KR20130005231A - 제어 장치, 기판 처리 방법, 기판 처리 시스템, 기판 처리 시스템의 운용 방법, 로드 포트 제어 장치 및 그것을 구비한 기판 처리 시스템 - Google Patents

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Abstract

기판을 수납하기 위한 수납기가 놓여지는 물리 로드 포트를 구비한 기판 처리 장치와, 상기 수납기를 반송하여 상기 물리 로드 포트에 대한 반송 동작을 실시하는 캐리어 반송 시스템을 구비한 기판 처리 시스템에 있어서의 제어 장치로서, 상기 기판 처리 시스템에 있어서의 제어 장치는 이하의 요소를 포함한다. 상기 물리 로드 포트에 대해서 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 가상적인 로드 포트가 실재하는 것으로 하여 해당 가상적인 로드 포트에 대해서 상기 캐리어 반송 시스템에게 반송 동작을 지시하는 가상 로드 포트 제어 장치.

Description

제어 장치, 기판 처리 방법, 기판 처리 시스템, 기판 처리 시스템의 운용 방법, 로드 포트 제어 장치 및 그것을 구비한 기판 처리 시스템{CONTROL APPARATUS, A SUBSTRATE TREATING METHOD, A SUBSTRATE TREATING SYSTEM, A METHOD OF OPERATING A SUBSTRATE TREATING SYSTEM, A LOAD PORT CONTROL APPARATUS, AND A SUBSTRATE TREATING SYSTEM HAVING THE LOAD PORT CONTROL APPARATUS}
본 발명은, 반도체 웨이퍼, 액정 디스플레이용 기판, 플라스마 디스플레이용 기판, 유기 EL용 기판, FED(Field Emission Display)용 기판, 광디스플레이용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 태양전지용 기판(이하, 단지 기판이라고 부른다)을 수납기마다 기판 처리 장치의 내부와의 사이에서 주고 받는 제어나, 캐리어 반송 시스템과의 사이에서 수납기를 주고 받는 제어를 실시하는 제어 장치, 기판 처리 방법, 기판 처리 시스템, 기판 처리 시스템의 운용 방법, 로드 포트 제어 장치 및 그것을 구비한 기판 처리 시스템에 관한 것이다.
종래, 이런 종류의 기판 처리 시스템으로서, 기판 처리 유닛과, 수납기 수용·반송 유닛과, 로드 포트와, 로드 포트 제어 장치를 구비한 기판 처리 장치와, 호스트 컴퓨터의 지시에 의해 수납기를 반송하는 캐리어 반송 시스템과, 전체의 제어를 실시하는 호스트 컴퓨터를 구비한 것을 들 수 있다.
기판 처리 유닛은, 기판에 대해서 각종 처리를 실시한다. 수납기 수용·반송 유닛은, 기판 처리 유닛에 병설되어, 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 수용하거나, 반송하거나 한다. 로드 포트는, 수납기 수용·반송 유닛에 병설되어, FOUP를 올려 놓는다. 로드 포트 제어 장치는, 수납기 수용·반송 유닛과의 사이나, 캐리어 반송 시스템과의 사이에서의 FOUP의 주고 받는 것을 제어한다. 캐리어 반송 시스템(Automated Material Handling System)은, 무인 반송차(AGV: Automatic Guided Vehicles)나, 천정 주행식 무인 반송차(Overhead Hoist Transfer)이며, 로드 포트와의 사이에서 FOUP의 주고 받음을 실시한다. 호스트 컴퓨터는, 로드 포트 제어 장치나 캐리어 반송 시스템과의 사이에서 통신을 실시하며, 수납기의 반송에 관련되는 제어를 실시한다.
1대의 기판 처리 장치는, 일반적으로 복수개의 로드 포트를 구비하고 있지만, 기판 처리 유닛의 처리 효율이 높아지면, 반송하는 수납기의 개수가 증대하여, 캐리어 반송 시스템에 의한 수납기의 반송 간격을 짧게 하지 않으면 기판 처리 유닛의 효율을 살릴 수 없게 된다. 그러나, 이런 종류의 캐리어 반송 시스템에 있어서는, 하나의 로드 포트에 대해서 캐리어 반송 시스템 중의 복수의 반송차가 동시에 반입 동작을 실시하는 일 없이, 하나의 로드 포트에 대해서는 1대의 반송차만이 반입 동작을 실시하는 것이 일반적인 사용(규격)이 되어 있다. 그리고, 해당 로드 포트에 대해서 1대의 반송차가 수납기를 반입하는데 필요한 시간은, 그 캐리어 반송 시스템의 레이아웃 등에 의해서 제약을 받게 되어, 일정 이상으로 짧게 하는 것은 불가능하다. 그 때문에, 캐리어 반송 시스템에 의한 반송이 제시간에 이루어지지 않게 되어 처리 효율의 저하라는 문제가 생기고 있다.
그래서, 이러한 로드 포트의 개수를 높이 방향으로 늘리고, 또한 캐리어 반송 시스템의 주행 레인을 두 개로 늘려서 대처한 제1의 장치가 제안되고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 또한, 로드 포트 부근에, 수납기의 일시적인 대피 장소가 되는 가동 버퍼를 설치하여, 로드 포트가 단시간에 개방되도록 한 제2의 장치가 제안되고 있다(예를 들면, 일본국 특허공개공보 2010-192855호 공보 참조).
그러나, 이러한 구성을 가지는 종래예의 경우에는, 다음과 같은 문제가 있다.
즉, 종래의 제1의 장치는, 로드 포트를 늘림과 동시에, 캐리어 반송 시스템의 주행 레인을 늘릴 필요가 있어, 장치 비용이 비싸진다는 문제가 있다.
또한, 종래의 제2의 장치는, 로드 포트 부근에 특수한 가동 버퍼를 설치할 필요가 있어, 역시 장치 비용이 비싸진다는 문제가 있다.
본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 로드 포트 등의 기계 구성을 증가 혹은 복잡화시키는 일 없이, 장치 비용을 억제하면서도 수납기의 반송 효율을 향상시킬 수 있는 제어 장치, 기판 처리 방법, 기판 처리 시스템, 기판 처리 시스템의 운용 방법, 로드 포트 제어 장치 및 그것을 구비한 기판 처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 취한다.
본 발명은, 기판을 수납하기 위한 수납기가 놓여지는 물리 로드 포트를 구비한 기판 처리 장치와, 상기 수납기를 반송하여 상기 물리 로드 포트에 대한 반송 동작을 실시하는 캐리어 반송 시스템을 구비한 기판 처리 시스템에 있어서의 제어 장치는 이하의 요소를 포함한다: 상기 물리 로드 포트에 대해서 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 가상적인 로드 포트가 실재하는 것으로 하여 해당 가상적인 로드 포트에 대해서 상기 캐리어 반송 시스템에게 반송 동작을 지시하는 가상 로드 포트 제어 장치.
또한, 본 발명은, 기판을 수납하기 위한 수납기가 놓여지는 물리 로드 포트를 구비한 기판 처리 장치와, 상기 수납기를 반송하여 상기 물리 로드 포트에 대한 반송 동작을 실시하는 캐리어 반송 시스템을 구비한 기판 처리 시스템에 의한 기판 처리 방법으로서, 상기 기판 처리 방법은 이하의 스텝을 포함한다: 상기 물리 로드 포트에 대해서 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 가상적인 로드 포트가 실재하는 것으로 하여 해당 가상적인 로드 포트에 대해서 상기 캐리어 반송 시스템에게 반송 동작을 지시하는 스텝.
또한, 본 발명은, 기판을 수납하기 위한 수납기가 놓여지는 물리 로드 포트를 구비한 기판 처리 장치와, 상기 수납기를 반송하여 상기 물리 로드 포트에 대한 반송 동작을 실시하는 캐리어 반송 시스템을 구비한 기판 처리 시스템으로서, 상기 기판 처리 시스템은 이하의 요소를 포함한다: 상기 물리 로드 포트에 대해서 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 가상적인 로드 포트가 실재하는 것으로 하여 해당 가상적인 로드 포트에 대해서 상기 캐리어 반송 시스템에게 반송 동작을 지시하는 가상 로드 포트 제어 장치.
상기 각 발명에 의하면, 가상 로드 포트 제어 장치는, 물리 로드 포트에 대해서 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 그 가상적인 로드 포트가 실재하는 것으로 하여 해당 가상 로드 포트에 대해서 캐리어 반송 시스템에게 반송 동작을 지시한다. 따라서, 물리 로드 포트의 실제 개수 이상으로 물리 로드 포트가 존재하는 것처럼 캐리어 반송 시스템에게 반송 동작을 실시하도록 시킬 수 있으며, 그 결과, 기판 처리 장치의 기계적 구성을 증가시키는 일 없이, 장치 비용을 억제하면서도, 수납기의 반송 효율을 향상시킬 수 있는 제어 장치, 기판 처리 방법 및 기판 처리 시스템을 실현할 수 있다.
또한, 본 발명은, 기판을 수납하기 위한 수납기가 놓여지는 물리 로드 포트와, 해당 물리 로드 포트의 동작을 제어하는 물리 로드 포트 제어 장치를 구비한 기판 처리 장치와, 상기 수납기를 반송하여 상기 물리 로드 포트에 대한 반송 동작을 실시하는 캐리어 반송 시스템을 구비한 기판 처리 시스템의 운용 방법으로서, 상기 기판 처리 시스템의 운용 방법은 이하의 스텝을 포함한다: 상기 로드 포트에 대해서 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 가상적인 로드 포트가 실재하는 것으로 하여 해당 가상적인 로드 포트에 대해서 상기 캐리어 반송 시스템에게 반송 동작을 지시하는 가상 로드 포트 제어 장치를, 상기 물리 로드 포트 제어 장치와, 상기 캐리어 반송 시스템의 사이에 개재시키는 스텝.
본 발명에 의하면, 일반적인 기판 처리 장치의 물리 로드 포트 제어 장치와 캐리어 반송 시스템의 사이에 가상 로드 포트 제어 장치를 삽입시킴으로써, 물리 로드 포트에 대해서 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 그 가상적인 로드 포트가 실재하는 것으로 하여 해당 가상 로드 포트에 대해서 캐리어 반송 시스템에게 반송 동작을 지시할 수 있다. 따라서, 일반적인 기판 처리 장치나 기존의 기판 처리 장치에 대해서도, 물리 로드 포트의 실제의 개수 이상으로 물리 로드 포트가 존재하는 것처럼 캐리어 반송 시스템에게 반송 동작을 실시하도록 시킬 수 있다. 그 결과, 일반적인 기판 처리 장치나 기존의 기판 처리 장치에 대해서도, 용이하게 수납기의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은, 기판에 대해서 소정의 처리를 실시하는 기판 처리 유닛과, 기판을 수납하기 위한 수납기가 놓여지는 물리 로드 포트를 구비하며, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에 수납기를 주고 받는 로드 포트와, 상기 기판 처리 유닛과 상기 로드 포트의 사이에 개재하여, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 기판을 주고 받으며, 상기 로드 포트와의 사이에 수납기를 주고 받는 것과 함께, 주고 받은 수납기를 수용하는 내부 버퍼를 구비한 기판 처리 장치와, 수납기를 상기 로드 포트와의 사이에서 주고 받는 캐리어 반송 시스템과, 상기 기판 처리 장치 및 상기 캐리어 반송 시스템과의 사이에서 통신을 실시하여, 상기 기판 처리 장치의 상황에 따라서 상기 캐리어 반송 시스템에 의한 수납기의 반송을 지시하는 호스트 컴퓨터를 구비한 기판 처리 시스템에 있어서의 상기 로드 포트를 제어하는 로드 포트 제어 장치로서, 상기 로드 포트 제어 장치는 이하의 요소를 포함한다: 상기 물리 로드 포트에 대해서 복수개의 가상 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 캐리어 반송 시스템과, 상기 호스트 컴퓨터에 대해서, 상기 복수개의 가상 로드 포트를 복수개의 물리 로드 포트로서 취급하도록 하는 가상 로드 포트 관리부.
