JP2013016665A - 制御装置、基板処理方法、基板処理システム、基板処理システムの運用方法、ロードポート制御装置及びそれを備えた基板処理システム - Google Patents

Abstract

【課題】ロードポートの個数を見かけ上増加させることにより、装置コストを抑制しつつも収納器の搬送効率を向上させることができる。
【解決手段】仮想ロードポート管理部は、物理ロードポートＲ−ＬＰ１，２に対して２個の仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２を割り当てる。さらに、仮想ロードポート管理部は、基板処理装置５と、キャリア搬送システム７と、ホストコンピュータ９とに対して、２個の仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２を２個の物理ロードポートとして扱わせる。したがって、現実の物理ロードポートの個数以上にロードポートが存在するようにＦＯＵＰ３の搬送を行うことができ、見かけ上、ロードポートの個数を増加させることができる。その結果、装置コストを抑制しつつも、ＦＯＵＰ３の搬送効率を向上させることができる。
【選択図】図４

Description

本発明は、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ用基板、プラズマディスプレイ用基板、有機ＥＬ用基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスプレイ用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、太陽電池用基板（以下、単に基板と称する）を収納器ごと基板処理装置の内部との間で受け渡す制御や、キャリア搬送システムとの間で収納器を受け渡す制御を行う制御装置、基板処理方法、基板処理システム、基板処理システムの運用方法、ロードポート制御装置及びそれを備えた基板処理システムに関する。

従来、この種の基板処理システムとして、基板処理ユニットと、収納器収容・搬送ユニットと、ロードポートと、ロードポート制御装置とを備えた基板処理装置と、ホストコンピュータの指示により収納器を搬送するキャリア搬送システムと、全体の制御を行うホストコンピュータとを備えたものが挙げられる。

基板処理ユニットは、基板に対して各種処理を行う。収納器収容・搬送ユニットは、基板処理ユニットに並設され、基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を収容したり、搬送したりする。ロードポートは、収納器収容・搬送ユニットに並設され、ＦＯＵＰを載置する。ロードポート制御装置は、収納器収容・搬送ユニットとの間や、キャリア搬送システムとの間におけるＦＯＵＰの受け渡しを制御する。キャリア搬送システム（Automated Material Handling System）は、無人搬送車（AGV: Automatic Guided Vehicles）や、天井走行式無人搬送車（Overhead Hoist Transfer）であり、ロードポートとの間でＦＯＵＰの受け渡しを行う。ホストコンピュータは、ロードポート制御装置やキャリア搬送システムとの間で通信を行い、収納器の搬送に係る制御を行う。

一台の基板処理装置は、一般的に複数個のロードポートを備えているが、基板処理ユニットの処理効率が高くなると、搬送する収納器の個数が増大し、キャリア搬送システムによる収納器の搬送間隔が短くしなければ基板処理ユニットの効率を生かし切れなくなる。しかしながら、この種のキャリア搬送システムにおいては、１個のロードポートに対してキャリア搬送システム中の複数の搬送車が同時に搬入動作を行うことはなく、１個のロードポートに対しては１台の搬送車のみが搬入動作を行うのが一般的な使用（規格）となっている。そして、当該ロードポートに対して１台の搬送車が収納器を搬入するのに要する時間は、そのキャリア搬送システムのレイアウトなどによって制約を受けることになり、一定以上に短くすることは不可能である。そのため、キャリア搬送システムによる搬送が間に合わなくなって処理効率の低下という問題が生じている。

そこで、このようなロードポートの個数を高さ方向に増やし、さらにキャリア搬送システムの走行レーンを二つに増やして対処した第１の装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。また、ロードポート付近に、収納器の一時的な待避場所となる可動バッファを設けて、ロードポートが短時間で開放されるようにした第２の装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

特開２０１０−１９２８５５号公報 特表２００８−５０８７３１号公報

しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の第１の装置は、ロードポートを増やすとともに、キャリア搬送システムの走行レーンを増やす必要があり、装置コストが高くなるという問題がある。

また、従来の第２の装置は、ロードポート付近に特殊な可動バッファを設ける必要があり、やはり装置コストが高くなるという問題がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、ロードポートなどの機械構成を増加あるいは複雑化させることなく、装置コストを抑制しつつも収納器の搬送効率を向上させることができる制御装置、基板処理方法、基板処理システム、基板処理システムの運用方法、ロードポート制御装置及びそれを備えた基板処理システムを提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板を収納するための収納器が載置される物理ロードポートを備えた基板処理装置と、前記収納器を搬送して前記物理ロードポートに対する搬送動作を行うキャリア搬送システムと、を備えた基板処理システムにおける制御装置であって、前記物理ロードポートに対して仮想的なロードポートを割り当てるとともに、前記仮想的なロードポートが実在するものとして当該仮想的なロードポートに対して前記キャリア搬送システムに搬送動作を指示する仮想ロートポート制御装置を備えることを特徴とするものである。

また、請求項２に記載の発明は、基板を収納するための収納器が載置される物理ロードポートを備えた基板処理装置と、前記収納器を搬送して前記物理ロードポートに対する搬送動作を行うキャリア搬送システムと、を備えた基板処理システムによる基板処理方法であって、前記物理ロードポートに対して仮想的なロードポートを割り当てるとともに、前記仮想的なロードポートが実在するものとして当該仮想的なロードポートに対して前記キャリア搬送システムに搬送動作を指示することを特徴とするものである。

また、請求項３に記載の発明は、基板を収納するための収納器が載置される物理ロードポートを備えた基板処理装置と、前記収納器を搬送して前記物理ロードポートに対する搬送動作を行うキャリア搬送システムと、を備えた基板処理システムにおいて、前記物理ロードポートに対して仮想的なロードポートを割り当てるとともに、前記仮想的なロードポートが実在するものとして当該仮想的なロードポートに対して前記キャリア搬送システムに搬送動作を指示する仮想ロードポート制御装置を備えることを特徴とするものである。

［作用・効果］請求項１〜３に記載の発明によれば、仮想ロードポート制御装置は、物理ロードポートに対して仮想的なロードポートを割り当てるとともに、その仮想的なロードポートが実在するものとして当該仮想ロードポートに対してキャリア搬送システムに搬送動作を指示する。したがって、物理ロードポートの実際の個数以上に物理ロードポートが存在するかのようにキャリア搬送システムに搬送動作を行わせることができ、その結果、基板処理装置の機械的構成を増加させることなく、装置コストを抑制しつつも、収納器の搬送効率を向上させることができる制御装置、基板処理方法及び基板処理システムを実現することができる。

また、請求項４に記載の発明は、基板を収納するための収納器が載置される物理ロードポートと、当該物理ロードポートの動作を制御する物理ロードポート制御装置とを備えた基板処理装置と、前記収納器を搬送して前記物理ロードポートに対する搬送動作を行うキャリア搬送システムと、を備えた基板処理システムの運用方法において、前記ロードポートに対して仮想的なロードポートを割り当てるとともに、前記仮想的なロードポートが実在するものとして当該仮想的なロードポートに対して前記キャリア搬送システムに搬送動作を指示する仮想ロードポート制御装置を、前記物理ロードポート制御装置と、前記キャリア搬送システムとの間に介在させることを特徴とするものである。

［作用・効果］請求項４に記載の発明によれば、一般的な基板処理装置の物理ロードポート制御装置とキャリア搬送システムとの間に仮想ロードポート制御装置を介挿させることで、物理ロードポートに対して仮想的なロードポートを割り当てるとともに、その仮想的なロードポートが実在するものとして当該仮想ロードポートに対してキャリア搬送システムに搬送動作を指示することができる。したがって、一般的な基板処理装置や既存の基板処理装置に対しても、物理ロードポートの実際の個数以上に物理ロードポートが存在するかのようにキャリア搬送システムに搬送動作を行わせることができる。その結果、一般的な基板処理装置や既存の基板処理装置に対しても、容易に収納器の搬送効率を向上させることができる。

また、本発明において、前記仮想ロードポート制御装置は、前記物理ロードポート制御装置からのキャリア搬送システムに対する信号を前記仮想的なロードポートからの信号に変換して前記キャリア搬送システムに送信し、前記キャリア搬送システムからの前記仮想的なロードポートに対する信号を前記物理ロードポートに対する信号に変換して前記物理ロードポート制御装置に送信するものであることが好ましい（請求項５）。

また、本発明において、前記仮想ロードポート制御装置は、前記物理ロードポート１台に対して複数の仮想的なロードポートを割り当てることが好ましい（請求項６）。

また、本発明において、前記仮想ロードポート制御装置による前記仮想的なロードポートへの搬送動作の指示は、当該仮想的なロードポートが割り当てられている物理ロードポートの所在場所まで搬送動作を行う指令であることが好ましい（請求項７）。

また、請求項８に記載の発明は、基板に対して所定の処理を行う基板処理ユニットと、基板を収納するための収納器が載置される物理ロードポートを備え、前記基板処理ユニットとの間で収納器を受け渡すロードポートと、前記基板処理ユニットと前記ロードポートとの間に介在し、前記基板処理ユニットとの間で基板を受け渡し、前記ロードポートとの間で収納器を受け渡すとともに、受け渡しした収納器を収容する内部バッファとを備えた基板処理装置と、収納器を前記ロードポートとの間で受け渡すキャリア搬送システムと、前記基板処理装置及び前記キャリア搬送システムとの間で通信を行い、前記基板処理装置の状況に応じて前記キャリア搬送システムによる収納器の搬送を指示するホストコンピュータとを備えた基板処理システムにおける前記ロードポートを制御するロードポート制御装置において、前記物理ロードポートに対して複数個の仮想ロードポートを割り当てるとともに、前記キャリア搬送システムと、前記ホストコンピュータとに対して、前記複数個の仮想ロードポートを複数個の物理ロードポートとして扱わせる仮想ロードポート管理部を備えていることを特徴とするものである。

