KR20170135717A - 스크라이빙 휠 및 그의 제조 방법 - Google Patents

스크라이빙 휠 및 그의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20170135717A
KR20170135717A KR1020170065252A KR20170065252A KR20170135717A KR 20170135717 A KR20170135717 A KR 20170135717A KR 1020170065252 A KR1020170065252 A KR 1020170065252A KR 20170065252 A KR20170065252 A KR 20170065252A KR 20170135717 A KR20170135717 A KR 20170135717A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
scribing wheel
wheel base
base material
diamond film
diamond
Prior art date
Application number
KR1020170065252A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102381646B1 (ko
Inventor
마사아키 기타자와
키요후미 미야카와
나오코 도메이
히로요시 하야시
Original Assignee
미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 filed Critical 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20170135717A publication Critical patent/KR20170135717A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102381646B1 publication Critical patent/KR102381646B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/22—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising
    • B28D1/225—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising for scoring or breaking, e.g. tiles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0005—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing
    • B28D5/0011—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing with preliminary treatment, e.g. weakening by scoring
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/10—Glass-cutting tools, e.g. scoring tools
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/10—Glass-cutting tools, e.g. scoring tools
    • C03B33/105—Details of cutting or scoring means, e.g. tips
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mining & Mineral Resources (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Abstract

한 쌍의 스페이서(21, 22)를 통하여 스크라이빙 휠 기재(12)의 경사면(13, 14)에 다이아몬드막(17)을 형성한다. 다이아몬드막을 형성한 후, 막이 부착되는 경사면(13, 14)과 측면(15, 16)의 경계 부분에 부착되는 다이아몬드막을 제거하기 위해, 레이저광으로 절삭한다. 이렇게 하면 측면(15, 16)의 외주 부분에 다이아몬드막이 잔존하는 일 없이, 스크라이빙 휠의 수율을 올려, 사용시의 슬라이딩 저항을 개선할 수 있다.