본 발명에 의하면, 가상 로드 포트 관리부는, 물리 로드 포트에 대해서 복수개의 가상 로드 포트를 할당한다. 또한, 가상 로드 포트 관리부는, 캐리어 반송 시스템과, 호스트 컴퓨터에 대해서, 복수개의 가상 로드 포트를 복수개의 물리 로드 포트로서 취급하게 한다. 따라서, 물리 로드 포트의 개수 이상으로 로드 포트가 존재하는 것처럼 수납기의 반송을 실시할 수 있어, 외관상, 로드 포트의 개수를 증가시킬 수 있다. 그 결과, 기판 처리 장치의 기계적 구성을 증가시키는 일 없이, 장치 비용을 억제하면서도, 수납기의 반송 효율을 향상시킬 수 있는 로드 포트 제어 장치를 실현할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 복수개의 가상 로드 포트와, 상기 물리 로드 포트와의 대응 관계를 규정한 변환 테이블을 구비하여, 상기 복수개의 가상 로드 포트를 반입용으로 설정한 경우에는, (A1) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 호스트 컴퓨터에 대해서 상기 복수개의 가상 로드 포트 마다 반입 가능한지 아닌지를 통지하고, (A2) 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 캐리어 반송 시스템에 대해서 수납기를 상기 복수개의 가상 로드 포트 중 어느 하나에 반입하기 위한 지시를 실시하고, (A3) 상기 캐리어 반송 시스템은, 지시받은 하나의 가상 로드 포트에 수납기를 반송하기 위해서, 수용기를 보유(保持)한 채로 상기 기판 처리 장치로 이동하고, (A4) 상기 캐리어 반송 시스템은, 상기 하나의 가상 로드 포트로의 수납기의 반입을 개시하기 위해서, 상기 하나의 가상 로드 포트에 수납기를 반입하는 것을 상기 가상 로드 포트 관리부에게 통지하고, (A5) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 변환 테이블에 근거하여, 상기 하나의 가상 로드 포트를 하나의 물리 로드 포트에 대응시키고, (A6) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 하나의 가상 로드 포트로의 수납기의 반입이 개시된 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하고, (A7) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 하나의 가상 로드 포트로의 반입을 접수하여, 상기 캐리어 반송 시스템에 대해서 반입 요구를 실시하고, (A8) 상기 캐리어 반송 시스템은, 상기 하나의 가상 로드 포트에 할당된 물리 로드 포트로 수납기를 반송하고, (A9) 상기 기판 처리 장치는, 상기 하나의 가상 로드 포트로 반입된 수납기를, 상기 내부 버퍼로 반송하고, (A10) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 반입 과정에 있어서, 상기 하나의 가상 로드 포트로의 반입 상황을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지할 때에, 지시받은 하나의 수납기를 상기 캐리어 반송 시스템이 반송하기 위해서, 상기 기판 처리 장치로 상기 캐리어 반송 시스템이 이동을 개시한 시점부터, 지시받은 하나의 수납기가 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 올려 놓여지기 전까지, 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 할당되어 있는 다른 가상 로드 포트가 반입에 이용 가능다는 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하고, 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트로부터 상기 내부 버퍼로 수납기가 반송되기 시작한 시점에서, 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 할당되어 있는 다른 가상 로드 포트가 반입에 이용 가능하다는 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하는 것이 바람직하다.
반입시에 있어서, 가상 로드 포트 관리부는, 하나의 가상 로드 포트로의 반입 상황을 호스트 컴퓨터에게 통지한다. 그 때, 가상 로드 포트 관리부는, 캐리어 반송 시스템이 하나의 수납기를 반송하기 위해서, 기판 처리 장치로 이동을 개시한 시점부터, 하나의 수납기가 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 올려 놓여질 때까지는, 그 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 할당되어 있는 다른 가상 로드 포트가 반입에 이용 가능하다고 하여 호스트 컴퓨터에게 통지한다. 또한, 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트로부터 내부 버퍼로 수납기가 반송되기 시작한 시점에서, 그 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 할당되어 있는 다른 가상 로드 포트가 반입에 이용 가능하다고 하여 호스트 컴퓨터에게 통지한다. 따라서, 반입시에 종래에는 점유되어 있던 기간에 있어서도, 호스트 컴퓨터가 반입의 지시를 실시할 수 있다. 따라서, 효율적인 반입 처리를 실시할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 복수개의 가상 로드 포트와, 상기 물리 로드 포트와의 대응 관계를 규정한 변환 테이블을 구비하며, 상기 복수개의 가상 로드 포트를 반출용으로 설정한 경우에는, (B1) 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 기판 처리 장치에 대해서, 복수개의 가상 로드 포트 중 어느 하나에 대해서, 지시한 수납기를 전달하는 것을 지시하고, (B2) 상기 기판 처리 장치는, 지시받은 수납기가 상기 하나의 가상 로드 포트로 전달이 가능하게 되면, 반출 가능하다는 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하고, (B3) 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 캐리어 반송 시스템에 대해서, 지시받은 수납기의 반송을 실시하기 위한 지시를 실시하고, (B4) 상기 캐리어 반송 시스템은, 지시받은 수납기를 가지는 상기 기판 처리 장치로 이동하고, (B5) 상기 캐리어 반송 시스템은, 지시받은 수납기를 상기 하나의 가상 로드 포트로부터 반출하기 위해서, 상기 하나의 가상 로드 포트로 수납기를 전달하도록 상기 가상 로드 포트 관리부에 지시하고, (B6) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 변환 테이블에 근거하여, 상기 하나의 가상 로드 포트를 하나의 물리 로드 포트에 대응시키고, (B7) 상기 기판 처리 장치는, 지시받은 수납기가 상기 하나의 가상 로드 포트에 대해서 전달되기 시작한 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하고, (B8) 상기 기판 처리 장치는, 상기 하나의 가상 로드 포트에 할당된 물리 로드 포트에 대해서, 지시받은 수납기를 전달하고, (B9) 상기 기판 처리 장치는, 상기 캐리어 반송 시스템에 대해서 반출 요구를 통지하고, (B10) 상기 캐리어 반송 시스템은, 상기 하나의 가상 로드 포트로부터 상기 수납기를 반출하고, (B11) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 반출 과정에 있어서, 상기 하나의 가상 로드 포트로부터의 반출 상황을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지할 때에, 지시받은 수납기가, 상기 내부 버퍼로부터 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 상기 물리 로드 포트로 전달된 시점부터, 상기 수납기가 상기 캐리어 반송 시스템에 의해 상기 물리 로드 포트로부터 반출되기 시작한 시점까지의 사이를 제외하고, 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 할당되어 있는 다른 가상 로드 포트가 반출에 이용 가능하다는 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하는 것이 바람직하다.
반출시에 있어서, 가상 로드 포트 관리부는, 하나의 가상 로드 포트로부터의 반출 상황을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지한다. 그때, 가상 로드 포트 관리부는, 지시받은 수납기가, 내부 버퍼로부터 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트로 전달된 시점부터, 수납기가 캐리어 반송 시스템에 의해 물리 로드 포트로부터 반출되기 시작한 시점까지의 사이를 제외하고, 그 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 할당되어 있는 다른 가상 로드 포트가 반출에 이용 가능하다는 것을 호스트 컴퓨터에게 통지한다. 따라서, 반출시에 종래에는 점유되어 있던 기간에 있어서도, 호스트 컴퓨터가 반출의 지시를 실시할 수 있다. 따라서, 효율적인 반출 처리를 실시할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 복수개의 가상 로드 포트를 반입용만으로 설정하는 것이 바람직하고, 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 복수개의 가상 로드 포트를 반출용만으로 설정하는 것이 바람직하며, 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 복수개의 가상 로드 포트를 반입용 또는 반출용으로 설정하는 것이 바람직하다.
가상 로드 포트 관리부는, 복수개의 가상 로드 포트를 반입용만으로 설정하거나, 반출용만으로 설정하거나, 그들을 혼재시킴으로써, 유연한 운용을 실시할 수 있다.
또한, 본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 시스템으로서, 상기 기판 처리 시스템은 이하의 요소를 포함한다: 기판에 대해서 소정의 처리를 실시하는 기판 처리 유닛과, 기판을 수납하기 위한 수납기가 놓여지는 물리 로드 포트를 구비하며, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 수납기를 주고 받는 로드 포트와, 상기 기판 처리 유닛과 상기 로드 포트와의 사이에 개재하여, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 기판을 주고 받고, 상기 로드 포트와의 사이에서 수납기를 주고 받는 것과 함께, 주고 받은 수납기를 수용하는 내부 버퍼를 구비한 기판 처리 장치; 수납기를 상기 로드 포트와의 사이에서 주고 받는 캐리어 반송 시스템; 상기 기판 처리 장치 및 상기 캐리어 반송 시스템과의 사이에서 통신을 실시하고, 상기 기판 처리 장치의 상황에 따라 상기 캐리어 반송 시스템에 의한 수납기의 반송을 지시하는 호스트 컴퓨터; 상기 물리 로드 포트에 대해서 복수개의 가상 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 캐리어 반송 시스템과, 상기 호스트 컴퓨터에 대해서, 상기 복수개의 가상 로드 포트를 복수개의 물리 로드 포트로서 취급하게 하는 가상 로드 포트 관리부를 구비하고 있는 로드 포트 제어 장치.
본 발명에 의하면, 로드 포트 제어 장치의 가상 로드 포트 관리부는, 물리 로드 포트에 대해서 복수개의 가상 로드 포트를 할당한다. 또한, 가상 로드 포트 관리부는, 캐리어 반송 시스템과, 호스트 컴퓨터에 대해서, 복수개의 가상 로드 포트를 복수개의 물리 로드 포트로서 취급하게 한다. 따라서, 물리 로드 포트의 개수 이상으로 로드 포트가 존재하는 것처럼 수납기의 반송을 실시할 수 있어, 외관상, 로드 포트의 개수를 증가시킬 수 있다. 그 결과, 장치 비용을 억제하면서도, 수납기의 반송 효율을 향상할 수 있는 기판 처리 시스템을 실현할 수 있다.
발명을 설명하기 위해서 현재에 적합하다고 생각되는 몇 개의 형태가 도시되고 있지만, 발명이 도시된 대로의 구성 및 방책으로 한정되는 것은 아니라는 것은 이해하기 바란다.
도 1은, 실시예에 관련되는 기판 처리 시스템의 개요를 나타내는 평면도이다.
도 2는, 실시예에 관련되는 기판 처리 시스템의 개략 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 3은, 반입 처리시에 있어서의 시퀀스를 나타낸 타임 차트이다.
도 4는, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 호스트 컴퓨터로의 통지를 나타내는 도면이다.
도 5는, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 호스트 컴퓨터의 반송 지시를 나타내는 도면이다.
도 6은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 캐리어 반송 시스템의 이동을 나타내는 도이다.
도 7은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 캐리어 반송 시스템에 의한 반입 개시를 나타내는 도이다.
도 8은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 로드 포트의 대응시키기를 나타내는 도면이다.
도 9는, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 가상 로드 포트 상태 변화의 보고를 나타내는 도면이다.
도 10은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 반입 접수를 나타내는 도면이다.
도 11은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 캐리어 반송 시스템의 이동을 나타내는 도면이다.
도 12는, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, FOUP의 내부 버퍼로의 이동을 나타내는 도면이다.
도 13은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 반입 상황의 보고를 나타내는 도면이다.
도 14는, 반출 처리시에서의 시퀀스를 나타낸 타임 차트이다.
도 15는, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 호스트 컴퓨터로부터의 반출 지시를 나타내는 도면이다.
도 16은, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 호스트 컴퓨터로의 반출 가능의 통지를 나타내는 도면이다.
도 17은, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 호스트 컴퓨터로부터의 반출의 지시를 나타내는 도면이다.
도 18은, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 캐리어 반송 시스템의 이동을 나타내는 도면이다.
도 19는, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 캐리어 반송 시스템에 의한 반출 개시를 나타내는 도면이다.
도 20은, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 로드 포트의 대응시키기를 나타내는 도면이다.
도 21은, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 가상 로드 포트 상태 변화의 보고를 나타내는 도면이다.
도 22는, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 전달을 나타내는 도면이다.
도 23은, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 캐리어 반송 시스템에의 반송 요구를 나타내는 도면이다.
도 24는, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 캐리어 반송 시스템에 의한 FOUP의 반출을 나타내는 도면이다.
도 25는, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도이며, 반출 상황의 보고를 나타내는 도면이다.
도 26은, 반입 처리시에 있어서의 각 부 사이의 신호 등의 교환을 나타내는 모식도이다.
도 27은, 반출 처리시에 있어서의 각 부 사이의 신호 등의 교환을 나타내는 모식도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 설명한다.
도 1은, 실시예에 관련되는 기판 처리 시스템의 개요를 나타내는 평면도이며, 도 2는, 실시예에 관련되는 기판 처리 시스템의 개략 구성을 나타내는 블럭도이다.
