JP2009279679A - 面取り加工部材、面取り加工装置、面取り加工方法、ガラスディスク材、磁気記録媒体用ガラス基板並びに磁気記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【課題】ディスク材の周辺部における稜角部分の面取りを行うに際して、ディスク材でのチッピングの発生を抑える。
【解決手段】本発明によれば、ディスク材18の周辺部の稜角部分の面取り加工は、ディスク材18の周辺部における稜角部分に第1研削部材12の第1研削面12gを当接して行う予備研削と、その後、予備研削が行われた稜角部分に第2研削部材14の第2研削面14gを当接して行う仕上げ研削とにより成し遂げられる。そして、第1研削面12gがディスク材18の稜角部分に当接するときのディスク材18の中心軸に直交するディスク面Sと第1研削面12gとが成す角度は、第2研削面14gがディスク材18の稜角部分に当接するときのディスク面Sと第2研削面14gとが成す角度よりも、大きい。
【選択図】図4
【解決手段】本発明によれば、ディスク材18の周辺部の稜角部分の面取り加工は、ディスク材18の周辺部における稜角部分に第1研削部材12の第1研削面12gを当接して行う予備研削と、その後、予備研削が行われた稜角部分に第2研削部材14の第2研削面14gを当接して行う仕上げ研削とにより成し遂げられる。そして、第1研削面12gがディスク材18の稜角部分に当接するときのディスク材18の中心軸に直交するディスク面Sと第1研削面12gとが成す角度は、第2研削面14gがディスク材18の稜角部分に当接するときのディスク面Sと第2研削面14gとが成す角度よりも、大きい。
【選択図】図4
Description
本発明は、ディスク材の周辺部における稜角部分の面取りに用いられる面取り加工部材、面取り加工装置および面取り加工方法、これらを用いて加工されたガラスディスク材、磁気記録媒体用ガラス基板並びにその磁気記録媒体用ガラス基板を含む磁気記録媒体に関する。
各種磁気記録装置に搭載され、磁気抵抗型ヘッドあるいは大型磁気抵抗型ヘッド等対応の磁気記録媒体(例えばハードディスク)用基板の内のガラス基板は、例えば、次の工程を経ることで作製される。まず、ガラス材料を半溶融状態にしてプレス成形して円板状の板材(メルトプレス材)とするか、あるいはシート成形したものを規定サイズに切断することにより、角板状の板材が得られる。そして、その円板状の板材の中心部に円孔をあける、あるいは中心部と外周部を丸く切り抜くことで、中心部に円孔を有する円板すなわちドーナツ状のガラスディスク材が得られる。次いで、そのドーナツ状のガラスディスク材の外周部および内周部といった周辺部の稜角部分に対して、面取り加工(チャンファー(chamfer)加工)が施される。これらの工程を通じて、ほぼ所定の寸法を有するドーナツ状のガラスディスク材が得られるようになる。さらに、ほぼ所定の寸法を有するドーナツ状のガラスディスク材の主表面に対してラッピング加工が施される。そしてこのようにして得られたガラスディスク材に対して、その端面(外周端面および内周端面)や主表面を鏡面にするべく、研磨が行われる。このようにして、磁気記録媒体の作製に用いられるガラス基板としてのガラスディスク材が得られる。
このように、一般に、磁気記録媒体用ガラス基板を製造する際には、その製造途中の半加工品であるガラスディスク材の周辺部における稜角部分に対して面取り加工が行われる。このようにガラスディスク材に対して面取り加工が行われるのは、ガラス基板の外周部が鋭利な状態のままだと危険であるばかりでなく、そのままだとガラス基板の取り扱い時にガラス基板に欠けが発生し易くその機械的強度が小さいからである。
しかしながら、ガラスディスク材の面取り加工において、ガラスディスク材には、程度の差こそあれ一般にチッピングが発生する。チッピングとは、面取り加工によって、砥石といった研削部材とのディスク材の接触部分からディスク材の平面部にかけて発生する一種の欠けをいう。このようなチッピングは、面取り加工後の加工によって除去されることが望まれ、当初から最小限度に抑制されることが望まれる。
例えば、ガラスディスク材の面取り加工によりガラスディスク材に形成されるチッピングの深さを抑えるべく創案された面取り加工装置および面取り加工方法が、特許文献1に開示されている。特許文献1の記載によれば、この装置および方法では、ガラスディスク材の周速および砥石の周速の範囲を定めて面取り加工をすることで、面取り加工時に発生する負荷および衝撃を抑えることができ、面取り加工によってガラスディスク材に発生するチッピングの深さを低減することができるとされている。
ところで、面取り加工により形成されるディスク材のチッピングは砥石といった研削部材とディスク材との接触によって生じるものであるので、それらの接触条件を、上記特許文献1の装置および方法と異なる点から種々変更することで、チッピングの生成の程度が変化する可能性が考えられた。そこで、本発明者らは、ディスク材、特にガラスディスク材に対する面取り加工を種々検討し、面取り加工によるチッピングの発生をさらに抑制することができることを見出した。
