JP2001246536A - 記録媒体ディスク原板の端部を鏡面仕上げする方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 記録媒体基板端部のピットを実質的に無くす
ことができ、操作が簡便で、仕上げ後の記録媒体基板の
品質にばらつきが生じない、記録媒体ディスク原板の端
部の仕上げ方法を提供すること。 【解決手段】 （１）ガラス板から打ち抜いた記録媒体
ディスク原板の端部をダイヤモンドホイールで台形に研
磨成形する工程；（２）該ディスク原板の端部を粒度＃
２２０〜＃１２００の砥粒を有する樹脂結合研磨ホイー
ルを用いて研磨する工程；及び（３）該ディスク原板の
端部を粒度＃５０００〜＃２００００の砥粒を有する樹
脂結合研磨ホイールを用いて研磨する工程；を包含す
る、記録媒体ディスク原板の端部を鏡面仕上げする方
法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、記録媒体ディスク
原板の端部を鏡面仕上げするための方法及び樹脂結合研
磨ホイールに関し、特に、ガラス板から打ち抜いた記録
媒体ディスク原板の端部を所定形状に鏡面仕上げするた
めの方法及び樹脂結合研磨ホイールに関する。

【０００２】

【従来の技術】パーソナルコンピュータ用ハードディス
ク、ＣＤ及びＭＤのような音響メディア等情報記録媒体
の基板として、従来からディスク材料が広範に用いられ
ている。近年では、高密度で情報を記録することが可能
なガラス板に対する需要が高まっており、その加工技術
の開発が重要視されている。

【０００３】ガラス板を情報記録媒体のディスク基板へ
加工する場合は、通常、ガラスカッターでガラス板を打
ち抜いて記録媒体ディスク原板を作製する。そして、打
ち抜いたままでは端部が鋭利で取扱いが危険であるた
め、その端部の角を落とすための面取り工程および仕上
げ工程を行う。

【０００４】従来は、打ち抜いたディスク原板の端部を
ダイヤモンドホイールで台形状に研磨成形し、このディ
スク原板を複数枚重ねて固定し、その後、研磨助剤とし
てスラリー状酸化セリウムを供給しながらこれをブラシ
で研磨する方法により、ディスク原板の端部の仕上げが
行われてきた。

【０００５】しかしながら、この方法では、ダイヤモン
ドホイールによる研磨成形の際に被研磨面には多数のピ
ットが形成され、その後のブラシ研磨によってもピット
が完全に除去されないという問題がある。

【０００６】その結果、残されたピットに削りかすや研
磨助剤等の微細な粒子が異物として入り込み、後続の加
工工程において脱落して基板面の汚染が生じる原因とな
る。更に、この従来法には、土壌汚染物質である酸化セ
リウムを含む廃水が大量に発生するため、廃水処理コス
トが高くなるという問題もある。

【０００７】特開昭６４−５７５９号公報には、研磨ホ
イールを用いてガラスハードディスク原板の端部を研磨
する方法が記載されている。しかし、ここに記載の方法
では研磨ホイールを弾性部材と共に使用する必要があ
り、研磨操作が煩雑となる。また、複雑な装置を必要と
するためコストが高くなる。

【０００８】本願と同一の出願人による特願平１０−２
１２６９０号明細書には、かかる従来法の問題点を改良
した記録媒体ディスク原板の端部の研磨方法が記載され
ている。この方法では、打ち抜いたディスク原板の端部
を、比較的軟らかい結合剤で構成した樹脂結合研磨ホイ
ールを用いて研磨する。その結果、被研磨面に残存する
ピットの寸法はかなり低減される。

【０００９】しかしながら、近年では、記録媒体にはよ
り高密度な記録が要求されており、基板面の汚染の原因
となる基板端部のピットを実質的に無くすことが望まれ
ている。

【００１０】また、特願平１０−２１２６９０号明細書
に記載の方法で、台形に研磨成形されたディスク原板の
端部からピットを効果的に除去するためには、３個の研
磨ホイールを用いて該台形の上面と左右両斜面とをそれ
ぞれ独立して研磨する工程が必要となる。そのため、３
個の研磨ホイールを３本の駆動軸に正確に位置決めして
着脱するという煩雑な操作が必要であり、また取り付け
位置にずれが生じ易く、仕上げ後の基板の品質にばらつ
きが生じていた。

