KR20010003306A - 반도체 생산라인에서 로트의 자동 반송 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 반도체 생산공정에서의 로트 반송 장치 및 방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 반도체 생산라인에서의 로트 반송을 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템과 자동 반송 로봇(AGV : Auto Guide Vehicle)을 이용하여 작업자의 부가적인 작업없이 자동으로 수행하고, 그래픽 사용자 환경의 로트 선택 및 반송처리 환경을 제공하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 작업자 인터페이스 프로세스에서 반송할 로트를 선택하고 장비 인터페이스 서버로 로트 선택 정보를 전송하는 제 1단계; 상기 장비 인터페이스 서버로부터 로트 선택 통보를 수신한 셀 관리 서버 및 상기 셀 관리서버로부터 반송 명령을 수신한 인트라베이 제어서버에서 선택된 로트의 반송 적합성 여부를 판단하여, 반송에 적합하지 않은 로트일 경우, 상기 제 1단계부터 다시 수행하는 제 2단계; 및 상기 인트라베이 제어서버로부터 반송명령을 수신한 자동반송 로봇 제어 서버가 자동반송 로봇으로 반송 진행신호를 인가하는 제 3단계를 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 반도체 생산공정에서의 로트 반송에 이용됨.
Description
본 발명은 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템 하에서 로트를 반송하는 방법에 관한 것으로 특히, 그래픽 사용자 인터페이스 환경에서 작업자의 선택 정보에 따라 로트를 해당 공정라인에 자동으로 반송할 수 있는 로트 자동 반송 장치 및 방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 생산라인에는 10만장이상의 웨이퍼에 100가지 이상의 공정을 수행하여 수십가지의 반도체 제품을 생산하고 있으며, 이를 위해 다수의 프로세스 장비가 24시간 가동되고 있다.
또한, 반도체 생산라인에서는 카세트 단위인 로트를 운송하여 공정별로 투입하고 있으며, 각 공정이 완료된 로트 데이타는 작업자에 의해 호스트에 입력되어 관리되고 있다.
이러한 로트 반송 방법은 로트의 운송이 작업자에 의해 이루어지기 때문에 로트 사고가 발생될 확률이 높으며, 운송에 있어서 많은 작업 인력이 투여되어야 하는 문제점이 있을 뿐만 아니라, 작업자로 인한 생산 라인내의 파티클 발생비율이 높아져 반도체 생산수율을 저하시키고 있다.
이와같은 문제를 해소하고자 종래에는 로트의 진행상태, 수량, 관리등을 전산작업을 통하여 통합 처리하는 네트웍 통신 시스템이 개발되어 있으며, 상기한 네트웍 통신 시스템에 의해 라인내에 최소의 작업자만 투입된 상태로 로트의 반송을 반자동으로 수행하고 있다.
한편, 8인치 반도체 생산 라인에서는, 상기의 네트웍 통신을 이용한 자동화 시스템이 개발되어 현재까지 운용되고, 작업자가 반송부에 정보요청을 하면, 상기 반송부와 데이타 수수를 이루는 공정 마스터부와 외부 MES부(Manufacturing Execute System)를 통하여 요청받은 정보를 출력하고, 반송부는 작업자의 작업 정보 지시에 따라 로트를 해당 공정라인으로 반송하고 있다.
상기한 로트 반송방법은, 사용자 환경이 메뉴얼모드(manual mode)이기 때문에 반송할 로트의 선택 및 반송시 잘못된 입력으로 인하여 로트 배분의 비효율성이 발생되는 문제로 작용하고 있어 향후 추진될 300mm 대구경 라인에서는 로트의 반송을 자동화할 수 없는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 반도체 생산라인에서의 로트 반송을 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템을 통하여 작업자가 요청한 정보에따라 자동 반송 로봇(AGV : Auto Guide Vehicle)을 구동시켜 원하는 공정라인으로 로트의 반송을 수행함으로써 작업자의 부가적인 작업을 줄일 수 있으며, 반송할 로트에 대한 선택 및 반송환경을 그래픽 사용자 환경으로 제공함으로써 반송할 로트의 선택이나 반송시, 로트의 배분을 신뢰성있게 수행하고, 또 반송오류를 감소시킬 수 있는 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템에서의 로트의 자동 반송 장치 및 방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체를 제공하는데 그 목적이 있다.