실시예에 관련되는 기판 처리 시스템(1)은, 기판(W)을 FOUP(3)마다 반입하여 기판(W)에 대해서 처리를 실시하고, 처리를 끝낸 기판(W)을 FOUP(3)마다 반출하는 기능을 구비하고 있다. FOUP(3)는, Front Opening Unified Pod의 약칭이며, 청정한 환경에 밀폐한 상태에서 기판(W)을 수납하는 것이다.
이 기판 처리 시스템(1)은, 기판 처리 장치(5)와, 캐리어 반송 시스템(7)과, 호스트 컴퓨터(9)를 구비하고 있다. 기판 처리 장치(5)는, 복수대인 것이 일반적이며, 도 1에서는, 일례로서 2대의 기판 처리 장치(5)를 나타내고 있다.
기판 처리 장치(5)는, 기판 처리 유닛(11)과, 로드 포트(13)와, 내부 버퍼(15)를 구비하고 있다. 이 기판 처리 유닛(11)은, FOUP(3)로부터 꺼내진 기판(W)에 대해서 소정의 처리를 실시한다. 소정의 처리로서는, 예를 들면, 세정 처리, 에칭 처리, 포토레지스트 제거 처리 등이 있다. 로드 포트(13)는, 기판 처리 장치(5)와 캐리어 반송 시스템(7)의 사이에서 FOUP(3)를 주고 받기 위한 것이다. 이 예에서는, 로드 포트(13)가 2대의 물리 로드 포트(R-LP1, R-LP2)를 구비하고 있다. 내부 버퍼(15)는, 기판 처리 유닛(11)과 로드 포트(13)의 사이에 배치되어, 로드 포트(13)와의 사이에서 FOUP(3)를 주고 받는 것과 함께, 기판 처리 유닛(11)과의 사이에서 FOUP(3)로부터 꺼내진 기판(W)의 주고 받기를 실시한다. 또한, 내부 버퍼(15)는, 로드 포트(13)로부터 FOUP(3)가 반입되어, 기판 처리 유닛(11)이 기판(W)을 받아들일 수 없는 상태의 경우에는, 일시적으로 FOUP(3)를 수용하거나, 로드 포트(13)가 FOUP(3)를 반출할 수 없는 상태의 경우에는, 일시적으로 FOUP(3)를 수용하거나 하는, 버퍼링으로서의 기능을 구비하고 있다.
또한, 상기의 FOUP(3)가 본 발명에 있어서의 「수납기」에 상당한다.
캐리어 반송 시스템(7)은, 기판 처리 장치(5)와, FOUP(3)를 복수 수납하여 보관하는 보관고(도시하지 않음)와의 사이, 혹은 다른 기판 처리 장치와의 사이에서 FOUP(3)를 반송하거나 하는 것이다. 캐리어 반송 시스템(7)으로서는, 예를 들면, AGV(Automatic Guided Vehicle), OHT(Overhead Hoist Transport) 등의 AMHS(Automated Material Handling Systems)를 들 수 있다. 이 실시예에서는, 일례로서 2대의 기판 처리 장치(5)의 주변에 있어서, 복수대의 OHT(17)가 주회(周回) 이동하는 구성을 채택하고 있다.
호스트 컴퓨터(9)는, 상술한 기판 처리 장치(5)와 캐리어 반송 시스템(7)의 사이에서 통신을 실시한다. 호스트 컴퓨터(9)는, 기판 처리 장치(5)의 상황에 따라서 캐리어 반송 시스템(7)에 의한 FOUP(3)의 반송을 지시한다. 여기서 말하는 「반송」이란, 기판 처리 장치(5)로의 FOUP(3)를 옮겨 넣기 위한 반송인 「반입」과, 기판 처리 장치(5)로부터 FOUP(3)를 옮겨 내기 위한 반송인 「반출」을 나타내고 있다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(5)는, 로드 포트 제어 장치(20)를 구성하는 대(對)호스트 제어부(21)와 로드 포트 관리부(23)와 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)를 구비하고 있다. 이 로드 포트 제어 장치(20)를 구성하는 이들 대호스트 제어부(21), 로드 포트 관리부(23), 대(對)캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, 일반적인 기판 처리 장치에 포함되는 것과 같은 기능을 가진다. 즉, 일반적인 기판 처리 시스템에 있어서는, 로드 포트 관리부(23)는, 기판 처리 장치(5)에 설치되는 로드 포트(13)의 물리 로드 포트(R-LP1, R-LP2) 및 내부 버퍼(15)와 접속되며, 그들과 통신하여 그들의 상태를 인식하고, 그 동작을 제어하는 등의 관리를 실시한다. 또한, 일반적인 기판 처리 시스템에 있어서는, 대호스트 제어부(21)는, 호스트 컴퓨터(9)와 접속되며, 로드 포트 관리부(23)가 인식하는 물리 로드 포트(R-LP1, R-LP2) 상태를 참조하여, 호스트 컴퓨터(9)에 대해서 FOUP(3)의 반입 요구 등의 통신을 실시한다. 또한, 일반적인 기판 처리 시스템에 있어서는, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, 캐리어 반송 시스템(7)과 접속되며, 로드 포트 관리부(23)가 인식하는 물리 로드 포트(R-LP1, R-LP2) 상태 등을 참조하여, 캐리어 반송 시스템(7)과의 사이의 FOUP(3)의 반입 동작 제어와 관계되는 통신(후술하는 CS 신호 등)을 실시한다.
그리고, 본 실시 형태에 있어서는, 전술하는 일반적인 기판 처리 시스템과는 달리, 이들 대호스트 제어부(21)와 호스트 컴퓨터(9)의 사이, 및 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)와 캐리어 반송 시스템(7)의 사이에, 가상 로드 포트 제어장치(19)가 삽입 접속된다. 즉, 본 실시 형태의 기판 처리 시스템(1)은, 일반적인 기판 처리 장치와 호스트 컴퓨터(9) 및 캐리어 반송 시스템(7)의 사이에, 가상 로드 포트 제어 장치(19)를 나중에 붙여 삽입시켜 구성한 것이다. 여기에서는 나중에 붙여 접속한 가상 로드 포트 제어 장치(19)도 기판 처리 장치(5)에 포함되는 것으로 한다.
로드 포트 제어 장치(19)는, 두 개의 물리 로드 포트(R-LP1, R-LP2)의 각각에 대해서, 복수개의 가상 로드 포트를 할당한다. 그리고, 캐리어 반송 시스템(7)과, 호스트 컴퓨터(9)에 대해서 복수개의 가상 로드 포트를 복수개의 물리 로드 포트로서 취급하게 한다. 바꾸어 말하면, 가상 로드 포트 제어 장치(19)는, 캐리어 반송 시스템(7)과, 호스트 컴퓨터(9)에 대해서, 실재하는 두 개의 물리 로드 포트(R-LP1, R-LP2)보다 많은 물리 로드 포트가 존재하는 것처럼 보이도록 신호처리 및 통신을 실시한다.
또한, 기판 처리 장치(5)의 대호스트 제어부(21)와, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)에 대해서는, 실재하는 것보다도 많은 물리 로드 포트가 있는 것처럼 동작하는 호스트 컴퓨터(9) 및 캐리어 반송 시스템(7)의 동작에 대해서, 그 대응을, 실재하는 두 개의 물리 로드 포트(R-LP1, R-LP2)에 할당한다. 구체적으로는, 가상 로드 포트 제어 장치(19)는, 대(對)호스트 제어부(27)와, 가상 로드 포트 관리부(29)와, 대(對)캐리어 반송 시스템 제어부(31)를 구비하고 있다. 가상 로드 포트 관리부(29)는, 변환 테이블 기억부(33)를 구비하고 있다. 변환 테이블 기억부(33)는, 물리 로드 포트와 가상 로드 포트와의 대응 관계를 규정한 「변환 테이블」을 미리 기억한다. 이 변환 테이블은, 설정부(35)에 따라서 오퍼레이터에 의해 적당히 설정된다.
대호스트 제어부(27)는, 로드 포트 관리부(23)로부터의 물리 로드 포트(R-LP1, R-LP2)에 관한 통지를 받아, 가상 로드 포트 관리부(29)의 정보를 참조해서 이러한 물리 로드 포트에 할당되어 있는 가상 로드 포트에 관한 통지로 변환하여, 호스트 컴퓨터(9)로 송신한다.
대캐리어 반송 시스템 제어부(31)는, 캐리어 반송 시스템(7)으로부터의 가상 로드 포트(V-LP1~V-LP4)에 관한 통지를 받아, 가상 로드 포트 관리부(29)의 정보를 참조해서 이러한 가상 로드 포트가 할당되어 있는 물리 로드 포트에 관한 통지로 변환하여, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)으로 송신하고, 혹은 반대로 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)로부터의 물리 로드 포트(R-LP1, R-LP2)에 관한 통지를 받아, 가상 로드 포트 관리부(29)의 정보를 참조해서 이러한 물리 로드 포트에 할당되어 있는 가상 로드 포트에 관한 통지로 변환하여, 캐리어 반송 시스템(7)으로 송신한다.
<A：반입 처리>
다음으로, 도 3~도 13, 도 26을 참조하여, 상술한 기판 처리 시스템(1)에 의한 FOUP(3)의 「반입」의 흐름에 관하여 설명한다.
또한, 도 3은, 반입 처리시에 있어서의 시퀀스를 나타낸 타임 차트이다. 또한, 도 4~도 13은, 반입 처리시의 과정을 나타내는 모식도이고, 도 4는, 호스트 컴퓨터로의 통지를 나타내는 것이며, 도 5는, 호스트 컴퓨터의 반송 지시를 나타내는 것이며, 도 6은, 캐리어 반송 시스템의 이동을 나타내는 것이며, 도 7은, 캐리어 반송 시스템에 의한 반입 개시를 나타내는 것이며, 도 8은, 로드 포트의 대응시키기를 나타내는 것이며, 도 9는, 가상 로드 포트 상태 변화의 보고를 나타내는 것이며, 도 10은, 반입 접수를 나타내는 것이며, 도 11은, 캐리어 반송 시스템의 이동을 나타내는 것이며, 도 12는, FOUP의 내부 버퍼로의 이동을 나타내는 것이며, 도 13은, 반입 상황의 보고를 나타내는 것이며, 도 26은, 반입 처리시에 있어서의 각 부 사이의 신호 등의 교환을 나타내는 모식도이다.
이하의 설명에 있어서는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 물리 로드 포트(R-LP1)가 두 개의 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)에 대응지어지고, 물리 로드 포트(R-LP2)가 두 개의 가상 로드 포트(V-LP3, V-LP4)에 대응지어져 있는 것으로 한다. 이 대응 관계는, 상술한 변환 테이블 기억부(33)의 변환 테이블에 규정되어 있다. 또한, 여기에서는, 두 개의 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)가 반입용으로 설정되어 있는 것으로 하여, 이하의 설명에 있어서는, 이해를 용이하게 하기 위해서 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)에 관해서만 설명한다.
1. 기판 처리 장치(5)는, 호스트 컴퓨터(9)에 대해서, 두 개의 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)의 반입이 가능한지 아닌지에 관하여 통지한다(도 4). 구체적으로는, 가상 로드 포트 제어 장치(19)의 대호스트 제어부(27)가 가상 로드 포트 관리부(29)를 참조하여, 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)라는 로드 포트가 반입 가능하다는 것을 호스트 컴퓨터(9)로 통지한다.
더욱 상세하게 설명하면, 우선, 물리 로드 포트(R-LP1)를 관리하는 로드 포트 관리부(23)가, 물리 로드 포트(R-LP1)의 상태를 「반입 가능」이라고 인식한다. 이에 따라서 대호스트 제어부(21)가 로드 포트 관리부(23)의 인식을 참조하여, 「반입 가능」의 통지를 출력한다. 이 출력은, 종래의 일반적인 구성이라면, 호스트 컴퓨터(9)에 직접 송신되었던 것이다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 대호스트 제어부(21)가 출력한 「반입 가능」의 통지는, 가상 로드 포트 제어부(19)의 대호스트 제어부(27)로 송신된다. 대호스트 제어부(27)는, 이 통지를 받고, 내부의 변환 테이블 기억부(33)가 기억하고 있는 변환 테이블을 참조하여, 「반입 가능」이라고 통지된 물리 로드 포트(R-LP1)가 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)와 대응지어져 있음을 인식한다. 그리고, 가상 로드 포트 관리부(29)는, 「반입 가능」이라고 통지된 물리 로드 포트(R-LP1)에 대신하여, 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)의 양쪽을 「반입 가능」이라고 취급하도록, 대호스트 제어부(27)에 통지한다. 대호스트 제어부(27)는, 이러한 통지에 근거하여, 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)의 양쪽이 「반입 가능」이라고, 호스트 컴퓨터(9)에게 통지한다.