【００１１】更に、特願平１０−２１２６９０号明細書
に記載の方法で用いる研磨ホイールは耐用寿命が短いと
いう問題もある。

【００１２】一方、特開平７−１６４２９１号明細書に
は、研磨ホイールの形状を円筒形とし、円筒の内部空間
に円盤状の半導体ウェーハを挿入し、研磨ホイールの内
周面を研磨面として使用して半導体ウェーハ外周部を研
磨する方法が記載されている。この研磨方法によれば、
半導体ウェーハ外周部が研磨面と接触する面積が増大
し、研磨時間の短縮化が図れることも記載されている。

【００１３】しかしながら、この公報には、記録媒体デ
ィスク原板の端部を鏡面仕上げして基板端部のピットを
実質的に無くすための研磨条件は何も開示されておら
ず、示唆もされていない。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来の問
題を解決するものであり、その目的とするところは、記
録媒体基板端部のピットを実質的に無くすことができ、
操作が簡便で、仕上げ後の記録媒体基板の品質にばらつ
きが生じない、記録媒体ディスク原板の端部の仕上げ方
法を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は、（１）ガラス
板から打ち抜いた記録媒体ディスク原板の端部をダイヤ
モンドホイールで台形に研磨成形する工程；（２）該デ
ィスク原板の端部を粒度＃２２０〜＃１２００の砥粒を
有する樹脂結合研磨ホイールを用いて研磨する工程；及
び（３）該ディスク原板の端部を粒度＃５０００〜＃２
００００の砥粒を有する樹脂結合研磨ホイールを用いて
研磨する工程；を包含する、記録媒体ディスク原板の端
部を鏡面仕上げする方法を提供するものであり、そのこ
とにより上記目的が達成される。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明において記録媒体ディスク
原板とは、ハードディスク用ガラス基板、シリコンウエ
ハ基板等の電子情報を書き込んだり読み出したりする情
報記録媒体のディスク基板として使用するディスク材料
をいう。

【００１７】記録媒体ディスク原板としてガラスを用い
る場合、その材質は非晶質ガラスでも晶質ガラスでもよ
い。ハードディスク用の場合はディスク原板の厚さは
０．４〜１．４ｍｍ、好ましくは０．６〜０．８ｍｍで
ある。

【００１８】ガラス板を情報記録媒体のディスク基板へ
加工する場合は、通常、ガラスカッターでガラス板を円
形に打ち抜く。次いで、打ち抜いたディスク原板の端部
の角を落とすためダイヤモンドホイールで台形に研磨成
形する。

【００１９】図１はダイヤモンドホイールで研磨成形さ
れた記録媒体ディスク原板の端部の形状を示す模式断面
図である。ディスク原板の厚さが０．６ｍｍである場合
は、台形の上辺ａの長さは約３００μｍ、両端の傾斜角
度θは約４５゜である。

【００２０】ガラスのような脆性材料をダイヤモンドホ
イールで研磨成形した場合、被研磨面には、全面にわた
ってピットが形成される。台形状に研磨成形されたディ
スク原板の端部においても直径２０〜５０μｍのピット
が全面にわたって存在している。

【００２１】ピットには切削かす等の異物が詰まってい
ることが多く、かかる異物は後続の加工工程において脱
落して基板面の汚染が生じる原因となる。ことに近年、
記録媒体には高密度記録特性が要求されてきており、基
板面の汚染の原因は極力排除することが求められる。従
って、記録媒体ディスク原板端部に存在するピットは除
去する必要がある。

【００２２】本発明では、台形に研磨成形されたディス
ク原板の端部を鏡面仕上げすることによりピットを除去
する。その方法は、以下に説明する少なくとも２工程以
上の研磨工程を含む方法である。本発明の研磨工程は、
研磨の際に発生するガラス粉の飛散を防止するために水
を供給しながら行えば足りる。つまり、スラリー状酸化
セリウムのような研磨助剤は不要である。従って、研磨
工程において土壌汚染物質を含む廃水が発生することは
なく、その処理コストも不要である。

【００２３】第１の研磨工程は、粒度（ＪＩＳＲ６００
１、１９８７年版）＃２２０〜＃１２００、好ましくは
３２０〜８００、より好ましくは４００〜６００の砥粒
を有する樹脂結合研磨ホイール（以下、「第１研磨ホイ
ール」という。）を用いて研磨を行う工程である。

【００２４】砥粒が粒度＃２２０より粗いものであると
研磨中にガラス板の端部に新たにピットが形成される場
合がある。砥粒が粒度＃１２００より細かいものである
と研磨量が少なくなりすぎてピットの除去に時間を要す
る。

