JP2013019051A - 硬質皮膜被覆部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スチームタービンブレード、ジェットエンジンの圧縮機ブレード、気体または液体圧縮用のコンプレッサースクリュー、ターボ圧縮機のインペラー、燃料噴射用バルブからなる群より選択されるいずれかに使用される基体と、前記基体を被覆する硬質皮膜とを備えた硬質皮膜被覆部材であって、硬質皮膜は、ナノインデンターにより測定した硬さ(H)とヤング率(E)において、硬さ(H)が20GPa以上であり、硬さ(H)とヤング率(E)との比率(H/E)が0.06以上であり、硬質皮膜は、TiおよびCrのうちの少なくとも一種とAlとNとを含有し、皮膜中の非金属元素以外の元素の総量に占めるTiとCrの総量が原子比で0.1以上0.6以下であり、かつ、皮膜中の非金属元素以外の元素の総量に占めるAlの量が原子比で0.4以上0.7以下であることを特徴とする。
【選択図】なし
Description
特許文献1、2に関しては、TiNあるいはTiは、共に耐エロージョン性が十分に高いとはいえず、多層膜形成時においてもその耐エロージョン性は十分に向上しない。
特許文献3に関しては、Alに相当するMeの組成は30原子%までのものが好適とされている。しかし、Alの量が30原子%以下では、耐エロージョン性が向上しない。また比較例としてAlが52原子%のものまでが開示されているが、皮膜は、蒸着とイオン注入とを組み合わせたダイナミックミキシング法で形成されている。しかしながら、ダイナミックミキシング法で皮膜を形成する場合には、Alの量が30原子%を超えた場合、耐エロージョン性が向上しない。特許文献4〜7に関しては、金属層とセラミック層との多層の場合には、金属層のエロージョン速度が速いために、全体としてのエロージョン速度が速くなるという問題がある。またセラミック層に関しては、組成を規定していないため、組成によっては、耐エロージョン性の向上は図れない。
0≦a≦0.6
0≦b≦0.6
0.4≦c≦0.7
0≦d≦0.15
0≦e≦0.1
0≦f≦0.05
0.1≦a+b≦0.6
a+b+c+d+e+f=1
0≦x≦0.5
0.5≦y≦1
x+y=1
を満足することが好ましい。
0≦a≦0.5
0≦b≦0.5
0.5≦c≦0.65
0≦d≦0.05
0.1≦a+b≦0.6
a+b+c+d=1
0≦x≦0.2
0.8≦y≦1
x+y=1
を満足することが好ましい。
本発明に係る硬質皮膜被覆部材は、基体と、基体を被覆する硬質皮膜とを備えたものである。なお、「基体を被覆する」とは、基体の全体を被覆する場合の他、基体の一部を被覆する場合も含む。例えば、後記する第2の実施形態においては、粉体と接触する基体の摺動面に被覆されていればよい。以下、具体的に説明する。
基体は、第1の実施形態として、スチームタービンブレード、ジェットエンジンの圧縮機ブレード、気体または液体圧縮用のコンプレッサースクリュー、ターボ圧縮機のインペラー、燃料噴射用バルブからなる群より選択されるいずれかに使用されるものである。すなわち本発明の部材における皮膜は、例えば、飛行機のエンジンの圧縮機に使用されるブレードや、圧縮機等のインペラーやブレード等、固体粒子あるいは流体によるエロージョンを生じる可能性がある部位(部品)への保護皮膜として利用される。本発明の硬質皮膜被覆部材は耐エロージョン性に優れているため、このようなエロージョンを受けるスチームタービンブレード等の用途に適している。これらの材質としては、一例として、チタン合金、アルミ合金、ステンレス、インコネル等が挙げられる。
このように硬質皮膜被覆部材は、第1の実施形態、第2の実施形態ともに、基体と硬質皮膜とからのみで構成されていてもよいし、中間層のような他の層が設けられていてもよい。
皮膜は、ナノインデンターにより測定した硬さ(H)とヤング率(E)において、硬さ(H)が20GPa以上、硬さ(H)とヤング率(E)との比率(H/E)を0.06以上とする。
TiおよびCrは、皮膜の硬さ(H)を向上させるため、皮膜中の非金属元素以外の元素に占める総量で、原子比で0.1以上添加する必要がある。一方、0.6を超えると比率(H/E)が小さくなることから、上限を0.6とする。好ましくは0.5以下である。TiおよびCrに関しては、0.6以下の範囲で単独で添加するか、あるいは複合添加する。
Alは、耐エロージョンを向上させるため、皮膜中の非金属元素以外の元素に占める総量で、原子比で0.4以上添加する必要がある。皮膜の組成に関しては、硬さ(H)および比率(H/E)を満足すれば、耐エロージョン性はある程度高くなる。しかし、窒化物や炭窒化物において皮膜中にAlが含有されている場合には、特に比率(H/E)が大きくなり、結果として耐エロージョン性がより高くなる。よって、本発明においては皮膜中にAlを添加することを必須とする。ただし、その効果を得るためには、原子比で0.4以上添加する必要がある。なお、皮膜の組成によっては、0.4未満では硬さ(H)や、比率(H/E)が低下する場合がある。したがって、Alの含有量は、原子比で0.4以上とする。好ましくは0.45以上、より好ましくは0.5以上である。一方、Alを過度に添加すると硬さ(H)が低下して比率(H/E)が低下することから、上限を0.7とする。より好ましくは0.65以下である。