Description

스크라이빙 휠 및 그의 제조 방법{SCRIBING WHEEL AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 취성 재료 기판(brittle material substrate)에 압접·전동(rolling)시켜 스크라이브하기 위한 스크라이빙 휠 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
종래의 스크라이빙 휠은, 초경 합금제(製) 또는 다결정 소결 다이아몬드(이하, PCD라고 함)제의 원판(円板)을 기재(基材)로 하고 있다. PCD는 다이아몬드 입자를 코발트 등과 함께 소결시킨 것이다. 스크라이빙 휠은 기재가 되는 원판의 양측으로부터 원주의 에지를 서로 비스듬히 깎아 들어가, 원주면에 V자형의 날끝을 형성한 것이다. 이와 같이 하여 형성된 스크라이빙 휠을 스크라이브 장치의 스크라이브 헤드 등에 회전이 자유롭게 축착(軸着)하여 취성 재료 기판에 소정의 하중으로 밀어붙여, 취성 재료 기판의 면을 따라 이동시킴으로써, 전동시키면서 스크라이브할 수 있다.
일본공개특허공보 평04-224128호에는 유리 기판을 절단(dividing)하기 위한 유리 절단용 날에 관한 것으로, 그 수명을 길게 하기 위하여, V자 형상의 날끝 표면을 다이아몬드로 피막한 유리 절단용 날이 개시되어 있다. 이 유리 절단용 날은, 다이아몬드와 상성이 좋은 세라믹으로 형성된 날끝 표면에 다이아몬드막을 피복하고, 이 다이아몬드막을 표면 연마 처리하여 정형(整形)된다. 이러한 유리 절단용 날을 이용함으로써, 날의 수명이 길고, 또한 절단면이 평활해지도록 고경도 유리를 절단할 수 있다고 나타나 있다.
또한, 일본공개특허공보 2013-220554호에는, 단면이 V자형으로 형성된 원주부를 갖는 스크라이빙 휠의 날끝이 되는 경사면에 다이아몬드막을 성장시키고, 능선의 양측의 영역을 연마한 스크라이빙 휠이 제안되어 있다.
일본공개특허공보 평04-224128호 일본공개특허공보 2013-220554호
그러나 단면이 V자형으로 형성된 스크라이빙 휠 기재의 경사면에 다이아몬드막을 형성하는 경우에는, 관통구멍이나 측벽에 다이아몬드막의 부착을 피하기 위해, 도 1(a)에 나타내는 바와 같이 스크라이빙 휠 기재(100)(이하, 간단히 휠 기재라고 함)를 한 쌍의 스페이서(101, 102)의 사이에 끼우고, 휠 기재(100)의 측벽을 스페이서(101, 102)에 접촉시켜 성막로(成膜爐)의 안에 지지한다. 그리고 성막로의 안에서 휠 기재(100)의 경사면으로의 다이아몬드막의 부착을 완료한 후, 도 1(b)에 나타내는 바와 같이 스페이서(101, 102)를 분리하여 휠 기재(100)를 세정하고 있었다. 통상은 막두께를 확보하기 위해 복수 회 다이아몬드막을 부착할 필요가 있고, 이 작업을 복수 회 반복하고 있었다.
그러나 다이아몬드막을 부착시킬 때에 휠 기재(100)의 측면을 스페이서(101, 102)에 접촉시켜도, 측면의 외주면 주변으로 막이 돌아 들어가 부착되고, 측면의 외주면의 막두께가 수㎛ 정도 커지는 경우가 있다. 또한 휠 기재(100)는 스페이서(101, 102)와 일단 분리하면, 세정 후 원래대로 스페이서의 사이에 끼워넣을 수 없기 때문에, 재차 다이아몬드막을 부착할 때에 외주면 주변으로 추가로 다이아몬드막이 돌아 들어가 주변 부분의 막두께가 커지게 되어, 허용 공차(公差)의 범위를 초과해 버리는 경우가 있다.