2. 상기의 통지를 받은 호스트 컴퓨터(9)는, 캐리어 반송 시스템(7)에 대해서, 기판 처리 장치(5)에서 처리해야 할 2개의 FOUP(3)에 관하여, 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)의 양쪽에 각각 반입의 지시를 실시한다(도 5).
3. 캐리어 반송 시스템(7)은, 앞공정의 기판 처리 장치 혹은 보관고로부터 제1, 제2의 FOUP(3)를 꺼내고, 제1의 FOUP(3)를 제1의 OHT(17)가 보유하고, 또한 제2의 FOUP(3)를 제2의 OHT(17)가 보유하여, 각각 반입 지시를 실시한 기판 처리 장치(5)를 향해 이동을 개시한다. 여기에서는, 제1의 OHT(17), 제2의 OHT(17) 모두 같은 기판 처리 장치(5)에 반입하는 것으로 하여, 제1의 OHT(17)가 기판 처리 장치(5)에」대해 가장 빨리 도달하는 위치에 있고, 제2의 OHT(17)가 그것보다 늦게 기판 처리 장치(5)에 도착하는 위치에 있는 것으로 한다.
4. 제1의 OHT(17)가 이동하여 기판 처리 장치(5)에 도달하면, 캐리어 반송 시스템(7)은, 가상 로드 포트(V-LP1)로 제1의 FOUP(3)를 반입하는 것을 기판 처리 장치(5)에 대해서 통지한다(도 7). 구체적으로는, 캐리어 반송 시스템(7)은, CS_0 신호를 ON으로 하고, 또한 반송 개시를 나타내는 VALID 신호를 ON으로 하여, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)에 송신한다. 또한, CS 신호는, 로드 포트의 지정을 위해서 이용되는 캐리어·스테이지 신호이며, SEMI 규격 E84에서 규정되어 있다.
5. 기판 처리 장치(5)는, 캐리어 반송 시스템(7)으로부터 받은 CS_0 신호(가상 로드 포트(V-LP1)를 나타낸다)와 변환 테이블을 참조하여, 가상 로드 포트(V-LP1)를 대응하는 하나의 물리 로드 포트(R-LP1)에 대응시킨다(도 8). 구체적으로는, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)가 받은 신호에 근거하여 가상 로드 포트 관리부(29)가 대응시키기를 실시한다.
6-1. 기판 처리 장치(5)는, 가상 로드 포트(V-LP1)로의 반입이 개시된 것을, 호스트 컴퓨터(9)에게 상태 변화가 있었다고 하여 보고한다(도 9). 구체적으로는, 가상 로드 포트 관리부(29)가 대호스트 제어부(27)을 개재하여, 호스트 컴퓨터(9)에 보고를 실시한다.
6-2. 보고를 받은 호스트 컴퓨터(9)는, 가상 로드 포트(V-LP1)에 있어서 반입이 개시되었음을 인식한다(도 9).
7. 기판 처리 장치(5)는, 캐리어 반송 시스템(7)이 가상 로드 포트(V-LP1)를 향해서 반송해 온 제1의 FOUP(3)를 물리 로드 포트(R-LP1)에 받아들이기 위해서, 물리 로드 포트(R-LP1)에 대해서 받아들임을 지시하는 것과 함께, 캐리어 반송 시스템(7)에 대해서 반입 요구를 실시한다(도 10). 구체적으로는, 가상 로드 포트 관리부(29)가 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)을 통하여, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)에 대해서 물리 로드 포트(R-LP1)로의 반입을 통신 지시한다. 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는, 이러한 통신을 받아 로드 포트 관리부(23)에 대해서 물리 로드 포트(R-LP1)로의 반입 동작을 지시하는 것과 함께, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)에 대해서 물리 로드 포트(R-LP1)로의 「반입 개시」를 요구한다. 또한, 이러한 요구 신호는, 종래의 기판 처리 시스템이라면, 캐리어 반송 시스템(7)으로 송신된 것이지만, 본 발명에서는, 가상 로드 포트 제어부(19)의 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)로 송신된다.
대캐리어 반송 시스템 제어부(31)는, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)로부터의 이러한 「반입 개시」의 요구 신호가, 상기 4에서 캐리어 반송 시스템(7)으로부터 받은, 가상 로드 포트(V-LP1)로의 제1의 FOUP(3)의 반입 통지에 따른 것임을 인식할 수 있다. 그리고, 이러한 인식에 근거하여, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)는, 이러한 「반입 개시」의 요구 신호를, 가상 로드 포트(V-LP1)로의 「반입 개시」요구라고 하여, 캐리어 반송 시스템(7)에 송신한다. 이러한 요구 신호로서, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)는, 캐리어 반송 시스템(7)에 대해서 L_REQ 신호를 ON 한다. 또한, L_REQ는, 로드·리퀘스트이며, 반입의 요구를 나타내고 있다.
8. 캐리어 반송 시스템(7)은, 제1의 OHT(17)가 보유하고 있는 제1의 FOUP(3)를, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)로부터의 「반입 개시」요구에 따라 가상 로드 포트(V-LP1)를 향해서 반송하는 동작을 실시한다. 여기서, 캐리어 반송 시스템(7)에는, 이때의 반송처인 가상 로드 포트(V-LP1)의 위치 정보로서, 물리 로드 포트(R-LP1)의 현실의 위치가 설정되어 있으며, 캐리어 반송 시스템(7)에 의한 가상 로드 포트(V-LP1)로의 반송은, 실제로는, 물리 로드 포트(R-LP1)로의 반송으로서 실행되게 된다(도 11).
9. 기판 처리 장치(5)는, 물리 로드 포트(R-LP1)로 반입된 제1의 FOUP(3)를 내부 버퍼(15)의 적당한 위치로 반송한다(도 12).
10. 기판 처리 장치(5)는, 상술한 반입 과정에 있어서, 물리 로드 포트(R-LP1)로의 제1의 FOUP(3)의 반입 완료를, 가상 로드 포트(V-LP1)의 반입 완료로서 호스트 컴퓨터(9)에 대해서 보고한다(도 13). 구체적으로는, 로드 포트 관리부(23)가 물리 로드 포트(R-LP1)의 상황을 인식하고, 대호스트 제어부(21), 대호스트 제어부(27)을 통하여, 호스트 컴퓨터(9)에 보고한다.
이때, 대호스트 제어부(21)는, 로드 포트 관리부(23)로부터의 물리 로드 포트(R-LP1)로의 「반입 완료」 보고를 대호스트 제어부(27)에 보고한다. 대호스트 제어부(27)는, 대호스트 제어부(21)로부터의 이러한 「반입 완료」 보고가, 상기 6에서 가상 로드 포트 관리부(29)로부터 받은, 가상 로드 포트(V-LP1)로의 제1의 FOUP(3)의 반입 개시 통지에 따른 것이라는 것을 인식할 수 있다. 그리고, 이러한 인식에 근거하여, 대호스트 제어부(27)는, 이러한 「반입 완료」의 보고를, 가상 로드 포트(V-LP1)로의 「반입 완료」 보고라고 하여, 호스트 컴퓨터(9)에 송신한다.
또한, 상기 9에 의한 물리 로드 포트(R-LP1)로 반입된 제1의 FOUP(3)가 내부 버퍼(15)로 반송되면, 물리 로드 포트(R-LP1)가 다시 FOUP(3)를 받아들이는 것이 가능한 상태가 되므로, 상기 1과 마찬가지로, 로드 포트 관리부(23)가, 물리 로드 포트(R-LP1) 상태를 「반입 가능」으로 인식한다. 이에 따라 대호스트 제어부(21)가 로드 포트 관리부(23)의 인식을 참조하여, 「반입 가능」의 통지를 가상 로드 포트 제어부(19)의 대호스트 제어부(27)로 송신한다. 대호스트 제어부(27)는 이것을 받아서, 상기 「반입 완료」 보고와 마찬가지로, 가상 로드 포트(V-LP1)가 「반입 가능」이 되었다고 인식하여, 이것을 호스트 컴퓨터(9)에게 통지한다. 이러한 「반입 가능」 통지는, 내부 버퍼(15)로의 FOUP(3)의 반송의 타이밍에 따라서는, 상기의 「반입 완료」 보고의 직후이거나 또는 약간 늦게 이루어지게 된다. 또한 가상 로드 포트(V-LP2)가 「반입 가능」인 것은 이미 상기 1에서 통지되어, 거기에 대응하는 제2의 OHT(17)가 이미 제2의 FOUP(3)의 반송을 개시하고 있으므로, 여기에서는 가상 로드 포트(V-LP2)에 관한 새로운 통지는 실시되지 않는다.
11. 제1의 OHT(17)보다 조금 늦게 제2의 OHT(17)가 기판 처리 장치(5)에 도착하면, 상기 4와 마찬가지로, 캐리어 반송 시스템(7)은 가상 로드 포트(V-LP2)로 제2의 FOUP(3)를 반입하는 것을 기판 처리 장치(5)에 대해서 통지한다. 구체적으로는, 캐리어 반송 시스템(7)은, CS_1(가상 로드 포트(V-LP2)를 나타낸다)을 ON으로 하고, 또한 반송 개시를 나타내는 VALID 신호를 ON으로 하여, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)로 송신한다. 이하, 상기와 마찬가지로, 가상 로드 포트(V-LP2)로의 반입으로서, 물리 로드 포트(R-LP1)로의 반입이 실시된다.
또한, 만약 상기 2의 시점에 있어서, 기판 처리 장치(5)에서 처리해야 할 FOUP(3)가 제1의 FOUP(3)의 하나밖에 없는 경우에는, 호스트 컴퓨터(9)는 가상 로드 포트(V-LP1)로의 반송 지시는 실시하지만, 가상 로드 포트(V-LP2)로의 반송의 지시는 바로 실시하지 않고, 처리해야 할 제 2의 FOUP(3)의 준비가 되는 것을 기다리게 된다.
이러한 실시 형태에 의하면, 1개의 물리 로드 포트(V-LP1)에 대해서 2개의 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)를 할당하고, 그 2개의 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)의 양쪽이 「반입 가능」이라고 하여, 각각에 대해 동시에 2대의 OHT(17)를 움직여 반송 동작을 실시할 수 있으므로, 1개의 물리 로드 포트(R-LP1)에 대해서 1대의 OHT(17)만으로 반송 동작을 하고 있던 경우에 비해 단위시간당 반송 가능한 FOUP(3)의 개수를 증대시킬 수 있으며, 바꾸어 말하면, 1개의 FOUP(3)당의 반송에 필요한 시간을 단축할 수 있다.
또한, 도 26으로부터도 분명한 바와 같이, 가상 로드 포트 제어 장치(19)는, 기판 처리 장치(5)가 원래 구비하고 있는 대호스트 제어부(21) 및 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)에 대해서는 물리 로드 포트(R-LP1)에 관한 신호만을 취급하고, 호스트 컴퓨터(9) 및 캐리어 반송 시스템(7)에 대해서는 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)에 관한 신호만을 취급한다. 즉, 가상 로드 포트 제어 장치(19)는, 기판 처리 장치(5)와 호스트 컴퓨터(9) 및 캐리어 반송 시스템(7)와의 사이에 있어, 물리 로드 포트(R-LP1)와 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)와의 대응시키기와 신호의 변환을 실시하고 있다. 따라서, 종래의 기판 처리 장치(5)와 호스트 컴퓨터(9) 및 캐리어 반송 시스템(7)의 하드웨어, 소프트웨어의 구성은 전혀 변경하는 일 없이, 그들 사이에 가상 로드 포트 제어 장치(19)를 삽입하는 것만으로, 본 발명에 의한 제어를 용이하게 실시할 수 있으며, 또한 가상 로드 포트 제어 장치(19)를 떼어내는 것만으로, 용이하게 종래의 기판 처리 시스템의 구성으로 되돌릴 수도 있다.