【００２５】用い得る砥粒の材質としては、ＳｉＣ、Ａ
ｌ₂Ｏ₃、及びＣｅＯ₂のような研磨材料に通常用いられ
るものが挙げられる。

【００２６】第１研磨ホイールは８０以上、好ましくは
８５以上、特に８５〜９５のショアーＤ硬度を有するこ
とが好ましい。ショアーＤ硬度が８５、特に８０を下回
ると研磨面が摩耗し易くなり、研磨ホイールの耐用寿命
が短くなる。ショアーＤ硬度が９５を上回ると研磨中に
ガラス板の端部に新たに大寸法のピットが形成される場
合がある。

【００２７】第１研磨ホイールの密度は１．６〜２．５
ｇ／ｃｍ³とすることが好ましい。密度が１．６ｇ／ｃ
ｍ³を下回ると研磨面が磨耗し易くなり研磨ホイールの
耐用寿命が短くなり、２．５ｇ／ｃｍ³を上回ると研磨
中にガラス板の端部に新たに大寸法のピットが形成され
る場合を生じ易くなる。

【００２８】用い得る結合剤の材質としては、ポリウレ
タンが好ましい。特に好ましいポリウレタンには、特開
平２−２９４３３６号公報に記載の、約１０℃より高い
ガラス転移温度および約７０℃より大きいガラス転移温
度範囲を有する架橋されたポリウレタンが挙げられる。

【００２９】第１研磨ホイールは、砥粒の粒度および材
質を上記の如く変更すること以外は、特開平２−２９４
３３６号公報第４頁右上欄第２行〜第６頁左下欄第１６
行に記載の方法に従って製造することが好ましい。かか
る研磨ホイールは一般に発泡弾性体研磨材料として知ら
れており、例えば、住友スリーエム社より商品名「ＤＬ
Ｏホイール」として市販されているものが含まれる。

【００３０】第１研磨ホイールは、その外周面上又は内
周面上に、ディスク原板の端部形状に対応した形状の
溝、すなわち、断面が倒立台形で軸と垂直方向に伸長さ
れた溝を有していてもよい。図２は本発明の方法に用い
る研磨ホイールの外周面上又は内周面上に設けられた溝
の形状を示す模式断面図である。その場合は、ディスク
原板の端部の上面と左右両斜面とが１個の研磨ホイール
により同時に研磨される。溝の本数は一本でも複数でも
よい。複数の溝を有する研磨ホイールを用いて複数のデ
ィスク原板の端部を同時に研磨してもよい。

【００３１】また、第１研磨ホイールは円筒状に成形し
てもよい。その場合には、ディスク原板の内周部の仕上
げに使用することもできる。

【００３２】ディスク原板の研磨は、一般に、研磨ホイ
ールとディスク原板とをそれぞれ逆向きに回転させ、端
部同士を荷重をかけて接触させることにより行う。研磨
条件は、要求される仕上がりのレベルに応じて適宜調節
される。一般には、研磨ホイールの周速は約１０００〜
３０００ｍ／分、ディスク原板の周速は２０〜５００ｍ
／分、荷重は約０．２〜５ｋｇ、研磨時間は５〜６０
秒、好ましくは１０〜３０秒である。

【００３３】第２の研磨工程は、粒度＃５０００〜＃２
００００、好ましくは＃６０００〜＃１５０００、より
好ましくは＃８０００〜＃１００００の砥粒を有する樹
脂結合研磨ホイール（以下、「第２研磨ホイール」とい
う。）を用いて研磨を行う工程である。

【００３４】砥粒が粒度＃５０００より粗いものである
とピットの除去が不十分となる場合がある。砥粒が粒度
＃２００００より細かいものであると研磨量が少なくな
りすぎてピットの除去に時間を要する。第２研磨ホイー
ルの密度は１．６〜２．５ｇ／ｃｍ³とすることが好ま
しい。密度が１．６ｇ／ｃｍ³を下回ると研磨面が摩耗
し易くなり、研磨ホイールの耐用寿命が短くなり、２．
５ｇ／ｃｍ³を上回ると研磨中にガラス板の端部に新た
に大寸法のピットが形成される場合がある。

【００３５】第２研磨ホイールは、砥粒の粒度を上記の
如く変更すること以外は、構成が第１研磨ホイールと同
様である。従って、第２研磨ホイールは第１研磨ホイー
ルと同様にして製造することができる。

