JP2013074282A - 固体電解コンデンサおよびその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 高い信頼性を備え、さらにESR等の増加抑制による製品歩留まりを向上させた固体電解コンデンサおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 前記導電性高分子層は第一の導電性高分子層3と第二の導電性高分子層10からなり、前記第一の導電性高分子層3は、前記誘電体層2の表面を覆い、前記第二の導電性高分子層は、前記底面および前記側面を覆う前記第一の導電性高分子層3の表面に設け、前記第一の導電性高分子層10の前記導出面の少なくとも一部を開放して設ける。
【選択図】図1

Description

本発明は、固体電解コンデンサおよびその製造方法に関する。
従来から、タンタル、アルミニウム等を用いた固体電解コンデンサは、静電容量が大きく、周波数特性に優れていることから、携帯電子端末やパーソナルコンピュータ等の電子機器に広く使用されている。近年では、電子機器の高信頼性化や高性能化に伴って、漏れ電流(LC)の低減、低等価直列抵抗(低ESR)化などの要求がさらに高まってきている。
ここで、従来の固体電解コンデンサの構造を説明する。図3は、従来の固体電解コンデンサの構成を説明する概略断面図である。陽極体21は、タンタルやアルミニウム等の弁作用金属の微粉末を成型し焼結した、微小な多数の孔(多孔質層)を有した焼結体である。陽極体21とともに、陽極部となる陽極リード28は、弁作用金属のワイヤー等からなり、陽極体21の陽極リード導出面(導出面)から導出している。陽極体21の表面および内部の多孔質層の表面には酸化皮膜による誘電体層22を形成している。さらに、誘電体層22の表面には固体電解質層23を形成している。絶縁部30は、エポキシ樹脂からなり、固体電解質層23が陽極リード28に接触して電気的短絡を生じないように、陽極リード28の根元部分に配置している。
固体電解質層23の表面には、陰極部としてグラファイト層24、銀ペースト層25を形成し、コンデンサ素子を構成している。コンデンサ素子の陽極リード28と陰極部は、外部電極端子であるリードフレーム31、リードフレーム32に溶接、または導電性接着剤26で電気的に接続される。その後、外装樹脂29からなる外装を設けて固体電解コンデンサが完成する。
固体電解質層は、誘電体層と陰極部との間を電気的に接続させ、誘電体層のもつ静電容量を引き出す機能を有する。固体電解質層は、固体電解コンデンサの電気的特性を得る上で重要な構成部分の一つであり、構造や製造方法等の検討がなされている。近年においては、固体電解質層として導電性高分子からなる導電性高分子層を用いた固体電解コンデンサが製造されている。
導電性高分子層の形成には、従来、モノマー、触媒、ドーパントとなる酸化剤等を溶媒に添加した溶液に、誘電体層が形成された陽極体(陽極体素子)を浸漬させ、誘電体層の表面で重合させる、化学酸化重合法が用いられる。一般的に、化学酸化重合法では、浸透性が良く、多孔質層の細部まで入り込み易い、低粘度の溶液が用いられ、誘電体層と陰極部として形成する層との密着性を良好にする等の特徴を持つ導電性高分子層が得られる。
また、化学酸化重合法に加え、導電性高分子懸濁溶液による方法も用いられる。この導電性高分子懸濁溶液による方法(導電性高分子懸濁溶液法)とは、予め重合させた上でドーパントを添加した導電性高分子を含有する導電性高分子懸濁溶液に、陽極体素子を浸漬して含浸させ、それを引き上げた後に、加熱により乾燥させて導電性高分子層を形成する方法である。この方法で得られる導電性高分子層は、化学酸化重合法等で得られる導電性高分子層と比較して密度が高く、耐熱性が良いことや、導電性高分子層の形成が速い特徴がある。この方法に用いられる導電性高分子懸濁溶液および製造方法が、特許文献1の請求項2、3、段落0014〜0028に記載されている。
導電性高分子懸濁溶液法による導電性高分子層の誘電体層に対する形成の状態として、前述した図3に示すように、導出面の表面まで導電性高分子層(固体電解質層23)で覆っている場合がある。このような構造の固体電解コンデンサの例が特許文献2の図1、段落0016に記載されている。