또한, 가상 로드 포트(V-LP2)는, 같은 물리 로드 포트(R-LP1)에 대응지어진 다른 가상 로드 포트이다. 상술한 반입 과정에 있어서, 캐리어 반송 시스템(7)의 OHT(17)가 하나의 FOUP(3)를 반송하기 위해서, 기판 처리 장치(5)로 이동을 개시한 시점부터, 그 FOUP(3)가 하나의 가상 로드 포트(V-LP1)에 대응하는 물리 로드 포트(R-LP1)에 실제로 올려 놓여질 때까지는, 또 하나의 가상 로드 포트인 가상 로드 포트(V-LP2)로의 반입이 가능하다고, 가상 로드 포트 제어 장치(19)는, 호스트 컴퓨터(9)에 보고한다. 또한, 하나의 가상 로드 포트(V-LP1)에 대응하는 물리 로드 포트(R-LP1)로부터 내부 버퍼(15)로 FOUP(3)가 반송되기 시작한 시점에서, 가상 로드 포트(V-LP1)에 대응하는 물리 로드 포트(R-LP1)에 대응지어져 있는, 가상 로드 포트(V-LP1)와는 다른 여타의 가상 로드 포트(V-LP2)로의 반입이 가능하다고 호스트 컴퓨터(9)에 보고한다.
따라서, 호스트 컴퓨터(9)는, 상기의 기간에 있어서, 캐리어 반송 시스템(7)에 대해서, 가상 로드 포트(V-LP2)를 나타내는 CS_1 신호를 ON으로 하여, 같은 물리 로드 포트(R-LP1)로의 반입 지시를 실시할 수 있다. 따라서, 반입시에 종래에는 점유되고 있던 기간에 있어서도, 호스트 컴퓨터(9)가 반입의 지시를 실시할 수 있다. 따라서, 효율적인 반입 처리를 실시할 수 있다.
또한, 상기의 예에서는, 가상 로드 포트(V-LP1)로 반송된 앞의(제1의) FOUP(3)의 반송이 완료하여, 내부 버퍼(15)로 받아들여지고, 그 후, 동일한 물리 로드 포트(R-LP1)에 할당된 가상 로드 포트(V-LP2)로 다음의(제2의) FOUP(3)가 반입된다. 따라서, 동일한 물리 로드 포트(R-LP1)로의 반입에서 문제가 생기는 일은 없다. 만일, 앞의(제1의) FOUP(3)가 받아들여지는데 시간을 필요로 하고, 다음의(제2의) FOUP(3)가 동일한 물리 로드 포트(R-LP1)에 도착했을 경우에는, 그 장소에서 다음의(제2의) FOUP(3)를 대기시키게 된다. 이 제어는, 예를 들면, 다음과 같은 처리를 실시하는 것으로 실현 가능하다. 즉, 상기 4에서, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)에 대해서 캐리어 반송 시스템(7)으로부터 가상 로드 포트(V-LP1)로의 제1의 FOUP(3)의 반입 개시 통지가 입력된 후에는, 그 직후에 계속해서 다른 가상 로드 포트(V-LP2)로의 제2의 FOUP(3)의 반입 개시 통지가 입력되었다고 해도, 그 제2의 FOUP(3)의 반입 개시 통지에 대해서는, 다음의 5의 단계로 옮기지 않고 보류해 둔다. 그리고, 제1의 FOUP(3)에 관한 상기 10의 단계의 물리 로드 포트(R-LP1)로의 「반입 완료」 통지가 대호스트 제어부(27)로 송신되었을 때에 대호스트 제어부(27)로부터 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)로 통지하여 이 보류 상태를 해제하면 된다. 혹은, 다른 처리로서, 상기 4에서, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)에 대해서 캐리어 반송 시스템(7)으로부터 가상 로드 포트(V-LP1)로의 제1의 FOUP(3)의 반입 개시 통지가 입력된 후에는, 그 시점으로부터 소정 시간(예를 들면, 로드 포트(13)로부터 내부 버퍼(15)로의 반송을 충분히 실시할 수 있는 시간)만큼은 다른 가상 로드 포트(V-LP2)로의 반입 개시 통지가 입력되었다고 해도, 그 반입 개시 통지는 다음의 5의 단계로 옮기지 않고 보류해 둔다는 것도 생각할 수 있다.
그리고, 이와 같이 다음의 FOUP(3)의 반입 개시를 보류했다고 해도, 종래의 기판 처리 시스템과 같이 내부 버퍼(15)에 FOUP(3)가 받아들여져 물리 로드 포트(R-LP1)가 다음의 반입을 받게 되게 되고 나서 다음의(제2의) FOUP(3)의 반송 지시를 실시하는 것과 비교하면, 본 발명에서는 일찍부터 다음의(제2의) FOUP(3)의 반송을 개시하고 있으므로, 이러한 대기가 생겨도 종래보다 효율적인 반송을 실시할 수 있다.
<B: 반출 처리>
다음으로, 도 14~도 25, 도 27을 참조하여, 상술한 기판 처리 시스템(1)에 의한 FOUP(3)의 반출의 흐름에 관하여 설명한다.
또한, 도 14는, 반출 처리시에 있어서의 시퀀스를 나타낸 타임 차트이다. 또한, 도 15~도 25는, 반출 처리시의 과정을 나타내는 모식도이고, 도 15는, 호스트 컴퓨터로부터의 반출 지시를 나타내는 것이며, 도 16은, 호스트 컴퓨터로의 반출 가능의 통지를 나타내는 것이며, 도 17은, 호스트 컴퓨터로부터의 반출의 지시를 나타내는 것이며, 도 18은, 캐리어 반송 시스템의 이동을 나타내는 것이며, 도 19는, 캐리어 반송 시스템에 의한 반출 개시를 나타내는 것이며, 도 20은, 로드 포트의 대응시키기를 나타내는 것이며, 도 21은, 가상 로드 포트 상태 변화의 보고를 나타내는 것이며, 도 22는, 전달을 나타내는 것이며, 도 23은, 캐리어 반송 시스템에의 반송 요구를 나타내는 것이며, 도 24는, 캐리어 반송 시스템에 의한 FOUP의 반출을 나타내는 것이며, 도 25는, 반출 상황의 보고를 나타내는 것이며, 도 27은, 반출 처리시에 있어서의 각 부사이의 신호 등의 교환을 나타내는 모식도이다.
이하의 설명에 있어서는, 도 15에 나타내는 바와 같이, 물리 로드 포트(R-LP1)가 두 개의 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)에 대응지어지고, 물리 로드 포트(R-LP2)가 두 개의 가상 로드 포트(V-LP3, V-LP4)에 대응지어져 있는 것으로 한다. 또한, 여기에서는, 두 개의 가상 로드 포트(V-LP3, V-LP4)가 반출용으로 설정되어 있는 것으로 한다. 이하의 설명에 있어서는, 이해를 용이하게 하기 위해서, 가상 로드 포트(V-LP3, V-LP4)에 관해서만 설명한다.
1. 호스트 컴퓨터(9)는, 기판 처리 장치(5)에 처리필의 기판(W)을 수납한 FOUP(3)의 전달을 지시한다(도 15). 여기에서는, 예를 들면, 기판 처리 장치(5)의 내부 버퍼(15)에 수용되어 있는 처리필의 FOUP(3)를, 순서대로 도시하지 않는 다음 공정의 기판 처리 장치 혹은 FOUP(3)의 보관고로 전달하도록 지시했다고 한다. 이러한 지시는, 대호스트 제어부(27) 및 대호스트 제어부(21)를 경유하여 로드 포트 관리부(23)로 전해진다(도 27에서는 도시 생략).
2. 기판 처리 장치(5)는, 지정된 FOUP(3)의 물리 로드 포트(R-LP2)로 전달이 가능하게 되면, 실제로는 전달을 실시하는 일 없이, 반출 가능하다는 것을 호스트 컴퓨터(9)에게 통지한다(도 16).
더욱 상세하게 설명하면, 우선, 반출용의 물리 로드 포트(R-LP2)를 관리하는 로드 포트 관리부(23)가, 물리 로드 포트(R-LP2) 및 내부 버퍼(15) 상태를 확인한다. 그리고, 호스트 컴퓨터(9)로부터의 지시에 대응하여, 내부 버퍼(15) 내에 수납되어 있는 처리필의 FOUP(3a, 3b)가 물리 로드 포트(R-LP2)로부터 「반출 가능」임을 인식한다. 이에 근거해서 대호스트 제어부(21)가 로드 포트 관리부(23)의 인식을 참조하여, 물리 로드 포트(R-LP2)로부터 FOUP(3a, 3b)가 「반출 가능」의 통지를 출력한다. 이 출력은, 종래의 일반적인 구성이면, 호스트 컴퓨터(9)에 직접 송신되고 있던 것이다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 대호스트 제어부(21)가 출력한 「반출 가능」의 통지는, 가상 로드 포트 제어부(19)의 대호스트 제어부(27)로 송신된다. 대호스트 제어부(27)는 이를 받아, 가상 로드 포트 관리부(29)로 송신하여 통지한다. 가상 로드 포트 관리부(29)는 이 통지를 받고, 내부의 변환 테이블 기억부(33)가 기억하고 있는 변환 테이블을 참조하여, 「반출 가능」이라고 통지된 물리 로드 포트(R-LP2)가 가상 로드 포트(V-LP3, V-LP4)와 대응지어져 있음을 인식한다. 그리고, 가상 로드 포트 관리부(29)는, 「반출 가능」이라고 통지된 물리 로드 포트(R-LP2)에 대신하여, 가상 로드 포트(V-LP3, V-LP4)의 양쪽으로부터, FOUP(3a, 3b)를 「반출 가능」이라고 취급하도록, 대호스트 제어부(27)에 통지한다. 대호스트 제어부(27)는, 이러한 통지에 근거하여, 가상 로드 포트(V-LP3, V-LP4)의 양쪽으로부터, FOUP(3a, 3b)가 「반출 가능」이라고, 호스트 컴퓨터(9)에게 통지한다.
3. 호스트 컴퓨터(9)는, 캐리어 반송 시스템(7)에 대해서, 지시받은 FOUP(3a, 3b)의 인수를 실시하기 위한 반송을 지시한다(도 17).
4. 캐리어 반송 시스템(7)은, 반출하기 위해서, 지정된 FOUP(3a, 3b)를 가지는 기판 처리 장치(5)로 2대의 OHT(17a, 17b)를 이동한다(도 18). 여기서, OHT(17a)는 FOUP(3a)를 가상 로드 포트(V-LP3)로부터, OHT(17b)는 FOUP(3b)를 가상 로드 포트(V-LP4)로부터, 각각의 반출을 담당하는 것으로 한다. 여기서, 캐리어 반송 시스템(7)에는, 이때의 반송처인 가상 로드 포트(V-LP3, V-LP4)의 위치 정보로서, 대응하는 물리 로드 포트(R-LP2)의 현실의 위치가 설정되어 있으며, 캐리어 반송 시스템(7)의 OHT(17a, 17b)의 이동은, 실제로는, 물리 로드 포트(R-LP2)로의 이동으로서 실행되게 된다.
5. FOUP(3a)를 반출할 예정의 OHT(17a)가 이동하여 기판 처리 장치(5)의 가상 로드 포트(V-LP3)(물리 로드 포트(R-LP2))에 도착하면, 캐리어 반송 시스템(7)은, 가상 로드 포트(V-LP3)로부터의 반출을 개시하기 위해서, 가상 로드 포트(V-LP3)를 나타내는 CS_0 신호를 ON 하고, VALID 신호(반송 개시)를 ON 한다(도 19). 이들 신호는, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)를 통하여, 가상 로드 포트 관리부(29)가 수신한다.
6. 기판 처리 장치(5)는, CS_0 신호를 받아, 가상 로드 포트(V-LP3)를 특정한다(도 20). 구체적으로는, 가상 로드 포트 관리부(29)가 가상 로드 포트(V-LP3)를 특정한다.
7-1. 기판 처리 장치(5)는, 가상 로드 포트(V-LP3)에서의 반출이 개시되었으므로, 호스트 컴퓨터(9)에게 가상 로드 포트(V-LP3) 상태 변화를 보고한다(도 21). 구체적으로는, 가상 로드 포트 관리부(29)가 대호스트 제어부(27)를 통하여 호스트 컴퓨터(9)에게 보고를 실시한다.
7-2. 보고를 받은 호스트 컴퓨터(9)는, 가상 로드 포트(V-LP3)에서의 반송이 개시되었음을 인식한다(도 21).
