KR20010005181A - 웨이퍼 카세트의 장비간 반송방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼에 서로 다른 공정을 수행하는 제1공정장비로부터 제2공장장비로 카세트를 반송시키기 위한 방법에 관한 것으로, 반송에 소요되는 시간을 최소화하도록 구현하여, 각 공정장비의 가동율을 극대화하기 위하여, 반도체 생산라인 내에서, 웨이퍼 카세트를 상기 웨이퍼 카세트의 대기영역이 구비되어 있는 제1공정장비로부터 제2공정장비로 반송시키기 위한 방법에 있어서. 호스트 서버가 상기 제1공정장비로부터 웨이퍼 카세트에 대한 반송요청을 수신하는 제1단계; 상기 호스트 서버가 상기 제2공정장비가 카세트를 반송받을 수 있는 상태인지를 확인하는 제2단계; 상기 제2단계에서, 상기 제2공정장비가 카세트를 반송받을 수 있는 상태로 확인되면, 상기 호스트 서버가 반송로봇으로 하여금 상기 카세트를 상기 제1공정장비로부터 상기 제2공정장비로 반송시키도록 하는 제3단계; 및 상기 제2단계에서, 상기 제2공정장비가 카세트를 반송받을 수 없는 상태로 확인되면, 상기 호스트 서버가 카세트를 제1공정장비의 대기영역에 소정시간 동안 대기시킨 후에, 상기 제2단계를 수행하는 제4단계를 포함한다.

Description

웨이퍼 카세트의 장비간 반송방법{MEHTOD FOR TRANSPORTING WAFER CASSETTE FROM ONE EQUIPMENT TO THE OTHER EQUIPMENT}
본 발명은 반도체 생산라인내에서 웨이퍼 카세트를 하나의 공정장비로부터 다른 공정장비로 반송시키는 방법에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 카세트의 반송에 소요되는 시간을 최소화시켜 공정장비의 가동율을 극대화함으로써, 반도체소자의 생산수율을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 카세트의 장비간 반송방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 생산라인에서는 수많은 웨이퍼에 서로 다른공정을 수행하는 다수의 제1 및 제2공정장비가 구비되어 있으며, 각 공정이 신속하면서도 정확하게 이루어질 수 있도록 상기 웨이퍼가 다수 수납되어 있는 카세트를 상기한 각 공정장비간에서 이동시켜야 한다. 이때, 상기 제1공정장비에서 배출된 카세트를 제2공정장비로 반송시키고자 하지만, 상기 제2공정장비가 카세트를 반송받을 수 없는 상태인 경우에는, 상기 제1공정장비가 동작을 중단하고 대기하여야 하므로, 반도체 소자의 생산수율이 크게 저하되는 문제점이 있었다.
이에 따라, 종래에는 반도체 생산라인 내에 카세트를 임시로 저장할 수 있는 스토커를 구비한 웨이퍼 카세트의 장비간 반송 시스템이 발명되었다.
그러면, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 웨이퍼 카세트의 장비간 반송 시스템에 대하여 간략히 설명한다.
도1에 도시된 바와 같이, 종래의 웨이퍼 카세트의 장비간 반송 시스템은 반송될 웨이퍼 카세트를 가진 제1공정장비(1)와, 상기 웨이퍼 카세트를 반송받을 제2공정장비(2)와, 상기 카세트를 제1공정장비(1)로부터 전달받아 반송시키기 위한 반송로봇(auto guide vehicle)(3)과, 상기 반송로봇(3)의 동작을 제어하기 위한 반송로봇 제어서버(4)와, 상기 카세트를 임시로 저장하기 위한 스토커(stocker)(5)와, 상기 제1 및 제2공정장비, 반송로봇 제어서버 및 스토커(1, 2, 4, 5)와 교신하면서 상기 각 부분(1, 2, 4, 5)으로부터 반송관련 정보를 수신하여 저장하고, 상기 각 부분(1, 2, 4, 5)의 동작을 제어하는 호스트 서버(6)를 구비하여 이루어진다.
여기서, 상기 제1공정장비(1)가 호스트 서버(6)에 제공하는 반송관련 정보에는, 상기 반송될 카세트의 고유번호(identification)이 포함된다.
그리고, 상기 스토커(5)는 모든 공정장비에 대하여 공통적으로 이용되는 것이므로, 상기 각 공정장비와 스토커(5) 사이의 거리는 각 공정장비 간의 거리에 비해 훨씬 길다.
상기한 바와 같이 구성된 종래의 웨이퍼 카세트의 장비간 반송 시스템을 이용한 반송방법은, 도2에 도시된 바와 같이 제1공정장비(1) 내에 반송될 카세트가 존재할 경우, 상기 제1공정장비(1)는 반송될 카세트의 고유번호와 상기 카세트를 반송받을 제2공정장비(2)에 대한 정보를 호스트 서버(6)에 전송하면서 반송을 요청한다(10).
