JP2012516030A - 薄膜熱電発電機及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の熱電池の製造方法は、基板(101)にP型熱電材料フィルム層、絶縁材料フィルム層及びN型熱電材料フィルム層を堆積することによって、三層膜PN接合又は直列になる複数の三層膜PN接合が形成されている。それぞれの三層PN接合における絶縁材料フィルム層は当該三層PN接合を隔てて、且つ基板の上面及び最後の三層膜PN接合において最も外側のフィルム層から電極(102,110)が引き出されている。
【選択図】図1i
Description
上記基板の一面には、P型熱電材料フィルム層、絶縁材料フィルム層及びN型熱電材料フィルム層が順に繰り返して堆積されており、
一組の上記P型熱電材料フィルム層、絶縁材料フィルム層及びN型熱電材料フィルム層によって三層膜が形成されており、上記三層膜におけるP型熱電材料フィルム層とN型熱電材料フィルム層は、絶縁材料フィルム層の一端において接続されてPN接合が形成されており、
隣接した2つの上記PN接合の間に絶縁材料フィルム層が挟まれており、且つ上記挟まれた絶縁材料フィルム層の両側における三層膜PN接合は、上記挟まれた絶縁材料フィルム層の一端において接続されることによって、上記PN接合が直列に形成されており、
上記基板の一面における最後の三層膜において、最も外側のフィルム層から一方の電極が引き出されており、且つ、上記基板の上面から他方の電極が引き出されている。
上記基板の両面には、P型熱電材料フィルム層、絶縁材料フィルム層及びN型熱電材料フィルム層が順に繰り返して堆積されており、
一組の上記P型熱電材料フィルム層、絶縁材料フィルム層及びN型熱電材料フィルム層によって三層膜が形成されており、上記三層膜におけるP型熱電材料フィルム層とN型熱電材料フィルム層は、絶縁材料フィルム層の一端において接続されてPN接合が形成されており、
隣接した2つの上記PN接合の間に絶縁材料フィルム層が挟まれており、且つ上記挟まれた絶縁材料フィルム層の両側における三層膜PN接合は、上記挟まれた絶縁材料フィルム層の一端において接続されることによって、上記PN接合が直列に形成されており、
上記基板の両面における最後の三層膜において、最も外側のフィルム層からそれぞれ電極が引き出されている。
基板を選定し、且つ上記基板の側面を遮蔽する工程と、
上記基板の一面に一方の電極をプリセットする工程と、
上記基板における電極がプリセットされた面にP型熱電材料フィルム層を堆積する工程と、
上記基板並びに堆積されたフィルム層の一端及び全ての側面を遮蔽し、上記P型熱電材料フィルム層に絶縁材料フィルム層を堆積する工程と、
上記基板及び堆積されたフィルム層の側面を遮蔽し、堆積された絶縁材料フィルム層にN型熱電材料フィルム層を堆積することによって三層膜が形成され、上記三層膜におけるP型熱電材料フィルム層とN型熱電材料フィルム層は、上記遮蔽された一端において接続することでPN接合を形成する工程と、
上記工程を繰り返して複数のPN接合を形成する工程と、
隣接した2つの上記PN接合の間に絶縁材料フィルム層を挟んで堆積し、且つ上記挟まれた絶縁材料フィルムを堆積するとき、上記基板並びに堆積されたフィルム層の他端及び全ての側面を遮蔽し、上記挟まれた絶縁材料フィルム層と隣接された2つの三層膜PN接合は、上記遮蔽された一端において接続することによって、上記2つのPN接合を直列に形成する工程と、
最後の三層膜のPN接合における最も外側のフィルム層から他方の電極を引き出し、薄膜熱電池の主体構造を形成する工程と、
を備える。
基板を選定し、且つ上記基板の側面を遮蔽する工程と、
上記基板の一方の面にP型熱電材料フィルム層を堆積する工程と、
上記基板並びに堆積されたフィルム層の一端及び全ての側面を遮蔽し、上記P型熱電材料フィルム層に絶縁材料フィルム層を堆積する工程と、
