JP2005150393A - 受発光素子用サブマウント - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 単結晶シリコンからなるサブマウント本体1は、発光素子11が搭載された搭載面4が{100}方位面であり、異方性エッチングにより形成された貫通孔3の内側面が[110]方位面と平行である。サブマウント本体1の搭載面4に開口する素子側開口31に、発光素子11の発光部を臨ませている。発光素子11で生成した熱を、発光部をサブマウントと反対側に向けて搭載した場合に比べて、高効率に外部に放出する。発光素子11からの光を、貫通孔3の表面に形成された反射面で反射して、サブマウント本体1の外部に高効率に伝達する。
【選択図】図1
Description
受発光素子が搭載される搭載面と、
上記搭載面に設けられ、上記受発光素子に対して出射または入射する光が通過する素子側開口と、
上記搭載面と対向する面に設けられた外側開口と、
上記素子側開口と外側開口とに連なると共に、所定の結晶方位面と平行に形成されて、上記光を上記受発光素子側と上記外側開口が開口する側との間で反射する反射面と
を備えることを特徴としている。
単結晶シリコンで形成され、
上記搭載面は、上記単結晶シリコンの{100}方位面と平行であり、
上記反射面は、上記単結晶シリコンの{111}方位面と平行である。
上記素子側開口と外側開口とを接続する貫通孔と、
上記貫通孔の内側面に形成された第1の金属膜と、
上記第1の金属膜の表面に形成された第2の金属膜とを備え、
上記第2の金属膜の表面が、上記反射面である。
上記素子側開口と外側開口とを接続する貫通孔と、
上記貫通孔の内側面に形成された絶縁膜と、
上記絶縁膜の表面に形成された金属膜とを備え、
上記金属膜の表面が、上記反射面である。
上記素子側開口と外側開口とを接続する貫通孔と、
上記貫通孔の内側面に形成された第1の金属膜と、
上記第1の金属膜の表面に形成された絶縁膜と、
上記絶縁膜の表面に形成された第2の金属膜とを備え、
上記第2の金属膜の表面が、上記反射面である。
基体の受発光素子が搭載される搭載面に相対する面からエッチングを行って、外側開口と、この外側開口に連なる貫通孔とを形成する工程と、
上記基体の搭載面の部分を除去して、上記貫通孔に連なると共に所定の寸法を有する素子側開口を形成する工程と
を備えることを特徴としている。
3 貫通孔
4 素子搭載面
11 発光素子
12 発光素子の発光部
13 電極
31 素子側開口
32 外側開口
Claims (9)
- 受発光素子が搭載される搭載面と、
上記搭載面に設けられ、上記受発光素子に対して出射または入射する光が通過する素子側開口と、
上記搭載面と対向する面に設けられた外側開口と、
上記素子側開口と外側開口とに連なると共に、所定の結晶方位面と平行に形成されて、上記光を上記受発光素子側と上記外側開口が開口する側との間で反射する反射面と
を備えることを特徴とする受発光素子用サブマウント。 - 請求項1に記載の受発光素子用サブマウントにおいて、
単結晶シリコンで形成され、
上記搭載面は、上記単結晶シリコンの{100}方位面と平行であり、
上記反射面は、上記単結晶シリコンの{111}方位面と平行である
ことを特徴とする受発光素子用サブマウント。 - 請求項1に記載の受発光素子用サブマウントにおいて、
上記素子側開口と外側開口とを接続する貫通孔と、
上記貫通孔の内側面に形成された第1の金属膜と、
上記第1の金属膜の表面に形成された第2の金属膜とを備え、
上記第2の金属膜の表面が、上記反射面であることを特徴とする受発光素子用サブマウント。 - 請求項1に記載の受発光素子のサブマウントにおいて、
上記素子側開口と外側開口とを接続する貫通孔と、
上記貫通孔の内側面に形成された絶縁膜と、
上記絶縁膜の表面に形成された金属膜とを備え、
上記金属膜の表面が、上記反射面であることを特徴とする受発光素子用サブマウント。 - 請求項1に記載の受発光素子のサブマウントにおいて、
上記素子側開口と外側開口とを接続する貫通孔と、
上記貫通孔の内側面に形成された第1の金属膜と、
上記第1の金属膜の表面に形成された絶縁膜と、
上記絶縁膜の表面に形成された第2の金属膜とを備え、
上記第2の金属膜の表面が、上記反射面であることを特徴とする受発光素子用サブマウント。 - 請求項1に記載の受発光素子用サブマウントにおいて、
上記素子側開口を囲む絶縁膜を備えることを特徴とする受発光素子用サブマウント。 - 請求項1に記載の受発光素子用サブマウントにおいて、
上記素子側開口は、矩形状をなしていることを特徴とする受発光素子用サブマウント。 - 基体の受発光素子が搭載される搭載面に相対する面からエッチングを行って、外側開口と、この外側開口に連なる貫通孔とを形成する工程と、
上記基体の搭載面の部分を除去して、上記貫通孔に連なると共に所定の寸法を有する素子側開口を形成する工程と
を備えることを特徴とする受発光素子用サブマウントの製造方法。 - 請求項8に記載の受発光素子用サブマウントの製造方法において、
上記基体の搭載面の部分を、研磨によって除去することを特徴とする受発光素子用サブマウントの製造方法。
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