［作用・効果］請求項８に記載の発明によれば、仮想ロードポート管理部は、物理ロードポートに対して複数個の仮想ロードポートを割り当てる。さらに、仮想ロードポート管理部は、キャリア搬送システムと、ホストコンピュータとに対して、複数個の仮想ロードポートを複数個の物理ロードポートとして扱わせる。したがって、物理ロードポートの個数以上にロードポートが存在するように収納器の搬送を行うことができ、見かけ上、ロードポートの個数を増加させることができる。その結果、基板処理装置の機械的構成を増加させることなく、装置コストを抑制しつつも、収納器の搬送効率を向上させることができるロードポート制御装置を実現することができる。

また、本発明において、前記仮想ロードポート管理部は、前記複数個の仮想ロードポートと、前記物理ロードポートとの対応関係を規定した変換テーブルを備え、前記複数個の仮想ロードポートを搬入用に設定した場合には、（Ａ１）前記仮想ロートポート管理部は、前記ホストコンピュータに対して前記複数個の仮想ロードポートごとに搬入可能であるか否かを通知し、（Ａ２）前記ホストコンピュータは、前記キャリア搬送システムに対して収納器を前記複数個の仮想ロードポートのいずれか一つに搬入するための指示を行い、（Ａ３）前記キャリア搬送システムは、指示された一つの仮想ロードポートに収納器を搬送するために、収容器を保持したまま前記基板処理装置に移動し、（Ａ４）前記キャリア搬送システムは、前記一つの仮想ロードポートへの収納器の搬入を開始するために、前記一つの仮想ロードポートへ収納器を搬入することを前記仮想ロードポート管理部に通知し、（Ａ５）前記仮想ロードポート管理部は、前記変換テーブルに基づいて、前記一つの仮想ロードポートを一つの物理ロードポートに対応付け、（Ａ６）前記仮想ロードポート管理部は、前記一つの仮想ロードポートへの収納器の搬入が開始されたことを前記ホストコンピュータへ通知し、（Ａ７）前記仮想ロードポート管理部は、前記一つの仮想ロードポートへの搬入を受け付け、前記キャリア搬送システムに対して搬入要求を行い、（Ａ８）前記キャリア搬送システムは、前記一つの仮想ロードポートに割り当てられた物理ロードポートへ収納器を搬送し、（Ａ９）前記基板処理装置は、前記一つの仮想ロードポートに搬入された収納器を、前記内部バッファに搬送し、（Ａ１０）前記仮想ロードポート管理部は、前記搬入過程において、前記一つの仮想ロードポートへの搬入状況を前記ホストコンピュータへ通知する際に、指示された一つの収納器を前記キャリア搬送システムが搬送するために、前記基板処理装置へ前記キャリア搬送システムが移動を開始した時点から、指示された一つの収納器が前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに載置される前まで、前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに割り当てられている他の仮想ロードポートが搬入に利用可能であることを前記ホストコンピュータへ通知し、前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートから前記内部バッファへ収納器が搬送され始めた時点で、前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに割り当てられている他の仮想ロードポートが搬入に利用可能であることを前記ホストコンピュータへ通知することが好ましい（請求項９）。搬入時において、仮想ロードポート管理部は、一つの仮想ロードポートへの搬入状況をホストコンピュータへ通知する。その際、仮想ロードポート管理部は、キャリア搬送システムが一つの収納器を搬送するために、基板処理装置へ移動を開始した時点から、一つの収納器が一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに載置されるまでは、その一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに割り当てられている他の仮想ロードポートが搬入に利用可能であるとしてホストコンピュータへ通知する。また、一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートから内部バッファへ収納器が搬送され始めた時点で、その一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに割り当てられている他の仮想ロードポートが搬入に利用可能であるとしてホストコンピュータへ通知する。したがって、搬入時に従来は占有されていた期間においても、ホストコンピュータが搬入の指示を行うことができる。したがって、効率的な搬入処理を行うことができる。

また、本発明において、前記仮想ロードポート管理部は、前記複数個の仮想ロードポートと、前記物理ロードポートとの対応関係を規定した変換テーブルを備え、前記複数個の仮想ロードポートを搬出用に設定した場合には、（Ｂ１）前記ホストコンピュータは、前記基板処理装置に対して、複数個の仮想ロードポートのうちのいずれか一つに対して、指示した収納器を払い出すことを指示し、（Ｂ２）前記基板処理装置は、指示された収納器が前記一つの仮想ロードポートへ払い出しが可能になったら、搬出可能であることを前記ホストコンピュータへ通知し、（Ｂ３）前記ホストコンピュータは、前記キャリア搬送システムに対して、指示された収納器の搬送を行うための指示を行い、（Ｂ４）前記キャリア搬送システムは、指示された収納器を有する前記基板処理装置に移動し、（Ｂ５）前記キャリア搬送システムは、指示された収納器を前記一つの仮想ロードポートから搬出するために、前記一つの仮想ロードポートへ収納器を払い出すように前記仮想ロードポート管理部に指示し、（Ｂ６）前記仮想ロードポート管理部は、前記変換テーブルに基づいて、前記一つの仮想ロードポートを一つの物理ロードポートに対応付け、（Ｂ７）前記基板処理装置は、指示された収納器が前記一つの仮想ロードポートに対して払い出しされ始めたことを前記ホストコンピュータへ通知し、（Ｂ８）前記基板処理装置は、前記一つの仮想ロードポートに割り当てられた物理ロードポートに対して、指示された収納器を払い出し、（Ｂ９）前記基板処理装置は、前記キャリア搬送システムに対して搬出要求を通知し、（Ｂ１０）前記キャリア搬送システムは、前記一つの仮想ロードポートから前記収納器を搬出し、（Ｂ１１）前記仮想ロードポート管理部は、前記搬出過程において、前記一つの仮想ロードポートからの搬出状況を前記ホストコンピュータへ通知する際に、指示された収納器が、前記内部バッファから前記一つの仮想ロードポートに対応する前記物理ロードポートへ払い出しされた時点から、前記収納器が前記キャリア搬送システムにより前記物理ロードポートから搬出され始めた時点までの間を除いて、前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに割り当てられている他の仮想ロードポートが搬出に利用可能であることを前記ホストコンピュータへ通知することが好ましい（請求項１０）。搬出時において、仮想ロードポート管理部は、一つの仮想ロードポートからの搬出状況を前記ホストコンピュータへ通知する。その際、仮想ロードポート管理部は、指示された収納器が、内部バッファから一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートへ払い出しされた時点から、収納器がキャリア搬送システムにより物理ロードポートから搬出され始めた時点までの間を除いて、その一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに割り当てられている他の仮想ロードポートが搬出に利用可能であることをホストコンピュータへ通知する。したがって、搬出時に従来は占有されていた期間においても、ホストコンピュータが搬出の指示を行うことができる。したがって、効率的な搬出処理を行うことができる。

また、本発明において、前記仮想ロードポート管理部は、前記複数個の仮想ロードポートを搬入用のみに設定することが好ましく（請求項１１）、前記複数個の仮想ロードポートを搬出用のみに設定することが好ましく（請求項１２）、前記複数個の仮想ロードポートを搬入用または搬出用に設定することが好ましい（請求項１３）。仮想ロードポート管理部は、複数個の仮想ロードポートを搬入用のみに設定したり、搬出用のみに設定したり、それらを混在させることにより、柔軟な運用を行うことができる。

また、請求項１４に記載の基板処理システムは、基板に対して所定の処理を行う基板処理ユニットと、基板を収納するための収納器が載置される物理ロードポートを備え、前記基板処理ユニットとの間で収納器を受け渡すロードポートと、前記基板処理ユニットと前記ロードポートとの間に介在し、前記基板処理ユニットとの間で基板を受け渡し、前記ロードポートとの間で収納器を受け渡すとともに、受け渡しした収納器を収容する内部バッファとを備えた基板処理装置と、収納器を前記ロードポートとの間で受け渡すキャリア搬送システムと、前記基板処理装置及び前記キャリア搬送システムとの間で通信を行い、前記基板処理装置の状況に応じて前記キャリア搬送システムによる収納器の搬送を指示するホストコンピュータと、前記物理ロードポートに対して複数個の仮想ロードポートを割り当てるとともに、前記キャリア搬送システムと、前記ホストコンピュータとに対して、前記複数個の仮想ロードポートを複数個の物理ロードポートとして扱わせる仮想ロードポート管理部を備えているロードポート制御装置と、を備えたことを特徴とするものである。

［作用・効果］請求項１４に記載の発明によれば、ロードポート制御装置の仮想ロードポート管理部は、物理ロードポートに対して複数個の仮想ロードポートを割り当てる。さらに、仮想ロードポート管理部は、キャリア搬送システムと、ホストコンピュータとに対して、複数個の仮想ロードポートを複数個の物理ロードポートとして扱わせる。したがって、物理ロードポートの個数以上にロードポートが存在するように収納器の搬送を行うことができ、見かけ上、ロードポートの個数を増加させることができる。その結果、装置コストを抑制しつつも、収納器の搬送効率を向上できる基板処理システムを実現することができる。

本発明によれば、物理ロードポートの個数以上にロードポートが存在するように収納器の搬送を行うことができ、その結果、装置コストを抑制しつつも、収納器の搬送効率を向上させることができる。

実施例に係る基板処理システムの概要を示す平面図である。 実施例に係る基板処理システムの概略構成を示すブロック図である。 搬入処理時におけるシーケンスを示したタイムチャートである。 搬入処理時の過程を示す模式図であり、ホストコンピュータへの通知を示す。 搬入処理時の過程を示す模式図であり、ホストコンピュータの搬送指示を示す。 搬入処理時の過程を示す模式図であり、キャリア搬送システムの移動を示す。 搬入処理時の過程を示す模式図であり、キャリア搬送システムによる搬入開始を示す。 搬入処理時の過程を示す模式図であり、ロードポートの対応付けを示す。 搬入処理時の過程を示す模式図であり、仮想ロードポートの状態変化の報告を示す。 搬入処理時の過程を示す模式図であり、搬入受付を示す。 搬入処理時の過程を示す模式図であり、キャリア搬送システムの移動を示す。 搬入処理時の過程を示す模式図であり、ＦＯＵＰの内部バッファへの移動を示す。 搬入処理時の過程を示す模式図であり、搬入状況の報告を示す。 搬出処理時におけるシーケンスを示したタイムチャートである。 搬出処理時の過程を示す模式図であり、ホストコンピュータからの搬出指示を示す。 搬出処理時の過程を示す模式図であり、ホストコンピュータへの搬出可能の通知を示す。 搬出処理時の過程を示す模式図であり、ホストコンピュータからの搬出の指示を示す。 搬出処理時の過程を示す模式図であり、キャリア搬送システムの移動を示す。 搬出処理時の過程を示す模式図であり、キャリア搬送システムによる搬出開始を示す。 搬出処理時の過程を示す模式図であり、ロードポートの対応付けを示す。 搬出処理時の過程を示す模式図であり、仮想ロードポートの状態変化の報告を示す。 搬出処理時の過程を示す模式図であり、払い出しを示す。 搬出処理時の過程を示す模式図であり、キャリア搬送システムへの搬送要求を示す。 搬出処理時の過程を示す模式図であり、キャリア搬送システムによるＦＯＵＰの搬出を示す。 搬出処理時の過程を示す模式図であり、搬出状況の報告を示す。 搬入処理時における各部間の信号等のやりとりを示す模式図である。 搬出処理時における各部間の信号等のやりとりを示す模式図である。