そこで、本発明の目的は、新規に得られた上記知見に着目して、面取り加工によるディスク材でのチッピングの発生を抑えることにある。
上記目的を達成するために本発明の面取り加工部材は、ディスク材の周辺部における稜角部分の面取り用の部材であり、面取り加工の対象であるその稜角部分に当接する研削面の傾き角度を段階的に変化させることを可能にするように、少なくとも2つの研削部材に相当する部材を備える。そのような部材は、例えば、ディスク材の稜角部分の予備研削用の第1研削面を有する第1研削部材と、該第1研削部材により予備研削が行われた前記稜角部分の仕上げ研削用の第2研削面を有する第2研削部材との2つの研削部材を含んで構成される。そして、第1研削面がディスク材に当接するときの該ディスク材の中心軸に直交する面と第1研削面とが成す第1角度が、第2研削面がディスク材に当接するときのディスク材の中心軸に直交する面と第2研削面とが成す第2角度よりも大きいことが好ましい。そして、そうなるように第1および第2研削面は形成され得る。具体的には、第1角度と第2角度とは7°以上異なることが好ましい。例えば、第1角度は52°以上70°以下の角度であり、第2角度は43°以上47°以下の角度であるとよい。なお、第2角度は、最も好ましくは45°である。
このような面取り加工部材における上記研削部材は、ディスク材の面取り加工に際して、所定の順番で用いられる。研削部材が上記の如く2つの研削部材からなる場合、まず、第1研削部材でディスク材の稜角部分に対して予備研削がすなわち面取り加工の内の荒加工が行われ得る。次に、第2研削部材でディスク材の稜角部分に対して仕上げ研削がすなわち面取り加工の内の仕上げ加工が行われ得る。そして、研削部材が2つより多い研削部材から構成される場合、荒加工をさらに2つ以上の研削部材を用いて段階的に行うことができる。したがって、ディスク材の稜角部分をさらに段階的に徐々に削ることが可能になり、ディスク材への面取り加工でディスク材に生じるチッピングの大きさおよび数共に抑制することが可能になる。
そして、本発明は、上述の面取り加工部材を備えた面取り加工装置にも存し、また、上述の面取り加工部材を用いての上記したような面取り加工方法にも存する。すなわち、上述の面取り加工部材を用いてのディスク材の面取り加工では、第1研削部材の第1研削面をディスク材の稜角部分に当接して予備研削を行う予備研削工程と、該予備研削工程により予備研削が行われた前記稜角部分に第2研削部材の第2研削面を当接して仕上げ研削を行う仕上げ研削工程とが経られるとよい。
なお、本発明は、上記面取り加工部材、上記面取り加工装置、あるいは上記面取り加工方法を用いて周辺部における稜角部分の面取り加工が行われたガラスディスク材にも存する。また、本発明は、このガラスディスク材である磁気記録媒体用ガラス基板にも存する。さらに、本発明は、この磁気記録媒体用ガラス基板を含む磁気記録媒体にも存する。
本発明によれば、面取り加工によるディスク材でのチッピングの発生を抑えて、生産性よくディスク材を提供することができ、これにより例えば品質の優れた磁気記録媒体用ガラス基板や磁気記録媒体を提供することが可能になる。
ガラス材料の半加工品(ブランク)であるガラスディスク材において、その内周部および外周部を含む周辺部、特にその外周部は、その製造方法に起因してへき開などの脆性破壊を起こし易くて、そこにチッピングが生じ易い。これは、ガラスディスク材がプレス成形加工により得られた場合には、ガラスディスク材の外周部の残留応力が大きくなり、他方、ガラスディスク材がスクライビングにより得られた場合には円形に加工されるときの微細クラック等がガラスディスク材の周辺部に複数形成されるからである。このように、面取り加工直前のガラスディスク材の周辺部は、特にチッピングが生じ易い状態にあることが分かる。
そこで、本発明者らは、上記記載事項を考慮しつつ、ディスク材の面取り加工を種々検討し(実験を含む。)、本発明に到達した。従来のディスク材の面取り加工では、ディスク材の周辺部の稜角部分への研削部材の接触角度は、その稜角部分の状態にかかわらず、一様に固定であった。しかしながら、本発明者らは、ディスク材と研削部材との接触の仕方、特にディスク材と研削部材の研削面とが成す角度を段階的に変化させることで、ディスク材でのチッピングの生成度合いに差が生じることを見出した。そこで、本発明者らは、この点に着目して、ディスク材の周辺部の稜角部分に対しての研削部材の研削面の傾き角度を段階的に変えてその面取り加工を行うことで、チッピングの生成を抑制しつつ、面取り加工されたディスク材を得ることを可能にする本発明を完成させた。
以下に、本発明の好適な実施形態を添付図面を参照しながら説明する。ただし、以下、説明される実施形態は、磁気記録媒体用ガラス基板の製造途中のガラスディスク材に適用される例である。なお、本明細書では、基板の原料から磁気記録媒体用基板(基板)になるまでの間の半加工品を、基板として用いることができる完成品と区別するべく、原則、ディスク材と称する。しかしながら、これは、そのようなディスク材を基板と称することを排除するものではなく、また全ての加工が施された状態のものをディスク材と称することをも排除するものではない。