그러면, 상기 호스트 서버(6)는 반송로봇 제어서버(4)에 카세트의 반송명령을 전송하고(12), 상기 호스트 서버(6)로부터 반송명령을 수신한 반송로봇 제어서버(4)는 반송로봇(3)을 제어하여(14) 상기 반송로봇(3)이 제1공정장비(1)로부터 스토커(5)로 카세트를 반송시키도록 한다(16).
이때, 상기 제2공정장비(2)가 호스트 서버(6)에 카세트를 반송받겠다는 요청을 하면(18), 상기 호스트 서버(6)는 스토커(5)에 저장되어 있는 상기 카세트의 배출명령을 전송한다(20). 이어, 상기 스토커(5)가 그에 저장되어 있는 상기 카세트를 배출시키고, 호스트 서버(6)에 카세트의 배출완료신호를 전송하면(22), 상기 호스트 서버(6)는 반송로봇 제어서버(4)에 배출된 카세트의 반송명령을 전송하고(24), 상기 호스트 서버(6)로부터 반송명령을 수신한 반송로봇 제어서버(4)는 반송로봇(3)을 제어하여(26) 스토커(5)로부터 배출된 카세트가 제2공정장비(2)로 반송되도록 한다(28).
상기 반송이 완료된 후에는(28), 상기 반송로봇 제어서버(4)가 호스트 서버(6)에 카세트의 반송완료를 보고한다(30).
그러나, 상기한 바와 같은 종래의 웨이퍼 카세트의 장비간 반송방법은, 카세트를 제1공정장비에서 제2공정장비로 직접 운반하는데 비해, 상기 스토커로부터 카세트를 꺼내어 제2공정장비로 운반하는데 많은 시간이 소요되므로, 카세트를 제공받을 공정장비의 대기신간이 길어지게 되어 장비의 가동율이 저하되고, 이로 인해 반도체 소자의 생산수율이 저하되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 웨이퍼 카세트를 제1공정장비로부터 제2공정장비로 직접 반송시키므로써 반송에 소요되는 시간을 최소화하도록 구현하여, 각 공정장비의 가동율을 극대화할 수 있는 웨이퍼 카세트의 장비간 반송방법을 제공함에 그 목적이 있다.
도1은 종래의 웨이퍼 카세트의 장비간 반송 시스템을 개략적으로 나타낸 구성도.
도2는 종래의 웨이퍼 카세트의 장비간 반송 시스템을 이용하여 반송을 수행하기 위한 처리 흐름도.
도3은 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 장비간 반송 시스템을 개략적으로 나타낸 구성도.
도4는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 장비간 반송 시스템을 이용하여 반송을 수행하기 위한 처리 흐름도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
110 : 제1공정장비 120 : 제2공정장비
130 : 반송로봇 140 : 반송로봇 제어서버
150 : 호스트 서버
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 반도체 생산라인 내에서, 웨이퍼 카세트를 상기 웨이퍼 카세트의 대기영역이 구비되어 있는 제1공정장비로부터 제2공정장비로 반송시키기 위한 방법에 있어서. 호스트 서버가 상기 제1공정장비로부터 웨이퍼 카세트에 대한 반송요청을 수신하는 제1단계; 상기 호스트 서버가 상기 제2공정장비가 카세트를 반송받을 수 있는 상태인지를 확인하는 제2단계; 상기 제2단계에서, 상기 제2공정장비가 카세트를 반송받을 수 있는 상태로 확인되면, 상기 호스트 서버가 반송로봇으로 하여금 상기 카세트를 상기 제1공정장비로부터 상기 제2공정장비로 반송시키도록 하는 제3단계; 및 상기 제2단계에서, 상기 제2공정장비가 카세트를 반송받을 수 없는 상태로 확인되면, 상기 호스트 서버가 카세트를 제1공정장비의 대기영역에 소정시간 동안 대기시킨 후에, 상기 제2단계를 수행하는 제4단계를 포함하는 웨이퍼 카세트의 장비간 반송방법을 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 장비간 반송 시스템 및 방법의 바람직한 일실시예에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명은 카세트 웨이퍼의 반송에 소요되는 시간을 최소화할 수 있도록 구현한 것으로, 도3에 도시된 바와 같이 웨이퍼 카세트를 다른 공정장비로 반송시키기 위한 반송요청을 하며 그 일측에는 소정크기의 카세트 저장영역이 구비된 제1공정장비(110)와, 상기 제1공정장비(110)가 반송요청한 카세트를 반송받을 제2공정장비(120)와, 상기 제1 및 제2공정장비(110, 120) 사이를 이동하면서 카세트를 반송시키는 반송로봇(130)과, 상기 반송로봇(130)의 반송동작을 제어하는 반송로봇 제어서버(140)와, 상기 제1공정장비(110), 제2공정장비(120) 및 반송로봇 제어서버(140)와 교신하면서 상기 각 장비(110, 120, 140)로부터 카세트의 반송에 관련된 정보를 수신하여 저장하는 버퍼(buffer)로서의 기능을 수행하며, 또 상기 각 장비(110, 120, 130)의 동작을 제어하여 반송작업을 실행시키는 호스트 서버(150)를 구비한다.