8. 기판 처리 장치(5)는, 지시받은 FOUP(3a)를 가상 로드 포트(V-LP3)로 전달한다(도 22). 실제로는, 가상 로드 포트(V-LP3)가 물리 로드 포트(R-LP2)에 대응지어져 있으므로, 물리 로드 포트(R-LP2)로 FOUP(3a)를 전달하게 된다. 구체적으로 설명하면, 상기 6에 있어서 가상 로드 포트(V-LP3)를 특정한 가상 로드 포트 관리부(29)는, 변환 테이블 기억부(33)가 기억하고 있는 변환 테이블에 의해, 특정한 가상 로드 포트(V-LP3)가 물리 로드 포트(R-LP2)와 대응하고 있음을 인식하고, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)에 대해서 물리 로드 포트(R-LP2)로부터의 반출을 지시한다. 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)는 이러한 지시를 받아, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)에 대해서 물리 로드 포트(R-LP2)로부터의 반출을 통신 지시한다. 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)는 이러한 통신을 받아 로드 포트 관리부(23)에 대해서 물리 로드 포트(R-LP2)에의 FOUP(3a)의 반출 동작을 지시하는 것과 함께, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)에 대해서 물리 로드 포트(R-LP2)로부터의 「반출 개시」를 요구한다. 또한, 이러한 요구 신호는, 종래의 기판 처리 시스템이라면, 캐리어 반송 시스템(7)으로 송신된 것이지만, 본 발명에서는 가상 로드 포트 제어부(19)의 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)로 송신된다. 로드 포트 관리부(23)는 이러한 지시에 근거하여, 내부 버퍼(15)에 격납되어 있는 FOUP(3a)를 물리 로드 포트(R-LP2)로 전달하는 동작을 실시한다.
9. 기판 처리 장치(5)는, 캐리어 반송 시스템(7)에 대해서 반송 요구를 나타내는 신호를 ON 한다(도 23). 구체적으로는, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)는, 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)로부터의 상기 물리 로드 포트(R-LP2)로부터의 「반출 개시」의 요구 신호가, 상기 5에서 캐리어 반송 시스템(7)으로부터 받은, 가상 로드 포트(V-LP3)로부터의 FOUP(3a)의 반출 통지에 따른 것임을 인식할 수 있다. 그리고, 이러한 인식에 근거하여, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)는, 이러한 「반출 개시」의 요구 신호를, 가상 로드 포트(V-LP3)로부터의 「반출 개시」 요구라고 하여, 캐리어 반송 시스템(7)으로 송신한다. 이러한 요구 신호로서 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)는, 캐리어 반송 시스템(7)에 대해서 U_REQ 신호를 ON 한다. 이 U_REQ 신호는, 언로드·리퀘스트를 의미한다.
10. 캐리어 반송 시스템(7)은, 가상 로드 포트(V-LP3)로부터 FOUP(3a)를 반출한다(도 24). 실제로는, 가상 로드 포트(V-LP3)가 물리 로드 포트(R-LP2)에 대응하고 있으므로, 물리 로드 포트(R-LP2)로부터 FOUP(3a)를 반출한다.
11. 기판 처리 장치(5)는, 상술한 반출 과정에 있어서, 가상 로드 포트(V-LP3)에 있어서 반출이 실시된 것을 호스트 컴퓨터(9)에 대해서 보고한다(도 25). 구체적으로는, 로드 포트 관리부(23)가 물리 로드 포트(R-LP2)의 상황을 인식하고, 대호스트 제어부(21), 대호스트 제어부(27)를 통하여, 호스트 컴퓨터(9)에 대해서 보고를 실시한다.
이때, 대호스트 제어부(21)는, 로드 포트 관리부(23)로부터의 물리 로드 포트(R-LP2)로부터의 「반출 완료」 보고를 대호스트 제어부(27)에 보고한다. 대호스트 제어부(27)는, 대호스트 제어부(21)로부터의 이러한 「반출 완료」 보고가, 상기 7에서 가상 로드 포트 관리부(29)로부터 받은, 가상 로드 포트(V-LP3)로부터의 FOUP(3a)의 반출 개시 통지에 따른 것임을 인식할 수 있다. 그리고, 이러한 인식에 근거하여, 대호스트 제어부(27)는, 이러한 「반출 완료」의 보고를, 가상 로드 포트(V-LP3)로부터의 「반출 완료」 보고라고 하여, 호스트 컴퓨터(9)로 송신한다.
그리고, 그 후, 처리가 완료한 기판(W)을 수납한 다음의 FOUP(3c)가 내부 버퍼(15)로 반송되면, 물리 로드 포트(V-LP2)가 다시 반출 가능한 상태가 된다. 즉, 물리 로드 포트(R-LP2)에 대응하는 가상 로드 포트(V-LP3)가 다시 반출 가능한 상태가 되므로, 상기 2와 마찬가지로, 로드 포트 관리부(23)가, 물리 로드 포트(R-LP2) 상태를 「반출 가능」이라고 인식한다. 이에 따라 대호스트 제어부(21)가 로드 포트 관리부(23)의 인식을 참조하여, 「반출 가능」의 통지를 가상 로드 포트 제어 장치(19)의 대호스트 제어부(27)로 송신한다. 대호스트 제어부(27)는 이것을 받아, 상기 「반출 완료」 보고와 마찬가지로, 가상 로드 포트(V-LP3)가 「반출 가능」이 되었다고 인식하여, 이것을 호스트 컴퓨터(9)에게 통지한다. 이러한 「반출 가능」 통지는, 내부 버퍼(15)로의 FOUP(3c)의 반송의 타이밍에 따라서는, 상기의 「반출 완료」 보고의 직후이거나 또는 약간 늦게 이루어지게 된다. 또한, 가상 로드 포트(V-LP4)가 「반출 가능」인 것은 이미 상기 2에서 통지되어, 그에 대응하는 OHT(17b)가 이미 FOUP(3b)를 반출하기 위해서 기판 처리 장치(5)를 향해 이동을 개시하고 있으므로, 여기에서는 가상 로드 포트(V-LP4)에 관한 새로운 통지는 실시되지 않는다.
12. OHT(17a)보다 조금 늦게 OHT(17b)가 기판 처리 장치(5)에 도착하면, 상기 4와 마찬가지로, 캐리어 반송 시스템(7)은 가상 로드 포트(V-LP4)로부터 FOUP(3b)를 반출하는 것을 기판 처리 장치(5)에 대해서 통지한다. 구체적으로는, 캐리어 반송 시스템(7)은, CS_1(가상 로드 포트(V-LP4)를 나타낸다)을 ON으로 하고, 또한 반송 개시를 나타내는 VALID 신호를 ON으로 하여, 대캐리어 반송 시스템 제어부(31)로 송신한다. 이하, 상기와 마찬가지로, 가상 로드 포트(V-LP4)로부터의 반출로서, 물리 로드 포트(R-LP2)로부터의 반출이 실시된다.
또한, 가상 로드 포트(V-LP4)는, 같은 물리 로드 포트(R-LP2)에 대응지어진 다른 가상 로드 포트이다. 상술한 반출 과정에 있어서, 만약, 상기 반출 처리의 1의 단계에 있어서, 내부 버퍼(15) 내에 수납되어 있는 처리필의 FOUP가 FOUP(3a)뿐이었을 경우에서도, 가상 로드 포트 제어 장치(19)는 언제라도, 그 하나의 가상 로드 포트(V-LP3)에 대응하는 물리 로드 포트(R-LP2)에 할당되어 있는 다른 가상 로드 포트(V-LP4)가 반출에 이용 가능한 것을 호스트 컴퓨터(9)에게 통지한다.
따라서, 호스트 컴퓨터(9)는, 상기의 기간에 있어서, 캐리어 반송 시스템(7)에 대해서, 가상 로드 포트(V-LP4)를 나타내는 CS_1 신호를 ON으로 하여, 같은 물리 로드 포트(R-LP2)로의 반출 지시를 실시할 수 있다. 따라서, 효율적인 반출 처리를 실시할 수 있다.
이와 같이 본 실시 형태에 의하면, 1개의 물리 로드 포트(R-LP2)에 대해서 2개의 가상 로드 포트(V-LP3, V-LP4)를 할당하고, 그 2개의 가상 로드 포트(V-LP3, V-LP4)를 할당하여, 그 2개의 가상 로드 포트(V-LP3, V-LP4)의 양쪽이 「반출 가능」이라고 하여, 각각에 대해 동시에 2대의 OHT(17)를 움직여 반송 동작을 실시할 수 있으므로, 1개의 물리 로드 포트(R-LP2)에 대해서 1대의 OHT(17)만으로 반송 동작을 하고 있던 경우에 비해 단위시간당 반송 가능한 FOUP의 개수를 증대시킬 수 있다. 바꾸어 말하면, FOUP 1개당의 반송에 필요한 시간을 단축할 수 있다.
또한, 도 27로부터 분명한 바와 같이, 가상 로드 포트 제어 장치(19)는, 기판 처리 장치(5)가 원래 구비하고 있는 대호스트 제어부(21) 및 대캐리어 반송 시스템 제어부(25)에 대해서는 물리 로드 포트(R-LP2)에 관한 신호만을 취급하고, 호스트 컴퓨터(9) 및 캐리어 반송 시스템(7)에 대해서는 가상 로드 포트(V-LP3, V-LP4)에 관한 신호만을 취급한다. 즉, 가상 로드 포트 제어 장치(19)는, 기판 처리 장치(5)와 호스트 컴퓨터(9) 및 캐리어 반송 시스템(7)의 사이에 있어, 물리 로드 포트(R-LP2)와 가상 로드 포트(V-LP3, V-LP4)와의 대응시키기와 신호의 변환을 실시하고 있다. 따라서, 종래의 기판 처리 장치(5)와 호스트 컴퓨터(9) 및 캐리어 반송 시스템(7)의 하드웨어, 소프트웨어의 구성은 전혀 변경하는 일 없이, 그들 사이에 가상 로드 포트 제어 장치(19)를 삽입하는 것만으로, 본 발명에 의한 제어를 용이하게 실시할 수 있으며, 또한 가상 로드 포트 제어 장치(19)를 떼어내는 것만으로, 용이하게 종래의 기판 처리 시스템의 구성으로 되돌릴 수도 있다.
상술한 바와 같이, 본 실시예 장치에 의하면, 가상 로드 포트 제어 장치(19)는, 물리 로드 포트(R-LP1, R-LP2)에 대해서 각각 2개의 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2), (V-LP3, V-LP4)를 할당한다. 또한, 가상 로드 포트 제어 장치(19)는, 캐리어 반송 시스템(7)과, 호스트 컴퓨터(9)에 대해서, 4개의 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2, V-LP3, V-LP4)를 4개의 물리 로드 포트로서 취급하게 한다. 따라서, 현실의 물리 로드 포트의 개수 이상으로 로드 포트가 존재하는 것처럼 FOUP(3)의 반송을 실시할 수 있어, 외관상, 로드 포트의 개수를 증가시킬 수 있다. 그 결과, 장치 비용을 억제하면서도, FOUP(3)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명은, 상기 실시 형태에 한정되는 일 없이, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.
(1) 상술한 실시예에서는, 하나의 물리 로드 포트(R-LP1)에 대해서 두 개의 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)를 할당했다. 본 발명은 이것으로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 하나의 물리 로드 포트(R-LP1)에 3개 이상의 가상 로드 포트를 할당하도록 해도 된다.
(2) 상술한 실시예에서는, 하나의 물리 로드 포트(R-LP1)에 두 개의 가상 로드 포트(V-LP1, V-LP2)를 할당하고, 또한 다른 물리 로드 포트(R-LP2)에 가상 로드 포트(V-LP3, V-LP4)를 할당하여, 그들을 반입 또는 반출의 한쪽에 할당했다. 본 발명은, 이외에, 하나의 물리 로드 포트에 할당되었던 두 개의 가상 로드 포트 중, 한쪽을 반입에 할당하고, 다른 쪽을 반출에 할당하도록 해도 된다. 또한, 반입용 또는 반출용 중 어느 한쪽에만 가상 로드 포트를 할당하도록 해도 된다.
(3) 상술한 실시예에서는, 설정부(35)를 통하여 변환 테이블 기억부(33)에 기억되어 있는 변환 테이블을 고정적인 설정으로 했지만, 그들을 상황에 따라 적당히 고쳐 씀으로써, 가상 로드 포트의 사용/미사용이나, 가상 로드 포트의 할당을 동적으로 변경할 수 있다. 따라서, 기판 처리 시스템(1)의 상황에 따른 유연한 운용을 실시할 수 있다. 예를 들면, 반입을 빠르게 실시하고 싶을 때에는, 반입에 할당하는 가상 로드 포트를 늘리면 된다.
(4) 상술한 실시예에서는, 캐리어 반송 시스템(7)이 OHT(17)를 구비하는 경우를 예시했지만, 이에 대신하여 AGV(Automatic Guided Vehicle)를 채용해도 된다.