以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
図１は、実施例に係る基板処理システムの概要を示す平面図であり、図２は、実施例に係る基板処理システムの概略構成を示すブロック図である。

実施例に係る基板処理システム１は、基板ＷをＦＯＵＰ３ごと搬入して基板Ｗに対して処理を行い、処理を終えた基板ＷをＦＯＵＰ３ごと搬出する機能を備えている。ＦＯＵＰ３は、Front Opening Unified Podの略称であり、清浄な環境に密閉した状態で基板Ｗを収納するものである。

この基板処理システム１は、基板処理装置５と、キャリア搬送システム７と、ホストコンピュータ９とを備えている。基板処理装置５は、複数台であるのが一般的であり、図１では、一例として二台の基板処理装置５を示している。

基板処理装置５は、基板処理ユニット１１と、ロードポート１３と、内部バッファ１５とを備えている。この基板処理ユニット１１は、ＦＯＵＰ３から取り出された基板Ｗに対して所定の処理を行う。所定の処理としては、例えば、洗浄処理、エッチング処理、フォトレジスト除去処理などがある。ロードポート１３は、基板処理装置５とキャリア搬送システム７との間でＦＯＵＰ３を受け渡すためのものである。この例では、ロードポート１３が二台の物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２を備えている。内部バッファ１５は、基板処理ユニット１１とロードポート１３との間に配置され、ロードポート１３との間でＦＯＵＰ３を受け渡すとともに、基板処理ユニット１１との間でＦＯＵＰ３から取り出された基板Ｗの受け渡しを行う。また、内部バッファ１５は、ロードポート１３からＦＯＵＰ３を搬入され、基板処理ユニット１１が基板Ｗを受け入れられない状態の場合には、一時的にＦＯＵＰ３を収容したり、ロードポート１３がＦＯＵＰ３を搬出できない状態状態の場合には、一時的にＦＯＵＰ３を収容したりする、バッファリングとしての機能を備えている。

なお、上記のＦＯＵＰ３が本発明における「収納器」に相当する。

キャリア搬送システム７は、基板処理装置５と、ＦＯＵＰ３を複数収納して保管する保管庫（図示せず）との間、あるいは他の基板処理装置との間でＦＯＵＰ３を搬送したりするものである。キャリア搬送システム７としては、例えば、ＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle）、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）などのＡＭＨＳ（Automated Material Handling Systems）が挙げられる。この実施例では、一例として、二台の基板処理装置５の周辺において、複数台のＯＨＴ１７が周回移動する構成を採っている。

ホストコンピュータ９は、上述した基板処理装置５とキャリア搬送システム７との間で通信を行う。ホストコンピュータ９は、基板処理装置５の状況に応じてキャリア搬送システム７によるＦＯＵＰ３の搬送を指示する。ここでいう「搬送」とは、基板処理装置５へのＦＯＵＰ３を運び入れるための搬送である「搬入」と、基板処理装置５からＦＯＵＰ３を運び出すための搬送である「搬出」とを表している。

図２に示すように、基板処理装置５は、ロードポート制御装置２０を構成する対ホスト制御部２１とロードポート管理部２３と対キャリア搬送システム制御部２５とを備えている。このロードポート制御装置２０を構成するこれら対ホスト制御部２１、ロードポート管理部２３、対キャリア搬送システム２５は、一般的な基板処理装置に含まれるものと同じ機能を有する。すなわち、一般的な基板処理システムにおいては、ロードポート管理部２３は、基板処理装置５に設けられるロードポート１３の物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２および内部バッファ１５と接続され、それらと通信してそれらの状態を認識し、その動作を制御するなどの管理を行う。また、一般的な基板処理システムにおいては、対ホスト制御部２１は、ホストコンピュータ９と接続され、ロードポート管理部２３が認識する物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２の状態を参照して、ホストコンピュータ９に対してＦＯＵＰ３の搬入要求などの通信を行う。また、一般的な基板処理システムにおいては、対キャリア搬送システム制御部２５は、キャリア搬送システム７と接続され、ロードポート管理部２３が認識する物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２の状態等を参照して、キャリア搬送システム７との間のＦＯＵＰ３の搬入動作制御にかかわる通信（後述するＣＳ信号など）を行う。

そして、本実施形態においては、前述の一般的な基板処理システムとは異なり、これら対ホスト制御部２１とホストコンピュータ９の間、および対キャリア搬送システム制御部２５とキャリア搬送システム７との間に、仮想ロードポート制御部１９が介挿接続される。すなわち、本実施形態の基板処理システム１は、一般的な基板処理装置とホストコンピュータ９およびキャリア搬送システム７の間に、仮想ロードポート制御装置１９を後付けで介挿させて構成したものである。ここでは後付けで接続した仮想ロードポート制御装置１９も基板処理装置５に含まれるものとする。

ロードポート制御装置１９は、二つの物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２のそれぞれに対して、複数個の仮想ロードポートを割り当てる。そして、キャリア搬送システム７と、ホストコンピュータ９とに対して複数個の仮想ロードポートを複数個の物理ロードポートとして扱わせる。換言すると、仮想ロードポート制御装置１９は、キャリア搬送システム７と、ホストコンピュータ９とに対して、実在する二つの物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２より多くの物理ロードポートが存在するかのようにみせるように信号処および通信を行う。

また、基板処理装置５の対ホスト制御部２１と、対キャリア搬送システム制御部２５とに対しては、実在するよりも多くの物理ロードポートがあるかのようにふるまうホストコンピュータ５およびキャリア搬送システム７の動作に対して、その対応を、実在する二つの物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２に割り当てる。具体的には、仮想ロードポート制御装置１９は、対ホスト制御部２７と、仮想ロードポート管理部２９と、対キャリア搬送システム制御部３１とを備えている。仮想ロードポート管理部２９は、変換テーブル記憶部３３を備えている。変換テーブル記憶部３３は、物理ロードポートと仮想ロードポートとの対応関係を規定した「変換テーブル」を予め記憶する。この変換テーブルは、設定部３５によってオペレータによって適宜に設定される。

対ホスト制御部２７は、ロードポート管理部２３からの物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２に関する通知を受けて、仮想ロードポート管理部２９の情報を参照してかかる物理ロードポートに割り当てられている仮想ロードポートに関する通知に変換し、ホストコンピュータ９に送信する。

対キャリア搬送システム制御部３１は、キャリア搬送システム７からの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１〜Ｖ−ＬＰ４に関する通知を受けて、仮想ロードポート管理部２９の情報を参照してかかる仮想ロードポートが割り当てられている物理ロードポートに関する通知に変換し、対キャリア搬送システム２５に送信し、あるいは逆に対キャリア搬送システム２５からの物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２に関する通知を受けて、仮想ロードポート管理部２９の情報を参照してかかる物理ロードポートに割り当てられている仮想ロードポートに関する通知に変換し、キャリア搬送システム７に送信する。

＜Ａ：搬入処理＞

次に、図３〜図１３，図２６を参照して、上述した基板処理システム１によるＦＯＵＰ３の「搬入」の流れについて説明する。

なお、図３は、搬入処理時におけるシーケンスを示したタイムチャートである。また、図４〜図１３は、搬入処理時の過程を示す模式図であり、図４は、ホストコンピュータへの通知を示すものであり、図５は、ホストコンピュータの搬送指示を示すものであり、図６は、キャリア搬送システムの移動を示すものであり、図７は、キャリア搬送システムによる搬入開始を示すものであり、図８は、ロードポートの対応付けを示すものであり、図９は、仮想ロードポートの状態変化の報告を示すものであり、図１０は、搬入受付を示すものであり、図１１は、キャリア搬送システムの移動を示すものであり、図１２は、ＦＯＵＰの内部バッファへの移動を示すものであり、図１３は、搬入状況の報告を示すものであり、図２６は、搬入処理時における各部間の信号等のやりとりを示す模式図である。

以下の説明においては、図４に示すように、物理ロードポートＲ−ＬＰ１が二つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２に対応付けられ、物理ロードポートＲ−ＬＰ２が二つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，４に対応付けられているものとする。この対応関係は、上述した変換テーブル記憶部３３の変換テーブルに規定されている。また、ここでは、二つの仮想ロートポートＶ−ＬＰ１，２が搬入用に設定されているものとし、以下の説明においては、理解を容易にするために仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２についてのみ説明する。

１．基板処理装置５は、ホストコンピュータ９に対して、二つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２の搬入可能であるか否かについて通知する（図４）。具体的には、仮想ロードポート制御装置１９の対ホスト制御部２７が仮想ロードポート管理部２９を参照して、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２というロードポートが搬入可能であることをホストコンピュータ９に通知する。