図1は、実施形態に係る面取り加工装置10を模式化した平面図である。図2は、図1におけるII-II線に沿う断面図である。
本実施形態の面取り加工装置10は、面取り加工部材として、外周部に研削面すなわち刃面をそれぞれ有した、第1研削部材としての砥石12と第2研削部材としての砥石14とを備えている。そして、面取り加工装置10は、他に、ワークを配置するための台16と、ワークとしてのディスク材18を台16に取り外し可能に固定保持する保持手段(一部図示)と、台16上に配置されて保持されたディスク材18を回転させるように台16を回転させる回転機構部としての回転手段(不図示)と、加工液供給手段(不図示)とを有している。なお、面取り加工装置10の砥石12、14は、図示しない駆動自動制御機器により、それぞれ加工位置と待機位置とに動かされると共に所定回転速度、所定切込み速度等の所定条件下でディスク材18に対して動かされ得る。しかしながら、砥石12、14は、作業者が手動であるいは駆動制御機器をその都度操作することで加工位置に動かされてもよい。
砥石12、14は、それら各々における外周部に形成される研削面12g、14gの傾きおよびその粗さが相違する以外は概ね同じ構成を備える。砥石12は第1研削部材として予備研削すなわち荒加工を行うための部材であり、砥石14は第2研削部材として仕上げ研削すなわち仕上げ加工を行うための部材である。ただし、砥石12、14は、共に、ディスク材18の外周部の加工に用いられる研削部材である。したがって、本実施形態の面取り加工装置10は、ディスク材18の外周部の面取り加工用の装置である。なお、図1および図2には砥石14が代表して表されている。
ここで、砥石14の構成を説明する。砥石14は円板状であり、その外周部14cに研削面14gを有している。本実施形態の砥石14の外径は約160mmである。
砥石14における外周部14cには、面取り加工の際にディスク材18に対して研削面14gが所定角度で当接するように、凹部20が形成されている。凹部20は、ディスク材18の中心軸Cに平行となる底面20aと、中心軸Cに直交する仮想の面(ディスク面)Sに対して所定角度を有してディスク材18の図2中上側の稜角部分に接し得る上側研削面20bと、ディスク面Sに対して逆向きの所定角度を有してディスク材18の図2中下側の稜角部分に接し得る下側研削面20cとを有している。なお、ディスク材18の中心軸Cは、ディスク材18が回転されるときに、その回転中心軸となる軸である。そして、砥石14における外周部14cの凹部20、その中でも特に上側研削面20bおよび下側研削面20cが、ディスク材18の稜角部分に当接して研削を行う研削面14gとなる。ただし、砥石14がディスク材18に当接するときの、砥石14の研削面14gを主に構成する上側研削面20bおよび下側研削面20cのディスク面Sに対してのそれぞれの角度は45°であるが、この45°は概略値である。例えば、45°±2°、すなわち43°から47°の任意の角度であり得る。なお、砥石14のこの研削面14gが本発明の第2研削面に対応する。
砥石14としては、本実施形態では、ダイヤモンドの砥粒が、砥石車の表面に保持され、そこに無電解ニッケルによるメッキが施されることで、ダイヤモンドの砥粒が砥石上に固定されたものが用いられており、その粗さ(研磨粒度)は#500である。なお、砥石14を形成する材料としては、これに限定されず、他の材料が用いられてもよい。
これに対して砥石12は、上記の如く、砥石14に対して、研削面12gの傾きおよびその粗さの点で相違する。砥石12の外周部12cに形成された凹部22は、面取り加工の際にディスク材18に対して斜めに当接するように構成されている。凹部22は、ディスク材18の中心軸Cに直交する上記ディスク面Sに対して所定角度を有してディスク材18の上側の稜角部分に接し得る上側研削面22aと、ディスク面Sに対して逆向きの所定角度を有してディスク材18の下側の稜角部分に接し得る下側研削面22bとを有している。そして、砥石12における外周部12cの凹部22、すなわち上側研削面22aおよび下側研削面22bが、ディスク材18の稜角部分に当接して研削を行う研削面12gとなる。ただし、砥石12がディスク材18に当接するときの砥石12の研削面12gを構成する上側研削面22aおよび下側研削面22bのディスク面Sに対してのそれぞれの角度は52°であるが、この52°は概略値である。なお、この砥石12の研削面12gは本発明の第1研削面に対応する。そして、砥石12の粗さは#325である。
なお、砥石12の研削面12gがディスク材18に当接するときにディスク面Sと研削面12gとが成す角度を第1角度と本明細書において称し得る。これに対して、砥石14の研削面14gがディスク材18に当接するときにディスク面Sと研削面14gとが成す角度を第2角度と本明細書において称し得る。
