JP5915346B2 - スクライビングホイール - Google Patents
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Description
また、前記研磨領域の刃先角度と、前記研磨領域の両側のダイヤモンド膜の刃先角度との差が5〜10°であることが好ましい。
さらにまた、前記研磨領域の刃先角度は115〜150°であることが好ましい。
11,41 円板
12,42 貫通孔
13,43 研磨面
14,44 ダイヤモンド膜
16 円周面
20 ダイヤモンド核
45 溝
Claims (6)
- 円周部に沿って稜線が形成され、前記稜線と前記稜線の両側の傾斜面からなる刃先を有するスクライビングホイール基材と、
前記スクライビングホイール基材の刃先表面に形成された平均粒径2μm以下のダイヤモンド粒子からなるダイヤモンド膜と、前記ダイヤモンド膜の稜線の両側に設けられた帯状の研磨領域と、を具備し、
前記ダイヤモンド膜の稜線付近の膜厚が5〜25μmであり、
前記研磨領域の幅が10〜30μmであることを特徴とするスクライビングホイール。 - 前記ダイヤモンド膜は、多層構造を有する請求項1記載のスクライビングホイール。
- 前記研磨領域の稜線部分を所定間隔で切り欠いた溝を有し、その間を突起とした請求項1記載のスクライビングホイール。
- 前記研磨領域の表面の算術平均粗さRaが0.03μm以下である請求項1記載のスクライビングホイール。
- 前記研磨領域の刃先角度と、前記研磨領域の外側のダイヤモンド膜の刃先角度との差が5〜10°である請求項1記載のスクライビングホイール。
- 前記研磨領域の刃先角度は115〜150°である請求項1記載のスクライビングホイール。
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