さらに詳細に説明すると、まず、物理ロードポートＲ−ＬＰ１を管理するロードポート管理部２３が、物理ロードポートＲ−ＬＰ１の状態を「搬入可能」と認識する。これに応じて対ホスト制御部２１がロードポート管理部２３の認識を参照して、「搬入可能」の通知を出力する。この出力は、従来の一般的な構成であれば、ホストコンピュータ９に直接送信されていたものである。しかし、本発明においては、対ホスト制御部２１が出力した「搬入可能」の通知は、仮想ロードポート制御部１９の対ホスト制御部２７に送信される。対ホスト制御部２９は、この通知を受けて、内部の変換テーブル記憶部３３が記憶している変換テーブルを参照し、「搬入可能」と通知された物理ロードポートＲ−ＬＰ１が仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，Ｖ−ＬＰ２と対応付けられていることを認識する。そして、仮想ロードポート管理部２９は、「搬入可能」と通知された物理ロードポートＲ−ＬＰ１に代えて、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，Ｖ−ＬＰ２の両方が「搬入可能」であると扱うように、対ホスト制御部２７に通知する。対ホスト制御部２７は、かかる通知に基づき、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，Ｖ−ＬＰ２の両方が「搬入可能」であると、ホストコンピュータ９に通知する。

２．上記の通知を受けたホストコンピュータ９は、キャリア搬送システム７に対して、基板処理装置５で処理すべき２個のＦＯＵＰ３について、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２の両方にそれぞれ搬入の指示を行う（図５）。

３．キャリア搬送システム７は、前工程の基板処理装置あるいは保管庫から第１、第２のＦＯＵＰ３を取り出し、第１のＦＯＵＰ３を第１のＯＨＴ１７が保持し、さらに第２のＦＯＵＰ３を第２のＯＨＴ１７が保持し、それぞれ搬入指示を行った基板処理装置５に向かって移動を開始する。ここでは、第１のＯＨＴ１７、第２のＯＨＴ１７ともに同じ基板処理装置５に搬入するものとし、第１のＯＨＴ１７が基板処理装置５に」対して最も早く到達する位置にあり、第２のＯＨＴ１７がそれよりも遅れて基板処理装置５に到着する位置にあるものとする。

４．第１のＯＨＴ１７が移動して基板処理装置５に到達すると、キャリア搬送システム７は、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１へ第１のＦＯＵＰ３を搬入することを基板処理装置５に対して通知する（図７）。具体的には、キャリア搬送システム７は、ＣＳ＿０信号をＯＮにし、さらに搬送開始を示すＶＡＬＩＤ信号をＯＮにして、対キャリア搬送システム制御部３１に送信する。なお、ＣＳ信号は、ロードポートの指定のために利用されるキャリア・ステージ信号であり、ＳＥＭＩ規格Ｅ８４で規定されている。

５．基板処理装置５は、キャリア搬送システム７から受けたＣＳ＿０信号（仮想ロードポートＶ−ＬＰ１を表す）と変換テーブルとを参照して、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１を対応する一つの物理ロードポートＲ−ＬＰ１に対応付ける（図８）。具体的には、対キャリア搬送システム３１が受けた信号に基づき仮想ロードポート管理部２９が対応付けを行う。

６−１．基板処理装置５は、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への搬入が開始されたことを、ホストコンピュータ９へ状態変化があったとして報告する（図９）。具体的には、仮想ロードポート管理部２９が対ホスト制御部２７を介して、ホストコンピュータ９へ報告を行う。

６−２．報告を受けたホストコンピュータ９は、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１において搬入が開始されたことを認識する（図９）。

７．基板処理装置５は、キャリア搬送システム７が仮想ロードポートＶ−ＬＰ１に向けて搬送してきた第１のＦＯＵＰ３を物理ロードポートＲ−ＬＰ１に受け入れるために、物理ロードポートＲ−ＬＰ１に対して受け入れを指示するとともに、キャリア搬送システム７に対して搬入要求を行う（図１０）。具体的には、仮想ロードポート管理部２９が対キャリア搬送システム制御部３１を介し、対キャリア搬送システム制御部２５に対して物理ロードポートＲ−ＬＰ１への搬入を通信指示する。対キャリア搬送システム制御部２５は、かかる通信を受けてロードポート管理部２３に対して物理ロードポートＲ−ＬＰ１への搬入動作を指示するとともに、対キャリア搬送システム制御部３１に対して物理ロードポートＲ−ＬＰ１への「搬入開始」を要求する。なお、かかる要求信号は、従来の基板処理システムであれば、キャリア搬送システム７へ送信されたものであるが、本発明では、仮想ロードポート制御部１９の対キャリア搬送システム制御部３１に送信される。

対キャリア搬送システム制御部３１は、対キャリア搬送システム制御部２５からのかかる「搬入開始」の要求信号が、上記４でキャリア搬送システム７から受けた、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への第１のＦＯＵＰ３の搬入通知に応じたものであることを認識できる。そして、かかる認識に基づき、対キャリア搬送システム制御部３１は、かかる「搬入開始」の要求信号を、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への「搬入開始」要求であるとして、キャリア搬送システム７に送信する。かかる要求信号として、対キャリア搬送システム制御部３１は、キャリア搬送システム７に対してＬ＿ＲＥＱ信号をＯＮする。なお、Ｌ＿ＲＥＱは、ロード・リクエストであり、搬入の要求を表している。

８．キャリア搬送システム７は、第１のＯＨＴ１７が保持している第１のＦＯＵＰ３を、対キャリア搬送システム制御部３１からの「搬入開始」要求に応じて仮想ロードポートＶ−ＬＰ１に向けて搬送する動作を行う。ここで、キャリア搬送システム７には、このときの搬送先である仮想ロードポートＶ−ＬＰ１の位置情報として、物理ロードポートＲ−ＬＰ１の現実の位置が設定されており、キャリア搬送システム７による仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への搬送は、実際には、物理ロードポートＲ−ＬＰ１への搬送として実行されることになる（図１１）。

９．基板処理装置５は、物理ロードポートＲ−ＬＰ１に搬入された第１のＦＯＵＰ３を内部バッファ１５の適宜の位置に搬送する（図１２）。

１０．基板処理装置５は、上述した搬入過程において、物理ロードポートＲ−ＬＰ１への第１のＦＯＵＰ３の搬入完了を、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１の搬入完了としてホストコンピュータ９に対して報告する（図１３）。具体的には、ロードポート管理部２３が物理ロードポートＲ−ＬＰ１の状況を認識し、対ホスト制御部２１、対ホスト制御部２７を介して、ホストコンピュータ９へ報告する。

このとき、対ホスト制御部２１は、ロードポート管理部２３からの物理ロードポートＲ−ＬＰ１への「搬入完了」報告を対ホスト制御部２７に報告する。対ホスト制御部２７は、対ホスト制御部２１からのかかる「搬入完了」報告が、上記６で仮想ロードポート管理部２９から受けた、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への第１のＦＯＵＰ３の搬入開始通知に応じたものであることを認識できる。そして、かかる認識に基づき、対ホスト制御部２７は、かかる「搬入完了」の報告を、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への「搬入完了」報告であるとして、ホストコンピュータ９に送信する。

また、上記９による物理ロードポートＲ−ＬＰ１に搬入された第１のＦＯＵＰ３が内部バッファ１５に搬送されると、物理ロードポートＲ−ＬＰ１が再びＦＯＵＰ３を受け入れ可能な状態になるので、上記１と同様に、ロードポート管理部２３が、物理ロードポートＲ−ＬＰ１の状態を「搬入可能」と認識する。これに応じて対ホスト制御部２１がロードポート管理部２３の認識を参照して、「搬入可能」の通知を仮想ロードポート制御部１９の対ホスト制御部２７に送信する。対ホスト制御部２７はこれを受けて、上記「搬入完了」報告と同様に、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１が「搬入可能」になったと認識し、これをホストコンピュータ９に通知する。かかる「搬入可能」通知は、内部バッファ１５へのＦＯＵＰ３の搬送のタイミングによっては、上記の「搬入完了」報告の直後であるかまたは若干遅れてなされることになる。なお、仮想ロードポートＶ−ＬＰ２が「搬入可能」であることは既に上記１で通知され、それに対応する第２のＯＨＴ１７が既に第２のＦＯＵＰ３の搬送を開始しているので、ここでは仮想ロードポートＶ−ＬＰ２に関する新たな通知は行われない。

１１．第１のＯＨＴ１７より少し遅れて第２のＯＨＴ１７が基板処置装置５に到着すると、上記４と同様に、キャリア搬送システム７は仮想ロードポートＶ−ＬＰ２へ第２のＦＯＵＰ３を搬入することを基板処理装置５に対して通知する。具体的には、キャリア搬送システム７は、ＣＳ＿１（仮想ロードポートＶ−ＬＰ２を表す）をＯＮにし、さらに搬送開始を示すＶＡＬＩＤ信号をＯＮにして、対キャリア搬送システム制御部３１に送信する。以下、上記と同様に、仮想ロードポートＶ−ＬＰ２への搬入として、物理ロードポートＲ−ＬＰ１への搬入が行われる。

なお、もし上記２の時点において、基板処理装置５で処理すべきＦＯＵＰ３が第１のＦＯＵＰ３の一つしかない場合には、ホストコンピュータ９は仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への搬送指示は行うが、仮想ロードポートＶ−ＬＰ２への搬送の指示は直ちには行わず、処理すべき第２のＦＯＵＰ３の準備ができるのを待つことになる。

このような実施形態によれば、１つの物理ロードポートＶ−ＬＰ１に対して２つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，Ｖ−ＬＰ２を割り当てて、その２つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，Ｖ−ＬＰ２の両方が「搬入可能」であるとして、それぞれに対して同時に２台のＯＨＴ１７を動かして搬送動作を行うことができ、１つの物理ロードポートＲ−ＬＰ１に対して１台のＯＨＴ１７だけで搬送動作をしていた場合に比べて単位時間あたりに搬送可能なＦＯＵＰ３の個数を増大させることができ、換言すると、１つのＦＯＵＰ３あたりの搬送に要する時間を短縮できる。

また、図２６からも明らかなように、仮想ロードポート制御装置１９は、基板処理装置５がもともと備えている対ホスト制御部２１及び対キャリア搬送システム制御部２５に対しては物理ロードポートＲ−ＬＰ１に関する信号だけを扱い、ホストコンピュータ９およびキャリア搬送システム７に対しては仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，Ｖ−ＬＰ２に関する信号だけを扱う。すなわち、仮想ロードポート制御装置１９は、基板処理装置５とホストコンピュータ９およびキャリア搬送システム７との間にあって、物理ロードポートＲ−ＬＰ１と仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，Ｖ−ＬＰ２との対応付けと信号の変換を行っている。したがって、従来の基板処理装置５とホストコンピュータ９およびキャリア搬送システム７のハードウエア、ソフトウエアの構成は何ら変更することなく、それらの間に仮想ロードポート制御装置１９を介挿するだけで、本発明による制御を容易に実施することができ、また仮想ロードポート制御装置１９を取り外すだけで、容易に従来の基板処理システムの構成に戻すこともできる。