도1은 본 발명이 적용되는 반도체 생산라인에서 로트의 자동 반송 방법을 제공하는 시스템을 구성하는 블록다이어그램
도2는 본 발명에 따른 반도체 생산라인에서 로트의 자동 반송 방법을 수행하기 위한 처리흐름도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
102 : 작업자 인터페이스 서버 104 : 장비 인터페이스 서버
108 : 셀 관리 서버 110 : 인트라베이 제어 서버
114 : 자동반송 로봇 제어 서버 116 : 자동반송 로봇
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 작업자 인터페이스 프로세스에서 반송할 로트를 선택하고 장비 인터페이스 서버로 로트 선택 정보를 전송하는 제 1단계; 상기 장비 인터페이스 서버로부터 로트 선택 통보를 수신한 셀 관리 서버 및 상기 셀 관리서버로부터 반송 명령을 수신한 인트라베이 제어서버에서 선택된 로트의 반송 적합성 여부를 판단하여, 반송에 적합하지 않은 로트일 경우, 상기 제 1단계부터 다시 수행하는 제 2단계; 및 상기 인트라베이 제어서버로부터 반송명령을 수신한 자동반송 로봇 제어 서버가 자동반송 로봇으로 반송 진행신호를 인가하는 제 3단계를 포함한다.
본 발명은, 작업자 인터페이스 프로세스에서 반송할 로트를 선택하고 장비 인터페이스 서버로 로트 선택 정보를 전송하는 제 1기능; 상기 장비 인터페이스 서버로부터 로트 선택 통보를 수신한 셀 관리 서버 및 상기 셀 관리서버로부터 반송 명령을 수신한 인트라베이 제어서버에서 선택된 로트의 반송 적합성 여부를 판단하여, 반송에 적합하지 않은 로트일 경우, 상기 제 1기능부터 다시 수행하는 제 2기능; 및 상기 인트라베이 제어서버로부터 반송명령을 수신한 자동반송 로봇 제어 서버가 자동반송 로봇으로 반송 진행신호를 인가하는 제 3기능을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체를 제공한다.
또한 본 발명은, 외부에서 반송할 로트를 선택 정보를 입력하는 작업자 인터페이스 프로세스; 상기 작업자 인터페이스 수단에서 제공된 로트 선택 정보를 전송하고, 반송에 적합한 로트여부를 판단하는 인터페이스 수단; 상기 인터페이스 수단으로부터 로트 선택 정보를 수신하여 반송명령을 생성하고, 반송명령을 전송하는 셀 관리 수단; 상기 셀 관리 수단로부터 반송명령과 로트 선택 정보를 전송받아 저장하는 마스터 데이타베이스; 상기 반송명령을 수신하여 구동신호를 인가하며, 반송명령을 수행하는 반송 수단을 더 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다.
도1에 도시된 바와 같이, 본 발명이 적용되는 반도체 생산라인 자동화 시스템에서의 로트의 자동 반송 방법을 수행하기 위한 시스템은, 작업자가 반송할 로트를 선택하여 입력하는 작업자 인터페이스 프로세스(100)와, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(100)로부터 로트 선택 정보를 수신하여 장비 인터페이스 서버로 전송하는 작업자 인터페이스 서버(102)와, 공정라인에 위치한 로트를 같은 장비로 자동 배분하고, 배분 사실 정보를 셀 관리 서버로 전송하는 장비 인터페이스 서버(104)와, 상기 작업자 인터페이스 서버(102) 및 장비 인터페이스 서버(104)로부터 로트 선택 정보를 수신하고 반송 명령을 마스터 데이타베이스에 저장하며 상기 반송 명령을 분류하여 인트라베이 제어 서버로 전송하는 셀 관리 서버(108)와, 상기 작업자 인터페이스 서버(102)와 장비 인터페이스 서버(104)로부터 제공되는 로트 선택 정보를 저장하고 상기 셀 관리 서버(108)로부터 반송 명령 정보를 저장하는 마스터 데이타베이스(106)와, 상기 셀 관리 서버(108)로부터 수신한 반송 명령을 반송 큐 파일에 저장하고 자동반송 로봇 제어 서버로 반송명령을 전송하는 인트라베이 제어서버(110)와, 상기 인트라베이 제어서버(110)로부터 반송명령을 수신하여 저장하는 반송 큐 파일(112)과, 상기 인트라베이 제어서버(110)로부터 반송명령 수신하여 자동반송 로봇의 구동신호를 인가하는 자동반송 로봇 제어 서버(114) 및 상기 반송명령을 수행하는 자동 반송 로봇(116)으로 구성된다.