완성된 스크라이빙 휠은 휠 홀더의 절입의 간극에 삽입하고, 회전이 자유롭게 지지되어 이용된다. 이때 측면에 다이아몬드막이 부착되어 있으면, 스크라이빙 휠이 삽입되는 간극의 허용 공차의 범위를 초과해 버리고, 휠 홀더에 지지할 수 없게 되는 경우가 있다는 문제점이 있었다. 휠 홀더에 지지할 수 있던 경우라도, 스크라이빙 휠의 측면과 경사면과의 경계 부분의 두께가 크면, 스크라이빙 휠의 회전에 수반하여 스크라이빙 휠을 사용한 때의 슬라이딩 저항이 커지기 쉽다는 문제점이 있었다. 또한 휠 홀더의 절입의 측면에 있는 관통구멍의 주변 부분만이 환상으로 마모하고, 휠 홀더도 손상되어 버린다는 문제점도 있었다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 휠 기재의 측면의 다이아몬드막의 부착에 수반하는 수율의 저하를 방지함과 함께, 스크라이빙 휠을 사용할 때에 슬라이딩 저항이 커지는 일이 없는 스크라이빙 휠 및 그의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
이 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 스크라이빙 휠은, 원주부를 따라서 능선이 형성되고, 상기 능선과 상기 능선의 양측의 경사면으로 이루어지는 날끝을 갖는 스크라이빙 휠 기재와, 상기 스크라이빙 휠 기재의 경사면에 다이아몬드막을 갖는 다이아몬드막과, 상기 스크라이빙 휠 기재의 양측의 측면의 다이아몬드막이 형성되어 있는 경사면과의 경계가 되는 환상의 영역에 환상 홈을 구비하는 것이다.
이 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 스크라이빙 휠의 제조 방법은, 원판의 원주부를 따라서 능선이 형성되고, 상기 능선과 상기 능선의 양측의 경사면으로 이루어지는 날끝을 갖는 스크라이빙 휠의 제조 방법으로서, 원판 형상의 스크라이빙 휠 기재의 원주를 따라서 측면의 양측으로부터 서로 비스듬히 깎아 들어가도록 연마하여 원주 부분에 경사면과 능선으로 이루어지는 날끝 부분을 형성하고, 상기 스크라이빙 휠 기재의 경사면에 다이아몬드막을 형성하고, 스크라이빙 휠 기재의 양측의 측면 중 상기 다이아몬드막을 갖는 경사면과의 경계가 되는 환상 영역을 절삭하여 측면의 환상 영역의 다이아몬드막을 제거함과 함께 환상 홈을 형성하는 것이다.
여기에서 상기 스크라이빙 휠 기재의 측면의 환상 홈은, 환상으로 레이저광을 조사함으로써 형성하도록 해도 좋다.
여기에서 복수의 상기 날끝 부분을 형성한 스크라이빙 휠 기재와, 상기 각 스크라이빙 휠 기재의 측면이 모두 접촉하는 스페이서를 교대로 접촉시켜 상기 각 다이아몬드 휠 기재의 경사면에 다이아몬드막을 형성하도록 해도 좋다.
여기에서 복수의 상기 날끝 부분을 형성한 상기 스크라이빙 휠 기재를 측면을 맞추어 서로 접촉시키고, 외측에 상기 양측의 스크라이빙 휠 기재의 외측의 측면이 모두 접촉하는 한 쌍의 스페이서를 접촉시켜 상기 각 다이아몬드 휠 기재의 경사면에 다이아몬드막을 형성하도록 해도 좋다.
여기에서 상기 스크라이빙 휠 기재의 환상 홈은, 레이저광을 측면에 대하여 수평으로 조사함으로써 형성하도록 해도 좋다.
여기에서 상기 스크라이빙 휠 기재의 환상 홈은, 레이저광을 측면에 대하여 수직으로 조사함으로써 형성하도록 해도 좋다.
이러한 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 다이아몬드막의 경사면과 측면의 경계 부분이 되는 측면에 막이 부착된 경우라도 측면의 막을 제거하고 있기 때문에, 막의 부착에 의한 스크라이빙 휠의 두께의 변화에 수반하는 수율의 저하를 방지할 수 있다. 또한 스크라이빙 휠의 측면에는 막이 부착되어 있지 않기 때문에, 스크라이빙 휠을 휠 홀더에 부착하여 사용하는 경우의 슬라이딩 저항을 적게 할 수 있어, 휠 홀더의 손상을 방지할 수 있다는 효과가 얻어진다.