여기서, 상기 제1공정장비(110)의 반송요청 신호에는 반송될 카세트의 고유번호와, 상기 카세트를 반송받을 제2공정장비(120)에 대한 정보가 포함된다. 그리고, 상기 제2공정장비(120)는 그가 웨이퍼 카세트를 반송받을 수 있는 상태가 되면, 이 정보를 상기 호스트 서버(150)에 전달한다.
본 실시예에서는, 상기 제1, 제2공정장비, 반송로봇 제어서버, 및반송로봇(110, 120, 130, 140)가 각각 1개씩 구비된 것으로 도시되고 설명되었으나, 실제 적용예에서는 상기 각 장비(110, 120, 130, 140)가 2개 이상 구비될 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 장비간 반송 시스템을 이용한 반송방법은, 도4에 도시된 바와 같이 웨이퍼 제1공정장비(110)가 호스트 서버(150)에 카세트를 반송받을 제2공정장비(120)를 지정하고 상기 카세트의 반송을 요청하면(210). 상기 호스트 서버(150)가 그에 저장되어 있는 정보를 검사하여, 상기 지정된 제2공정장비(120)가 카세트를 제공받을 수 있는가를 확인한다(220).
상기 확인결과(220), 지정된 제2공정장비(120)가 카세트를 반송받을 수 있는 경우에는, 상기 호스트 서버(150)가 반송로봇 제어서버(140)에 반송명령을 전송하고(232), 상기 반송명령을 수신한 반송로봇 제어서버(140)는 반송로봇(130)의 반송동작을 제어하여(234), 상기 반송로봇(130)이 카세트를 지정된 제2공정장비(120)로 반송시키도록 한다(236). 그리고, 상기한 카세트의 반송이 완료되면, 상기 반송로봇 제어서버(140)는 호스트 서버(150)에 반송완료를 보고하며(240), 상기 반송완료를 보고받은 호스트 서버(150)는 그에 저장된 정보 중에서 상기 반송된 카세트의 반송관련 정보를 삭제한다(250).
반면에, 상기 확인결과(220), 지정된 제2공정장비(120)가 카세트를 반송받을 수 없는 경우, 상기 호스트 서버(150)는 다수의 제1 및 제2공정장비(110, 120)로부터 수신되는 정보를 저장하면서 반송될 카세트를 제1공정장비(110) 상의 대기영역에 대기시키도록 명령한다(260).
이어, 상기 지정된 제2공정장비(21)가 카세트를 반송받을 수 있는 상태가 되어, 호스트 서버(150)에 상기 카세트에 대한 반송을 요청하면, 상기 호스트 서버(150)는 제2공정장비(120)에 카세트를 반송시키는 단계(232)로 넘어간다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능함이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
전술한 바와 같이 본 발명은, 카세트의 반송이 인접하게 위치된 두 장비 사이에서 이루어지므로, 반송에 소요되는 시간이 절약되어 공정장비의 가동율을 극대화할 수 있으며, 이로 인해 반도체 소자의 생산수율을 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 카세트를 임시로 저장하기 위한 스토커가 불필요하게 되므로, 전체적인 반송시스템의 구성에 소요되는 비용이 저렴하게 되는데 다른 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 반도체 생산라인 내에서, 웨이퍼 카세트를 상기 웨이퍼 카세트의 대기영역이 구비되어 있는 제1공정장비로부터 제2공정장비로 반송시키기 위한 방법에 있어서.
    호스트 서버가 상기 제1공정장비로부터 웨이퍼 카세트에 대한 반송요청을 수신하는 제1단계;
    상기 호스트 서버가 상기 제2공정장비가 카세트를 반송받을 수 있는 상태인지를 확인하는 제2단계;
    상기 제2단계에서, 상기 제2공정장비가 카세트를 반송받을 수 있는 상태로 확인되면, 상기 호스트 서버가 반송로봇으로 하여금 상기 카세트를 상기 제1공정장비로부터 상기 제2공정장비로 반송시키도록 하는 제3단계;
    상기 제2단계에서, 상기 제2공정장비가 카세트를 반송받을 수 없는 상태로 확인되면, 상기 호스트 서버가 카세트를 제1공정장비의 대기영역에 소정시간 동안 대기시킨 후에, 상기 제2단계를 수행하는 제4단계
    를 포함하는 웨이퍼 카세트의 장비간 반송방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제3단계 수행 후에, 상기 호스트 서버가 그에 저장되어 있는 상기 반송된 카세트에 대한 반송관련 정보를 삭제하는 제5단계를 더 포함하는 웨이퍼 카세트의 장비간 반송방법.
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