皮膜は、組成が(TiaCrbAlc)Nyからなり、前記a、b、c、yが原子比であるときに、
0≦a≦0.6
0≦b≦0.6
0.4≦c≦0.7
0.1≦a+b≦0.6
a+b+c=1
y=1
を満足する。
よって、皮膜としては、組成が(TiaCrbAlcMd)(CxNy)からなり、前記MがZr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Re、Fe、Ca、S、Cu、Ni、Si、B、Yから選ばれる1種以上の元素であり、前記a、b、c、d、x、yが原子比であるときに、
0≦a≦0.6
0≦b≦0.6
0.4≦c≦0.7
0≦d≦0.5
0.1≦a+b≦0.6
a+b+c+d=1
0≦x≦0.5
0.5≦y≦1
x+y=1
を満足するものとすることができる。
次に、前記の組成のうち、好ましい組成の一例として、2通りの組成を以下に説明する。
皮膜は、組成が(TiaCrbAlcSidBeYf)(CxNy)からなり、前記a、b、c、d、e、f、x、yが原子比であるときに、
0≦a≦0.6
0≦b≦0.6
0.4≦c≦0.7
0≦d≦0.15
0≦e≦0.1
0≦f≦0.05
0.1≦a+b≦0.6
a+b+c+d+e+f=1
0≦x≦0.5
0.5≦y≦1
x+y=1
を満足する。
[Cr:b(0≦b≦0.6,0.1≦a+b≦0.6,a+b+c+d+e+f=1)]
(a)は、Tiの原子比、(b)は、Crの原子比である。前記のとおり、TiおよびCrは皮膜の硬さ(H)を向上させるため、皮膜中に占める総量で、0.1以上添加する必要がある。一方、TiとCrの総量で0.6を超えると比率(H/E)が小さくなることから、上限を0.6とする。なお、これによりTiとCrの各々の上限は、0.6とする。好ましくは、総量で0.5以下、各々0.5以下である。
(c)は、Alの原子比である。前記のとおり、Alは耐エロージョンを向上させるため、皮膜中に占める総量で、0.4以上添加する必要がある。好ましくは0.45以上、より好ましくは0.5以上である。一方、Alを過度に添加すると硬さ(H)が低下して比率(H/E)が低下することから、上限を0.7とする。より好ましくは0.65以下である。
(d)は、Siの原子比である。Siを添加することで皮膜が微細化し、硬さ(H)が上昇すると共にヤング率(E)が低下する。そのため、結果として大きな値の比率(H/E)とすることができる。Siは任意成分であり、添加しなくてもよいが、0.02以上でその効果が認められることから、0.02以上添加することが好ましい。一方、添加量を0.15以下とすることで皮膜の硬質化が促進されることから、上限を0.15とすることが好ましい。より好ましくは0.1以下、さらに好ましくは0.05以下である。
[Y:f(0≦f≦0.05,a+b+c+d+e+f=1)]
(e)は、Bの原子比、(f)は、Yの原子比である。B、Yは任意成分であり、添加しなくてもよいが、各々0.1あるいは0.05以下の添加により硬さ(H)の値を低下させることなく、ヤング率(E)を低下させることが可能である。よって、上限を各々0.1あるいは0.05とすることが好ましい。
(x)は、Cの原子比である。本発明の化合物は窒化物としての形態だけではなく、成膜時にCを含むガスを導入し、炭窒化物とすることも可能である。後記するように、NおよびCの総量に対して、Nは0.5以上添加することが好ましいことから、Cの上限は0.5とすることが好ましい。より好ましくは0.2以下である。
(y)は、Nの原子比である。Nは、金属元素や半金属元素と結合して、本発明における皮膜の骨格をなす窒化物を形成する役割を果たすことから0を超えて添加することが必要である。また、NおよびCの総量に対して、添加量が0.5以上であれば、窒化物をより形成しやすくなるため、0.5以上添加することが好ましい。より好ましくは0.8以上である。
皮膜は、組成が(TiaCrbAlcSid)(CxNy)からなり、前記a、b、c、d、x、yが原子比であるときに、
0≦a≦0.5
0≦b≦0.5
0.5≦c≦0.65
0≦d≦0.05
0.1≦a+b≦0.6
a+b+c+d=1
0≦x≦0.2
0.8≦y≦1
x+y=1
を満足する。
次に、成膜方法の一例として、AIP法を用いた成膜について説明する。AIP法を行なうには、例えば、以下のような成膜装置を用いることができる。
まず、基体を成膜装置に導入し、1×10−3Pa以下に排気した後、400℃まで基体を加熱した。その後、Arイオンを用いたスパッタクリーニングを実施し、窒素を4Paまでチャンバー内に導入して、各種ターゲットを用いて150Aの電流値でアーク放電を実施して基体上に表1に示す窒化物を形成した。なお、Cを皮膜中に含有させる場合には、0.1〜0.5Paの範囲でメタンガスも導入した。また、成膜時のバイアス電圧は接地電位に対して−20〜−100Vとした。