도 1은 스크라이빙 휠의 제조시에 다이아몬드막의 부착 처리를 나타내는 개략도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠의 제조 과정의 정면도 및 측면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠 기재상에 다이아몬드막의 부착 처리를 나타내는 개략도이다.
도 4는 레이저 조사 전후의 스크라이빙 휠의 측면과 경사면과의 경계 부분을 나타내는 확대 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠 기재로의 레이저광의 조사를 나타내는 정면도 및 측면도이다.
도 6은 본 실시 형태에 의한 레이저 조사 후의 스크라이빙 휠의 정면도 및 측면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠 기재로의 레이저광의 조사를 나타내는 측면도이다.
도 8은 다른 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠 기재상에 다이아몬드막의 부착 처리를 나타내는 개략도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠 기재로의 레이저광의 조사를 나타내는 측면도이다.
도 2(a), (b)는 본 발명의 제1 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠의 제조 과정을 나타내는 정면도 및 그의 측면도이다. 스크라이빙 휠을 제조할 때에는, 예를 들면, 초경 합금의 스크라이빙 휠 기재가 되는 원판(10)의 중앙에 우선 도 2(a)에 나타내는 바와 같이 축구멍이 되는 관통구멍(11)을 형성한다. 다음으로 이 관통구멍(11)에 도시하지 않은 모터 등의 샤프트를 연통하여 관통구멍(11)의 중심축을 회전축으로서 회전시키면서, 원판(10)의 전(全) 원주를 원판의 표리 양측으로부터 회전축에 대하여 비스듬히 연마하여 도 2(b)에 나타내는 바와 같이 수직 단면 V자형으로 형성하여 스크라이빙 휠 기재(12)로 하고, V자형 부분을 날끝으로 한다. 이렇게 하여 형성한 V자형의 사면을 경사면(13, 14), 측면을 측면(15, 16)으로 한다.
다음으로 경사면(13, 14)으로의 다이아몬드 박막의 형성 과정에 대해서 설명한다. 우선 V자형의 경사면(13, 14)을 다이아몬드막의 부착이 용이해지도록 미리 조면(粗面)으로 해둔다. 다음으로 도 3에 나타내는 바와 같이 스크라이빙 휠 기재(12)를 한 쌍의 스페이서(21, 22)의 사이에 끼우고 원주 형상의 부재(23)를 관통시켜 상하로 고정한다. 스페이서(21, 22)의 측면의 직경은 스크라이빙 휠 기재(12)의 측면(15, 16)의 직경보다 조금 크게 한다. 이렇게 하면 스크라이빙 휠 기재의 측면(15, 16)은 각각 스페이서(21, 22)의 측면에 완전하게 접촉시킬 수 있다. 이 상태로 전(前) 처리를 행한 후, 성막로에 넣어 스크라이빙 휠 기재의 경사면(13, 14)에 다이아몬드막(17)을 성막한다. 다음으로 스크라이빙 휠 기재(12)와 한 쌍의 스페이서(21, 22)를 분리한 후, 초음파 세정 등으로 세정한다.
또한 1회의 성막으로 필요한 막두께가 얻어지지 않는 경우에는, 상기의 성막과 스크라이빙 휠 기재의 측면의 다이아몬드막의 성막 처리를 복수 회 반복함으로써, 필요한 막두께를 얻도록 해도 좋다.
성막로에서 다이아몬드막을 부착시킬 때에, 측면(15, 16)의 최외주의 환상 부분에도 다이아몬드 입자가 돌아 들어가 근소하게 부착되어 환상의 볼록부가 된다. 도 4(a)는 경사면(13)과 측면(15)이 교차하는 외주의 일부를 확대하여 나타내는 단면도로서, 경사면(13) 및 측면(15)의 외주 부분에 다이아몬드막(17)이 부착되어 있는 것을 나타내고 있다.