ここで用いられるディスク材18は、ガラス製品であり、予め、プレス成形等によって円板状に成形され、中央部がコアリング等の方法によって除去されることでドーナツ状に形成されている。このように、ディスク材18にはガラス基板となったときに機能する孔18hが中央部に形成されている。本実施形態では、ディスク材18の外径は約65mmであり、ディスク材18の中央には20mmの径を有する円形の孔18hがディスク材18の内周部18iによって区画形成されている。ここで、プレス成形等の工程によってドーナツ状に形成されたばかりの状態のガラスディスク材18では、その内外周部がほぼ成形加工を行った形状のままであり、内外周部に稜角部分が残っている。そのため、ガラスディスク材18の周辺部における稜角部分を削り取る面取り加工が行われる。
台16は、ディスク材18をその上に載置して支持するための支持台であり、図2ではディスク材18が台16上にチャックされて固定保持されている。ディスク材18の固定保持は、ディスク材18の上方から押し付け部材24によって台16に押さえ付けられること、および、台16による下方からの吸引によって行われる。押し付け部材24は、円環状に形成されており、ディスク材18における中心からの距離がおよそ25mmから30mmの部分の領域を、図2中上方から台16に押さえつけている。台16によるディスク材18の吸引は、台16の支持面に形成された溝部26に形成されている負圧によって引っ張られることで行われる。台16には、三本の同心円の溝26が形成されており、その溝26内部には、不図示の吸引用穴が設けられている。この吸引用穴には台16の内部を介して負圧が形成された不図示のタンクが接続されている。このタンクには、吸引ポンプおよび該吸引ポンプを作動させるためのモータが設置されており、これらによってタンク内部に予め負圧が形成される。このような構成によって、溝26内部に負圧が形成され、その負圧によってディスク材18が吸着されて台16上に保持される。このように、ディスク材18が上方から台16に押さえつけられると共に、下方から台16に吸着されることでディスク材18が台16に固定保持される。そして、ディスク材18が台16に対してチャックされた状態で台16が回転することにより、台16上のディスク材18が回転する。
なお、本実施形態では、ディスク材18の固定保持について、ディスク材18をその上方から台16に押さえ付け、かつ、ディスク材18の下方からそれを台16に吸着させる方法について説明した。しかしながら、本発明によるディスク材18の台16への固定保持についてはこれに限定されず、他の方法および手段が用いられてもよい。
また、台16上に配置されて保持されたディスク材18を回転させるように、台16を回転させる回転機構部としての回転手段や、ディスク材18の面取り加工時に砥石12、14とディスク材18との接触部分に加工液を供給可能にする加工液供給手段としては、既知の種々の手段を用いることができる。ここでのこれらの詳細な説明は、省略される。
次に、ディスク材18に対する砥石12、14を用いた面取り加工について説明する。
本実施形態の面取り加工装置10では、砥石12、14の外周部12c、14c、特にそれらの凹部20、22は、ディスク材18の稜角部分に当接して研削を行う研削面12g、14gを形成する。面取り加工を行う際には、まず、ディスク材18が台16上に固定される。ディスク材18が固定保持されると、ディスク材18の配置されている台16が回転することでディスク材18が回転する。このとき、本実施形態では、台16の回転により、ディスク材18の外周は30〜240rpmの任意の速度で回転し得る。また、砥石12、14はディスク材18の回転方向に対して図1に矢印で示されるように反対方向に回転され、その外周はおよそ2000〜2800rpmの任意の速度で回転され得る。なお、ディスク材18の回転速度と、砥石12、14の各回転速度とは互いに関係付けられている方がよく、それらは予め実験により定められ得る。
上記のように回転してディスク材18に対して相対運動する砥石12、14は、面取り加工を行うとき、ディスク材18に接触させられる。すなわち、ディスク材18が、砥石12、14の外周部12c、14cに対して接触する。
次に、ディスク材18と砥石12、14との間の接触および離間について、面取り加工順に説明する。面取り加工は、図3に示すフローチャートにしたがって達成される。
まず、面取り加工前のディスク材18が台16上に設置される(ステップS301)。そして、ディスク材18への面取り加工の内、荒加工が施される(ステップS303)。この荒加工は上記砥石12を用いて行われ、荒加工時の砥石12の上側研削面22aおよび下側研削面22bの面Sに対してのそれぞれの角度は上記したように概ね52°である。荒加工終了後、ディスク材18への面取り加工の内、仕上げ加工が施される(ステップS305)。この仕上げ加工は上記砥石14を用いて行われ、仕上げ加工時の砥石14の上側研削面20aおよび下側研削面20bの面Sに対してのそれぞれの角度は上記したように概ね45°である。そして、砥石14を用いて仕上げ加工された後のディスク材18が台16から取り外されて(ステップS307)、面取り加工は終了する。