상기와 같이 구성되어 동작하는 반도체 생산라인에서의 로트 반송 방법을 도2를 참조하여 설명한다.
도2는 본 발명에 따른 반도체 생산라인에서의 로트 반송 방법을 수행하기 위한 처리흐름도이다.
먼저, 작업자는 작업자 인터페이스 프로세스(100)에서 자동으로 반송할 로트를 선택하고(S200), 작업자 인터페이스 서버(102)로 로트 선택 정보를 통보하며, 상기 작업자 인터페이스 서버(102)는 로트 선택 정보를 장비 인터페이스 서버(104)로 전송한다.
또한, 상기 장비 인터페이스 서버(104)에서는 같은 공정라인상에 위치한 다수의 로트를 다수의 동일한 장비에 자동 배분한다.(S201)
상기 로트 선택 정보를 수신한 상기 작업자 인터페이스 서버(102)는 마스터 데이타베이스(106)에서 상기 선택된 로트의 정보를 판독하여 반송에 적합한 로트여부를 판단하고(S202), 로트의 정보를 상기 장비 인터페이스 서버(104)로 전송한다.
상기 판단결과(S202), 반송에 적합한 로트일 경우, 상기 작업자 인터페이스 서버(102)는 로트 선택 정보를 셀 관리 서버(108)로 전송한다(S204).
상기 판단결과(S202), 반송에 적합하지 않은 로트일 경우, 상기 S200단계부터 다시 진행한다.
상기 S204단계 수행후, 상기 로트 선택 정보를 수신한 셀 관리 서버(108)는 마스터 데이타베이스(106)에서 상기 선택된 로트의 정보를 판독하여 반송에 적합한 로트여부를 다시 판단한다(S206).
이후, 상기 셀 관리 서버(108)는 선택된 로트의 반송방향을 결정한다.
여기서 반송방향은, 장비에서 장비로 운송, 장비에서 로트창고(stocker)로 운송 및 로트창고에서 장비로 운송 중 어느하나이다.
상기 판단결과(S206), 반송에 적합한 로트일 경우, 상기 셀 관리 서버(108)는 반송명령을 생성하여 인트라베이 제어 서버(110)로 전송한다(S208).
상기 판단결과(S206), 반송에 적합하지 않은 로트일 경우, 상기 S200단계부터 다시 진행한다.
상기 S208단계 수행후, 상기 셀 관리 서버(108)로부터 반송명령을 수신한 상기 인트라베이 제어 서버(110)는 마스터 데이타베이스(106)에서 상기 선택된 로트의 정보를 판독하여 반송에 적합한 로트여부를 또 한번 판단한다(S210).
상기 판단결과(S210), 반송에 적합한 로트일 경우, 상기 인트라베이 제어 서버(110)는 상기 셀 관리 서버(108)로부터 수신한 반송명령을 반송 큐 파일(112)에 저장한다(S212).
상기 판단결과(S210), 반송에 적합하지 않은 로트일 경우, 상기 S200단계부터 다시 진행한다.
상기 S212단계 수행후, 상기 인트라베이 제어 서버(110)는 자동반송 로봇 제어 서버(112)로 반송명령을 전송한다(S216).
상기 인트라베이 제어 서버(110)로부터 반송명령을 수신한 상기 자동반송 로봇 제어 서버(114)는 자동반송 로봇(116)으로 반송 명령을 전송한다(S218).
상기 자동반송 로봇 제어 서버(114)로부터 반송 명령을 수신한 상기 자동반송 로봇(116)은 반송명령에 따라 선택된 로트의 반송을 진행하게 된다(S218).
