JP2013004520A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013004520A5
JP2013004520A5 JP2012121818A JP2012121818A JP2013004520A5 JP 2013004520 A5 JP2013004520 A5 JP 2013004520A5 JP 2012121818 A JP2012121818 A JP 2012121818A JP 2012121818 A JP2012121818 A JP 2012121818A JP 2013004520 A5 JP2013004520 A5 JP 2013004520A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
support base
mask frame
thin film
film deposition
fastening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012121818A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6073573B2 (ja
JP2013004520A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020110060229A external-priority patent/KR101833234B1/ko
Application filed filed Critical
Publication of JP2013004520A publication Critical patent/JP2013004520A/ja
Publication of JP2013004520A5 publication Critical patent/JP2013004520A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6073573B2 publication Critical patent/JP6073573B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2012121818A 2011-06-21 2012-05-29 薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー Active JP6073573B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110060229A KR101833234B1 (ko) 2011-06-21 2011-06-21 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
KR10-2011-0060229 2011-06-21

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013004520A JP2013004520A (ja) 2013-01-07
JP2013004520A5 true JP2013004520A5 (enExample) 2015-06-25
JP6073573B2 JP6073573B2 (ja) 2017-02-01

Family

ID=47360600

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012121818A Active JP6073573B2 (ja) 2011-06-21 2012-05-29 薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8631761B2 (enExample)
JP (1) JP6073573B2 (enExample)
KR (1) KR101833234B1 (enExample)

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5258278B2 (ja) * 2007-12-13 2013-08-07 キヤノントッキ株式会社 成膜用マスク及びマスク密着方法
KR101030030B1 (ko) * 2009-12-11 2011-04-20 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크 조립체
KR101813549B1 (ko) * 2011-05-06 2018-01-02 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크와 그 분할 마스크를 포함한 마스크 프레임 조립체의 조립장치
KR20130028165A (ko) * 2011-06-21 2013-03-19 삼성디스플레이 주식회사 마스크 유닛
KR20130081528A (ko) * 2012-01-09 2013-07-17 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크 및 이를 이용한 증착 설비
KR101995500B1 (ko) * 2012-11-20 2019-10-02 삼성디스플레이 주식회사 단위 마스크 및 마스크 조립체
KR102079170B1 (ko) * 2013-04-09 2020-02-20 삼성디스플레이 주식회사 증착 장치 및 그에 적용되는 마스크 조립체
KR102106331B1 (ko) * 2013-07-08 2020-05-06 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이의 제조 방법
JP2015069806A (ja) * 2013-09-27 2015-04-13 株式会社ジャパンディスプレイ 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法
KR20150043908A (ko) * 2013-10-15 2015-04-23 삼성디스플레이 주식회사 트레이 조립체 및 이를 이용한 도너필름의 제조방법
KR102100296B1 (ko) * 2013-10-28 2020-04-13 엘지디스플레이 주식회사 분할 마스크 조립체
CN103757588B (zh) * 2013-12-30 2016-02-03 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 一种掩膜板及该掩膜板的制备方法和应用
KR102273049B1 (ko) * 2014-07-04 2021-07-06 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
KR102273050B1 (ko) * 2014-09-17 2021-07-06 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 어셈블를 포함하는 증착 장치 및 증착 방법
CN104611668B (zh) * 2015-01-29 2017-03-01 京东方科技集团股份有限公司 用于掩膜板的框架和掩膜板
KR102334410B1 (ko) * 2015-04-13 2021-12-03 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 어셈블리
KR102366570B1 (ko) * 2015-06-19 2022-02-25 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법
KR102366569B1 (ko) * 2015-07-01 2022-02-25 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 인장 용접 장치
KR102401484B1 (ko) * 2015-08-31 2022-05-25 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR102549358B1 (ko) * 2015-11-02 2023-06-29 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법
KR102532305B1 (ko) * 2016-06-15 2023-05-15 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법
KR102616578B1 (ko) * 2016-06-24 2023-12-22 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이의 제조 방법
CN106480404B (zh) * 2016-12-28 2019-05-03 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜集成框架及蒸镀装置
US20190044068A1 (en) * 2017-08-01 2019-02-07 Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Dis play Technology Co., Ltd. Mask plate
KR102191388B1 (ko) 2018-06-12 2020-12-15 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 마스크프레임 및 마스크조립체
KR102514115B1 (ko) * 2018-06-12 2023-03-28 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체
KR102080297B1 (ko) 2018-06-12 2020-02-21 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 마스크프레임 및 마스크조립체
KR102630638B1 (ko) * 2018-08-29 2024-01-30 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
JP7487481B2 (ja) 2019-02-06 2024-05-21 大日本印刷株式会社 蒸着マスク装置、マスク支持機構及び蒸着マスク装置の製造方法
US11613802B2 (en) * 2020-04-17 2023-03-28 Rockwell Collins, Inc. Additively manufactured shadow masks for material deposition control
CN111394692B (zh) * 2020-05-09 2022-05-13 京东方科技集团股份有限公司 掩膜版
CN111876725A (zh) * 2020-07-31 2020-11-03 京东方科技集团股份有限公司 组合掩膜板及其支撑掩膜板
KR102868862B1 (ko) * 2020-12-10 2025-10-13 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 및 이를 포함하는 증착 장치
KR20230139566A (ko) 2022-03-28 2023-10-05 스템코 주식회사 증착 마스크, 그 제조 방법 및 그 제조용 금속판
KR20230140975A (ko) 2022-03-30 2023-10-10 스템코 주식회사 증착 마스크 및 그 제조 방법