このディスク材18への面取り加工を図4に基づいてさらに詳しく説明する。図4は、図3のフローチャートにしたがって行われるディスク材の面取り加工を段階的に表す模式図であり、図4にはディスク材18と砥石12、14とが接触する際の接触部分が拡大して表されている。なお、図4では、説明のためにディスク材18および砥石12、14以外の構成については省略されている。ただし、図4では、面取り加工前および面取り加工の内の荒加工中のディスク材18を符号「18a」で指し示し、面取り加工の内の荒加工後であって、仕上げ加工前および最中のディスク材18を符号「18b」で指し示し、仕上げ加工後のディスク材18を符号「18c」で指し示すことで、各工程におけるディスク材18の変化を明瞭にする。
図4(a)は、ディスク材18aが砥石12に対して接触する前の段階における断面図であり、そこにはディスク材18aが面取り加工用に設置されたところが表されている(上記ステップS301参照)。図4(a)のディスク材18aはまだ面取り加工が全く行われていないので、その外周部がプレス成形によって得られた形状のままである。したがって、その外周部には概ね直角を成す明確な稜角部分e1が残っている。
そして、ディスク材18aが砥石12に対して押し付けられることで面取り荒加工が行われる(上記ステップS303参照)。このとき、図4(b)に示されるように、ディスク材18aの外周部が砥石12における外周部12cの凹部22の内部に入り込んで、ディスク材18aの稜角部分e1が凹部22を形成する面である上側研削面22a、下側研削面22bに当接する。このとき、所定量のみ、ディスク材18aの稜角部分の角がとれるように、ディスク材18aへの砥石12による加工量は制御される。そして、この荒加工時、凹部22における上側研削面22a、下側研削面22bの各々がディスク材18aの面Sと概略52°という角度を成しつつディスク材18aの稜角部分e1に当接することで、ディスク材18aに対する面取り荒加工が行われる。
そして、砥石12を用いての稜角部分e1の加工が終了すると、図4(c)に示されるように、ディスク材18bが砥石12から離間される。これにより面取り加工の内の荒加工が終了する。
次に、砥石14を用いて、荒加工が施されたディスク材18bへの、面取り加工の内の仕上げ加工が行われる(上記ステップS305参照)。図4(d)は、ディスク材18bが砥石14に対して接触する前の段階における断面図であり、図4(c)と比べて砥石12が砥石14に取り替えられている。図4(d)に示されるように、ディスク材18bの外周部は浅く面取り加工が行われた状態であるので、明瞭な稜角部分は存在しない。しかし、さらに取り除かれた方が好ましいレベルの縁部を含む稜角部分相当部e2がその外周部には実質的に形成されている。そして、ここからディスク材18bが砥石14に対して押し付けられることで面取り加工の内の仕上げ加工が行われる。
このとき、図4(e)に示されるように、ディスク材18bの外周部が砥石14における外周部14cの凹部20の内部に入り込んで、ディスク材18の稜角部分e2が凹部20を形成する面である上側研削面20b、下側研削面20cに当接する。このとき、所定量のみ、ディスク材18bの稜角部分e2に対して面取り加工がなされるように、ディスク材18bへの砥石14による加工量は制御される。そして、この仕上げ加工時、凹部20における上側研削面20b、下側研削面20cの各々がディスク材18bの面Sと概略45°という角度を成しつつディスク材18bの稜角部分e2に当接することで、ディスク材18bに対する面取り仕上げ加工が行われる。
そして、砥石14を用いての面取り加工が終了すると、図4(f)に示されるように、ディスク材18cが砥石14から離間される。こうして、面取り加工の内の仕上げ加工が終了する。この結果、砥石14による仕上げ加工が行われたディスク材18cは台16から取り外されることが可能になる。ディスク材18cが台16から取り外されて(上記ステップS307参照)、その面取り加工が終了する。
このようにディスク材18の面取り加工が行われるが、ディスク材18の面取り加工に不可欠な工程は、上記ステップS303の荒加工すなわち予備研削工程と、上記ステップS305の仕上げ加工すなわち仕上げ研削工程とである。ただし、ステップS303の荒加工工程は、さらに複数の工程から構成されてもよい。例えば、荒加工工程は、面Sに対して70°の傾き角度の研削面を有する砥石で行われる第1荒加工工程と、その後面Sに対して52°の傾き角度の研削面を有する砥石で行われる第2荒加工工程とを含んで構成される。
上記記載および図4から明らかなように、面取り加工時における、砥石14の凹部20のそれら上側研削面20b、下側研削面20cにより実質的に構成された第2研削面14gは、上述の砥石12の凹部22の上側研削面22a、下側研削面22bにより実質的に構成された第1研削面12gよりも、ディスク材18の中心軸Cに直交するディスク面Sからの傾きが小さい。つまり、図5に模式的に示すように、面取り加工時、砥石12の第1研削面12gとディスク面Sとが成す第1角度αは、砥石14の第2研削面14gとディスク面Sとが成す第2角度βよりも大きい。こうすることで、ディスク材18の面取り加工過程でディスク材18にチッピングが生じることを適切に抑制しつつ、ディスク材18の稜角部分を段階的に適切に除去することが可能になる。なお、ディスク面Sに対しての研削面の角度をこのように段階的に変化させてディスク材18の面取り加工を行うことで、ディスク材18の稜角部分に過度の力が及ぶことを抑制することができ、これによりチッピングの生成を抑制できると考えられる。