前述したように、化学酸化重合法による導電性高分子層は、低粘度の溶液を用いるため多孔質層の細部まで入り込み易い反面、形成される導電性高分子層は、溶液の性質上、低密度である。そのため、外装樹脂のモールド成形により、導電性高分子層が圧縮され、誘電体層とグラファイト層が接触して短絡やLCの増加が生じる懸念があった。また、低密度であるため、ガス(酸素)を透過しやすく、陽極体内部の酸化により、ESRの増加が生じる懸念もあった。
このような懸念に対しては、密度の高い導電性高分子層が得られる導電性高分子懸濁溶液法で導電性高分子層を形成することが有効である。つまり、陽極体素子表面に所望の厚さで均一に、導電性高分子層を形成することが出来れば、酸素の侵入や、モールド成形の圧力に対して高い信頼性を得ることが可能となる。そのため、化学酸化重合法による導電性高分子層の表面に、導電性高分子懸濁溶液を用いて導電性高分子層を形成する固体電解コンデンサが検討されている。
特開平11−121281号公報 特開2010−3772号公報
低密度の導電性高分子層を設けた陽極体素子の表面全体に、導電性高分子懸濁液溶液法を用いて、密度の高い導電性高分子層を形成した場合、陽極素子の多孔質内部に残留した空気や溶媒が閉じ込められることがある。このような状態で乾燥などの加熱を行うと空気や溶媒が膨張し、導電性高分子層や誘電体層の界面に微小な剥離を生じさせる場合があり、ESR等の増加により製品歩留まりが低下してしまうという課題がある。
したがって、本発明の目的は、上記課題を解決することによって、ESRの増加を抑制し高い信頼性を備え、さらに短絡等を防止し、製品歩留まりを向上させた固体電解コンデンサおよびその製造方法を提供することである。
本発明は、固体電解コンデンサおよびその製造方法において、導電性高分子懸濁液法を用いて、高粘度の導電性高分子懸濁溶液を使用し、第一の導電性高分子層を形成した陽極体素子の底面および側面を覆い、かつ、導出面の少なくとも一部を開放して設けた第二の導電性高分子層を備えることで、信頼性に優れ、さらに短絡等を防止し、製品歩留まりを向上させた固体電解コンデンサおよびその製造方法を見出したものである。
即ち、本発明の固体電解コンデンサは、陽極リードを導出する導出面と、前記導出面に対向する底面と、前記導出面および前記底面に接する側面を備える多孔質層を有した弁作用金属からなる陽極体と、前記陽極体の表面に形成された誘電体層と、前記誘電体層の表面に形成された導電性高分子層と、前記導電性高分子層の表面に順次形成されたグラファイト層および銀ペースト層を備えたコンデンサ素子を有し、前記コンデンサ素子は外部接続端子と電気的に接続するとともに、絶縁材料により全面を覆う外装を備える固体電解コンデンサであって、前記導電性高分子層は第一の導電性高分子層と第二の導電性高分子層からなり、前記第一の導電性高分子層は、前記誘電体層の表面を覆い、前記第二の導電性高分子層は、前記底面および前記側面を覆う前記第一の導電性高分子層の表面に設け、前記第一の導電性高分子層の前記導出面の少なくとも一部を開放して設けることを特徴とする。
また、本発明の固体電解コンデンサは、化学酸化重合法または導電性高分子懸濁溶液法によって形成した前記第一の導電性高分子層と、前記第一の導電性高分子層より密度の高い導電性高分子層を得ることが可能な導電性高分子懸濁溶液法により形成した前記第二の導電性高分子層を備えることを特徴とする。
本発明の固体電解コンデンサは、前記第二の導電性高分子層と前記グラファイト層の間、および前記第一の導電性高分子層を形成した前記導出面の表面の少なくとも一部に酸化防止層を備えること特徴とする。
本発明の固体電解コンデンサの製造方法は、陽極リードを導出する導出面と、前記導出面に対向する底面と、前記導出面および前記底面に接する側面を備え、多孔質層を有した弁作用金属からなる陽極体表面に誘電体層を形成する工程と、前記誘電体層の表面に第一の導電性高分子層を形成する工程と、導電性高分子懸濁溶液を浸漬し乾燥して、前記底面および前記側面を覆う前記第一の導電性高分子層の表面と、前記第一の導電性高分子層の前記導出面の少なくとも一部を開放して第二の導電性高分子層を形成する工程と、前記第二の導電性高分子層の表面にグラファイト層を形成後、銀ペースト層を形成し陰極部を形成する工程と、前記陽極リードと前記陰極部を外部電極端子と電気的に接続し、絶縁材料で外装する工程を含むことを特徴とする。