なお、仮想ロードポートＶ−ＬＰ２は、同じ物理ロードポートＲ−ＬＰ１に対応付けられた他の仮想ロードポートである。上述した搬入過程において、キャリア搬送システム７のＯＨＴ１７が一つのＦＯＵＰ３を搬送するために、基板処理装置５へ移動を開始した時点から、そのＦＯＵＰ３が一つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１に対応する物理ロードポートＲ−ＬＰ１に実際に載置されるまでは、もう一つの仮想ロードポートである仮想ロードポートＶ−ＬＰ２への搬入が可能であると、仮想ロードポート制御装置１９は、ホストコンピュータ９へ報告する。また、一つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１に対応する物理ロードポートＲ−ＬＰ１から内部バッファ１５へＦＯＵＰ３が搬送され始めた時点で、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１に対応する物理ロードポートＲ−ＬＰ１に対応付けられている、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１とは異なる他の仮想ロードポートＶ−ＬＰ２への搬入が可能であるとホストコンピュータ９へ報告する。

したがって、ホストコンピュータ９は、上記の期間において、キャリア搬送システム７に対して、仮想ロードポートＶ−ＬＰ２を表すＣＳ＿１信号をＯＮにして、同じ物理ロードポートＲ−ＬＰ１への搬入指示を行うことができる。したがって、搬入時に従来は占有されていた期間においても、ホストコンピュータ９が搬入の指示を行うことができる。したがって、効率的な搬入処理を行うことができる。

なお、上記の例では、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１へ搬送された先の（第１の）ＦＯＵＰ３の搬送が完了して、内部バッファ１５への取り込まれ、その後、同一の物理ロードポートＲ−ＬＰ１へ割り当てられた仮想ロードポートＶ−ＬＰ２へ次の（第２の）ＦＯＵＰ３が搬入される。したがって、同一の物理ロードポートＲ−ＬＰ１への搬入で問題が生じることはない。もし仮に、先の（第１の）ＦＯＵＰ３が取り込まれるのに時間を要し、次の（第２の）ＦＯＵＰ３が同一の物理ロードポートＲ−ＬＰ１に到着した場合には、その場所で次の（第２の）ＦＯＵＰ３を待機させることになる。この制御は、例えば、次のような処理を行うことで実現可能である。すなわち、上記４で、対キャリア搬送システム制御部３１に対してキャリア搬送システム７から仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への第１のＦＯＵＰ３の搬入開始通知が入力された後には、その直後に引き続いて他の仮想ロードポートＶ−ＬＰ２への第２のＦＯＵＰ３の搬入開始通知が入力されたとしても、その第２のＦＯＵＰ３の搬入開始通知に対しては、次の５の段階に移らず保留しておく。そして、第１のＦＯＵＰ３についての上記１０の段階の物理ロードポートＲ−ＬＰ１への「搬入完了」通知が対ホスト制御部２７に送信されたときに対ホスト制御部２７から対キャリア搬送システム制御部３１に通知してこの保留状態を解除すればよい。あるいは、他の処理として、上記４で、対キャリア搬送システム制御部３１に対してキャリア搬送システム７から仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への第１のＦＯＵＰ３の搬入開始通知が入力された後には、その時点から所定時間（例えば、ロードポート１３から内部バッファ１５への搬送が十分に行える時間）だけは他の仮想ロードポートＶ−ＬＰ２への搬入開始通知が入力されたとしても、その搬入開始通知は次の５の段階に移らず保留しておく、といったことも考えられる。

そして、このように次なるＦＯＵＰ３の搬入開始を保留したとしても、従来の基板処理システムのように内部バッファ１５へＦＯＵＰ３が取り込まれて物理ロードポートＲ−ＬＰ１が次の搬入を受けられるようになってから次の（第２の）ＦＯＵＰ３の搬送指示を行うものと比べると、本発明では早くから次なる（第２の）ＦＯＵＰ３の搬送を開始しているので、このような待機が生じても従来よりも効率的な搬送を行うことができる。

＜Ｂ：搬出処理＞

次に、図１４〜図２５，図２７を参照して、上述した基板処理システム１によるＦＯＵＰ３の搬出の流れについて説明する。

なお、図１４は、搬出処理時におけるシーケンスを示したタイムチャートである。また、図１５〜図２５は、搬出処理時の過程を示す模式図であり、図１５は、ホストコンピュータからの搬出指示を示すものであり、図１６は、ホストコンピュータへの搬出可能の通知を示すものであり、図１７は、ホストコンピュータからの搬出の指示を示すものであり、図１８は、キャリア搬送システムの移動を示すものであり、図１９は、キャリア搬送システムによる搬出開始を示すものであり、図２０は、ロードポートの対応付けを示すものであり、図２１は、仮想ロードポートの状態変化の報告を示すものであり、図２２は、払い出しを示すものであり、図２３は、キャリア搬送システムへの搬送要求を示すものであり、図２４は、キャリア搬送システムによるＦＯＵＰの搬出を示すものであり、図２５は、搬出状況の報告を示すものであり、図２７は、搬出処理時における各部間の信号等のやりとりを示す模式図である。

以下の説明においては、図１５に示すように、物理ロードポートＲ−ＬＰ１が二つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２に対応付けられ、物理ロードポートＲ−ＬＰ２が二つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，４に対応付けられているものとする。また、ここでは、二つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，４が搬出用に設定されているものとする。以下の説明においては、理解を容易にするために、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，４についてのみ説明する。

１．ホストコンピュータ９は、基板処理装置５へ処理済の基板Ｗを収納したＦＯＵＰ３の払い出しを指示する（図１５）。ここでは、例えば、基板処理装置５の内部バッファ１５に収容されている処理済のＦＯＵＰ３を、順に図示しない次工程の基板処理装置あるいはＦＯＵＰ３の保管庫に払い出すように指示したとする。かかる指示は、対ホスト制御部２７および対ホスト制御部２１を経由してロードポート管理部２３へ伝えられる（図２７では図示省略）。

２．基板処理装置５は、指定されたＦＯＵＰ３の物理ロードポートＲ−ＬＰ２へ払い出しが可能になったら、実際には払い出しを行うことなく、搬出可能であることをホストコンピュータ９へ通知する（図１６）。

さらに詳細に説明すると、まず、搬出用の物理ロードポートＲ−ＬＰ２を管理するロードポート管理部２３が、物理ロードポートＲ−ＬＰ２および内部バッファ１５の状態を確認する。そして、ホストコンピュータ９からの指示に対応して、内部バッファ１５内に収納されている処理済のＦＯＵＰ３ａ、３ｂが物理ロードポートＲ−ＬＰ２から「搬出可能」であることを認識する。これに基づき対ホスト制御部２１がロードポート管理部２３の認識を参照して、物理ロードポートＲ−ＬＰ２からＦＯＵＰ３ａ、３ｂが「搬出可能」の通知を出力する。この出力は、従来の一般的な構成であれば、ホストコンピュータ５に直接送信されていたものである。しかし、本発明においては、対ホスト制御部２１が出力した「搬出可能」の通知は、仮想ロードポート制御部１９の対ホスト制御部２７に送信される。対ホスト制御部２７はこれを受けて、仮想ロードポート管理部２９に送信し通知する。仮想ロードポート管理部２９はこの通知を受けて、内部の変換テーブル記憶部３３が記憶している変換テーブルを参照し、「搬出可能」と通知された物理ロードポートＲ−ＬＰ２が仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，Ｖ−ＬＰ４と対応付けられていることを認識する。そして、仮想ロードポート管理部２９は、「搬出可能」と通知された物理ロードポートＲ−ＬＰ２に代えて、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，Ｖ−ＬＰ４の両方から、ＦＯＵＰ３ａ、３ｂが「搬出可能」であると扱うように、対ホスト制御部２７に通知する。対ホスト制御部２７は、かかる通知に基づき、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，Ｖ−ＬＰ４の両方から、ＦＯＵＰ３ａ、３ｂが「搬出可能」であると、ホストコンピュータ９に通知する。

３．ホストコンピュータ９は、キャリア搬送システム７に対して、指示されたＦＯＵＰ３ａ、３ｂの引き取りを行うための搬送を指示する（図１７）。

４．キャリア搬送システム７は、搬出するため、指定されたＦＯＵＰ３ａ、３ｂを有する基板処理装置５へ２台のＯＨＴ１７ａ、１７ｂを移動する（図１８）。ここで、ＯＨＴ１７ａはＦＯＵＰ３ａを仮想ロードポートＶ−ＬＰ３から、ＯＨＴ１７ｂはＦＯＵＰ３ｂを仮想ロードポートＶ−ＬＰ４から、それぞれの搬出を担当するものとする。ここで、キャリア搬送システム７には、このときの搬送先である仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，Ｖ−ＬＰ４の位置情報として、対応する物理ロードポートＲ−ＬＰ２の現実の位置が設定されており、キャリア搬送システム７のＯＨＴ１７ａ、１７ｂの移動は、実際には、物理ロードポートＲ−ＬＰ２への移動として実行されることになる。

５．ＦＯＵＰ３ａを搬出する予定のＯＨＴ１７ａが移動して基板処理装置５の仮想ロードポートＶ−ＬＰ３（物理ロードポートＲ−ＬＰ２）に到着すると、キャリア搬送システム７は、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３からの搬出を開始するために、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３を表すＣＳ＿０信号をＯＮし、ＶＡＬＩＤ信号（搬送開始）をＯＮする（図１９）。これらの信号は、対キャリア搬送システム制御部３１を介して、仮想ロードポート管理部２９が受信する。

６．基板処理装置５は、ＣＳ＿０信号を受けて、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３を特定する（図２０）。具体的には、仮想ロードポート管理部２９が仮想ロードポートＶ−ＬＰ３を特定する。