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니다.
상기와 같은 본 발명은, 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템하에서 운용되는 로트 자동 반송 시스템의 제어하에 자동 반송 로봇(AGV : Auto Guide Vehicle)이 로트반송을 수행함으로써 작업자의 부가적인 작업없이 로트 반송작업이 능하며, 반송할 로트에 대한 선택 및 반송환경을 그래픽 사용자 환경으로 제공하므로써 작업자 입력오류를 최소화할 수 있어 300mm 대구경 라인에서의 로트반송을 원활히 수행할 수 있는 효과가 있다.
또한, 로트를 자동으로 반송하므로써 반도체 제품 생산을 위한 로트의 진행시간을 효과적으로 단축 할 수 있는 또 다른 효과가 있다.
Claims (10)
- 작업자 인터페이스 프로세스에서 반송할 로트를 선택하고 장비 인터페이스 서버로 로트 선택 정보를 전송하는 제 1단계;상기 장비 인터페이스 서버로부터 로트 선택 통보를 수신한 셀 관리 서버 및 상기 셀 관리서버로부터 반송 명령을 수신한 인트라베이 제어서버에서 선택된 로트의 반송 적합성 여부를 판단하여, 반송에 적합하지 않은 로트일 경우, 상기 제 1단계부터 다시 수행하는 제 2단계; 및상기 인트라베이 제어서버로부터 반송명령을 수신한 자동반송 로봇 제어 서버가 자동반송 로봇으로 반송 진행신호를 인가하는 제 3단계를 포함하는 반도체 생산라인에서 로트의 자동 반송 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1단계는,상기 작업자 인터페이스 프로세스를 통하여 자동으로 반송할 로트를 선택하는 제 4단계; 및상기 작업자 인터페이스 프로세스가 로트 선택 정보를 장비 인터페이스 서버로 전송하는 제 5단계를 포함하는 반도체 생산라인에서 로트의 자동 반송 방법.
- 제 2항에 있어서,상기 제 5단계는,상기 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 선택 정보를 수신한 상기 장비 인터페이스 서버가 선택된 로트에 대한 정보를 마스터 데이타베이스에서 판독하는 제 6단계;상기 마스터 데이타베이스에서 선택된 로트에 대한 정보를 판독한 상기 작업자 인터페이스 서버가 선택된 로트의 반송 적합성여부를 판단하는 제 7단계;상기 제 7단계의 판단결과, 반송에 적합한 로트일 경우, 상기 장비 인터페이스 서버가 로트 선택 정보를 상기 셀 관리 서버로 전송하는 제 8단계; 및상기 제 7단계의 판단결과, 반송에 적합하지 않은 로트일 경우, 상기 제 4단계부터 다시 실행하는 제 9단계를 더 포함하는 반도체 생산공정에서 로트의 자동 반송 방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 제 2단계는,상기 장비 인터페이스 서버로부터 로트 선택 정보를 수신한 셀 관리 서버가 마스터 데이타베이스에서 상기 선택된 로트의 정보를 판독하여 반송에 적합한 로트여부를 판단하는 제 10단계;상기 제 10단계의 판단결과, 반송에 적합한 로트일 경우, 상기 셀 관리 서버가 반송명령을 생성하여 인트라베이 제어 서버로 전송하는 제 11단계;상기 제 10단계의 판단결과, 반송에 적합하지 않은 로트일 경우, 상기 제 1단계부터 다시 진행하는 제 12단계; 및상기 셀 관리 서버가 선택된 로트의 반송방향을 결정하는 제 13단계를 포함하는 반도체 생산라인에서 로트의 자동 반송 방법.