다음으로 측면(15)으로 돌아 들어가 부착된 다이아몬드막을 제거하기 위해, 성막 후에 도 5에 나타내는 바와 같이 스크라이빙 휠의 측면(15)의 V자형의 경사면과의 경계가 되는 환상 영역(15a)에 대하여 레이저광을 조사한다. 레이저 광원으로서는, 다이아몬드막 및 휠 기재로의 열 영향을 경감하기 위해, 예를 들면 펄스 폭이 10 나노초 이하의 짧은 것을 이용하는 것이 바람직하다. 그리고 도 5(a)의 해칭으로 나타내는 부분은 레이저광을 조사한 부분을 나타내고 있다. 레이저광을 조사함으로써 측면(15)에 부착된 다이아몬드막(17)뿐만 아니라, 스크라이빙 휠 기재(12)를 구성하는 초강합금의 환상 영역(15a)이 근소하게, 예를 들면 깊이 5㎛ 정도 환상으로 제거되고, 도 4(b)에 도 5(b)의 작은 원 부분의 단면도를 나타내는 바와 같이 환상 홈(15b)이 형성되게 된다. 따라서, 측면(15)에 다이아몬드막(17)이 근소하게 부착되어 있는 경우라도, 레이저광을 조사한 후에는 다이아몬드막을 측면(15)으로부터 완전하게 제거할 수 있다.
또한 측면(16)으로 돌아 들어가 부착된 다이아몬드막을 제거하기 위해, 도 5에 나타내는 바와 같이 스크라이빙 휠 기재(12)를 반전시키고, 동일하게 하여 측면(16)과 연마면(14)과의 경계의 환상 영역(16a)에 대하여 레이저광을 조사한다. 이에 따라 환상 부분(16a)의 다이아몬드막(17)이 제거되고, 추가로 스크라이빙 휠 기재가 환상으로 제거되어 5㎛ 정도의 패임이 되는 환상 홈(16b)이 형성되게 된다. 환상 홈(15b, 16b)의 폭은 측면의 볼록부를 확실하게 제거할 수 있도록, 100㎛∼200㎛로 하는 것이 바람직하다. 본 실시 형태에서는 150㎛ 정도로 되어 있다.
이 후, 다이아몬드막이 부착된 선단 부분을 선단이 날카로워지도록 숫돌 등의 연마재에 의해 연마한다. 연마는 초벌 연마와 마무리 연마의 2단계로 해도 좋고, 원래의 다이아몬드막(17)보다도 예를 들면 5° 정도 둔각이 되도록 해도 좋다. 도 6은 이렇게 하여 완성한 스크라이빙 휠을 나타내는 정면도 및 측면도이다.
이와 같이 하여 측면(15, 16)에 부착된 다이아몬드막을 제거함으로써, 측면에 환상 볼록부가 없어지기 때문에, 휠 홀더의 측면과 경사면과의 경계 부분에서의 마찰이 적어지게 되어, 슬라이딩 저항을 개선할 수 있다.
또한 이 실시 형태에서는 스크라이빙 휠의 측면에 대하여 수직인 방향으로부터 레이저광을 조사하여 측면의 다이아몬드막이 부착된 환상의 볼록부를 없애고 있지만, 도 7에 나타내는 바와 같이 스크라이빙 휠의 측면에 평행한 방향으로부터 레이저광을 조사해도 좋다. 또한, 레이저광을 대신하여 숫돌을 이용하여 측면에 부착된 다이아몬드막을 제거하도록 해도 좋다.
또한 이 실시 형태에서는 스크라이빙 휠 기재의 경사면에 다이아몬드 박막을 부착할 때에, 한 쌍의 스페이서를 통하여 휠 기재를 지지하고 있지만, 복수의 휠 기재에 동시에 다이아몬드 박막을 부착시키는 경우에는, 도 8(a)에 나타내는 바와 같이 휠 기재(12)와 스페이서(31, 32, 33…)를 교대로 접촉시켜 성막해도 좋다.
또한 복수의 휠 기재에 동시에 다이아몬드 박막을 부착시키는 경우에, 도 8(b)에 나타내는 바와 같이 양단에만 스페이서(31, 32)를 배치하고, 그 사이에 복수의 휠 기재(12)를 측면을 맞추어 서로 접촉시켜 지지하여 다이아몬드 박막을 성막하도록 해도 좋다. 이 경우에는 도 9(a), (b)에 나타내는 바와 같이 측면으로부터 레이저광을 조사하면, 측면에 부착된 다이아몬드막의 제거와 각 휠 기재의 분리를 동시에 행할 수 있다. 또한 도 9(c)는 도 9(b)에 원으로 나타내는 측면과 경사면과의 경계 부분을 나타내는 부분 확대도이다.
또한, 이 실시 형태에서는 측면에 부착된 다이아몬드막을 제거한 후에 다이아몬드막이 부착된 선단 부분을 연마하고 있지만, 다이아몬드막의 선단을 연마한 후에, 측면에 부착된 다이아몬드막을 제거하도록 해도 좋다.