７−１．基板処理装置５は、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３での搬出が開始されたので、ホストコンピュータ９へ仮想ロードポートＶ−ＬＰ３の状態変化を報告する（図２１）。具体的には、仮想ロードポート管理部２９が対ホスト制御部２７を介してホストコンピュータ９へ報告を行う。

７−２．報告を受けたホストコンピュータ９は、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３での搬送が開始されたことを認識する（図２１）。

８．基板処理装置５は、指示されたＦＯＵＰ３ａを仮想ロードポートＶ−ＬＰ３に払い出す（図２２）。実際には、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３が物理ロードポートＲ−ＬＰ２に対応付けられているので、物理ロードポートＲ−ＬＰ２へＦＯＵＰ３ａを払い出すことになる。具体的に説明すると、上記６において仮想ロードポートＶ−ＬＰ３を特定した仮想ロードポート管理部２９は、変換テーブル記憶部３３が記憶している変換テーブルにより、特定した仮想ロードポートＶ−ＬＰ３が物理ロードポートＲ−ＬＰ２と対応していることを認識し、対キャリア搬送システム制御部３１に対して物理ロードポートＲ−ＬＰ２からの搬出を指示する。対キャリア搬送システム制御部３１はかかる指示を受けて、対キャリア搬送システム制御部２５に対して物理ロードポートＲ−ＬＰ２からの搬出を通信指示する。対キャリア搬送システム制御部２５はかかる通信を受けてロードポート管理部２３に対して物理ロードポートＲ−ＬＰ２へのＦＯＵＰ３ａの搬出動作を指示するとともに、対キャリア搬送システム制御部３１に対して物理ロードポートＲ−ＬＰ２からの「搬出開始」を要求する。なお、かかる要求信号は、従来の基板処理システムであれば、キャリア搬送システム７へ送信されたものであるが、本発明では仮想ロードポート制御部１９の対キャリア搬送システム制御部３１に送信される。ロードポート管理部２３はかかる指示に基づき、内部バッファ１５に格納されているＦＯＵＰ３ａを物理ロードポートＲ−ＬＰ２へ払い出す動作を行う。

９．基板処理装置５は、キャリア搬送システム７に対して搬送要求を表す信号をＯＮする（図２３）。具体的には、対キャリア搬送システム制御部３１は、対キャリア搬送システム制御部２５からの上記物理ロードポートＲ−ＬＰ２からの「搬出開始」の要求信号が、上記５でキャリア搬送システム７から受けた、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３からのＦＯＵＰ３ａの搬出通知に応じたものであることを認識できる。そして、かかる認識に基づき、対キャリア搬送システム制御部３１は、かかる「搬出開始」の要求信号を、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３からの「搬出開始」要求であるとして、キャリア搬送システム７に送信する。かかる要求信号として、対キャリア搬送システム制御部３１は、キャリア搬送システム７に対してＵ＿ＲＥＱ信号をＯＮする。このＵ＿ＲＥＱ信号は、アンロード・リクエストを意味する。

１０．キャリア搬送システム７は、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３からＦＯＵＰ３ａを搬出する（図２４）。実際には、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３が物理ロードポートＲ−ＬＰ２に対応しているので、物理ロードポートＲ−ＬＰ２からＦＯＵＰ３ａを搬出する。

１１．基板処理装置５は、上述した搬出過程において、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３において搬出が行われたことをホストコンピュータ９に対して報告する（図２５）。具体的には、ロードポート管理部２３が物理ロードポートＲ−ＬＰ２の状況を認識し、対ホスト制御部２１，対ホスト制御部２７を介して、ホストコンピュータ９に対して報告を行う。

このとき、対ホスト制御部２１は、ロードポート管理部２３からの物理ロードポートＲ−ＬＰ２からの「搬出完了」報告を対ホスト制御部２７に報告する。対ホスト制御部２７は、対ホスト制御部２１からのかかる「搬出完了」報告が、上記７で仮想ロードポート管理部２９から受けた、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３からのＦＯＵＰ３ａの搬出開始通知に応じたものであることを認識できる。そして、かかる認識に基づき、対ホスト制御部２７は、かかる「搬出完了」の報告を、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３からの「搬出完了」報告であるとして、ホストコンピュータ９に送信する。

そして、その後、処理が完了した基板Ｗを収納した次のＦＯＵＰ３ｃが内部バッファ１５に搬送されると、物理ロードポートＶ−ＬＰ２が再び搬出可能な状態になる。すなわち、物理ロードポートＲ−ＬＰ２に対応する仮想ロードポートＶ−ＬＰ３が再び搬出可能な状態になるので、上記２と同様に、ロードポート管理部２３が、物理ロードポートＲ−ＬＰ２の状態を「搬出可能」と認識する。これに応じて対ホスト制御部２１がロードポート管理部２３の認識を参照して、「搬出可能」の通知を仮想ロードポート制御装置１９の対ホスト制御部２７に送信する。対ホスト制御部２７はこれを受けて、上記「搬出完了」報告と同様に、仮想ロードポートＶ−ＬＰ３が「搬出可能」になったと認識し、これをホストコンピュータ９に通知する。かかる「搬出可能」通知は、内部バッファ１５へのＦＯＵＰ３ｃの搬送のタイミングによっては、上記の「搬出完了」報告の直後であるかまたは若干遅れてなされることになる。なお、仮想ロードポートＶ−ＬＰ４が「搬出可能」であることは既に上記２で通知され、それに対応するＯＨＴ１７ｂが既にＦＯＵＰ３ｂを搬出するために基板処理装置５へ向かって移動を開始しているので、ここでは仮想ロードポートＶ−ＬＰ４に関する新たな通知は行われない。

１２．ＯＨＴ１７ａより少し遅れてＯＨＴ１７ｂが基板処理装置５に到着すると、上記４と同様に、キャリア搬送システム７は仮想ロードポートＶ−ＬＰ４からＦＯＵＰ３ｂを搬出することを基板処理装置５に対して通知する。具体的には、キャリア搬送システム７は、ＣＳ＿１（仮想ロードポートＶ−ＬＰ４を表す）をＯＮにし、さらに搬送開始を示すＶＡＬＩＤ信号をＯＮにして、対キャリア搬送システム制御部３１に送信する。以下、上記と同様に、仮想ロードポートＶ−ＬＰ４からの搬出として、物理ロードポートＲ−ＬＰ２からの搬出が行われる。

なお、仮想ロードポートＶ−ＬＰ４は、同じ物理ロードポートＲ−ＬＰ２に対応付けられた他の仮想ロードポートである。上述した搬出過程において、もし、上記搬出処理の１の段階において、内部バッファ１５内に収納されている処理済のＦＯＵＰがＦＯＵＰ３ａのみであった場合でも、仮想ロードポート制御装置１９はいつでも、その一つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ３に対応する物理ロードポートＲ−ＬＰ２に割り当てられている他の仮想ロードポートＶ−ＬＰ４が搬出に利用可能であることをホストコンピュータ９へ通知する。

したがって、ホストコンピュータ９は、上記の期間において、キャリア搬送システム７に対して、仮想ロードポートＶ−ＬＰ４を表すＣＳ＿１信号をＯＮにして、同じ物理ロードポートＲ−ＬＰ２への搬出指示を行うことができる。したがって、効率的な搬出処理を行うことができる。

このように本実施形態によれば、１つの物理ロードポートＲ−ＬＰ２に対して２つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，Ｖ−ＬＰ４を割り当てて、その２つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，Ｖ−ＬＰ４を割り当てて、その２つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，Ｖ−ＬＰ４の両方が「搬出可能」であるとして、それぞれに対して同時に２台のＯＨＴ１７を動かして搬送動作を行うことができ、１つの物理ロードポートＲ−ＬＰ２に対して１台のＯＨＴ１７だけで搬送動作をしていた場合に比べて単位時間あたりに搬送可能なＦＯＵＰの個数を増大させることができる。換言すると、ＦＯＵＰ１つあたりの搬送に要する時間を短縮できる。

また、図２７から明らかなように、仮想ロードポート制御装置１９は、基板処理装置５がもともと備えている対ホスト制御部２１および対キャリア搬送システム制御部２５に対しては物理ロードポートＲ−ＬＰ２に関する信号だけを扱い、ホストコンピュータ９およびキャリア搬送システム７に対しては仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，Ｖ−ＬＰ４に関する信号だけを扱う。すなわち、仮想ロードポート制御装置１９は、基板処理装置５とホストコンピュータ９およびキャリア搬送システム７との間にあって、物理ロードポートＲ−ＬＰ２と仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，Ｖ−ＬＰ４との対応付けと信号の変換を行っている。したがって、従来の基板処理装置５とホストコンピュータ９およびキャリア搬送システム７のハードウエア、ソフトウエアの構成は何ら変更することなく、それらの間に仮想ロードポート制御装置１９を介挿するだけで、本発明による制御を容易に実施することができ、また仮想ロードポート制御装置１９を取り外すだけで、容易に従来の基板処理システムの構成に戻すこともできる。

上述したように、本実施例装置によると、仮想ロードポート制御装置１９は、物理ロードポートＲ−ＬＰ１，２に対してそれぞれ２個の仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２、Ｖ−ＬＰ３，４を割り当てる。さらに、仮想ロードポート制御装置１９は、キャリア搬送システム７と、ホストコンピュータ９とに対して、４個の仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２，３，４を４個の物理ロードポートとして扱わせる。したがって、現実の物理ロードポートの個数以上にロードポートが存在するようにＦＯＵＰ３の搬送を行うことができ、見かけ上、ロードポートの個数を増加させることができる。その結果、装置コストを抑制しつつも、ＦＯＵＰ３の搬送効率を向上させることができる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した実施例では、一つの物理ロードポートＲ−ＬＰ１に対して二つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２を割り当てた。本発明はこれに限定されるものではない。例えば、一つの物理ロードポートＲ−ＬＰ１に３つ以上の仮想ロードポートを割り当てるようにしてもよい。