成膜後の組成については、超硬合金基板における皮膜中の金属元素の成分組成を、EDX分析により測定した。
皮膜の硬さ(H)、および、ヤング率(E)は、ナノインデンターにより測定した。ナノインデンターによる測定は、装置として「株式会社 エリオニクス製 ENT−1100」を用い、インデンターにはベルコビッチ型の三角錐圧子を使用した。まず、荷重2、5、7、10および20mNの5荷重で各々5点の荷重負荷曲線を測定した。そして、SAWAらにより提案された装置のコンプライアンスと圧子先端形状を補正する方法(J. Mater. Res. Vol.16 No.11 (2001) 3084)によりデータの補正を行い、皮膜の硬さ(H)とヤング率(E)を求めた。その際に、ダイヤモンド圧子のヤング率として1000GPa、ポワソン比として0.22を使用した。
耐エロージョン性は、エロージョン試験により評価した。エロージョン試験は、特許第3356415号および「マイクロスラリージェットエロージョン(MSE)試験によるDLC膜の摩耗特性評価」(日本機械学会論文集(C編)75巻749号(2009−1)P171―177)に記載の方法にて行った。すなわち、アルミナ粒子を含むジェット水流を試験片に一定時間噴射し、そのエロージョン深さを測定して、耐エロージョン性を評価する方法を用いた。
表1に各供試材の評価結果を示す。また、図2に比率(H/E)と、エロージョン速度との関係を示す。
一方、No.1〜7、11、13、18、31、34は、以下に述べるとおり、本発明の要件を満たさないため、耐エロージョン性に劣っていた。
また、図2に示すグラフから、比率(H/E)が高くなると、エロージョン速度が遅くなる傾向にあることがわかる。
Claims (4)
- スチームタービンブレード、ジェットエンジンの圧縮機ブレード、気体または液体圧縮用のコンプレッサースクリュー、ターボ圧縮機のインペラー、燃料噴射用バルブからなる群より選択されるいずれかに使用される基体と、前記基体を被覆する硬質皮膜とを備えた硬質皮膜被覆部材であって、
前記硬質皮膜は、ナノインデンターにより測定した硬さ(H)とヤング率(E)において、前記硬さ(H)が20GPa以上であり、前記硬さ(H)と前記ヤング率(E)との比率(H/E)が0.06以上であり、
前記硬質皮膜は、TiおよびCrのうちの少なくとも一種とAlとNとを含有し、皮膜中の非金属元素以外の元素の総量に占めるTiとCrの総量が原子比で0.1以上0.6以下であり、かつ、皮膜中の非金属元素以外の元素の総量に占めるAlの量が原子比で0.4以上0.7以下であることを特徴とする硬質皮膜被覆部材。 - 粉体あるいは粉体を含む流体を撹拌、輸送あるいは粉砕する機器に使用される基体と、前記基体の前記粉体と接触する摺動面を被覆する硬質皮膜とを備えた硬質皮膜被覆部材であって、
前記硬質皮膜は、ナノインデンターにより測定した硬さ(H)とヤング率(E)において、前記硬さ(H)が20GPa以上であり、前記硬さ(H)と前記ヤング率(E)との比率(H/E)が0.06以上であり、
前記硬質皮膜は、TiおよびCrのうちの少なくとも一種とAlとNとを含有し、皮膜中の非金属元素以外の元素の総量に占めるTiとCrの総量が原子比で0.1以上0.6以下であり、かつ、皮膜中の非金属元素以外の元素の総量に占めるAlの量が原子比で0.4以上0.7以下であることを特徴とする硬質皮膜被覆部材。 - 前記硬質皮膜は、組成が(TiaCrbAlcSidBeYf)(CxNy)からなり、前記a、b、c、d、e、f、x、yが原子比であるときに、
0≦a≦0.6
0≦b≦0.6
0.4≦c≦0.7
0≦d≦0.15
0≦e≦0.1
0≦f≦0.05
0.1≦a+b≦0.6
a+b+c+d+e+f=1
0≦x≦0.5
0.5≦y≦1
x+y=1
を満足することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の硬質皮膜被覆部材。 - 前記硬質皮膜は、組成が(TiaCrbAlcSid)(CxNy)からなり、前記a、b、c、d、x、yが原子比であるときに、
0≦a≦0.5
0≦b≦0.5
0.5≦c≦0.65
0≦d≦0.05
0.1≦a+b≦0.6
a+b+c+d=1
0≦x≦0.2
0.8≦y≦1
x+y=1
を満足することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の硬質皮膜被覆部材。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017077801A1 (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | 株式会社Ihi | 耐食性コーティングを有するエンジン用圧縮機翼およびそのコーティング方法 |
JP2020090723A (ja) * | 2018-11-27 | 2020-06-11 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜被覆部材及びその製造方法 |
