JP2013065819A5 - パッケージの封止方法およびガスセルの製造方法 - Google Patents
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Claims (8)
- 開口部を有するパッケージにアルカリ金属原子を収容する収容部を配置し、前記パッケージと前記開口部を覆う蓋との間に第１の貫通孔を有する管状部材を一方の端部が外部に突出するように配置し、当該管状部材と前記パッケージ又は前記蓋との間に第１の封止材を設け、前記パッケージと前記蓋との間に、第２の貫通孔を有する第２の封止材を設け、前記パッケージと前記蓋とを接合する接合工程と、
前記管状部材の前記端部には、流体の流通を制御する流体流通手段が接続され、当該流体流通手段により、前記第２の貫通孔を介して前記パッケージの内部にコーティング剤を流入させ、当該コーティング剤により当該パッケージの内面に膜を形成し、当該流体流通手段により、前記パッケージ内部の前記コーティング剤を前記第２の貫通孔を介して外部に流出させる流通工程と、
前記管状部材を除去し、前記第１の封止材を溶融させて、当該管状部材を除去したときに形成される前記パッケージと前記蓋との間隙を封止し、前記第２の封止材を溶融させて、前記第２の貫通孔を封止する封止工程と、
前記収容部にレーザ光を照射して、当該収容部を破壊する破壊工程と
を備えることを特徴とするパッケージの封止方法。 - 前記収容部にレーザ光を照射して、当該収容部を開封する開封工程
を備える請求項１に記載のパッケージの封止方法。 - 前記流通工程において、前記第２の貫通孔は、コーティング剤の中に配置され、前記コーティング剤を流入させる場合には、前記流体流通手段により、前記パッケージ内の気体を前記第１の貫通孔から外部に排出して、当該パッケージ内の圧力を下げる
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のパッケージの封止方法。 - 前記流通工程において、前記コーティング剤を流出させる場合には、前記流体流通手段により、前記パッケージの内部に前記第１の貫通孔を介して圧縮した気体を入れて、当該パッケージ内の圧力を上げる
ことを特徴とする請求項３に記載のパッケージの封止方法。 - 前記接合工程において、前記パッケージと前記蓋とが接合する面には、接合材料が塗布され、当該パッケージと当該蓋との間には、一端が外部に突出するように棒状部材が配置され、当該接合材料が溶融されることにより前記パッケージと前記蓋とが接合され、冷却後、当該棒状部材が除去されることにより、当該接合材料により前記第２の封止材が形成される
ことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のパッケージの封止方法。 - 前記接合工程において、前記パッケージと前記蓋とが接合する面には、融点が第１の温度である接合材料が塗布され、前記第２の封止材は、融点が前記第１の温度よりも高い第２の温度である材料で形成され、前記接合材料は、前記第１の温度以上前記第２の温度未満の温度で加熱され、当該接合材料が溶融することにより、前記パッケージと前記蓋とが合され、
前記封止工程において、前記第２の封止材は、前記第２の温度以上の温度で加熱される
ことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のパッケージの封止方法。 - 開口部を有するパッケージと当該開口部を覆う蓋との間に、貫通孔を有する管状部材を一方の端部が外部に突出するように設け、当該管状部材と前記パッケージ又は前記蓋との間に封止材を設け、当該パッケージと当該蓋とを接合する接合工程と、
前記管状部材の前記端部には、流体の流通を制御する流体流通手段が接続され、当該流体流通手段により、前記パッケージの内部と外部との間で前記貫通孔を介して当該流体を流通させる流通工程と、
前記管状部材を除去し、前記封止材を溶融させて、当該管状部材を除去したときに形成される前記パッケージと前記蓋との間隙を封止する封止工程と
を備えることを特徴とするパッケージの封止方法。 - 開口部を有するパッケージにアルカリ金属原子を収容する収容部を配置し、前記パッケージと前記開口部を覆う蓋との間に第１の貫通孔を有する管状部材を一方の端部が外部に突出するように配置し、当該管状部材と前記パッケージ又は前記蓋との間に第１の封止材を設け、前記パッケージと前記蓋との間に、第２の貫通孔を有する第２の封止材を設け、前記パッケージと前記蓋とを接合する接合工程と、
前記管状部材の前記端部には、流体の流通を制御する流体流通手段が接続され、当該流体流通手段により、前記第２の貫通孔を介して前記パッケージの内部にコーティング剤を流入させ、当該コーティング剤により当該パッケージの内面に膜を形成し、当該流体流通手段により、前記パッケージ内部の前記コーティング剤を前記第２の貫通孔を介して外部に流出させる流通工程と、
前記管状部材を除去し、前記第１の封止材を溶融させて、当該管状部材の除去したときに形成される前記パッケージと前記蓋との間隙を封止し、前記第２の封止材を溶融させて、前記第２の貫通孔を封止する封止工程と、
前記収容部にレーザ光を照射して、当該収容部を破壊する破壊工程と、
を備えることを特徴とするガスセルの製造方法。
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