【００３６】ディスク原板の研磨方法は第１の研磨工程
と同様である。研磨条件は、要求される仕上がりのレベ
ルに応じて適宜調節される。一般には、研磨ホイールの
周速は約１００〜３０００ｍ／分、ディスク原板の周速
は２０〜５００ｍ／分、荷重は約０．２〜５ｋｇ、研磨
時間は５〜６０秒、好ましくは１０〜３０秒である。

【００３７】研磨工程を３工程で行うことにより、ディ
スク原板の端部を鏡面仕上げしてもよい。その場合は、
第１の研磨工程は、粒度＃１２０〜＃２２０の砥粒を有
する樹脂結合研磨ホイールを用いて研磨を行い、第２の
研磨工程は、粒度＃２２０〜＃１０００、好ましくは粒
度＃４００〜＃６００の砥粒を有する樹脂結合研磨ホイ
ールを用いて研磨を行い、第３の研磨工程は粒度＃１０
００〜＃２００００、好ましくは粒度＃８０００〜＃１
００００の砥粒を有する樹脂結合研磨ホイールを用いて
研磨を行う。

【００３８】本発明の複数の研磨工程で用いる研磨ホイ
ールは、各研磨工程においてそれぞれ単独で使用してよ
い。又は、第１研磨ホイールと第２研磨ホイールとを結
合して多連研磨ホイールとし、これを各研磨工程におい
て使用してもよい。

【００３９】図３は本発明の方法に用いる多連研磨ホイ
ールの一例を示す斜視図である。図３において、第１研
磨ホイール３０１と第２研磨ホイール３０２とが同軸積
層および結合されている。

【００４０】この場合、ディスク原板を軸方向に移動さ
せるだけで第１研磨工程から第２工程への移行を行うこ
とができるため、第１研磨工程から第２研磨工程への移
行の際にホイールを付け替える手間がかからず、研磨工
程が簡便となる。

【００４１】また、予め同軸積層および結合しておくこ
とにより、第１研磨ホイールの研磨面と第２研磨ホイー
ルの研磨面との位置ずれが極めて小さくなり、基板端部
の仕上がりがより均一化される効果もある。

【００４２】一般に、研磨ホイールの着脱を行うと必ず
取り付け位置に誤差が生じる。そのため、ディスク原板
端部の研磨工程において研磨ホイールの着脱を行うと、
ディスク原板の真円度や同心度にずれが生じ、仕上げ後
の記録媒体基板の寸法精度、品質にばらつきが生じる。
ところが、本発明の方法で多連研磨ホイールを用いる場
合は、第１研磨工程から第２研磨工程への移行の際にホ
イールを着脱する必要が無く、仕上げ後の記録媒体基板
の品質にばらつきが生じない。

【００４３】第１研磨ホイールと第２研磨ホイールとを
結合する手段としては、両面テープ、接着剤により相互
に接着する方法や、ボルトで固定する方法等がある。

【００４４】第１研磨ホイールの幅ｌ₁と第２研磨ホイ
ールの幅ｌ₂とは必ずしも同一である必要はなく、適宜
変更することができる。いずれか一方がより摩耗し易い
場合は、摩耗し易い方の研磨ホイールの幅を厚くするこ
とが好ましい。

【００４５】両者を均等に使用して研磨を行った場合
に、両ホイールの耐用寿命が同程度となるからである。
より好ましくは、同一被削物を同一時間研磨した場合、
ホイールが磨耗する量に比例させて、各々の研磨ホイー
ルの幅を変化させる。

【００４６】多連研磨ホイールは、その外周部に、ディ
スク原板の端部形状に対応した形状の溝、すなわち、図
２に示すような断面が倒立台形で軸と垂直方向に伸長さ
れた溝を有していてもよい（図３には非表示）。その本
数は一本でも複数でもよい。多連研磨ホイールを構成す
る各研磨ホイールの摩耗性に差がある場合は、研磨ホイ
ールの幅と同様に、摩耗し易い方の研磨ホイールの溝数
を多くすることが好ましい。

【００４７】複数枚のディスク原板を同時研磨する場合
等には、溝の間隔は多連研磨ホイール全体にわたって均
等であることが好ましい。その場合は、多連研磨ホイー
ルを構成する各研磨ホイールは、その幅に比例した本数
の溝を有することとなる。

【００４８】第１研磨ホイールを複数個同軸積層したも
のと第２研磨ホイールを複数個同軸積層したものとを更
に同軸積層および結合させて多連研磨ホイールを構成し
てもよい。また、研磨工程を３工程で行う場合に対応さ
せて、３種類の研磨ホイールを同軸積層および結合して
多連研磨ホイールを構成してもよい。