JP2021165413A (ja) * | 2020-04-06 | 2021-10-14 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜および耐土砂摩耗性硬質皮膜被覆部材 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014238014A (ja) * | 2013-06-06 | 2014-12-18 | 株式会社Ihi | 航空機用ジェットエンジンの圧縮機のブレード及びその表面処理方法 |
CA2965607C (en) | 2014-12-25 | 2019-07-23 | Ihi Corporation | Exfoliative coating for compressor vane or blade |
JP6789055B2 (ja) * | 2016-10-04 | 2020-11-25 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜、硬質皮膜被覆部材及び硬質皮膜の製造方法 |
WO2017163972A1 (ja) * | 2016-03-25 | 2017-09-28 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜、硬質皮膜被覆部材及び硬質皮膜の製造方法 |
LU500365B1 (en) | 2021-06-30 | 2023-01-02 | Barco Nv | Improvements in light emitting modules |
LU500367B1 (en) | 2021-06-30 | 2023-01-06 | Barco Nv | Improvements in light emitting modules |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1161380A (ja) * | 1997-08-20 | 1999-03-05 | Kobe Steel Ltd | 耐磨耗性多層型硬質皮膜 |
JP2001277251A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-09 | Bridgestone Corp | 成形金型用薄膜及び金型 |
JP2003071611A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-03-12 | Kobe Steel Ltd | 切削工具用硬質皮膜およびその製造方法並びに硬質皮膜形成用ターゲット |
JP2003071610A (ja) * | 2000-12-28 | 2003-03-12 | Kobe Steel Ltd | 切削工具用硬質皮膜およびその製造方法並びに硬質皮膜形成用ターゲット |
JP2004256914A (ja) * | 2003-02-07 | 2004-09-16 | Kobe Steel Ltd | 硬質皮膜及びその製造方法並びに硬質皮膜形成用ターゲット |
JP2008007835A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Kobe Steel Ltd | 硬質皮膜およびその製造方法 |
JP2008174782A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Kobe Steel Ltd | 成形用冶工具用硬質皮膜被覆部材および成形用冶工具 |
JP2009293111A (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Kobe Steel Ltd | 硬質皮膜層及びその形成方法 |
JP2010059534A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-03-18 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 回転機械用の部品及びその製造方法、蒸気タービン並びに圧縮機 |
JP2010070848A (ja) * | 2008-08-19 | 2010-04-02 | Kobe Steel Ltd | 窒素含有非晶質炭素系皮膜、非晶質炭素系積層皮膜および摺動部材 |
JP2012001744A (ja) * | 2010-06-14 | 2012-01-05 | Ntn Corp | TiAlN膜およびTiAlN膜形成体 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USRE34173E (en) | 1988-10-11 | 1993-02-02 | Midwest Research Technologies, Inc. | Multi-layer wear resistant coatings |