ところで、ディスク材18を台16に対して固定保持する際に、本実施形態においても、台16の回転中心軸とディスク材18の中心軸とを完全に一致させて配置することは困難で、どうしてもそれぞれの中心同士にずれが生じてしまう。それぞれの中心同士にずれがあると、ディスク材18が台16に対して振れて回転し、切込みを始める際にはディスク材18が一回転するごとに砥石12、14に対して接触するようになる。このように、ディスク材18と砥石12、14との間の接触が繰り返されるようになる。
しかしながら、このような振れが生じるようなディスク材18の中心軸と台16の中心軸との間のずれを超えて面取り加工が行われた後には、このような砥石12、14に対しての振れは起こらずに、ディスク材18が砥石12、14に対して接触し続けることになる。他方、本実施形態で行われる面取り加工はチッピングが生じ難いことから、面取り加工の際の砥石12、14によるディスク材18への切込み速度を上昇させることが可能である。このことから、面取り加工の際の切込み速度を上昇させると、比較的すぐにずれの分を超えて面取り加工が行われる。したがって、そのようにディスク材18が砥石12、14に対して衝突を繰り返すことが抑えられ、これによって生じるチッピングの発生が抑えられる。また、ディスク材18の砥石12、14に対しての振れが抑えられることからさらにチッピングの発生が抑えられるので、さらに砥石12、14によるディスク材18への切込み速度を上昇させることが可能となる。
以下、本実施形態の面取り加工装置10によるチッピング発生の減少について検証すると共に、チッピング発生を抑制することが可能な条件を求めるために実験を行ったので、その結果について説明する。下記に示される表1は、荒加工における砥石12の研削面12gの傾き角度を変化させたときの、ディスク材18に生じたチッピングの長さの平均値を表したものである。
この実験では、上記した本実施形態による面取り加工装置10をそのまま用いた。また、ディスク材としては、本実施形態の面取り加工で用いられたものと同様のものを用いた。
この実験では、砥石12を2500rpmで回転させ、切込み速度を8mm/minとして、加工量を0.3mmとして面取り加工の内の荒加工を行った。ただし、切込み方向および加工方向を、ディスク材の中心軸に直交するディスク面Sに沿った方向とした。そして、砥石12として、その研削面の傾き角度、すなわちディスク面Sと砥石の研削面とが成す角度(表中では研削面角度)を45°、50°、52°、60°、70°と異ならせたものを用意し、これらを用いて実験を行った。そして、ディスク材18の両面に形成されたチッピングの内、チッピングの長さ(ディスク材の中心軸に直交するディスク面Sに沿った方向のチッピングの長さ)が100μm以上のものを測定対象とした。表1から明らかなように、砥石の研削面の傾き角度が大きくなるほど、チッピングの長さが減少していくことが分かった。特に、その角度が52°以上になると、そうでないときに比べて、チッピングの長さが著しく短くなった。これは、砥石の研削面の傾き角度が大きくなるほど、ディスク材の稜角部分に及ぼされる力が低減されることに由来すると考えられる。
また、同様の実験によって得られたディスク材18に対するチッピング発生率を表2に示す。
この実験における実験条件は、上記した表1の実験の実験条件と同じであるが、実験により得られたディスク材18の評価方法が異なる。ここでは、それぞれの条件に対して20枚のディスク材を用いて実験を行った。そして、それらの内の両面、計40面に対して評価した。各面に1つでも200μm以上の長さのチッピングがある場合には、その面にチッピングありとした。例えば、表2では、面Sに対しての荒加工用の研削面の傾き角度が50°のときのチッピング発生率は30%とされているが、これは40面の内、12面には200μm以上の長さのチッピングが1つ以上あったことを意味している。表2から、研削面の傾き角度が52°以上のとき、200μm以上の長さのチッピングがいずれの面にも生じなかったことがわかる。これより、面Sに対して52°以上の傾き角度の研削面を有する砥石でディスク材の面取り荒加工を行うことで、200μm以上の長さのチッピングの発生を防ぐことが出来ることが明らかになった。
次に、切込み速度のチッピング発生への影響を調べたので、その結果を表3に示す。
この実験における実験条件および評価方法は、切込み速度を除いて、上記した表2の実験の実験条件および評価方法と同じである。表3に表した結果から、切込み速度が速くなるほど、チッピングが生じ易くなることが分かったが、切込み速度を変化させても研削面の傾き角度を52°以上とすることで200μm以上の長さのチッピングの生成を防ぐことが出来ることが明らかになった。