【００４９】図５は本発明の方法に用いる多連研磨ホイ
ールの一例を示す断面図である。この研磨ホイールは形
状が円筒形であり、円筒の内部空間にディスク原板を挿
入し、研磨ホイールの内周面を研磨面として使用してデ
ィスク原板の端部を研磨することが意図されている。

【００５０】この多連研磨ホイールでは第１研磨ホイー
ル５０１と第２研磨ホイール５０２と第３研磨ホイール
５０３とが同軸積層および結合されている。研磨ホイー
ルの内周面を研磨面とすることにより、ディスク原板の
端部が研磨面と接触する面積が増大し、研磨効率が高く
なる。また、この研磨ホイールには、その内周面５０５
上に、ディスク原板の端部形状に対応した形状で軸と垂
直方向に伸長された研磨溝５０４が複数設けられてい
る。

【００５１】図６は上記多連研磨ホイールを用いて本発
明の方法を行うための研磨装置の一例を示す斜視図であ
る。この研磨装置は、円筒形の研磨ホイール６０１を有
しており、この研磨ホイール６０１の内周面に構成され
た研磨溝６０４にディスク原板外周部を押し付けること
によって、ディスク原板Ｗの端部を研磨することができ
るような構成となっている。

【００５２】具体的に説明すれば、この研磨装置におけ
る研磨ホイール６０１の曲率半径はディスク原板Ｗのそ
れよりも大きくなっており、研磨ホイール６０１の内部
空間にディスク原板Ｗが受容可能となっている。また、
研磨ホイール６０１の内面には、図２および図５にも示
すように、ディスク原板Ｗの端部形状に対応した形状の
研磨溝６０４が円周方向に沿って複数形成されている。
このように構成された研磨ホイール６０１はテーブル６
０５に固定され、さらに、このテーブル６０５はモータ
６０６によって回転可能に支持されている。

【００５３】また、ディスク原板ハンドリング機構６０
７について説明すれば、このディスク原板ハンドリング
機構６０７は、ディスク原板Ｗを真空吸引するためのデ
ィスク原板吸着盤６０８と、ディスク原板Ｗを回転させ
るモータ６０９と、ディスク原板Ｗを上下移動および水
平移動させるディスク原板移動機構（図示せず）とを備
え、ディスク原板吸着盤６０８に吸着されたディスク原
板Ｗを、ディスク原板移動機構のアーム６１０によっ
て、研磨ホイール６０１内に導くとともに、ディスク原
板外周部を研磨溝６０４に押し付けるようになってい
る。

【００５４】以上のような研磨装置でディスク原板の端
部の研磨を行う場合には、平面状の研磨ホイールなどを
用いる場合に比べて、研磨溝６０４とディスク原板外周
部との接触が広い範囲で行われるので、研磨時間の短縮
化が図れることになる。

【００５５】一般に、研磨ホイールは一定時間使用した
後、ドレッシングを行って研磨力を回復させることが必
要となる。例えば、外周部に被削体形状に対応した形状
の溝を有する研磨ホイールの場合、通常は以下の様にし
てドレッシングを行う。まず、研磨ホイールを研磨装置
の駆動軸から取り外し、専用の駆動装置に取り付ける。
次いで、研磨ホイールの外周面にドレッサーを押し付け
てまず平坦に研削し、その後、被削体形状と同一形状の
ドレッサーを研磨ホイールの外周面に押し付けて被削体
形状に対応した溝を形成する。

【００５６】外周部にディスク原板の端部形状に対応し
た形状の溝を有する本発明の研磨ホイールは、従来より
も簡便な工程によりドレッシングを行うことができる。

【００５７】図４は本発明の方法に用いる研磨ホイール
のドレッシングを行う方法を示す断面工程図である。図
４（ａ）は、研磨初期の研磨ホイールの外周面の断面形
状を示している。ディスク原板４０１が倒立台形の溝４
０２により研磨されている。

【００５８】図４（ｂ）は、一定時間使用した後の研磨
ホイールの外周面の断面形状を示している。摩耗により
溝４０２が深くなり、溝間突起４０３が形成される。溝
間突起４０３はディスク原板の表面４０４を研磨してし
まうため、ドレッシングを行って除去する必要がある。

【００５９】図４（ｃ）は、ドレッシング方法を模式的
に示している。このドレッシング方法の特徴は、外径お
よび端部の形状がディスク原板と同一であり、厚さｍが
研磨ホイールの溝ピッチｎ以上であるドレッサー４０５
を用いることにある。