US4904542A (en) | 1988-10-11 | 1990-02-27 | Midwest Research Technologies, Inc. | Multi-layer wear resistant coatings |
JP3391981B2 (ja) | 1995-05-30 | 2003-03-31 | プラクスエア・エス・ティー・テクノロジー・インコーポレイテッド | ニトリド含有化合物の多層被覆及びその形成法 |
JP2000001768A (ja) * | 1998-06-16 | 2000-01-07 | Nippon Coating Center Kk | 固体潤滑性を有する複合耐磨耗性硬質皮膜、並びに皮膜付き物品 |
WO2000024947A1 (en) | 1998-10-23 | 2000-05-04 | Ebara Corporation | Sliding member and manufacturing method therefor |
JP3797807B2 (ja) | 1998-10-23 | 2006-07-19 | 株式会社荏原エリオット | 高温摺動部材用硬質膜 |
CA2327031C (en) | 1999-11-29 | 2007-07-03 | Vladimir Gorokhovsky | Composite vapour deposited coatings and process therefor |
ATE545718T1 (de) | 2000-12-28 | 2012-03-15 | Kobe Steel Ltd | Verwendung eines targets zur lichtbogenionenplattierung für die herstellung eines hartfilms |
US7211138B2 (en) | 2003-02-07 | 2007-05-01 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) | Hard film, method of forming the same and target for hard film formation |
US7186092B2 (en) * | 2004-07-26 | 2007-03-06 | General Electric Company | Airfoil having improved impact and erosion resistance and method for preparing same |
SE528789C2 (sv) * | 2004-09-10 | 2007-02-13 | Sandvik Intellectual Property | PVD-belagt skär av hårdmetall samt sätt att tillverka detta |
US8034459B2 (en) * | 2005-10-18 | 2011-10-11 | Southwest Research Institute | Erosion resistant coatings |
CN101312810A (zh) * | 2005-12-26 | 2008-11-26 | 揖斐电株式会社 | 粉末的混合方法、搅拌机及蜂窝结构体的制造方法 |
WO2007122680A1 (ja) | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Ibiden Co., Ltd. | 押出成形機、押出成形方法及びハニカム構造体の製造方法 |
US8129041B2 (en) * | 2006-10-26 | 2012-03-06 | General Electric Company | Article having a protective coating and methods |
US20080102296A1 (en) | 2006-10-26 | 2008-05-01 | Farshad Ghasripoor | Erosion resistant coatings and methods of making |
-
2012
- 2012-06-15 EP EP12799841.7A patent/EP2722415B1/en active Active
- 2012-06-15 US US14/119,339 patent/US9273387B2/en active Active
- 2012-06-15 WO PCT/JP2012/065394 patent/WO2012173236A1/ja active Application Filing
- 2012-06-15 JP JP2012136145A patent/JP5140200B2/ja active Active
- 2012-06-15 CA CA2831780A patent/CA2831780C/en active Active
- 2012-06-15 BR BR112013032280-2A patent/BR112013032280B1/pt active IP Right Grant