Claims (7)

  1. 원주부를 따라서 능선이 형성되고, 상기 능선과 상기 능선의 양측의 경사면으로 이루어지는 날끝을 갖는 스크라이빙 휠 기재와,
    상기 스크라이빙 휠 기재의 경사면에 다이아몬드막을 갖는 다이아몬드막과,
    상기 스크라이빙 휠 기재의 양측의 측면의 다이아몬드막이 형성되어 있는 경사면과의 경계가 되는 환상의 영역에 환상 홈을 구비하는 스크라이빙 휠.
  2. 원판의 원주부를 따라서 능선이 형성되고, 상기 능선과 상기 능선의 양측의 경사면으로 이루어지는 날끝을 갖는 스크라이빙 휠의 제조 방법으로서,
    원판 형상의 스크라이빙 휠 기재의 원주를 따라서 측면의 양측으로부터 서로 비스듬히 깎아 들어가도록 연마하여 원주 부분에 경사면과 능선으로 이루어지는 날끝 부분을 형성하고,
    상기 스크라이빙 휠 기재의 경사면에 다이아몬드막을 형성하고,
    스크라이빙 휠 기재의 양측의 측면 중 상기 다이아몬드막을 갖는 경사면과의 경계가 되는 환상 영역을 절삭하여 측면의 환상 영역의 다이아몬드막을 제거함과 함께 환상 홈을 형성하는 스크라이빙 휠의 제조 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 스크라이빙 휠 기재의 측면의 환상 홈은, 환상으로 레이저광을 조사함으로써 형성한 스크라이빙 휠의 제조 방법.
  4. 제2항에 있어서,
    복수의 상기 날끝 부분을 형성한 스크라이빙 휠 기재와, 상기 각 스크라이빙 휠 기재의 측면이 모두 접촉하는 스페이서를 교대로 접촉시켜 상기 각 다이아몬드 휠 기재의 경사면에 다이아몬드막을 형성하는 스크라이빙 휠의 제조 방법.
  5. 제2항에 있어서,
    복수의 상기 날끝 부분을 형성한 상기 스크라이빙 휠 기재를 측면을 맞추어 서로 접촉시키고, 외측에 상기 양측의 스크라이빙 휠 기재의 외측의 측면이 모두 접촉하는 한 쌍의 스페이서를 접촉시켜 상기 각 다이아몬드 휠 기재의 경사면에 다이아몬드막을 형성하는 스크라이빙 휠의 제조 방법.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 스크라이빙 휠 기재의 환상 홈은, 레이저광을 측면에 대하여 수평으로 조사함으로써 형성한 스크라이빙 휠의 제조 방법.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 스크라이빙 휠 기재의 환상 홈은, 레이저광을 측면에 대하여 수직으로 조사함으로써 형성한 스크라이빙 휠의 제조 방법.
KR1020170065252A 2016-05-30 2017-05-26 스크라이빙 휠 및 그의 제조 방법 KR102381646B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016107324 2016-05-30
JPJP-P-2016-107324 2016-05-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170135717A true KR20170135717A (ko) 2017-12-08
KR102381646B1 KR102381646B1 (ko) 2022-03-31