- 제 4항에 있어서,상기 제 13단계는,상기 셀 관리 서버로부터 반송명령을 수신한 상기 인트라베이 제어 서버가 상기 마스터 데이타베이스에서 상기 선택된 로트의 정보를 판독하여 반송에 적합한 로트여부를 판단하는 제 14단계;상기 제 14단계의 판단결과, 반송에 적합한 로트일 경우, 상기 인트라베이 제어서버가 반송명령을 반송 큐 파일에 저장하는 제 15단계;상기 제 15단계 수행후, 상기 인트라베이 제어 서버가 자동반송 로봇 제어 서버로 반송명령을 전송하는 제 16단계;상기 제 14단계의 판단결과, 반송에 적합하지 않은 로트일 경우, 상기 제 1단계부터 다시 진행하는 제 17단계를 더 포함하는 반도체 생산라인에서 로트의 자동 반송 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제 3단계는,상기 인트라베이 제어 서버로부터 반송명령을 수신한 상기 자동반송 로봇 제어 서버가 자동반송 로봇으로 반송 명령을 전송하는 제 18단계; 및상기 자동반송 로봇 제어 서버로부터 반송 명령을 수신한 상기 자동반송 로봇이 반송명령에 따라 선택된 로트의 반송을 진행하는 제 19단계를 포함하는 반도체 생산라인에서 로트의 자동 반송 방법.
- 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템하에서 운용되는 로트 반송 시스템은,작업자 인터페이스 프로세스에서 반송할 로트를 선택하고 장비 인터페이스 서버로 로트 선택 정보를 전송하는 제 1기능;상기 장비 인터페이스 서버로부터 로트 선택 통보를 수신한 셀 관리 서버 및 상기 셀 관리서버로부터 반송 명령을 수신한 인트라베이 제어서버에서 선택된 로트의 반송 적합성 여부를 판단하여, 반송에 적합하지 않은 로트일 경우, 상기 제 1단계부터 다시 수행하는 제 2기능; 및상기 인트라베이 제어서버로부터 반송명령을 수신한 자동반송 로봇 제어 서버가 자동반송 로봇으로 반송 진행신호를 인가하는 제 3기능을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체.
- 외부에서 반송할 로트를 선택 정보를 입력하는 작업자 인터페이스 프로세스;상기 작업자 인터페이스 수단에서 제공된 로트 선택 정보를 전송하고, 반송에 적합한 로트여부를 판단하는 인터페이스 수단;상기 인터페이스 수단으로부터 로트 선택 정보를 수신하여 반송명령을 생성하고, 반송명령을 전송하는 셀 관리 수단;상기 셀 관리 수단로부터 반송명령과 로트 선택 정보를 전송받아 저장하는 마스터 데이타베이스;상기 반송명령을 수신하여 구동신호를 인가하며, 반송명령을 수행하는 반송 수단을 포함하는 반도체 생산라인에서 로트의 자동 반송 장치.
- 제 8항에 있어서,상기 인터페이스 수단은,상기 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 선택 정보를 수신하여 셀 관리 수단으로 전송하는 작업자 인터페이스 서버; 및공정라인에 위치한 로트를 같은 장비로 자동 배분하고, 배분 사실 정보를 셀 관리 수단으로 전송하는 장비 인터페이스 서버를 포함하는 반도체 생산라인에서 로트의 자동 반송 장치.
- 제 8항 또는 제 9항에 있어서,상기 반송수단은,상기 셀 관리 수단으로부터 수신하여 반송 명령을 저장하고, 전송하는 인트라베이 제어 서버;상기 인트라베이 제어 서버로부터 제공된 반송명령을 저장하는 반송 큐 파일;상기 인트라베이 제어 서버로부터 제공된 반송명령을 수신하여 전송하고, 반송 구동신호를 인가하는 자동반송 로봇 제어 서버; 및상기 자동반송 로봇 제어 서버로부터 인가된 반동 구동신호에 따라 반송명령을 수행하는 자동 반송 로봇을 포함하는 반도체 생산라인에서 로트의 자동 반송 장치.
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|---|---|---|---|---|
| JPH06224094A (ja) * | 1993-01-26 | 1994-08-12 | Nippon Steel Corp | 半導体基板の製造工程における工程間搬送システム |
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1999
- 1999-06-22 KR KR1019990023548A patent/KR100329778B1/ko not_active IP Right Cessation
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|---|---|---|---|---|
| KR100537184B1 (ko) * | 2000-05-31 | 2005-12-16 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 제조공정에서의 로트 공정 자동이동 시스템 및 그방법 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100329778B1 (ko) | 2002-03-25 |
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