JP2013004520A5 - - Google Patents
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Claims (10)
- 開口部が形成され、前記開口部を取り囲むマスクフレームと、
前記マスクフレーム上に結合されるマスクと、
前記マスクを支持する少なくとも一つの支持台と、
前記支持台を固定する複数の固定部と、を備える薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー。 - 前記支持台は、前記開口部を横切ってマスクフレームに対して一方向に配される請求項1に記載の薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー。
- 前記支持台は、前記マスクを下部から支持する支持部と、前記支持部の両端から少なくとも1回折り曲げられる折り曲げ部と、を備える請求項2に記載の薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー。
- 前記支持台の折り曲げ部には前記固定部がそれぞれ位置し、少なくとも一つの締結部によって前記支持台と固定部とは互いに結合され、
前記固定部の両端は、マスクフレームに対して他方向に配されて、互いに対向して配されたフレームに結合された請求項3に記載の薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー。 - 前記固定部は、前記支持台の折り曲げ部に対して対応する部分に少なくとも一つの締結孔が形成され、
前記締結部は、前記締結孔を通じて挿入されて前記支持台の折り曲げ部に形成された結合溝に結合される請求項4に記載の薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー。 - 前記締結孔は、前記固定部の長手方向に沿って前記支持台の折り曲げ部に対してそれぞれ対応する部分に離隔して複数個形成され、
前記締結部は、前記締結孔を通じて前記支持台の折り曲げ部に結合される請求項5に記載の薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー。 - 前記締結孔は、前記固定部の長手方向に沿って離隔して複数個形成され、
前記締結部は、前記締結孔に沿ってその位置を移動させて前記支持台の折り曲げ部に結合される請求項5に記載の薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー。 - 前記締結孔は、前記固定部の長手方向に沿って離隔するように前記支持台の数より多く形成され、
前記締結部は、支持台に対して固定部が対応する位置に該当する締結孔を通じて前記支持台の折り曲げ部に結合される請求項5に記載の薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー。 - 前記締結孔は、前記固定部の長手方向に沿って一つの大口径形状に形成され、
前記締結部は、前記締結孔に沿ってその位置を移動させて前記支持台の折り曲げ部に結合される請求項5に記載の薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー。 - 前記固定部の両端に結合されるフレームには、前記固定部に対して支持台の折り曲げ部が結合できる空間と対応する間隔を維持する間隔制御部が形成された請求項4に記載の薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー。
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