【００６０】かかる特定寸法のドレッサーを用いること
により、研磨ホイールの研磨面を一旦平坦に研削する工
程を行うこと無く研磨ホイールのドレッシングを行うこ
とができる。

【００６１】このドレッシング方法では、研磨ホイール
を研磨装置の駆動軸から取り外す必要がなく、操作が簡
便である。また、ドレッサーの外径がディスク原板と同
じであるため、ディスク原板をドレッサーと取り替える
こと以外は研磨操作と同様にしてドレッシングを行うこ
とができる。つまり、別途専用のドレッシング装置を使
用する必要がなく、設備コストが低くなり、操作も簡便
である。

【００６２】

【実施例】以下の実施例により本発明をさらに具体的に
説明するが、本発明はこれらに限定されない。

【００６３】実施例１ 記録媒体ディスク原板として、厚さ２ｍｍ、直径６３．
５ｍｍ、穴径２０ｍｍのガラスディスクを準備した。こ
のディスク原板の端部を、＃５００ダイヤモンド研磨ホ
イール（三菱マテリアル社製「ＭＥＤ５００」、直径６
３．５ｍｍ、穴径２０ｍｍ）を用いて図１に示される台
形に研磨成形した。台形の上辺ａの長さは約４００μ
ｍ、両端の傾斜角度θは約４５゜とした。ディスク原板
の端部の上面と左右両斜面には、全面にわたってピット
が形成された。

【００６４】＃６００酸化アルミニウム研磨ホイール
（住友スリーエム社製「ＤＬＯホイール」、直径１６０
ｍｍ、密度１．８ｇ／ｃｍ³、ショアーＤ硬度９０）、
および＃１００００酸化セリウム研磨ホイール（住友ス
リーエム社製「ＤＬＯホイール」、直径１６０ｍｍ、密
度２．０ｇ／ｃｍ³、ショアーＤ硬度９５）を準備し
た。それぞれの研磨ホイールに、ドレッサーを用いてデ
ィスク原板の端部形状に対応した形状の溝を設けた。

【００６５】まず、＃６００酸化アルミニウム研磨ホイ
ールを用いてディスク原板の端部の研磨を行った。研磨
方法は、＃６００酸化アルミニウム研磨ホイールと、デ
ィスク原板とをそれぞれ逆向きに回転させ、端部同士を
荷重をかけて接触させた。研磨条件は、研磨ホイールの
周速２０００ｍ／分、ディスク原板の周速４６Ｒ．Ｐ．
Ｍ、荷重２〜５Ｋｇ、研磨時間１０秒とした。

【００６６】次いで、＃６００酸化アルミニウム研磨ホ
イールを＃１００００酸化セリウム研磨ホイールと取り
替えて同様の方法でディスク原板の端部の研磨を行っ
た。研磨条件は、ホイールの周速２０００ｍ／分、荷重
２〜５Ｋｇ、ディスク原板の周速４６Ｒ．Ｐ．Ｍ、研磨
時間１０秒とした。

【００６７】研磨後、研磨面をレーザー顕微鏡で目視観
察し、ピット除去率を算出した。更に、輪郭測定機（株
式会社「ミツトヨ」社製）を用いて端面の角の曲率を測
定した。これらの結果を表１に示す。

【００６８】尚、本実施例では、第１の研磨工程から第
２の研磨工程に移行する際に研磨装置に研磨ホイールを
付け替えたため、研磨ホイールの取り付け位置に誤差が
生じ、図１のａで示すディスク原板の外周面が完全に平
坦にはならなかった。

【００６９】実施例２ 実施例１で用いたのと同じ記録媒体ディスク原板の端部
を実施例１と同様にして台形に研磨成形した。

【００７０】＃６００酸化アルミニウム研磨ホイール
（住友スリーエム社製「ＤＬＯホイール」、直径１６０
ｍｍ、密度１．８ｇ／ｃｍ³、ショアーＤ硬度９０）、
および＃１００００酸化セリウム研磨ホイール（住友ス
リーエム社製「ＤＬＯホイール」、直径１６０ｍｍ、密
度２．０ｇ／ｃｍ³、ショアーＤ硬度９５）を準備し
た。この両者を接着剤（住友スリーエム社製「スコッチ
・ウェルドＤＰ−４２０」）を用いて軸が一致するよう
に貼り合わせた。それぞれの研磨ホイールに、ドレッサ
ーを用いてディスク原板の端部形状に対応した形状の溝
を設けた。