（２）上述した実施例では、一つの物理ロードポートＲ−ＬＰ１に二つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２を割り当て、また他の物理ロードポートＲ−ＬＰ２に仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，４を割り当て、それらを搬入または搬出の一方に割り当てた。本発明は、これ以外に、一つの物理ロートポートに割り当てられた二つの仮想ロードポートのうち、一方を搬入に割り当て、他方を搬出に割り当てるようにしてもよい。また、搬入用または搬出用のいずれか一方のみに仮想ロードポートを割り当てるようにしてもよい。

（３）上述した実施例では、設定部３５を介して変換テーブル記憶部３３に記憶されている変換テーブルを固定的な設定としたが、それらを状況に応じて適宜に書き換えることにより、仮想ロードポートの使用／不使用や、仮想ロードポートの割り当てを動的に変更することができる。したがって、基板処理システム１の状況に応じた柔軟な運用を行うことができる。例えば、搬入を速く行いたいときには、搬入に搬入に割り当てる仮想ロードポートを増やせばよい。

（４）上述した実施例では、キャリア搬送システム７がＯＨＴ１７を備える場合を例示したが、これに代えてＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle）を採用してもよい。

（５）上記実施形態では、一般的な基板処理装置とホストコンピュータ９およびキャリア搬送システム７の間に、仮想ロードポート制御装置１９を後付で介挿させて構成したものであり、一般的な基板処理装置または工場等に既に設置された既存の基板処理装置に、本発明の仮想ロードポート制御装置１９を付加することで、ＦＯＵＰの搬送効率を向上させたものであるが、これに限らず、例えば、ロードポート制御装置２０と、仮想ロードポート制御装置１９の両方の機能を有する一つの制御装置として、当初から基板処理装置５に組み込んだものとしてもよい。また、仮想ロードポート制御装置１９を基板処理装置５とは独立して、ホストコンピュータ９とキャリア搬送システム７の間に設置してもよい。また、仮想ロードポート制御装置１９の機能をホストコンピュータ９に一体的に組み込んでもよい。

（６）上記実施形態によれば、基板処理装置５に対するＦＯＵＰ３の搬入時と搬出時の両方において、２台のＯＨＴ１７が２つの仮想ロードポートに対して同時に搬送動作を行った。これは、例えば、搬入時においては、内部バッファ１５に十分な空き容量がある場合に有効であり、搬出時においては、内部バッファ１５に搬出すべきＦＯＵＰが十分に収納されている場合に有効である。仮に、搬入時において、内部バッファ１５にＦＯＵＰ一つ分の空き容量しかない場合には、同時に２台のＯＨＴ１７が２つの仮想ロードポートに対して同時に搬送動作を行うと、基板処理装置５へ搬送したＦＯＵＰを搬入しても内部バッファ１５に収納すべき場所がなく、ＯＨＴ１７が長時間、基板処理装置５の前で待たされる、といったことが起こりえる。また、仮に、搬出時において、内部バッファ１５にＦＯＵＰ一つしか収納されていない場合には、同時に２台のＯＨＴ１７が２つの仮想ロードポートに対して同時に搬送動作を行うと、２台目のＯＨＴ１７が基板処理装置５へ到着しても、そのＯＨＴ１７が搬出すべきＦＯＵＰが存在せず、ＯＨＴ１７が長時間、基板処理装置５の前で待たされる、といったことが起こりえる。したがって、仮想ロードポート生魚装置１９によるホストコンピュータ９への「搬入可能」あるいは「搬出可能」の通知は、内部バッファ１５の状態を考慮して、内部バッファ１５に十分な空き容量がある場合、あるいは、内部バッファ１５に搬出すべきＦＯＵＰが十分に収納されている場合であることを判断または確認し、その場合に限り行うようにすることが好ましい。かかる判断または確認は、ロードポート管理部２３が認識している内部バッファ１５の状態を、ロードポート管理部２３から直接、あるいは対ホスト制御部２１を経由して仮想ロードポート制御装置１９が受信する構成とすれば可能である。

Ｗ … 基板
１ … 基板処理システム
３ … ＦＯＵＰ
５ … 基板処理装置
７ … キャリア搬送システム
９ … ホストコンピュータ
１１ … 基板処理ユニット
１３ … ロードポート
１５ … 内部バッファ
１７ … ＯＨＴ
１９ … 仮想ロードポート制御装置
２９ … 仮想ロードポート管理部
Ｒ−ＬＰ１，２ … 物理ロードポート
Ｖ−ＬＰ１，２，３，４ … 仮想ロードポート

Claims (16)