本発明の固体電解コンデンサの製造方法は、前記第一の導電性高分子層が、化学酸化重合法または導電性高分子懸濁溶液法によって形成され、前記第二の導電性高分子層は、前記第一の導電性高分子層を形成する際に用いる溶液よりも高粘度の導電性高分子懸濁溶液を用いて形成することを特徴とする。
本発明の固体電解コンデンサの製造方法は、前記第一の導電性高分子層が形成された前記導出面と前記第二の前記導電性高分子層の表面に酸化防止剤を含んだ溶液を浸漬または塗布し、乾燥して、酸化防止層を形成する工程を含むことを特徴とする。
本発明の固体電解コンデンサの製造方法は、前記高粘度の導電性高分子懸濁溶液の粘度は、100mPa・S以上500mPa・S以下であることが好ましい。
本発明によれば、化学酸化重合法または低粘度の導電性高分子懸濁溶液を使用した導電性高分子懸濁溶液法によって、第一の導電性高分子層を誘電体層の表面に形成し、さらに高粘度の導電性高分子懸濁溶液を使用し、導電性高分子懸濁溶液法により第一の導電性高分子層を形成した底面および側面を覆い、かつ、導出面の少なくとも一部を開放して設ける第二の導電性高分子層を備えることで、外部からの酸素の侵入を抑制してESRの増加を抑制し、かつ加熱時の残留した空気等の放出を容易にし、高い信頼性を実現でき、さらに短絡等を防止し、製品歩留まりを向上させた固体電解コンデンサおよびその製造方法の提供が可能になる。
本発明の実施の形態1の固体電解コンデンサの構成を説明する概略断面図。 本発明の実施の形態2の固体電解コンデンサの構成を説明する概略断面図。 従来の固体電解コンデンサの構成を説明する概略断面図。
本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1の固体電解コンデンサの構成を説明する概略断面図である。本発明の固体電解コンデンサは、多孔質層を有する弁作用金属の焼結体からなる陽極体1を有し、陽極リード8を導出する導出面を備える。その多孔質層を有する陽極体1の表面には誘電体層2が形成される。
陽極体1は、弁作用を有する金属微粒子からなる焼結体や、エッチングによって拡面処理され多孔質層化した弁作用金属などによって形成する。弁作用金属は、タンタル、アルミニウム、チタン、ニオブ、ジルコニウム、またはこれらの合金などから適宜選定する。
誘電体層2は、弁作用金属の表面を電解酸化させた膜であり、陽極体1の導出面、側面、底面および内部の多孔質層の表面に形成する。誘電体層2の厚みは、電解酸化の電圧によって適宜調整できる。絶縁部11はエポキシ樹脂等を塗布して陽極リード28の根元部分に形成する。
続いて、誘電体層2の表面に第一の導電性高分子層3を形成する。第一の導電性高分子層3は、化学酸化重合法法または導電性高分子懸濁溶液法のいずれか一方によって形成され、誘電体層2の表面を覆うように形成する。
第一の導電性高分子層3は、高い導電性を示すことから、例えば、ピロール、チオフェン、アニリンおよびその誘導体を少なくとも1種以上含む単量体からなる重合体を含み、特に、ピロール、または3,4−エチレンジオキシチオフェン、およびその誘導体を含むことが好ましい。加えて、ドーパントとして、高い導電性を発現することからスルホン酸系化合物を含むことが好ましい。
ここで、第一の導電性高分子層3を形成する際に導電性高分子懸濁溶液法を用いる場合は、多孔質層の細部まで入り易くすることから、1mPa・S以上90mPa・S以下の低粘度の導電性高分子懸濁溶液を使用することが望ましい。
次に、第一の導電性高分子層3の表面に第二の導電性高分子層10を形成する。第二の導電性高分子層10は、導電性高分子懸濁溶液法によって形成され、第一の導電性高分子層3を形成している陽極体素子の底面および側面を覆い、かつ、導出面の少なくとも一部を開放して設ける。つまり、導出面は覆わないようにするか、または陽極リード8の導出している根元部分の周辺を除いた領域までを覆う。これにより、加熱時の残留した空気等の放出を容易にするため、高い信頼性を実現し、さらに短絡等を防止し、製品歩留まりを向上させた固体電解コンデンサおよびその製造方法の提供が可能となる。