【００７１】まず、＃６００酸化アルミニウム研磨ホイ
ールの部分を用いてディスク原板の端部の研磨を行っ
た。研磨方法は、研磨ホイールと、ディスク原板とをそ
れぞれ逆向きに回転させ、端部同士を荷重をかけて接触
させた。研磨条件は、研磨ホイールの周速２０００ｍ／
分、ディスク原板の周速４６Ｒ．Ｐ．Ｍ、荷重２〜５Ｋ
ｇ、研磨時間１０秒とした。

【００７２】次いで、ディスク原板を軸方向に移動さ
せ、＃１００００酸化セリウム研磨ホイールの部分を用
いてディスク原板の端部の研磨を行った。研磨条件は、
ホイールの周速２０００ｍ／分、荷重２〜５Ｋｇ、ディ
スク原板の周速４６Ｒ．Ｐ．Ｍ、研磨時間２０秒とし
た。

【００７３】実施例１と同様にして研磨面のピット除去
率、および端面の角の曲率を算出した。結果を表１に示
す。

【００７４】尚、本実施例では、第１の研磨工程から第
２の研磨工程に移行する際に研磨装置に研磨ホイールを
付け替えないため、研磨ホイールの取り付け位置に誤差
が生じず、図１のａで示すディスク原板の外周面が完全
に平坦になった。

【００７５】比較例 実施例１で用いたのと同じ記録媒体ディスク原板の端部
を実施例１と同様にして台形に研磨成形した。これを複
数枚積み重ね、回転軸体に固定した。

【００７６】研磨ブラシを用いてディスク原板の端部の
研磨を行った。研磨方法は、研磨ブラシと、ディスク原
板とをそれぞれ逆向きに回転させ、研磨助剤として、酸
化セリウムを１０〜２０％含有する水スラリーを１０リ
ットル／分の割合で供給しながらディスク原板の端部を
ブラシと接触させた。研磨条件は、研磨ブラシの周速１
０００ｍ／分、ディスク原板の周速４６Ｒ．Ｐ．Ｍ、研
磨時間６０秒および３６００秒とした。

【００７７】実施例１と同様にして研磨面のピット除去
率、および端面の角の曲率を算出した。結果を表１に示
す。

【００７８】従来のブラシ研磨法では、ディスク原板を
複数重ねるため、ディスクが隣接している部分にはブラ
シが充分に当たらず、研磨が不十分となり、ピットの除
去率も極めて不十分である。他方、ディスク原板端部の
先端ではブラシによる研磨が進行するため、長時間研磨
すると端部の曲率が過大となる。

【００７９】参考例１ 特願平１０−２１２６９０号明細書の実施例１ 実施例１で用いたのと同じ記録媒体ディスク原板の端部
を実施例１と同様にして台形に研磨成形した。

【００８０】＃２２０酸化アルミニウム研磨ホイール
（住友スリーエム社製「ＤＬＯホイール」、直径１６０
ｍｍ、密度１．０ｇ／ｃｍ³、ショアーＤ硬度３５）を
準備した。この研磨ホイールに、ドレッサーを用いてデ
ィスク原板の端部形状に対応した形状の溝を設けた。

【００８１】この研磨ホイールを用いてディスク原板の
端部の研磨を行った。研磨方法は、研磨ホイールと、デ
ィスク原板とをそれぞれ逆向きに回転させ、端部同士を
荷重をかけて接触させた。研磨条件は、研磨ホイールの
周速２０００ｍ／分、ディスク原板の周速４６Ｒ．Ｐ．
Ｍ、荷重２〜５Ｋｇ、研磨時間１０秒とした。

【００８２】実施例１と同様にして研磨面のピット除去
率、および端面の角の曲率を算出した。結果を表１に示
す。

【００８３】参考例２ 特願平１０−２１２６９０号明細書の実施例２ 実施例１で用いたのと同じ記録媒体ディスク原板の端部
を実施例１と同様にして台形に研磨成形した。

【００８４】＃２２０酸化アルミニウム研磨ホイール
（住友スリーエム社製「ＤＬＯホイール」、直径５０ｍ
ｍ、密度１．５ｇ／ｃｍ³、ショアーＤ硬度３５）を３
個準備した。ディスク原板の端部の上面と左右両斜面を
同時に研磨できる研磨装置（（株）湘南エンジニアリン
グ社製ハードディスク端面研磨機）に３個の研磨ホイー
ルをセットし、周速５００ｍｍ／秒、研磨時間３０秒の
条件で研磨した。