1. 基板を収納するための収納器が載置される物理ロードポートを備えた基板処理装置と、前記収納器を搬送して前記物理ロードポートに対する搬送動作を行うキャリア搬送システムと、を備えた基板処理システムにおける制御装置であって、
   前記物理ロードポートに対して仮想的なロードポートを割り当てるとともに、前記仮想的なロードポートが実在するものとして当該仮想的なロードポートに対して前記キャリア搬送システムに搬送動作を指示する仮想ロートポート制御装置を備えることを特徴とする制御装置。
2. 基板を収納するための収納器が載置される物理ロードポートを備えた基板処理装置と、前記収納器を搬送して前記物理ロードポートに対する搬送動作を行うキャリア搬送システムと、を備えた基板処理システムによる基板処理方法であって、
   前記物理ロードポートに対して仮想的なロードポートを割り当てるとともに、前記仮想的なロードポートが実在するものとして当該仮想的なロードポートに対して前記キャリア搬送システムに搬送動作を指示することを特徴とする基板処理方法。
3. 基板を収納するための収納器が載置される物理ロードポートを備えた基板処理装置と、
   前記収納器を搬送して前記物理ロードポートに対する搬送動作を行うキャリア搬送システムと、
   を備えた基板処理システムにおいて、
   前記物理ロードポートに対して仮想的なロードポートを割り当てるとともに、前記仮想的なロードポートが実在するものとして当該仮想的なロードポートに対して前記キャリア搬送システムに搬送動作を指示する仮想ロードポート制御装置を備えることを特徴とする基板処理システム。
4. 基板を収納するための収納器が載置される物理ロードポートと、当該物理ロードポートの動作を制御する物理ロードポート制御装置とを備えた基板処理装置と、
   前記収納器を搬送して前記物理ロードポートに対する搬送動作を行うキャリア搬送システムと、
   を備えた基板処理システムの運用方法において、
   前記ロードポートに対して仮想的なロードポートを割り当てるとともに、前記仮想的なロードポートが実在するものとして当該仮想的なロードポートに対して前記キャリア搬送システムに搬送動作を指示する仮想ロードポート制御装置を、前記物理ロードポート制御装置と、前記キャリア搬送システムとの間に介在させることを特徴とする基板処理システムの運用方法。
5. 請求項４に記載の基板処理システムの運用方法において、
   前記仮想ロードポート制御装置は、前記物理ロードポート制御装置からのキャリア搬送システムに対する信号を前記仮想的なロードポートからの信号に変換して前記キャリア搬送システムに送信し、前記キャリア搬送システムからの前記仮想的なロードポートに対する信号を前記物理ロードポートに対する信号に変換して前記物理ロードポート制御装置に送信するものであることを特徴とする基板処理システムの運用方法。
6. 請求項１に記載の制御装置において、
   前記仮想ロードポート制御装置は、前記物理ロードポート１台に対して複数の仮想的なロードポートを割り当てることを特徴とする制御装置。
7. 請求項１に記載の制御装置において、
   前記仮想ロードポート制御装置による前記仮想的なロードポートへの搬送動作の指示は、当該仮想的なロードポートが割り当てられている物理ロードポートの所在場所まで搬送動作を行う指令であることを特徴とする制御装置。
8. 基板に対して所定の処理を行う基板処理ユニットと、基板を収納するための収納器が載置される物理ロードポートを備え、前記基板処理ユニットとの間で収納器を受け渡すロードポートと、前記基板処理ユニットと前記ロードポートとの間に介在し、前記基板処理ユニットとの間で基板を受け渡し、前記ロードポートとの間で収納器を受け渡すとともに、受け渡しした収納器を収容する内部バッファとを備えた基板処理装置と、
   収納器を前記ロードポートとの間で受け渡すキャリア搬送システムと、
   前記基板処理装置及び前記キャリア搬送システムとの間で通信を行い、前記基板処理装置の状況に応じて前記キャリア搬送システムによる収納器の搬送を指示するホストコンピュータとを備えた基板処理システムにおける前記ロードポートを制御するロードポート制御装置において、
   前記物理ロードポートに対して複数個の仮想ロードポートを割り当てるとともに、前記キャリア搬送システムと、前記ホストコンピュータとに対して、前記複数個の仮想ロードポートを複数個の物理ロードポートとして扱わせる仮想ロードポート管理部を備えていることを特徴とするロードポート制御装置。
9. 請求項８に記載のロードポート制御装置において、
   前記仮想ロードポート管理部は、
   前記複数個の仮想ロードポートと、前記物理ロードポートとの対応関係を規定した変換テーブルを備え、前記複数個の仮想ロードポートを搬入用に設定した場合には、
   （Ａ１）前記仮想ロートポート管理部は、前記ホストコンピュータに対して前記複数個の仮想ロードポートごとに搬入可能であるか否かを通知し、
   （Ａ２）前記ホストコンピュータは、前記キャリア搬送システムに対して収納器を前記複数個の仮想ロードポートのいずれか一つに搬入するための指示を行い、
   （Ａ３）前記キャリア搬送システムは、指示された一つの仮想ロードポートに収納器を搬送するために、収容器を保持したまま前記基板処理装置に移動し、
   （Ａ４）前記キャリア搬送システムは、前記一つの仮想ロードポートへの収納器の搬入を開始するために、前記一つの仮想ロードポートへ収納器を搬入することを前記仮想ロードポート管理部に通知し、
   （Ａ５）前記仮想ロードポート管理部は、前記変換テーブルに基づいて、前記一つの仮想ロードポートを一つの物理ロードポートに対応付け、
   （Ａ６）前記仮想ロードポート管理部は、前記一つの仮想ロードポートへの収納器の搬入が開始されたことを前記ホストコンピュータへ通知し、
   （Ａ７）前記仮想ロードポート管理部は、前記一つの仮想ロードポートへの搬入を受け付け、前記キャリア搬送システムに対して搬入要求を行い、
   （Ａ８）前記キャリア搬送システムは、前記一つの仮想ロードポートに割り当てられた物理ロードポートへ収納器を搬送し、
   （Ａ９）前記基板処理装置は、前記一つの仮想ロードポートに搬入された収納器を、前記内部バッファに搬送し、
   （Ａ１０）前記仮想ロードポート管理部は、前記搬入過程において、前記一つの仮想ロードポートへの搬入状況を前記ホストコンピュータへ通知する際に、指示された一つの収納器を前記キャリア搬送システムが搬送するために、前記基板処理装置へ前記キャリア搬送システムが移動を開始した時点から、指示された一つの収納器が前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに載置される前まで、前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに割り当てられている他の仮想ロードポートが搬入に利用可能であることを前記ホストコンピュータへ通知し、前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートから前記内部バッファへ収納器が搬送され始めた時点で、前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに割り当てられている他の仮想ロードポートが搬入に利用可能であることを前記ホストコンピュータへ通知することを特徴とするロードポート制御装置。
10. 請求項８に記載のロードポート制御装置において、
    前記仮想ロードポート管理部は、
    前記複数個の仮想ロードポートと、前記物理ロードポートとの対応関係を規定した変換テーブルを備え、前記複数個の仮想ロードポートを搬出用に設定した場合には、
    （Ｂ１）前記ホストコンピュータは、前記基板処理装置に対して、複数個の仮想ロードポートのうちのいずれか一つに対して、指示した収納器を払い出すことを指示し、
    （Ｂ２）前記基板処理装置は、指示された収納器が前記一つの仮想ロードポートへ払い出しが可能になったら、搬出可能であることを前記ホストコンピュータへ通知し、
    （Ｂ３）前記ホストコンピュータは、前記キャリア搬送システムに対して、指示された収納器の搬送を行うための指示を行い、
    （Ｂ４）前記キャリア搬送システムは、指示された収納器を有する前記基板処理装置に移動し、
    （Ｂ５）前記キャリア搬送システムは、指示された収納器を前記一つの仮想ロードポートから搬出するために、前記一つの仮想ロードポートへ収納器を払い出すように前記仮想ロードポート管理部に指示し、
    （Ｂ６）前記仮想ロードポート管理部は、前記変換テーブルに基づいて、前記一つの仮想ロードポートを一つの物理ロードポートに対応付け、
    （Ｂ７）前記基板処理装置は、指示された収納器が前記一つの仮想ロードポートに対して払い出しされ始めたことを前記ホストコンピュータへ通知し、
    （Ｂ８）前記基板処理装置は、前記一つの仮想ロードポートに割り当てられた物理ロードポートに対して、指示された収納器を払い出し、
    （Ｂ９）前記基板処理装置は、前記キャリア搬送システムに対して搬出要求を通知し、
    （Ｂ１０）前記キャリア搬送システムは、前記一つの仮想ロードポートから前記収納器を搬出し、
    （Ｂ１１）前記仮想ロードポート管理部は、前記搬出過程において、前記一つの仮想ロードポートからの搬出状況を前記ホストコンピュータへ通知する際に、指示された収納器が、前記内部バッファから前記一つの仮想ロードポートに対応する前記物理ロードポートへ払い出しされた時点から、前記収納器が前記キャリア搬送システムにより前記物理ロードポートから搬出され始めた時点までの間を除いて、前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに割り当てられている他の仮想ロードポートが搬出に利用可能であることを前記ホストコンピュータへ通知することを特徴とするロードポート制御装置。
11. 請求項８または９に記載のロードポート制御装置において、
    前記仮想ロードポート管理部は、
    前記複数個の仮想ロードポートを搬入用のみに設定することを特徴とするロードポート制御装置。
12. 請求項８または１０に記載のロードポート制御装置において、
    前記仮想ロードポート管理部は、
    前記複数個の仮想ロードポートを搬出用のみに設定することを特徴とするロードポート制御装置。
13. 請求項８に記載のロードポート制御装置において、
    前記仮想ロードポート管理部は、
    前記複数個の仮想ロードポートを搬入用または搬出用に設定することを特徴とするロードポート制御装置。
14. 基板に対して所定の処理を行う基板処理ユニットと、基板を収納するための収納器が載置される物理ロードポートを備え、前記基板処理ユニットとの間で収納器を受け渡すロードポートと、前記基板処理ユニットと前記ロードポートとの間に介在し、前記基板処理ユニットとの間で基板を受け渡し、前記ロードポートとの間で収納器を受け渡すとともに、受け渡しした収納器を収容する内部バッファとを備えた基板処理装置と、
    収納器を前記ロードポートとの間で受け渡すキャリア搬送システムと、
    前記基板処理装置及び前記キャリア搬送システムとの間で通信を行い、前記基板処理装置の状況に応じて前記キャリア搬送システムによる収納器の搬送を指示するホストコンピュータと、
    前記物理ロードポートに対して複数個の仮想ロードポートを割り当てるとともに、前記キャリア搬送システムと、前記ホストコンピュータとに対して、前記複数個の仮想ロードポートを複数個の物理ロードポートとして扱わせる仮想ロードポート管理部を備えているロードポート制御装置と、
    を備えたことを特徴とする基板処理システム。
15. 請求項１４に記載の基板処理システムにおいて、
    前記仮想ロードポート管理部は、
    前記複数個の仮想ロードポートと、前記物理ロードポートとの対応関係を規定した変換テーブルを備え、前記複数個の仮想ロードポートを搬入用に設定した場合には、
    （Ａ１）前記仮想ロートポート管理部は、前記ホストコンピュータに対して前記複数個の仮想ロードポートごとに搬入可能であるか否かを通知し、
    （Ａ２）前記ホストコンピュータは、前記キャリア搬送システムに対して収納器を前記複数個の仮想ロードポートのいずれか一つに搬入するための指示を行い、
    （Ａ３）前記キャリア搬送システムは、指示された一つの仮想ロードポートに収納器を搬送するために、収容器を保持したまま前記基板処理装置に移動し、
    （Ａ４）前記キャリア搬送システムは、前記一つの仮想ロードポートへの収納器の搬入を開始するために、前記一つの仮想ロードポートへ収納器を搬入することを前記仮想ロードポート管理部に通知し、
    （Ａ５）前記仮想ロードポート管理部は、前記変換テーブルに基づいて、前記一つの仮想ロードポートを一つの物理ロードポートに対応付け、
    （Ａ６）前記仮想ロードポート管理部は、前記一つの仮想ロードポートへの収納器の搬入が開始されたことを前記ホストコンピュータへ通知し、
    （Ａ７）前記仮想ロードポート管理部は、前記一つの仮想ロードポートへの搬入を受け付け、前記キャリア搬送システムに対して搬入要求を行い、
    （Ａ８）前記キャリア搬送システムは、前記一つの仮想ロードポートに割り当てられた物理ロードポートへ収納器を搬送し、
    （Ａ９）前記基板処理装置は、前記一つの仮想ロードポートに搬入された収納器を、前記内部バッファに搬送し、
    （Ａ１０）前記仮想ロードポート管理部は、前記搬入過程において、前記一つの仮想ロードポートへの搬入状況を前記ホストコンピュータへ通知する際に、指示された一つの収納器を前記キャリア搬送システムが搬送するために、前記基板処理装置へ前記キャリア搬送システムが移動を開始した時点から、指示された一つの収納器が前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに載置される前まで、前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに割り当てられている他の仮想ロードポートが搬入に利用可能であることを前記ホストコンピュータへ通知し、前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートから前記内部バッファへ収納器が搬送され始めた時点で、前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに割り当てられている他の仮想ロードポートが搬入に利用可能であることを前記ホストコンピュータへ通知することを特徴とする基板処理システム。
16. 請求項１４に記載の基板処理システムにおいて、
    前記仮想ロードポート管理部は、
    前記複数個の仮想ロードポートと、前記物理ロードポートとの対応関係を規定した変換テーブルを備え、前記複数個の仮想ロードポートを搬出用に設定した場合には、
    （Ｂ１）前記ホストコンピュータは、前記基板処理装置に対して、複数個の仮想ロードポートのうちのいずれか一つに対して、指示した収納器を払い出すことを指示し、
    （Ｂ２）前記基板処理装置は、指示された収納器が前記一つの仮想ロードポートへ払い出しが可能になったら、搬出可能であることを前記ホストコンピュータへ通知し、
    （Ｂ３）前記ホストコンピュータは、前記キャリア搬送システムに対して、指示された収納器の搬送を行うための指示を行い、
    （Ｂ４）前記キャリア搬送システムは、指示された収納器を有する前記基板処理装置に移動し、
    （Ｂ５）前記キャリア搬送システムは、指示された収納器を前記一つの仮想ロードポートから搬出するために、前記一つの仮想ロードポートへ収納器を払い出すように前記仮想ロードポート管理部に指示し、
    （Ｂ６）前記仮想ロードポート管理部は、前記変換テーブルに基づいて、前記一つの仮想ロードポートを一つの物理ロードポートに対応付け、
    （Ｂ７）前記基板処理装置は、指示された収納器が前記一つの仮想ロードポートに対して払い出しされ始めたことを前記ホストコンピュータへ通知し、
    （Ｂ８）前記基板処理装置は、前記一つの仮想ロードポートに割り当てられた物理ロードポートに対して、指示された収納器を払い出し、
    （Ｂ９）前記基板処理装置は、前記キャリア搬送システムに対して搬出要求を通知し、
    （Ｂ１０）前記キャリア搬送システムは、前記一つの仮想ロードポートから前記収納器を搬出し、
    （Ｂ１１）前記仮想ロードポート管理部は、前記搬出過程において、前記一つの仮想ロードポートからの搬出状況を前記ホストコンピュータへ通知する際に、指示された収納器が、前記内部バッファから前記一つの仮想ロードポートに対応する前記物理ロードポートへ払い出しされた時点から、前記収納器が前記キャリア搬送システムにより前記物理ロードポートから搬出され始めた時点までの間を除いて、前記一つの仮想ロードポートに対応する物理ロードポートに割り当てられている他の仮想ロードポートが搬出に利用可能であることを前記ホストコンピュータへ通知することを特徴とする基板処理システム。

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