(5) 상기 실시 형태에서는, 일반적인 기판 처리 장치와 호스트 컴퓨터(9) 및 캐리어 반송 시스템(7)의 사이에, 가상 로드 포트 제어 장치(19)를 나중에 붙여 삽입시켜 구성한 것이며, 일반적인 기판 처리 장치 또는 공장 등에 이미 설치된 기존의 기판 처리 장치에, 본 발명의 가상 로드 포트 제어 장치(19)를 부가함으로써, FOUP의 반송 효율을 향상시킨 것이지만, 이에 한정하지 않으며, 예를 들면, 로드 포트 제어 장치(20)와, 가상 로드 포트 제어 장치(19)의 양쪽의 기능을 가지는 하나의 제어 장치로서, 당초부터 기판 처리 장치(5)에 편입시킨 것으로 해도 된다. 또한, 가상 로드 포트 제어 장치(19)를 기판 처리 장치(5)와는 독립하여, 호스트 컴퓨터(9)와 캐리어 반송 시스템(7)의 사이에 설치해도 된다. 또한, 가상 로드 포트 제어 장치(19)의 기능을 호스트 컴퓨터(9)에 일체적으로 편입시켜도 된다.
(6) 상기 실시 형태에 의하면, 기판 처리 장치(5)에 대한 FOUP(3)의 반입시와 반출시의 양쪽에 있어서, 2대의 OHT(17)가 2개의 가상 로드 포트에 대해서 동시에 반송 동작을 실시했다. 이것은, 예를 들면, 반입시에 있어서는, 내부 버퍼(15)에 충분한 빈 용량이 있는 경우에 유효하고, 반출시에 있어서는, 내부 버퍼(15)에 반출해야 할 FOUP가 충분히 수납되어 있는 경우에 유효하다. 만일, 반입시에 있어서, 내부 버퍼(15)에 FOUP 하나분의 빈 용량밖에 없는 경우에는, 동시에 2대의 OHT(17)가 2개의 가상 로드 포트에 대해서 동시에 반송 동작을 실시하면, 기판 처리 장치(5)로 반송한 FOUP를 반입해도 내부 버퍼(15)에 수납해야 할 장소가 없어, OHT(17)가 장시간, 기판 처리 장치(5)의 앞에서 기다리게 된다는 일이 일어날 수 있다. 또한, 만일, 반출시에 있어서, 내부 버퍼(15)에 FOUP 하나밖에 수납되어 있지 않은 경우에는, 동시에 2대의 OHT(17)가 2개의 가상 로드 포트에 대해서 동시에 반송 동작을 실시하면, 2대째의 OHT(17)가 기판 처리 장치(5)에 도착해도, 그 OHT(17)가 반출해야 할 FOUP가 존재하지 않아, OHT(17)가 장시간, 기판 처리 장치(5)의 앞에서 기다리게 된다는 일이 일어날 수 있다. 따라서, 가상 로드 포트 제어 장치(19)에 의한 호스트 컴퓨터(9)로의 「반입 가능」 혹은 「반출 가능」의 통지는, 내부 버퍼(15) 상태를 고려하여, 내부 버퍼(15)에 충분한 빈 용량이 있는 경우, 혹은, 내부 버퍼(15)에 반출해야 할 FOUP가 충분히 수납되어 있는 경우인 것을 판단 또는 확인하고, 그 경우에 한정해서 실시하도록 하는 것이 바람직하다. 이러한 판단 또는 확인은, 로드 포트 관리부(23)가 인식하고 있는 내부 버퍼(15) 상태를, 로드 포트 관리부(23)로부터 직접, 혹은 대호스트 제어부(21)를 경유하여 가상 로드 포트 제어 장치(19)가 수신하는 구성으로 하면 가능하다.
본 발명은, 그 사상 또는 본질로부터 일탈하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있으며, 따라서, 발명의 범위를 나타내는 것으로서, 이상의 설명이 아니라, 부가된 청구범위를 참조해야 한다.

Claims (16)

  1. 기판을 수납하기 위한 수납기가 재치(載置)되는 물리 로드 포트를 구비한 기판 처리 장치와, 상기 수납기를 반송하여 상기 물리 로드 포트에 대한 반송 동작을 실시하는 캐리어 반송 시스템을 구비한 기판 처리 시스템에 있어서의 제어 장치로서,
    상기 물리 로드 포트에 대해서 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 가상적인 로드 포트가 실재(實在)하는 것으로 하여 해당 가상적인 로드 포트에 대해서 상기 캐리어 반송 시스템에게 반송 동작을 지시하는 가상 로드 포트 제어 장치를 포함하는 기판 처리 시스템에 있어서의 제어 장치.
  2. 기판을 수납하기 위한 수납기가 재치(載置)되는 물리 로드 포트를 구비한 기판 처리 장치와, 상기 수납기를 반송하여 상기 물리 로드 포트에 대한 반송 동작을 실시하는 캐리어 반송 시스템을 구비한 기판 처리 시스템에 의한 기판 처리 방법으로서,
    상기 물리 로드 포트에 대해서 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 가상적인 로드 포트가 실재하는 것으로 하여 해당 가상적인 로드 포트에 대해서 상기 캐리어 반송 시스템에게 반송 동작을 지시하는 스텝을 포함하는 기판 처리 방법.
  3. 기판을 수납하기 위한 수납기가 재치(載置)되는 물리 로드 포트를 구비한 기판 처리 장치와, 상기 수납기를 반송하여 상기 물리 로드 포트에 대한 반송 동작을 실시하는 캐리어 반송 시스템을 구비한 기판 처리 시스템으로서,
    상기 물리 로드 포트에 대해서 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 가상적인 로드 포트가 실재하는 것으로 하여 해당 가상적인 로드 포트에 대해서 상기 캐리어 반송 시스템에게 반송 동작을 지시하는 가상 로드 포트 제어 장치를 포함하는 기판 처리 시스템.
  4. 기판을 수납하기 위한 수납기가 재치(載置)되는 물리 로드 포트와, 해당 물리 로드 포트의 동작을 제어하는 물리 로드 포트 제어 장치를 구비한 기판 처리 장치와, 상기 수납기를 반송하여 상기 물리 로드 포트에 대한 반송 동작을 실시하는 캐리어 반송 시스템을 구비한 기판 처리 시스템의 운용 방법으로서,
    상기 로드 포트에 대해서 가상적인 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 가상적인 로드 포트가 실재하는 것으로 하여 해당 가상적인 로드 포트에 대해서 상기 캐리어 반송 시스템에게 반송 동작을 지시하는 가상 로드 포트 제어 장치를, 상기 물리 로드 포트 제어 장치와, 상기 캐리어 반송 시스템의 사이에 개재시키는 스텝을 포함하는 기판 처리 시스템의 운용 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 가상 로드 포트 제어 장치는, 상기 물리 로드 포트 제어 장치로부터의 캐리어 반송 시스템에 대한 신호를 상기 가상적인 로드 포트로부터의 신호로 변환하여 상기 캐리어 반송 시스템에 송신하고, 상기 캐리어 반송 시스템으로부터의 상기 가상적인 로드 포트에 대한 신호를 상기 물리 로드 포트에 대한 신호로 변환하여 상기 물리 로드 포트 제어 장치에 송신하는 스텝을 실행하는 기판 처리 시스템의 운용 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 가상 로드 포트 제어 장치는, 상기 물리 로드 포트 1대에 대해서 복수의 가상적인 로드 포트를 할당하는 기판 처리 시스템에 있어서의 제어 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 가상 로드 포트 제어 장치에 의한 상기 가상적인 로드 포트에의 반송 동작의 지시는, 해당 가상적인 로드 포트가 할당되어 있는 물리 로드 포트의 소재 장소까지 반송 동작을 실시하는 지령인 기판 처리 시스템에 있어서의 제어 장치.
  8. 기판에 대해서 소정의 처리를 실시하는 기판 처리 유닛과, 기판을 수납하기 위한 수납기가 재치(載置)되는 물리 로드 포트를 구비하며, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 수납기를 주고 받는 로드 포트와, 상기 기판 처리 유닛과 상기 로드 포트와의 사이에 개재하여, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 기판을 주고 받고, 상기 로드 포트와의 사이에서 수납기를 주고 받는 것과 함께, 주고 받은 수납기를 수용하는 내부 버퍼를 구비한 기판 처리 장치와, 수납기를 상기 로드 포트와의 사이에서 주고 받는 캐리어 반송 시스템과, 상기 기판 처리 장치 및 상기 캐리어 반송 시스템과의 사이에서 통신을 실시하고, 상기 기판 처리 장치의 상황에 따라 상기 캐리어 반송 시스템에 의한 수납기의 반송을 지시하는 호스트 컴퓨터를 구비한 기판 처리 시스템에 있어서의 상기 로드 포트를 제어하는 로드 포트 제어 장치로서,
    상기 물리 로드 포트에 대해서 복수개의 가상 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 캐리어 반송 시스템과, 상기 호스트 컴퓨터에 대해서, 상기 복수개의 가상 로드 포트를 복수개의 물리 로드 포트로서 취급하게 하는 가상 로드 포트 관리부를 포함하는 로드 포트 제어 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 가상 로드 포트 관리부는,
    상기 복수개의 가상 로드 포트와, 상기 물리 로드 포트와의 대응 관계를 규정한 변환 테이블을 구비하며, 상기 복수개의 가상 로드 포트를 반입용으로 설정했을 경우에는,
    (A1) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 호스트 컴퓨터에 대해서 상기 복수개의 가상 로드 포트마다 반입 가능한지 아닌지를 통지하고,
    (A2) 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 캐리어 반송 시스템에 대해서 수납기를 상기 복수개의 가상 로드 포트 중 어느 하나에 반입하기 위한 지시를 실시하고,
    (A3) 상기 캐리어 반송 시스템은, 지시받은 하나의 가상 로드 포트에 수납기를 반송하기 위해서, 수용기를 보유한 채로 상기 기판 처리 장치로 이동하고,
    (A4) 상기 캐리어 반송 시스템은, 상기 하나의 가상 로드 포트로의 수납기의 반입을 개시하기 위해서, 상기 하나의 가상 로드 포트로 수납기를 반입하는 것을 상기 가상 로드 포트 관리부에 통지하고,
    (A5) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 변환 테이블에 근거하여, 상기 하나의 가상 로드 포트를 하나의 물리 로드 포트에 대응시키고,
    (A6) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 하나의 가상 로드 포트로의 수납기의 반입이 개시된 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하고,
    (A7) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 하나의 가상 로드 포트에의 반입을 받아들여, 상기 캐리어 반송 시스템에 대해서 반입 요구를 실시하고,
    (A8) 상기 캐리어 반송 시스템은, 상기 하나의 가상 로드 포트에 할당된 물리 로드 포트로 수납기를 반송하고,
    (A9) 상기 기판 처리 장치는, 상기 하나의 가상 로드 포트에 반입된 수납기를, 상기 내부 버퍼로 반송하고,
    (A10) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 반입 과정에 있어서, 상기 하나의 가상 로드 포트로의 반입 상황을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지할 때에, 지시받은 하나의 수납기를 상기 캐리어 반송 시스템이 반송하기 위해서, 상기 기판 처리 장치에 상기 캐리어 반송 시스템이 이동을 개시한 시점으로부터, 지시받은 하나의 수납기가 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 재치되기 전까지, 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 할당되어 있는 다른 가상 로드 포트가 반입에 이용 가능하다는 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하고, 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트로부터 상기 내부 버퍼에 수납기가 반송되기 시작한 시점에서, 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 할당되어 있는 다른 가상 로드 포트가 반입에 이용 가능하다는 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하는 것을, 포함하는 로드 포트 제어 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 가상 로드 포트 관리부는,
    상기 복수개의 가상 로드 포트와, 상기 물리 로드 포트와의 대응 관계를 규정한 변환 테이블을 구비하며, 상기 복수개의 가상 로드 포트를 반출용으로 설정했을 경우에는,
    (B1) 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 기판 처리 장치에 대해서, 복수개의 가상 로드 포트 중 어느 하나에 대해서, 지시한 수납기를 전달하는 것을 지시하고,
    (B2) 상기 기판 처리 장치는, 지시받은 수납기가 상기 하나의 가상 로드 포트로 전달이 가능하게 되면, 반출 가능하다는 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하고,
    (B3) 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 캐리어 반송 시스템에 대해서, 지시받은 수납기의 반송을 실시하기 위한 지시를 실시하고,
    (B4) 상기 캐리어 반송 시스템은, 지시받은 수납기를 가지는 상기 기판 처리 장치로 이동하고,
    (B5) 상기 캐리어 반송 시스템은, 지시받은 수납기를 상기 하나의 가상 로드 포트로부터 반출하기 위해서, 상기 하나의 가상 로드 포트로 수납기를 전달하도록 상기 가상 로드 포트 관리부에 지시하고,
    (B6) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 변환 테이블에 근거하여, 상기 하나의 가상 로드 포트를 하나의 물리 로드 포트에 대응시키고,
    (B7) 상기 기판 처리 장치는, 지시받은 수납기가 상기 하나의 가상 로드 포트에 대해서 전달되기 시작한 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하고,
    (B8) 상기 기판 처리 장치는, 상기 하나의 가상 로드 포트에 할당된 물리 로드 포트에 대해서, 지시받은 수납기를 전달하고,
    (B9) 상기 기판 처리 장치는, 상기 캐리어 반송 시스템에 대해서 반출 요구를 통지하고,
    (B10) 상기 캐리어 반송 시스템은, 상기 하나의 가상 로드 포트로부터 상기 수납기를 반출하고,
    (B11) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 반출 과정에 있어서, 상기 하나의 가상 로드 포트로부터의 반출 상황을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지할 때에, 지시받은 수납기가, 상기 내부 버퍼로부터 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 상기 물리 로드 포트로 전달된 시점부터, 상기 수납기가 상기 캐리어 반송 시스템에 의해 상기 물리 로드 포트로부터 반출되기 시작한 시점까지의 사이를 제외하고, 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 할당되어 있는 다른 가상 로드 포트가 반출에 이용 가능하다는 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하는 것을, 포함하는 로드 포트 제어 장치.