ここで、第二の導電性高分子層10の形成に使用する導電性高分子懸濁溶液は、第一の導電性高分子層3を形成している陽極体素子の底面および側面に十分な厚みの導電性高分子層を形成し、酸素の侵入抑制やモールド成形の圧力を吸収し緩和する目的から、100mPa・S以上500mPa・S以下の高粘度の導電性高分子懸濁溶液を使用することが好ましい。
本発明で使用する導電性高分子懸濁溶液は、ピロール、チオフェン、アニリンおよびその誘導体を少なくとも1種以上含む重合体と、ドーパントを含んだ溶媒で主に構成されており、重合体としては、高い導電性を示すことから、特にピロール、3,4−エチレンジオキシチオフェン、およびその誘導体を含むことが好ましい。
ドーパントとしては、高い導電性を発現することから、例えばナフタレンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、スチレンスルホン酸およびその誘導体からなるスルホン酸系化合物が好ましい。
溶媒としては、水のみでも、水に可溶な有機溶媒とを含む混和溶媒のどちらでもよい。有機溶媒としては、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、グリセリン、ソルビトールなどの極性溶媒が好ましく、これらの有機溶媒を混和することは、少なからず重合体の溶解を促し、成膜性を向上させる作用があることから適量添加することが好ましい。
その後、第二の導電性高分子層10の表面に陰極部となるグラファイト層4、銀ペースト層5を形成し、コンデンサ素子を得る。最終的にコンデンサ素子と外部電極端子であるリードフレーム31、リードフレーム32とを溶接または導電性接着剤6で電気的に接続し、外装樹脂9による外装を設け、本発明の固体電解コンデンサを得る。
(実施の形態2)
図2は、本発明の実施の形態2の固体電解コンデンサの構成を説明する概略断面図である。本発明の固体電解コンデンサは、図2に示すように、高温に対する更なる信頼性向上のため、第二の導電性高分子層10を形成した後に酸化防止剤を含んだ溶液に浸漬または塗布し、乾燥して、陽極リード8の導出している導出面まで、酸化防止剤層12を形成しても良い。なお、陽極体1、誘電体層2、第一の導電性高分子層3、第二の導電性高分子層10、絶縁部11の構成は、実施の形態1と同等のため、説明は省略する。
酸化防止剤は、プラスチック用に一般的に使用されているものを用いることができるが、高い酸化防止性が得られることから、フェノール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、サリチル酸系化合物、およびベンゾトリアゾール系化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物を含むことが好ましい。
その後、酸化防止剤層12の表面に陰極部となるグラファイト層4、銀ペースト層5を形成し、コンデンサ素子を得る。最終的にコンデンサ素子と外部電極端子であるリードフレーム31、リードフレーム32とを溶接または導電性接着剤6で電気的に接続し、外装樹脂9による外装を設け、本発明の固体電解コンデンサを得る。
以下、本発明の実施例1、2について説明する。
(実施例1)
タンタル粉末(約30,000CV/g)を用いた、縦3.5mm、横3.0mm、高さ1.5mmの直方体に、陽極リードとして直径0.4mmのタンタルワイヤーが埋め込まれたプレス体を約1,500℃で焼結し、陽極リードを導出させた多孔質層を有した陽極体を作製した。この陽極体をリン酸水溶液中で30Vの電圧を印加して電解酸化を行い、誘電体層を形成した。
次に、酸化剤であるペルオキソ二硫酸アンモニウムと1,3,6−ナフタレントリスルホン酸を含む水溶液に、誘電体層で被覆された陽極体を浸漬し、室温で乾燥させた後、3,4−エチレンジオキシチオフェンに浸漬し、さらに室温で保持して3,4−エチレンジオキシチオフェンの重合を行った。これら一連の重合操作を4回繰り返して、化学酸化重合法による、導電性ポリ3,4−エチレンジオキシチオフェンからなる第一の導電性高分子層を形成した。第一の導電性高分子層の厚さは12μmとした。なお、第一の導電性高分子層は、モールド成形実施後には、圧縮されて、厚さが1/3程度になった。