上記基板及び堆積されたフィルム層の側面を遮蔽し、堆積された絶縁材料フィルム層にN型熱電材料フィルム層を堆積することによって三層膜が形成され、上記三層膜におけるP型熱電材料フィルム層とN型熱電材料フィルム層は、上記遮蔽された一端において接続することでPN接合を形成する工程と、
上記工程を繰り返して複数のPN接合を形成する工程と、
隣接した2つの上記PN接合の間に絶縁材料フィルム層を挟んで堆積し、且つ上記挟まれた絶縁材料フィルムを堆積するとき、上記基板並びに堆積されたフィルム層の他端及び全ての側面を遮蔽し、上記挟まれた絶縁材料フィルム層と隣接された2つの三層膜PN接合は、上記遮蔽された一端において接続することによって、上記2つのPN接合を直列に形成する工程と、
上記工程を繰り返して上記基板の他方の面に複数の三層膜PN接合が直列に形成され、上記基板の両面における最後の三層膜において、PN接合の最も外側のフィルム層からそれぞれ電極を引き出し、薄膜熱電池の主体構造を形成する工程と、
を備える。
図1a〜図1iは、本発明の実施例1にかかる薄膜熱電池の詳しい製造プロセスを示す図である。図1iは当該薄膜熱電池の端面構造を示す図である。この実施例にかかる薄膜熱電池は、基板101、引き出し電極102、P型熱電材料フィルム層103、絶縁材料フィルム層104、N型熱電材料フィルム層105、絶縁材料フィルム層106、P型熱電材料フィルム層107、絶縁材料フィルム層108、N型熱電材料フィルム層109、及び引き出し電極110を備える。
当該薄膜熱電池は基板において製造されることができるが、この限りではなく、P型熱電材料(又は金属)の基板において製造されてもよく、N型熱電材料(又は金属)の基板において製造されてもよい。P型熱電材料の基板において製造すれば、当該P型熱電材料の基板による新型薄膜熱電池の断面構造は図2hに示される。この実施例にかかる薄膜熱電池は、P型熱電材料基板201、絶縁材料フィルム層202、N型熱電材料フィルム層203、絶縁材料フィルム層204、P型熱電材料フィルム層205、絶縁材料フィルム層206、N型熱電材料フィルム層207、及び引き出し電極208,209を備える。
本発明の実施例は他の変化形態を有してもよい。例えば、図2gに示すP型熱電材料を基板とする薄膜熱電池の構造に基づいて、当該P型熱電材料基板201の他方の面に同じ三層膜からなる複数のPN接合が直列に堆積され、且つ直列になるそれぞれの三層膜のPN接合の間に絶縁材料フィルム層が挟まれることによって、実施例3にかかる薄膜熱電池が形成されている。図3gに示すように、この実施例にかかる薄膜熱電池は、P型熱電材料を基板とする薄膜熱電池の構造基盤301、絶縁材料フィルム層302、N型熱電材料フィルム層303、絶縁材料フィルム層304、P型熱電材料フィルム層305、及び引き出し電極306,307を備える。
実施例1にかかる基板の薄膜熱電池が以下のような構造を有してもよい。
図4gに示す構造に基づいて基板の他方の面にP型熱電材料フィルムが堆積されることを踏まえ、同様に三層膜からなる複数のPN接合が直列に堆積され、且つ直列になるそれぞれの三層膜のPN接合の間に絶縁材料フィルム層が挟まれている。図5gに示すように、この実施例5にかかる薄膜熱電池は、図4gにおける薄膜熱電池の構造基盤501、絶縁材料フィルム層502、N型熱電材料フィルム層503、絶縁材料フィルム層504、P型熱電材料フィルム層505、及び引き出し電極506,507を備える。
Claims (8)
- 基板を備え、
前記基板の一面には、P型熱電材料フィルム層、絶縁材料フィルム層及びN型熱電材料フィルム層が順に繰り返して堆積されており、
一組の前記P型熱電材料フィルム層、絶縁材料フィルム層及びN型熱電材料フィルム層によって三層膜が形成されており、前記三層膜における前記P型熱電材料フィルム層と前記N型熱電材料フィルム層は、前記絶縁材料フィルム層の一端において接続されてPN接合が形成されており、