【００８５】実施例１と同様にして研磨面のピット除去
率、および端面の角の曲率を算出した。結果を表１に示
す。

【００８６】

【表１】 ^a直径１０μｍ以上の大ピット除去率^b 直径１０μｍ以下の小ピット除去率

【００８７】

【発明の効果】本発明の記録媒体ディスク原板の端部の
仕上げ方法によれば、記録媒体基板端部のピットを実質
的に無くすことができ、操作が簡便で、仕上げ後の記録
媒体基板の品質にばらつきが生じない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 ダイヤモンドホイールで研磨成形された記録
媒体ディスク原板の端部の形状を示す模式断面図であ
る。

【図２】 本発明の方法に用いる研磨ホイールの外周面
上又は内周面上に設けられた溝の形状を示す模式断面図
である。

【図３】 本発明の方法に用いる多連研磨ホイールの一
例を示す斜視図である。

【図４】 本発明の方法に用いる研磨ホイールのドレッ
シングを行う方法を示す断面工程図である。

【図５】 本発明の方法に用いる多連研磨ホイールの一
例を示す断面図である。

【図６】 本発明の方法を行うための研磨装置の一例を
示す斜視図である。

【符号の説明】

ａ…台形の上辺、 θ…台形の両端の傾斜角度、 ３０１…第１研磨ホイール、 ３０２…第２研磨ホイール、 ５０１…第１研磨ホイール、 ５０２…第２研磨ホイール、 ５０３…第３研磨ホイール、 ５０４…研磨溝、 ５０５…内周面。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２４Ｄ 5/00 Ｂ２４Ｄ 5/00 Ａ Ｐ 5/02 5/02 Ｂ 5/14 5/14 Ｇ１１Ｂ 5/84 Ｇ１１Ｂ 5/84 Ａ Ｆターム(参考） 3C049 AA02 AA09 AA18 AB01 AB08 CA06 CB01 CB03 3C063 AA02 AB04 BA02 BA24 BA40 BB01 BB02 BB03 BB04 BB07 BC03 BG05 BG10 BH40 EE01 EE27 FF23 5D112 AA02 AA24 BA03 GA02 GA09 GA13 GA14

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （１）ガラス板から打ち抜いた記録媒体
   ディスク原板の端部をダイヤモンドホイールで台形に研
   磨成形する工程；（２）該ディスク原板の端部を粒度＃
   ２２０〜＃１２００の砥粒を有する樹脂結合研磨ホイー
   ルを用いて研磨する工程；及び（３）該ディスク原板の
   端部を粒度＃５０００〜＃２００００の砥粒を有する樹
   脂結合研磨ホイールを用いて研磨する工程；を包含す
   る、記録媒体ディスク原板の端部を鏡面仕上げする方
   法。
2. 【請求項２】 （１）ガラス板から打ち抜いた記録媒体
   ディスク原板の端部をダイヤモンドホイールで台形に研
   磨成形する工程；及び（２）該ディスク原板の端部を、
   ８０以上のショアーＤ硬度を有する樹脂結合研磨ホイー
   ルを用いて研磨する工程；を包含する、記録媒体ディス
   ク原板の端部を鏡面仕上げする方法。
3. 【請求項３】 前記樹脂結合研磨ホイールが、その外周
   面上又は内周面上に、断面が倒立台形で軸と垂直方向に
   伸長された溝を有する、請求項１または２記載の方法。
4. 【請求項４】 前記樹脂結合研磨ホイールが、その内周
   面上に、断面が倒立台形で軸と垂直方向に伸長された溝
   を有する、請求項１または２記載の方法。
5. 【請求項５】 同軸積層及び結合された、粒度＃２２０
   〜＃１２００の砥粒を有する樹脂結合研磨ホイール少な
   くとも一個と、粒度＃５０００〜＃２００００の砥粒を
   有する樹脂結合研磨ホイール少なくとも一個とを有する
   多連研磨ホイール。
6. 【請求項６】 前記樹脂結合研磨ホイールが、その外周
   面上又は内周面上に、断面が倒立台形で軸と垂直方向に
   伸長された溝を有する、請求項５記載の多連研磨ホイー
   ル。
7. 【請求項７】 前記樹脂結合研磨ホイールが、その内周
   面上に、断面が倒立台形で軸と垂直方向に伸長された溝
   を有する、請求項５記載の多連研磨ホイール。
8. 【請求項８】 前記樹脂結合研磨ホイールが、請求項５
   〜７のいずれか記載の多連研磨ホイールである請求項１
   または２記載の方法。