そして、切込み速度8mm/minで荒加工を行った上記の如きディスク材に対して仕上げ加工を行った。その結果を表4に示す。ただし、いずれのディスク材18に対しても、切込み速度を5mm/minとし、そして加工量を0.1mmとして、粗さ#500でありかつ45°の傾き角度の研削面を有する砥石を用いて仕上げ加工を行った。なお、切込み方向および加工方向を、ディスク材の中心軸に直交するディスク面に沿った方向とした。そして、各条件において、100枚のディスク材の両面に対して、上記表2の実験での評価と同様にして、100μm以上の長さのチッピング発生率を調べた。
表4の実験結果から、荒加工を52°以上の傾き角度の研削面を有する砥石を用いて行うことで、100μm以上の長さのチッピングのないディスク材を得ることができることが分かった。なお、この100μmという長さのチッピングは、その後のディスク材に対する一般的な研磨等で容易かつ適切に除去できる長さのチッピングである。
以上より、加工時にディスク材の中心軸Cに直交するディスク面Sと52°以上70°以下の角度を成す研削面で、ディスク材の外周部の稜角部分を面取り荒加工し、その後、ディスク材の中心軸Cに直交するディスク面Sと45°程度の角度を成す研削面で、ディスク材の外周部の面取り仕上げ加工を行うことで、チッピングの生成を抑えて、チッピングがほとんどないガラスディスク材を得ることができることが明らかになった。そして、これから、面取り加工を2段階で行う場合、面取り加工の荒加工用研削面と、仕上げ加工用研削面との角度差を7°以上とするとよいことが分かった。
また、上記実験結果から、例えば、荒加工時の砥石の切込み速度を30mm/min、仕上げ加工時の砥石の切込み速度を5mm/minとすることができることが分かった。ただし、この切込み速度は一例であり、この他の高速の切込み速度をディスク材の面取り加工に採用することができることが、ここには記さないが他の実験により確かめられた。したがって、本実施形態の面取り加工装置10および方法によれば、例えば従来の装置および方法における面取り加工での0.1〜0.5mm/minの切込み速度と比較して大きな切込み速度で面取り加工を行うことができることが明らかになった。これにより、面取り加工にかかる時間を短縮させることが可能になる。したがって、本発明に係る実施形態によれば、上記の如くチッピングの形成を抑えて、ガラスディスク材を生産性よく得ることが可能である。
故に、本発明に係る上述の面取り加工装置10により、良好のディスク材を得ることができ、それにより良好の磁気記録媒体用ガラス基板が得られることが分かった。そして、こうして得られた基板に対して、密着層、下地層磁性層およびカーボン保護層等を種々の手段および方法、例えばスパッタリング法やCVD法により成膜し、その上に液体潤滑材を塗布することで、磁気記録媒体を得ることができる。ただし、その過程で、テクスチャ加工、ポリッシュ加工等が任意に施され得る。こうして得られた磁気記録媒体は、含まれる基板の周辺部が高精度に加工されているので、高記録密度に対応可能である。なお、このように作製される磁気記録媒体は、長手磁気記録方式の磁気記録媒体であっても、垂直磁気記録方式の磁気記録媒体であってもよい。
なお、上記実施形態は、ディスク材の外周部の稜角部分の加工に対して本発明を適用した例であったが、同様にディスク材の内周部の稜角部分の面取り加工に対しても本発明が用いられ得ることは明らかである。これは、上述の如く、ディスク材の内周部は、その外周部よりも、チッピングが生じ難いからである。
また、上記実施形態では、ディスク材としてガラス材料から得られたものを用いたが、ディスク材の原料は合成樹脂、アルミニウム合金など種々の材料であり得る。このような合成樹脂、アルミニウム合金は、ガラス材料よりも一般に脆性破壊を起こし難いので、これらの材料を原料として得られたディスク材にも同様に本発明を適用できる。
なお、ディスク材あるいは砥石における大きさや形状等は、上記実施形態のものに限定されない。すなわち、ディスク材や面取り加工装置を構成するそれぞれの要素は、他の大きさ、形状のものが用いられてもよい。また、砥石の粗さは、上記した以外の粗さであってもよい。
なお、上記実施形態では面取り加工部材を2つの研削部材から構成し、上ではその変形例を許容するべく面取り加工部材をさらに多くの複数の研削部材から構成してもよいとした。しかしながら、ディスク材への研削面の接触角度を可変とする機構を面取り加工部材あるいは面取り加工装置が備える場合、それらの2つ以上、複数の研削部材は、1つの共通の研削部材にまとめられてもよい。例えば、上記砥石12である第1研削部材および上記砥石14である第2研削部材は、共通の研削部材の異なる利用態様に相当し得る。したがって、本発明における「第1研削部材」および「第2研削部材」という用語は、それらが別々の部材であることに限定するものではなく、異なる段階において共通の部材が異なる状態を有することをも包含し得る。
なお、上記実施形態およびその変形例では、本発明をある程度の具体性をもって説明したが、本発明については、特許請求の範囲に記載された発明の精神や範囲から離れることなしに、さまざまな改変や変更が可能であることは理解されなければならない。すなわち、本発明は特許請求の範囲およびその等価物の範囲および趣旨に含まれる修正および変更を包含するものである。