  11. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 가상 로드 포트 관리부는,
    상기 복수개의 가상 로드 포트를 반입용으로만 설정하는 로드 포트 제어 장치.
  12. 제8항 또는 제10항에 있어서,
    상기 가상 로드 포트 관리부는,
    상기 복수개의 가상 로드 포트를 반출용으로만 설정하는 로드 포트 제어 장치.
  13. 제8항에 있어서,
    상기 가상 로드 포트 관리부는,
    상기 복수개의 가상 로드 포트를 반입용 또는 반출용으로 설정하는 로드 포트 제어 장치.
  14. 기판을 처리하는 기판 처리 시스템으로서,
    기판에 대해서 소정의 처리를 실시하는 기판 처리 유닛과, 기판을 수납하기 위한 수납기가 재치되는 물리 로드 포트를 구비하며, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 수납기를 주고 받는 로드 포트와, 상기 기판 처리 유닛과 상기 로드 포트와의 사이에 개재하여, 상기 기판 처리 유닛과의 사이에서 기판을 주고 받고, 상기 로드 포트와의 사이에서 수납기를 주고 받는 것과 함께, 주고 받은 수납기를 수용하는 내부 버퍼를 구비한 기판 처리 장치;
    수납기를 상기 로드 포트와의 사이에서 주고 받는 캐리어 반송 시스템;
    상기 기판 처리 장치 및 상기 캐리어 반송 시스템과의 사이에서 통신을 실시하여, 상기 기판 처리 장치의 상황에 따라 상기 캐리어 반송 시스템에 의한 수납기의 반송을 지시하는 호스트 컴퓨터;
    상기 물리 로드 포트에 대해서 복수개의 가상 로드 포트를 할당하는 것과 함께, 상기 캐리어 반송 시스템과, 상기 호스트 컴퓨터에 대해서, 상기 복수개의 가상 로드 포트를 복수개의 물리 로드 포트로서 취급하게 하는 가상 로드 포트 관리부를 구비하고 있는 로드 포트 제어 장치를 포함하는 기판 처리 시스템.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 가상 로드 포트 관리부는,
    상기 복수개의 가상 로드 포트와, 상기 물리 로드 포트의 대응 관계를 규정한 변환 테이블을 구비하며, 상기 복수개의 가상 로드 포트를 반입용으로 설정했을 경우에는,
    (A1) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 호스트 컴퓨터에 대해서 상기 복수개의 가상 로드 포트마다 반입 가능한지 아닌지를 통지하고,
    (A2) 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 캐리어 반송 시스템에 대해서 수납기를 상기 복수개의 가상 로드 포트 중 어느 하나로 반입하기 위한 지시를 실시하고,
    (A3) 상기 캐리어 반송 시스템은, 지시받은 하나의 가상 로드 포트로 수납기를 반송하기 위해서, 수용기를 보유한 채로 상기 기판 처리 장치로 이동하고,
    (A4) 상기 캐리어 반송 시스템은, 상기 하나의 가상 로드 포트로의 수납기의 반입을 개시하기 위해서, 상기 하나의 가상 로드 포트로 수납기를 반입하는 것을 상기 가상 로드 포트 관리부에 통지하고,
    (A5) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 변환 테이블에 근거하여, 상기 하나의 가상 로드 포트를 하나의 물리 로드 포트에 대응시키고,
    (A6) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 하나의 가상 로드 포트로의 수납기의 반입이 개시된 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하고,
    (A7) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 하나의 가상 로드 포트에의 반입을 받아들여, 상기 캐리어 반송 시스템에 대해서 반입 요구를 실시하고,
    (A8) 상기 캐리어 반송 시스템은, 상기 하나의 가상 로드 포트에 할당된 물리 로드 포트로 수납기를 반송하고,
    (A9) 상기 기판 처리 장치는, 상기 하나의 가상 로드 포트로 반입된 수납기를, 상기 내부 버퍼로 반송하고,
    (A10) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 반입 과정에 있어서, 상기 하나의 가상 로드 포트로의 반입 상황을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지할 때에, 지시받은 하나의 수납기를 상기 캐리어 반송 시스템이 반송하기 위해서, 상기 기판 처리 장치로 상기 캐리어 반송 시스템이 이동을 개시한 시점부터, 지시받은 하나의 수납기가 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 재치되기 전까지, 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 할당되어 있는 다른 가상 로드 포트가 반입에 이용 가능하다는 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하고, 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트로부터 상기 내부 버퍼로 수납기가 반송되기 시작한 시점에서, 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 할당되어 있는 다른 가상 로드 포트가 반입에 이용 가능하다는 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하는 것을, 포함하는 기판 처리 시스템.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 가상 로드 포트 관리부는,
    상기 복수개의 가상 로드 포트와, 상기 물리 로드 포트의 대응 관계를 규정한 변환 테이블을 구비하며, 상기 복수개의 가상 로드 포트를 반출용으로 설정했을 경우에는,
    (B1) 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 기판 처리 장치에 대해서, 복수개의 가상 로드 포트 중 어느 하나에 대해서, 지시한 수납기를 전달하는 것을 지시하고,
    (B2) 상기 기판 처리 장치는, 지시받은 수납기가 상기 하나의 가상 로드 포트에 전달이 가능하게 되면, 반출 가능한 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하고,
    (B3) 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 캐리어 반송 시스템에 대해서, 지시받은 수납기의 반송을 실시하기 위한 지시를 실시하고,
    (B4) 상기 캐리어 반송 시스템은, 지시받은 수납기를 가지는 상기 기판 처리 장치로 이동하고,
    (B5) 상기 캐리어 반송 시스템은, 지시받은 수납기를 상기 하나의 가상 로드 포트로부터 반출하기 위해서, 상기 하나의 가상 로드 포트로 수납기를 전달하도록 상기 가상 로드 포트 관리부에 지시하고,
    (B6) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 변환 테이블에 근거하여, 상기 하나의 가상 로드 포트를 하나의 물리 로드 포트에 대응시키고,
    (B7) 상기 기판 처리 장치는, 지시받은 수납기가 상기 하나의 가상 로드 포트에 대해서 전달되기 시작한 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하고,
    (B8) 상기 기판 처리 장치는, 상기 하나의 가상 로드 포트에 할당된 물리 로드 포트에 대해서, 지시받은 수납기를 전달하고,
    (B9) 상기 기판 처리 장치는, 상기 캐리어 반송 시스템에 대해서 반출 요구를 통지하고,
    (B10) 상기 캐리어 반송 시스템은, 상기 하나의 가상 로드 포트로부터 상기 수납기를 반출하고,
    (B11) 상기 가상 로드 포트 관리부는, 상기 반출 과정에 있어서, 상기 하나의 가상 로드 포트로부터의 반출 상황을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지할 때에, 지시받은 수납기가, 상기 내부 버퍼로부터 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 상기 물리 로드 포트로 전달된 시점부터, 상기 수납기가 상기 캐리어 반송 시스템에 의해 상기 물리 로드 포트로부터 반출되기 시작한 시점까지의 사이를 제외하고, 상기 하나의 가상 로드 포트에 대응하는 물리 로드 포트에 할당되어 있는 다른 가상 로드 포트가 반출에 이용 가능한 것을 상기 호스트 컴퓨터에게 통지하는 것을, 포함하는 기판 처리 시스템.
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6105982B2 (ja) * 2012-09-21 2017-03-29 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス スケジュール作成装置、基板処理装置、スケジュール作成プログラム、スケジュール作成方法、および基板処理方法
US9136149B2 (en) 2012-11-16 2015-09-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Loading port, system for etching and cleaning wafers and method of use
JP6242603B2 (ja) * 2013-06-25 2017-12-06 株式会社ディスコ ウエーハ加工装置
JP6121832B2 (ja) * 2013-07-29 2017-04-26 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置、基板処理方法、および基板処理システム
JP6121846B2 (ja) * 2013-08-15 2017-04-26 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置、基板処理方法、および基板処理システム
CN104635654A (zh) * 2013-11-13 2015-05-20 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种loadport控制系统
CN103713472B (zh) * 2013-12-18 2016-03-30 合肥京东方光电科技有限公司 一种自动安装掩模板系统
TWI549217B (zh) * 2014-01-10 2016-09-11 華亞科技股份有限公司 載具重組系統以及載具重組方法
CN103832830A (zh) * 2014-03-11 2014-06-04 四川虹视显示技术有限公司 小世代平板车间转运系统
CN105742216B (zh) * 2016-04-11 2019-01-18 上海华力微电子有限公司 晶圆传送系统
JP6601452B2 (ja) 2017-04-27 2019-11-06 トヨタ自動車株式会社 電極活物質、フッ化物イオン全固体電池、および電極活物質の製造方法
JP2019061310A (ja) * 2017-09-25 2019-04-18 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 材料補給支援装置および材料補給支援方法
US20230010048A1 (en) * 2020-01-14 2023-01-12 Rorze Corporation Foup transfer device

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3258748B2 (ja) * 1993-02-08 2002-02-18 東京エレクトロン株式会社 熱処理装置
JPH11309650A (ja) * 1998-04-30 1999-11-09 Sharp Corp 自動搬送設備
JP4820007B2 (ja) * 2001-01-12 2011-11-24 東京エレクトロン株式会社 被処理体の搬送方法
EP1357589A4 (en) 2000-12-27 2005-04-20 Tokyo Electron Ltd "WORKPIECE TRANSFER SYSTEM, TRANSFER METHOD, VACUUM CHUCK AND WAFER CENTERING METHOD"
JP4647197B2 (ja) * 2003-09-17 2011-03-09 東京エレクトロン株式会社 被処理体の搬送方法及びコンピュータ読取可能な記憶媒体
AU2003271187A1 (en) * 2003-10-14 2005-04-27 Fuji Research Institute Corporation Work single wafer processing system
JP4497462B2 (ja) * 2004-06-24 2010-07-07 株式会社安川電機 装置モデル適用型ウエハ搬送コントローラ
US7578650B2 (en) 2004-07-29 2009-08-25 Kla-Tencor Technologies Corporation Quick swap load port
JP4767641B2 (ja) 2005-09-27 2011-09-07 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置および基板搬送方法
JP4427755B2 (ja) * 2006-02-03 2010-03-10 村田機械株式会社 搬送システム
JP4999487B2 (ja) 2007-02-15 2012-08-15 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
US9050634B2 (en) 2007-02-15 2015-06-09 SCREEN Holdings Co., Ltd. Substrate processing apparatus
DE102007035836B4 (de) * 2007-07-31 2017-01-26 Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg Zweidimensionale Transferstation, die als Schnittstelle zwischen einer Prozessanlage und einem Transportsystem dient, und Verfahren zum Betreiben der Station
TWI373090B (en) * 2008-09-05 2012-09-21 Powerchip Technology Corp Automated material handling system and method
JP5212165B2 (ja) 2009-02-20 2013-06-19 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置

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KR101423377B1 (ko) 2014-07-24
US8868233B2 (en) 2014-10-21

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