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1161380A (ja) * | 1997-08-20 | 1999-03-05 | Kobe Steel Ltd | 耐磨耗性多層型硬質皮膜 |
JP2001277251A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-09 | Bridgestone Corp | 成形金型用薄膜及び金型 |
JP2003071610A (ja) * | 2000-12-28 | 2003-03-12 | Kobe Steel Ltd | 切削工具用硬質皮膜およびその製造方法並びに硬質皮膜形成用ターゲット |
JP2003071611A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-03-12 | Kobe Steel Ltd | 切削工具用硬質皮膜およびその製造方法並びに硬質皮膜形成用ターゲット |
JP2004256914A (ja) * | 2003-02-07 | 2004-09-16 | Kobe Steel Ltd | 硬質皮膜及びその製造方法並びに硬質皮膜形成用ターゲット |
JP2008007835A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Kobe Steel Ltd | 硬質皮膜およびその製造方法 |
JP2008174782A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Kobe Steel Ltd | 成形用冶工具用硬質皮膜被覆部材および成形用冶工具 |
JP2009293111A (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Kobe Steel Ltd | 硬質皮膜層及びその形成方法 |
JP2010059534A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-03-18 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 回転機械用の部品及びその製造方法、蒸気タービン並びに圧縮機 |
JP2010070848A (ja) * | 2008-08-19 | 2010-04-02 | Kobe Steel Ltd | 窒素含有非晶質炭素系皮膜、非晶質炭素系積層皮膜および摺動部材 |
JP2012001744A (ja) * | 2010-06-14 | 2012-01-05 | Ntn Corp | TiAlN膜およびTiAlN膜形成体 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017077801A1 (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | 株式会社Ihi | 耐食性コーティングを有するエンジン用圧縮機翼およびそのコーティング方法 |
JP2017088937A (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-25 | 株式会社Ihi | 耐食性コーティングを有するエンジン用圧縮機翼およびそのコーティング方法 |
JP2020090723A (ja) * | 2018-11-27 | 2020-06-11 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜被覆部材及びその製造方法 |
JP7214120B2 (ja) | 2018-11-27 | 2023-01-30 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜被覆部材及びその製造方法 |
JP2021165413A (ja) * | 2020-04-06 | 2021-10-14 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜および耐土砂摩耗性硬質皮膜被覆部材 |
WO2021205810A1 (ja) * | 2020-04-06 | 2021-10-14 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜およびそれを含む耐土砂摩耗性硬質皮膜被覆部材 |
JP2022100310A (ja) * | 2020-04-06 | 2022-07-05 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜および耐土砂摩耗性硬質皮膜被覆部材 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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