JP2013086336A5

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Info

Publication number: JP2013086336A5
Application number: JP2011228278A
Authority: JP
Filing date: 2011-10-17
Publication date: 2014-10-23
Anticipated expiration: 2031-10-17

Description

第１保護層１２および第２保護層１３の材料としては、例えば、酸化物、窒化物、硫化物、炭化物、フッ化物またはその混合物が挙げられる。第１保護層１２および第２保護層１３の材料としては、互いに同一または異なる材料を用いることができる。酸化物としては、例えば、Ｉｎ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｔｉ、Ｇａ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｃｒ、ＢｉおよびＭｇからなる群から選ばれる１種以上の元素の酸化物が挙げられる。窒化物としては、例えば、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｇｅ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｗ、ＴａおよびＺｎからなる群から選ばれる１種以上の元素の窒化物、好ましくはＳｉ、ＧｅおよびＴｉからなる群から選ばれる１種以上の元素の窒化物が挙げられる。硫化物としては、例えば、Ｚｎ硫化物が挙げられる。炭化物としては、例えば、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｇｅ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｚｒ、ＴａおよびＷからなる群より選ばれる１種以上の元素の炭化物、好ましくはＳｉ、Ｔｉ、およびＷからなる群より選ばれる１種以上の元素の炭化物が挙げられる。フッ化物としては、例えば、Ｓｉ、Ａｌ、Ｍｇ、ＣａおよびＬａからなる群より選ばれる１種以上の元素のフッ化物が挙げられる。これらの混合物としては、例えば、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂、ＳｉＯ₂−Ｉｎ₂Ｏ₃−ＺｒＯ₂（ＳＩＺ）、ＳｉＯ₂−Ｃｒ₂Ｏ₃−ＺｒＯ₂（ＳＣＺ）、Ｉｎ₂Ｏ₃−ＳｎＯ₂（ＩＴＯ）、Ｉｎ₂Ｏ₃−ＣｅＯ₂（ＩＣＯ）、Ｉｎ₂Ｏ₃−Ｇａ₂Ｏ₃（ＩＧＯ）、Ｉｎ₂Ｏ₃−Ｇａ₂Ｏ₃−ＺｎＯ（ＩＧＺＯ）、Ｓｎ₂Ｏ₃−Ｔａ₂Ｏ₅（ＴＴＯ）、ＴｉＯ₂−ＳｉＯ₂などが挙げられる。

（光透過層の形成工程）
次に、例えばスピンコート法により、紫外線硬化樹脂（ＵＶレジン）などの感光性樹脂を情報信号層Ｌ上にスピンコートした後、紫外線などの光を感光性樹脂に照射し、硬化する。これにより、情報信号層Ｌ上に光透過層２が形成される。
以上の工程により、目的とする光情報記録媒体が得られる。

（無機記録層）
無機記録層２１としては、上述の第１の実施形態における無機記録層１１と同様のものを用いることができる。情報信号層Ｌ０〜Ｌｎに含まれる無機記録層２１のすべてが、金属Ｘの酸化物と金属Ｙの酸化物とを主成分としていることが好ましい。これにより、情報信号層Ｌ０〜Ｌｎに含まれるＰｄの含有量を低減できる、またはＰｄを含まない情報信号層Ｌ０〜Ｌｎを提供できる、という利点が得られる。また、金属Ｘのターゲットと金属Ｙのターゲットとをコスパッタすることにより、情報信号層Ｌ０〜Ｌｎをすべて成膜することができるので、製造設備を簡略化できる、という利点も得られる。各情報信号層Ｌ０〜Ｌｎの無機記録層２１の比率（ａ／ｂ）を、各情報信号層Ｌ０〜Ｌｎに求められる記録特性や光学特性（例えば記録感度および透過特性）に応じて調整することが好ましい。この場合に、比率（ａ／ｂ）が大きいほど透過率が高く、また記録感度が低下する傾向がある。

（保護層）
第１保護層２２および第２保護層２３としてはそれぞれ、上述の第１の実施形態における第１保護層１２および第２保護層１３と同様のものを用いることができる。各情報信号層Ｌ０〜Ｌｎごとに求められる特性（例えば光学特性や耐久性など）に応じて、第１保護層２２および第２保護層２３の材料およびその組成比を適宜設定することが好ましい。

（実施例７−１、７−２）
金属酸化物としてＺｎ酸化物をさらに含むＷ−Ｃｕ−Ｚｎ−Ｏにより、無機記録層を形成した。また、その無機記録層中のＷ、Ｃｕ、Ｚｎそれぞれの原子比率ａ、ｂ、ｃが、表２に示すように、ａ：ｂ＝２３〜３６原子％：６４〜７７原子％の範囲となり、（ａ＋ｂ）：ｃ＝７３．８原子％〜８１．１原子％：１８．９原子％〜２６．２原子％の範囲となるように、Ｗ、ＣｕおよびＺｎターゲットそれぞれの投入電力を調製した。これ以外のことは、実施例２−１と同様にして光情報記録媒体を得た。

Claims

光の照射により情報信号を記録可能な記録層を
備え、
上記記録層は、金属Ｘの酸化物と金属Ｙの酸化物とを含み、
上記金属Ｘは、タングステンおよびモリブデンからなる群より選ばれる少なくとも１種であり、
上記金属Ｙは、銅、マンガン、ニッケルおよび銀からなる群より選ばれる少なくとも１種である光情報記録媒体。
上記金属Ｘおよび上記金属Ｙの合計に対する上記金属Ｘの原子比率をａ、上記金属Ｘおよび上記金属Ｙの合計に対する上記金属Ｙの原子比率をｂとしたとき、
比率（ａ／ｂ）は、０．１≦ａ／ｂ≦２．７の関係を満たす請求項１記載の光情報記録媒体。
上記記録層が、亜鉛の酸化物をさらに含んでいる請求項１または２記載の光情報記録媒体。
上記金属Ｙは、銅、マンガン、およびニッケルからなる群より選ばれる少なくとも１種である請求項１から３のいずれかに記載の光情報記録媒体。
上記金属Ｙは、銅である請求項１から３のいずれかに記載の光情報記録媒体。
上記記録層の少なくとも一方の面に設けられた保護層をさらに備える請求項１から５のいずれかに記載の光情報記録媒体。
上記保護層は、誘電体層または透明導電層である請求項６記載の光情報記録媒体。
光の照射により情報信号を記録可能な複数の記録層を
備え、
上記複数の記録層のうちの少なくとも一層は、金属Ｘの酸化物と金属Ｙの酸化物とを含み、
上記金属Ｘは、タングステンおよびモリブデンからなる群より選ばれる少なくとも１種であり、
上記金属Ｙは、銅、マンガン、ニッケルおよび銀からなる群より選ばれる少なくとも１種である光情報記録媒体。
上記複数の記録層のすべてが、上記金属Ｘの酸化物と上記金属Ｙの酸化物とを含んでいる請求項８記載の光情報記録媒体。
金属Ｘの酸化物と金属Ｙの酸化物とを含み、
金属Ｘは、タングステンおよびモリブデンからなる群より選ばれる少なくとも１種を含み、
金属Ｙは、銅、マンガン、ニッケルおよび銀からなる群より選ばれる少なくとも１種を含んでいる光情報記録媒体用記録層。