JP2013011568A - 光センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光センサ素子は、部分的にフィルター機能を有する遮光ガラス蓋基板1と、キャビティを有する遮光ガラス基板2により構成されたパッケージ内に実装されている。フィルター機能を有する遮光ガラス基板は、ガラス自体が赤外光を吸収し、可視光を透過する機能を有したガラスが一部に埋め込まれており、また、遮光ガラスは、ガラス自体が遮光性を有するガラスからなることを特徴とする光センサ装置。
【選択図】図1
Description
図1は、本実施例の光センサ装置12の模式図である。図1は光センサ装置の縦断面図である。部分的にフィルター機能を有するガラスが埋め込まれた遮光ガラス蓋基板1には光センサ素子4が実装され、キャビティを有する遮光ガラス基板2と一体化された構造である。ガラス蓋基板1は遮光ガラスを用いている。ガラス蓋基板1には貫通孔が設けられ、フィルター機能を有するガラス3が埋め込まれている。貫通孔及びフィルター機能を有するガラス3は錐台形状をしており、光センサ素子4に対して外部からの光を効果的かつ効率的に入射しうると共に、ガラス蓋基板1と容易に取れにくいものとしている。ガラス蓋基板1には、メタライズにより配線パターンが形成されている。光センサ素子4は、ガラス蓋基板1の貫通孔に埋め込まれたフィルター機能を有するガラス3の中心軸上に実装され、配線パターンと電気的に接続される。光センサ素子4はガラス蓋基板1にメタライズにより設けられた配線パターン5にフリップチップボンディングにより実装と電気的な接続がなされている。これにより光センサ素子4はガラス蓋基板1に近接して実装されるため、フィルター機能を有するガラス3に入射した光はガラス3を通り、減衰することなく光センサ素子4に入射することができる。外部で発せられた光の内、ガラス蓋基板1、ガラス基板2の表面では光は遮光され、ガラス3では赤外光を吸収した可視光を透過する機能を有しているため、光センサ素子4は視感度に対応した光センサとしての機能を果たすことができる。またガラス基板2にはキャビティの底部に貫通電極8が設けられ、キャビティ上端面から斜面と底面にかけてメタライズにより形成されている配線パターン6と、キャビティと反対側の基板裏面にメタライズにより形成されている配線パターン7とが、貫通電極8によって電気的に接続されている。光センサ素子4が実装され電気的に接続される配線パターン5は配線パターン6と電気的に接続されることから、光センサ素子4で発生した起電力は配線パターンを通じて外部へと伝わることができる。
2 キャビティを有する遮光ガラス基板
3 フィルター機能を有するガラス
4 光センサ素子
5、6、7 メタライズされた配線パターン
8 貫通電極
9 金属酸化膜からなる多層膜
10 透明ガラス
11 透明ガラス基板
12 光センサ装置
Claims (10)
- 部分的にフィルター機能を有するガラス蓋基板と、ガラス蓋基板にメタライズにより設けられた配線パターンに電気的に接続された光センサ素子と、キャビティを有する遮光ガラス基板と、前記キャビティを有する遮光ガラス基板はキャビティを有する面側と、その反対面側とにメタライズにより配線パターンが設けられ、貫通電極によって電気的に接続された遮光ガラス基板とを備え、ガラス蓋基板とキャビティを有する遮光ガラス基板とが接合された構造であることを特徴とする光センサ装置。
- 前記ガラス蓋基板は、フィルター機能を有するガラスを部分的に配置した構造であることを特徴とする請求項1に記載の光センサ装置。
- 前記フィルター機能を有するガラスは、ガラス自体が特定の波長をカットする機能を有したガラスであることを特徴とする請求項2に記載の光センサ装置。
- 前記遮光ガラスは、ガラス自体が遮光性を有したガラスであることを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1項に記載の光センサ装置。
- 前記フィルター機能を有するガラスは、錐台状の形状を有しており、外部に面する側が広く、光センサ素子に面する側が狭い錐台形状であることを特徴とする請求項2〜3のうちいずれか1項に記載の光センサ装置。
- 前記フィルター機能を有するガラスは、透明ガラスに金属酸化膜の多層膜を成膜したことを特徴とする請求項2〜5のうちいずれか1項に記載の光センサ装置。
- 前記錘台形状のフィルター機能を有するガラスは、光センサ素子に面する側の直径が、光センサ素子の一辺の長さに等しいか、または小さい寸法からなり、外部に面する側の直径は、光センサ素子の一辺の長さよりも大きい寸法からなることを特徴とする請求項5に記載の光センサ装置。
- 前記部分的にフィルター機能を有する遮光ガラス基板と前記キャビティを有するガラス基板とは、光センサ素子を囲うように接合または接着されていることを特徴とする請求項1〜7のうちいずれか1項に記載の光センサ装置。
- 前記フィルター機能を有するガラスは、光センサ素子が実装される面に露出する形状が、凸半球レンズ形状のからなることを特徴とする請求項2〜8のうちいずれか1項に記載の光センサ装置。
- 前記フィルター機能を有するガラスは、光センサ素子が実装されない面の形状が、遮光ガラス基板平面から凹んだ半球形状からなることを特徴とする請求項2〜8のうちいずれか1項に記載の光センサ装置。
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