続いて、第一の導電性高分子層を形成した陽極体素子をエタノールで洗浄し、乾燥した後に、陽極体素子の底面から側面にかけて導電性高分子懸濁溶液に浸漬し、かつ、導出面に導電性高分子懸濁溶液を付着させないように制御し、引き上げる工程を1回行った。ここでは、導電性高分子懸濁溶液として、粘度が約200mPa・Sである、ポリ3,4−エチレンジオキシチオフェンおよびポリスチレンスルホン酸を4質量%で混合した水溶液(以降、導電性高分子懸濁溶液A)を使用した。次に、125℃で1時間乾燥させて、導電性高分子懸濁溶液法による第二の導電性高分子層が完成した。第二の導電性高分子層の厚さは15μmとした。
以降、グラファイトペーストや銀ペースト等の導電性ペーストを使用してグラファイト層と銀ペースト層を形成した。その後、銀ペースト層および陽極リードのそれぞれにリードフレームを接続し、全体を外装樹脂でモールド外装し、固体電解コンデンサを得た。
(実施例2)
実施例2は、第一の導電性高分子層を形成する場合にも導電性高分子懸濁溶液法を用いた。
陽極体素子を、絶縁部に達するまで導電性高分子懸濁溶液に浸漬し、125℃にて20分間乾燥した。その作業を3回繰り返し、第一の導電性高分子層を形成した。第一の導電性高分子層の厚さは5μmとした。
ここでは、導電性高分子懸濁溶液として、粘度が約30mPa・Sであるポリ3,4−エチレンジオキシチオフェンおよびポリスチレンスルホン酸を2質量%で混合した水溶液を使用した。以降の工程は、実施例1と同様とした。
次に、本発明の実施例3について、具体的に説明する。
(実施例3)
実施例1と同様に第二の導電性高分子層まで形成し、続けて酸化防止剤を含有した水溶液に、第一および第二の導電性高分子層を形成した陽極体素子が完全に浸るまで浸漬させた。その後、125℃で30分間乾燥して酸化防止層を形成した。酸化防止剤としては、市販のフェノール系化合物を用いた。水溶液のフェノール系化合物の含有量は10質量%とした。なお、酸化防止層の厚さは1μmとした。グラファイト層を形成した以降の工程も実施例1と同様とした。
(比較例1)
モノマーとして、3,4−エチレンジオキシチオフェンを用い、化学酸化重合法のみで導電性高分子層を形成した。即ち、酸化剤であるペルオキソ二硫酸アンモニウムと1,3,6−ナフタレントリスルホン酸を含む水溶液に、陽極体素子を浸漬し、次いで室温で乾燥させた後、3,4−エチレンジオキシチオフェンを含んだ液に浸漬し、さらに室温で保持して3,4−エチレンジオキシチオフェンの重合を行った。これらの重合操作を10回繰り返して、導電性ポリ3,4−エチレンジオキシチオフェンからなる導電性高分子層を形成した。導電性高分子層の形成以外は実施例1と同様である。導電性高分子層の厚さは30μmとした。なお、比較例1の導電性高分子層は、モールド成形実施後には、圧縮されて、厚さが1/3程度になった。
(比較例2)
実施例1の場合と同様に第一の導電性高分子層を形成し、続いて、第一の導電性高分子層を形成した陽極体素子を、絶縁部に達するまで導電性高分子懸濁溶液Aに浸漬した後、125℃で20分間乾燥した。即ち、陽極リードと絶縁部付近を含む面に第二の導電性高分子層を形成した。その他の構造については実施例1と同様とした。
実施例1、2、3および比較例1、2の条件で、それぞれ200個の固体電解コンデンサを作製した。表1に製造工程中のLC検査後による製品歩留まり、初期ESR、125℃、1,000時間後の耐熱試験のESRの上昇率を示す。ESRの測定周波数は100kHz、LC測定時の印加電圧は20Vとした。ESRとLCは、JIS C 5101−1に準じて測定した。
Figure 2013074282
表1の実施例1〜3の固体電解コンデンサは、比較例2で得られた第二の導電性高分子層を全面に形成した個体電解コンデンサよりも製品歩留まりが向上した。また、表1の実施例1〜3の固体電解コンデンサは、比較例1で得られた、導電性高分子層を化学酸化重合法のみで形成した個体電解コンデンサよりもESRの増加が抑制された。これらより、本発明の効果が確認できた。
以上、実施例を用いて、この発明の実施の形態を説明したが、この発明は、これらの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更があっても本発明に含まれる。すなわち、当業者であれば、当然なしえるであろう各種変形、修正もまた本発明に含まれる。
1、21 陽極体
2、22 誘電体層
3 第一の導電性高分子層
4、24 グラファイト層
5、25 銀ペースト層
6、26 導電性接着剤
8、28 陽極リード
9、29 外装樹脂
10 第二の導電性高分子層
11、30 絶縁部
12 酸化防止剤層
23 固体電解質層
31、32 リードフレーム(外部電極端子)

Claims (7)

  1. 陽極リードを導出する導出面と、前記導出面に対向する底面と、前記導出面および前記底面に接する側面を備える多孔質層を有した弁作用金属からなる陽極体と、前記陽極体の表面に形成された誘電体層と、前記誘電体層の表面に形成された導電性高分子層と、前記導電性高分子層の表面に順次形成されたグラファイト層および銀ペースト層を備えたコンデンサ素子を有し、前記コンデンサ素子は外部接続端子と電気的に接続するとともに、絶縁材料により全面を覆う外装を備える固体電解コンデンサであって、前記導電性高分子層は第一の導電性高分子層と第二の導電性高分子層からなり、前記第一の導電性高分子層は、前記誘電体層の表面を覆い、前記第二の導電性高分子層は、前記底面および前記側面を覆う前記第一の導電性高分子層の表面に設け、前記第一の導電性高分子層の前記導出面の少なくとも一部を開放して設けることを特徴とする固体電解コンデンサ。
  2. 化学酸化重合法または導電性高分子懸濁溶液法によって形成した前記第一の導電性高分子層と、前記第一の導電性高分子層より密度の高い導電性高分子層を得ることが可能な導電性高分子懸濁溶液法により形成した前記第二の導電性高分子層を備えることを特徴とする請求項1に記載の固体電解コンデンサ。
  3. 前記第二の導電性高分子層と前記グラファイト層の間、および前記第一の導電性高分子層を形成した前記導出面の表面の少なくとも一部に酸化防止層を備えること特徴とする請求項1または2に記載の固体電解コンデンサ。
  4. 陽極リードを導出する導出面と、前記導出面に対向する底面と、前記導出面および前記底面に接する側面を備え、多孔質層を有した弁作用金属からなる陽極体表面に誘電体層を形成する工程と、前記誘電体層の表面に第一の導電性高分子層を形成する工程と、導電性高分子懸濁溶液を浸漬し乾燥して、前記底面および前記側面を覆う前記第一の導電性高分子層の表面と、前記第一の導電性高分子層の前記導出面の少なくとも一部を開放して第二の導電性高分子層を形成する工程と、前記第二の導電性高分子層の表面にグラファイト層を形成後、銀ペースト層を形成し陰極部を形成する工程と、前記陽極リードと前記陰極部を外部電極端子と電気的に接続し、絶縁材料で外装する工程を含むことを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
  5. 前記第一の導電性高分子層が、化学酸化重合法または導電性高分子懸濁溶液法によって形成され、前記第二の導電性高分子層は、前記第一の導電性高分子層を形成する際に用いる溶液よりも高粘度の導電性高分子懸濁溶液を用いて形成することを特徴とする請求項4に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
  6. 前記第一の導電性高分子層が形成された前記導出面と前記第二の前記導電性高分子層の表面に酸化防止剤を含んだ溶液を浸漬または塗布し、乾燥して、酸化防止層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項4または5に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
  7. 前記高粘度の導電性高分子懸濁溶液の粘度は、100mPa・S以上500mPa・S以下であることを特徴とする請求項4〜6のいずれか1項に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
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