Family

ID=60486310

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170065252A KR102381646B1 (ko) 2016-05-30 2017-05-26 스크라이빙 휠 및 그의 제조 방법

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6504196B2 (ko)
KR (1) KR102381646B1 (ko)
CN (1) CN107443592B (ko)
TW (1) TWI730103B (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04224128A (ja) 1990-12-20 1992-08-13 Idemitsu Petrochem Co Ltd ガラス切断用刃
JP2013220554A (ja) 2012-04-13 2013-10-28 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd スクライビングホイール及びその製造方法
KR20140125838A (ko) * 2012-03-08 2014-10-29 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 스크라이빙 휠 및 그의 제조 방법
KR20150014458A (ko) * 2012-04-24 2015-02-06 가부시키가이샤 토쿄 세이미쯔 다이싱 블레이드

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3445206A1 (de) * 1984-12-12 1986-06-12 Philipp Persch Nachf. Inh. Fritz Henn, 6580 Idar-Oberstein Diamant-trennscheibe
JP3124796B2 (ja) * 1991-08-26 2001-01-15 ノリタケダイヤ株式会社 ダイヤモンドブレード
JPH06219762A (ja) * 1993-01-27 1994-08-09 Goei Seisakusho:Kk ダイヤモンド被膜ガラスカッターおよびその製造方法
JPH1072224A (ja) * 1996-08-30 1998-03-17 Disco Abrasive Syst Ltd スクライバーとその切断刃
JPH11278990A (ja) * 1998-03-31 1999-10-12 Tdk Corp ダイヤモンド状炭素膜の加工方法
TWI380868B (zh) * 2005-02-02 2013-01-01 Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltdl Fine processing method of sintered diamond using laser, cutter wheel for brittle material substrate, and method of manufacturing the same
US7306975B2 (en) * 2005-07-01 2007-12-11 Texas Instruments Incorporated Semiconductor wafer cutting blade and method
US20070056171A1 (en) * 2005-09-12 2007-03-15 Jonathan Taryoto CVD diamond cutter wheel
CN201264315Y (zh) * 2008-06-13 2009-07-01 泉州市洛江众志金刚石工具厂 一种金刚石刀头
JP5966564B2 (ja) * 2011-06-08 2016-08-10 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライビングホイール及びスクライブ方法
CN108481580B (zh) * 2012-07-27 2020-10-23 二和钻石工业股份有限公司 具有精密结构凹槽的划线轮
JP6488644B2 (ja) * 2014-10-30 2019-03-27 三星ダイヤモンド工業株式会社 厚板ガラスのスクライブ方法、および、厚板ガラススクライブ用のスクライビングホイール

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04224128A (ja) 1990-12-20 1992-08-13 Idemitsu Petrochem Co Ltd ガラス切断用刃
KR20140125838A (ko) * 2012-03-08 2014-10-29 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 스크라이빙 휠 및 그의 제조 방법
JP2013220554A (ja) 2012-04-13 2013-10-28 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd スクライビングホイール及びその製造方法
KR20150014458A (ko) * 2012-04-24 2015-02-06 가부시키가이샤 토쿄 세이미쯔 다이싱 블레이드

Also Published As

Publication number Publication date
CN107443592B (zh) 2021-05-25
CN107443592A (zh) 2017-12-08
TWI730103B (zh) 2021-06-11
JP2017213866A (ja) 2017-12-07
JP6504196B2 (ja) 2019-04-24
KR102381646B1 (ko) 2022-03-31
TW201741260A (zh) 2017-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6188763B2 (ja) スクライビングホイールの製造方法
KR101719175B1 (ko) 스크라이빙 휠 및 그의 제조 방법
JP5998574B2 (ja) スクライビングホイールの製造方法
TWI674169B (zh) 刻劃輪及其製造方法
JP2017074789A (ja) スクライビングホイール
KR20170135717A (ko) 스크라이빙 휠 및 그의 제조 방법
JP5915346B2 (ja) スクライビングホイール
JP5942783B2 (ja) スクライビングホイール及びその製造方法
JP6234534B2 (ja) スクライビングホイール
JP6736151B2 (ja) カッターホイール並びにその製造方法
JP6234418B2 (ja) スクライビングホイール
JP2016106046A (ja) スクライビングホイールの製造方法
JP6255467B2 (ja) スクライビングホイールの製造方法
JP6088687B2 (ja) スクライビングホイール及びその製造方法
JP2585437B2 (ja) 高精度切断方法
CN106313346B (zh) 刀轮及其制造方法
JP2019022994A (ja) スクライビングホイール及びその製造方法
JP2013184388A (ja) スクライビングホイール及びその製造方法
CN116748182A (zh) 镜片清理刀具及其制备方法
JP2009279679A (ja) 面取り加工部材、面取り加工装置、面取り加工方法、ガラスディスク材、磁気記録媒体用ガラス基板並びに磁気記録媒体

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant