフィー法に従ってレジストパターンを形成し、電極材料を蒸着法などによって成膜するリフトオフ法を使用する場合、アルカリ現像液により圧電薄膜表面が溶解し難い。すなわち、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜上では、一般的なアルカリ現像によりリフトオフ用レジストパターンを形成することができる。
本発明に係る圧電薄膜共振子では、好ましくは、前記圧電薄膜のＳｃ含有濃度が０．５〜２４原子％の範囲にある。この場合には、十分な比帯域と良好な周波数温度特性とをより一層確実に両立することができる。
上記圧電薄膜６は、本実施形態では、厚み方向においてＳｃ濃度が均一ではない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウムからなる。より具体的には、図１（ｂ）に拡大して示すように、圧電薄膜６は、窒化アルミニウム膜６ａと、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｂと、窒化アルミニウム膜６ｃとをこの順序で積層した構造を有する。言い換えれば、第１の電極５側に位置するように窒化アルミニウム膜６ａが設けられており、第２の電極７側に位置するように窒化アルミニウム膜６ｃが設けられている。そして、圧電薄膜６の厚み方向中央に、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜６ｂが配置されている。それによって、圧電薄膜６の厚み方向において、中央はＳｃ含有濃度が相対的に高く、第１の電極５及び第２の電極７側はＳｃ濃度が相対的に低くされている。
圧電薄膜６上に第２の電極７が積層されている。空隙Ａの上方において、圧電薄膜６を介して第１の電極５と第２の電極７とが対向している。この第１の電極５と第２の電極７とが対向している部分が圧電振動部を構成している。すなわち、交流電圧が印加された際に、当該圧電振動部において、圧電効果によりバルク波が発生する。
図４は、本実施形態のフィルタ装置の減衰量周波数特性を示す。ラダー型回路では、並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２の共振周波数が、通過帯域低域側端部の減衰特性に影響する。従って、本実施形態では、図４の矢印Ｂで示す通過帯域の低域側の肩部の周波数位置が、並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２の共振周波数に依存する。そして、並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２が前述したＳｃ濃度が厚み方向において均一ではない濃度分布を有する圧電薄膜を用いているため、温度変化により、共振周波数が直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ３よりも大きく動く。従って、並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２が上記実施形態の圧電薄膜共振子１からなるため、通過帯域低域側の上記肩部の周波数位置を調整し、帯域幅の拡大を図ることができるとともに、温度特性を調整することができる。
なお、上記実施形態とは逆に、直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ３が上記実施形態の圧電薄膜共振子からなり、並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２がＳｃを含有していない窒化アルミニウム膜からなる圧電薄膜共振子とした場合には、逆に、通過帯域高域側の肩部の周波数位置を、Ｓｃ含有率を調整することにより調整することができる。また、周波数温度特性もＳｃ含有率を調整することにより改善することができる。

Claims (12)

  1. 厚み方向においてＳｃ濃度が均一ではない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウムからなる圧電薄膜と、
    前記圧電薄膜を挟んで対向するように設けられた第１及び第２の電極と、
    前記圧電薄膜と、前記第１及び第２の電極とからなる圧電振動部を支持している基板とを備えている、圧電薄膜共振子。
  2. 前記Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜が、Ｓｃ含有濃度が異なる複数の膜を積層してなる積層膜からなる、請求項１に記載の圧電薄膜共振子。
  3. 前記複数の膜が、Ｓｃを含有していない窒化アルミニウム膜と、Ｓｃを含有しているＳｃ含有窒化アルミニウム膜とを有する、請求項２に記載の圧電薄膜共振子。
  4. 前記Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜において、Ｓｃ濃度が厚み方向において連続的に変化している、請求項１に記載の圧電薄膜共振子。
  5. 前記Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜において、前記第１及び第２の電極に接する側に比べ、前記Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜の厚み方向中央において、Ｓｃ濃度が高くなっている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の圧電薄膜共振子。
  6. 前記第１の電極が下部電極であり、第２の電極が上部電極であり、前記圧電薄膜の前記上部電極に接する表面部分がＳｃを含有していない窒化アルミニウムからなる、請求項５に記載の圧電薄膜共振子。
  7. 前記Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜において、前記第１及び第２の電極に接する側に比べ、前記圧電薄膜の厚み方向中央において、Ｓｃ濃度が低くなっている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の圧電薄膜共振子。
  8. 前記複数の膜において、前記第１の電極に接する膜及び前記第２の電極に接する膜が、Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜からなり、前記圧電薄膜の厚み方向中央にＳｃを含有していない窒化アルミニウム膜が配置されている、請求項３に記載の圧電薄膜共振子。
  9. 前記Ｓｃ含有窒化アルミニウム膜のＳｃ含有濃度が０．５〜２４原子％の範囲にある、請求項１〜８のいずれか１項に記載の圧電薄膜共振子。
  10. Ａｌからなる第１のターゲットと、ＳｃＮからなる第２のターゲットとを用い、厚み方向においてＳｃ濃度が均一ではない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウム膜を２元スパッタリング法により成膜する、圧電薄膜の製造方法。
  11. 少なくとも窒素ガスを含む雰囲気下において、表面に複数の凹部が設けられている、Ａｌからなるターゲット本体と、該Ａｌからなるターゲット本体の前記凹部に埋め込まれており、ＳｃからなるＳｃターゲット部とを有する複合ターゲットを用い、スパッタリング法により厚み方向においてＳｃ濃度が均一ではない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウム膜を成膜する、圧電薄膜の製造方法。
  12. 少なくとも窒素ガスを含む雰囲気下において、貫通部が設けられているＡｌからなるターゲット本体と、該Ａｌからなるターゲット本体の前記貫通部に埋め込まれているＳｃとを有する複合ターゲットを用い、スパッタリング法により厚み方向においてＳｃ濃度が均一ではない濃度分布を有するＳｃ含有窒化アルミニウム膜を成膜する、圧電薄膜の製造方法。
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