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3241519A (en) * 1962-04-05 1966-03-22 Western Electric Co Tensioned and cooled mask
KR100595310B1 (ko) 2002-02-22 2006-07-03 엘지.필립스 엘시디 주식회사 마스크 고정장치 및 그를 이용한 ｕｖ조사장치
US7006202B2 (en) 2002-02-21 2006-02-28 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. Mask holder for irradiating UV-rays
JP4439203B2 (ja) * 2003-05-09 2010-03-24 大日本印刷株式会社 多面付けマスク装置及びその組立方法
KR100603400B1 (ko) 2004-11-18 2006-07-20 삼성에스디아이 주식회사 평판표시장치의 박막 증착용 마스크
JP4795842B2 (ja) * 2006-04-26 2011-10-19 日本冶金工業株式会社 蒸着用治具
JP2008156686A (ja) 2006-12-22 2008-07-10 Seiko Epson Corp マスクおよびマスク蒸着装置
KR101117645B1 (ko) * 2009-02-05 2012-03-05 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
KR101049804B1 (ko) 2009-02-19 2011-07-15 삼성모바일디스플레이주식회사 증착 장치용 마스크 밀착 수단 및 이를 이용한 증착 장치
KR20100008826U (ko) 2009-02-27 2010-09-06 주식회사 디엠에스 마스크글라스 지지유닛

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013004520A5 (enExample)
JP2012157639A5 (enExample)
EP2763531A4 (en) NEW MOLECULES FOR THE SELECTIVE INHIBITION OF HISTONDEACETYLASE 6 IN RELATION TO HISTONDEACETYLASE 1
JP2012247517A5 (enExample)
MX2012013405A (es) Conjunto decorativo deflectante.
JP2012208360A5 (enExample)
JP2013036206A5 (enExample)
JP2012201286A5 (enExample)
JP2013536602A5 (enExample)
JP2015515740A5 (enExample)
MX361665B (es) Estructura de soporte para heliostatos múltiples.
JP2011183548A5 (enExample)
ES2542733A2 (es) Brazo de Soporte para reflector conformado
JP2012527650A5 (enExample)
WO2011041034A3 (en) Compliant coil form
JP2012136016A5 (enExample)
JP2014105817A5 (enExample)
JP2014098208A5 (enExample)
JP2012242337A5 (enExample)
WO2016065837A1 (zh) 显示装置
JP2014513314A5 (enExample)
JP2012187751A5 (enExample)
JP2016534545A5 (enExample)
JP2017070441A5 (enExample)
KR20140078294A (ko) 조립식 책상 구조체