10 面取り加工装置
12 砥石(第1研削部材)
12g 研削面(第1研削面)
12c 外周部
14 砥石(第2研削部材)
14g 研削面(第2研削面)
14c 外周部
16 台
18 ディスク材
12 砥石(第1研削部材)
12g 研削面(第1研削面)
12c 外周部
14 砥石(第2研削部材)
14g 研削面(第2研削面)
14c 外周部
16 台
18 ディスク材
Claims (8)
- ディスク材の周辺部における稜角部分の面取り用の面取り加工部材において、
前記稜角部分の予備研削用の第1研削面を有する第1研削部材と、
該第1研削部材により予備研削が行われた前記稜角部分の仕上げ研削用の第2研削面を有する第2研削部材と
を備え、
前記第1研削面が前記ディスク材に当接するときの前記ディスク材の中心軸に直交するディスク面と前記第1研削面とが成す第1角度が、前記第2研削面が前記ディスク材に当接するときの前記ディスク面と前記第2研削面とが成す第2角度よりも大きいように、前記第1研削面および第2研削面のそれぞれが形成されていることを特徴とする面取り加工部材。 - 前記第1角度と前記第2角度とは7°以上異なることを特徴とする請求項1に記載の面取り加工部材。
- 前記第1角度は52°以上70°以下の角度であり、前記第2角度は43°以上47°以下の角度であることを特徴とする請求項2に記載の面取り加工部材。
- 請求項1から3のいずれかに記載の面取り加工部材を備えたことを特徴とする面取り加工装置。
- ディスク材の周辺部における稜角部分を面取り加工する面取り加工方法において、
第1研削部材の第1研削面を前記稜角部分に当接して予備研削を行う予備研削工程と、
該予備研削工程により予備研削が行われた前記稜角部分に第2研削部材の第2研削面を当接して仕上げ研削を行う仕上げ研削工程と
を備え、
前記第1研削面が前記ディスク材に当接するときの前記ディスク材の中心軸に直交するディスク面と前記第1研削面とが成す第1角度は、前記第2研削面が前記ディスク材に当接するときの前記ディスク面と前記第2研削面とが成す第2角度よりも大きいことを特徴とする面取り加工方法。 - 請求項1から3のいずれかに記載の面取り加工部材、請求項4に記載の面取り加工装置、あるいは請求項5に記載の面取り加工方法を用いて面取り加工が行われたことを特徴とするガラスディスク材。
- 請求項6に記載のガラスディスク材であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板。
- 請求項7に記載の磁気記録媒体用ガラス基板を含むことを特徴とする磁気記録媒体。
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JP2008132243A JP2009279679A (ja) | 2008-05-20 | 2008-05-20 | 面取り加工部材、面取り加工装置、面取り加工方法、ガラスディスク材、磁気記録媒体用ガラス基板並びに磁気記録媒体 |
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JP2008132243A JP2009279679A (ja) | 2008-05-20 | 2008-05-20 | 面取り加工部材、面取り加工装置、面取り加工方法、ガラスディスク材、磁気記録媒体用ガラス基板並びに磁気記録媒体 |
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JP2008132243A Pending JP2009279679A (ja) | 2008-05-20 | 2008-05-20 | 面取り加工部材、面取り加工装置、面取り加工方法、ガラスディスク材、磁気記録媒体用ガラス基板並びに磁気記録媒体 |
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JP (1) | JP2009279679A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN109623929A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-04-16 | 无锡蓝智自动化科技有限公司 | 用于密封圈的自动倒角装置 |
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2008
- 2008-05-20 JP JP2008132243A patent/JP2009279679A/ja active Pending
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CN109623929B (zh) * | 2019-01-31 | 2023-08-18 | 无锡蓝智自动化科技有限公司 | 用于密封圈的自动倒角装置 |
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