JP2013014129A5 - スクライビングホイール及びスクライブ方法 - Google Patents

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本発明は脆性材料基板に圧接・転動させてスクライブするためのスクライビングホイール及びスクライブ方法に関するものである。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであって、スクライビングホイールの長寿命化、微細化を図ることができるスクライビングホイール及びそのスクライビングホイールを用いたスクライブ方法を提供することを目的とする。
この課題を解決するために、本発明のスクライビングホイールは、脆性材料基板に圧接・転動させてスクライブするためのスクライビングホイールであって、円板のスクライビングホイール基材と、前記スクライビングホイール基材の刃先部分に形成されたダイヤモンド膜と、前記ダイヤモンド膜を機械研磨して形成された研磨領域と、を具備し、前記スクライビングホイール基材は、円板の周囲の側面に最大径となる部分と傾斜面を有し、前記スクライビングホイール基材の傾斜面がなす頂角α１と前記ダイヤモンド膜の先端部がなす刃先角度α２との差が５°以上２０°以下であるものである。

Claims (9)

  1. 脆性材料基板に圧接・転動させてスクライブするためのスクライビングホイールであって、
    円板のスクライビングホイール基材と、
    前記スクライビングホイール基材の刃先部分に形成されたダイヤモンド膜と、
    前記ダイヤモンド膜を機械研磨して形成された研磨領域と、を具備し、
    前記スクライビングホイール基材は、円板の周囲の側面に最大径となる部分と
    傾斜面を有し、
    前記スクライビングホイール基材の傾斜面がなす頂角α１と前記ダイヤモンド膜の先端部がなす刃先角度α２との差が５°以上２０°以下であるスクライビングホイール。
  2. 前記スクライビングホイール基材は、側面に中心軸と同軸の円柱状の円周面を形成した請求項１記載のスクライビングホイール。
  3. 前記スクライビングホイール基材は、側面に内向き及び外向きのいずれかに湾曲する前記中心軸と同軸の円周面を有する請求項１記載のスクライビングホイール。
  4. 前記スクライビングホイール基材は、側面に内向き及び外向きのいずれかに断面がＶ字状となる前記中心軸と同軸の円周面を有する請求項１記載のスクライビングホイール。
  5. 前記スクライビングホイール基材は、超硬合金からなる請求項１記載のスクライビングホイール。
  6. 前記スクライビングホイールは、セラミックス基板をスクライブするスクライビングホイールである請求項１記載のスクライビングホイール。
  7. 前記研磨領域の稜線部分を所定間隔で切り欠いた溝を有し、その間を突起とした請求項１〜６のいずれか１項記載のスクライビングホイール。
  8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載のスクライビングホイールを用いて、脆性材料基板をスクライブするスクライブ方法。
  9. 前記脆性材料基板がセラミックス基板である請求項８記載のスクライブ方法。
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