隣接した2つの前記PN接合の間に絶縁材料フィルム層が挟まれており、且つ前記挟まれた絶縁材料フィルム層の両側における三層膜PN接合は、前記挟まれた絶縁材料フィルム層の一端において接続されることによって、前記PN接合が直列に形成されており、
前記基板の一面における最も外側のフィルム層から一方の電極が引き出されており、且つ、前記基板の上面から他方の電極が引き出されている、
ことを特徴とする薄膜熱電池。 - 前記基板は厚さが0.1mm〜100mmであり、前記P型熱電材料フィルム層は厚さが1nm〜10μmであり、前記N型熱電材料フィルム層は厚さが1nm〜10μmである、
ことを特徴とする請求項1記載の薄膜熱電池。 - 前記基板の形状は規則矩形又は方形である、
ことを特徴とする請求項1記載の薄膜熱電池。 - 前記基板における露出している側面の形状は平面又は曲面である、
ことを特徴とする請求項1記載の薄膜熱電池。 - 前記基板は、絶縁材料基板、P型熱電材料基板又はN型熱電材料基板である、
ことを特徴とする請求項1記載の薄膜熱電池。 - 基板を備え、
前記基板の両面には、P型熱電材料フィルム層、絶縁材料フィルム層及びN型熱電材料フィルム層が順に繰り返して堆積されており、
一組の前記P型熱電材料フィルム層、絶縁材料フィルム層及びN型熱電材料フィルム層によって三層膜が形成されており、前記三層膜における前記P型熱電材料フィルム層と前記N型熱電材料フィルム層は、前記絶縁材料フィルム層の一端において接続されてPN接合が形成されており、
隣接した2つの前記PN接合の間に絶縁材料フィルム層が挟まれており、且つ、前記挟まれた絶縁材料フィルム層の両側における三層膜PN接合は、前記挟まれた絶縁材料フィルム層の一端において接続されることによって、前記PN接合が直列に形成されており、
前記基板の両面における最も外側のフィルム層からそれぞれ電極が引き出されている、
ことを特徴とする薄膜熱電池。 - 基板を選定し、且つ、前記基板の側面を遮蔽する工程と、
前記基板の面に一方の電極をプリセットする工程と、
前記基板における電極がプリセットされた面にP型熱電材料フィルム層を堆積する工程と、
前記基板並びに堆積されたフィルム層の一端及び全ての側面を遮蔽し、前記P型熱電材料フィルム層に絶縁材料フィルム層を堆積する工程と、
前記基板及び堆積されたフィルム層の側面を遮蔽し、堆積された絶縁材料フィルム層にN型熱電材料フィルム層を堆積することによって三層膜が形成され、前記三層膜における前記P型熱電材料フィルム層と前記N型熱電材料フィルム層は、前記遮蔽された一端において接続することでPN接合を形成する工程と、
前記工程を繰り返して複数のPN接合を形成する工程と、
隣接した2つの前記PN接合の間に絶縁材料フィルム層を挟んで堆積し、且つ、前記挟まれた絶縁材料フィルムを堆積するとき、前記基板並びに堆積されたフィルム層の他端及び全ての側面を遮蔽し、前記挟まれた絶縁材料フィルム層と隣接された2つの三層膜PN接合は、前記遮蔽された一端において接続することによって、前記2つのPN接合を直列に形成する工程と、
最後の三層膜のPN接合における最も外側のフィルム層から他方の電極を引き出し、薄膜熱電池の主体構造を形成する工程と、
を備える、
ことを特徴とする薄膜熱電池の製造方法。 - 基板の両面に多層膜を堆積し、且つ
基板を選定し、且つ前記基板の側面を遮蔽する工程と、
前記基板の一方の面にP型熱電材料フィルム層を堆積する工程と、
前記基板並びに堆積されたフィルム層の一端及び全ての側面を遮蔽し、前記P型熱電材料フィルム層に絶縁材料フィルム層を堆積する工程と、
前記基板及び堆積されたフィルム層の側面を遮蔽し、堆積された絶縁材料フィルム層にN型熱電材料フィルム層を堆積することによって三層膜が形成され、前記三層膜における前記P型熱電材料フィルム層と前記N型熱電材料フィルム層は、前記遮蔽された一端において接続することでPN接合を形成する工程と、
前記工程を繰り返して複数のPN接合を形成する工程と、
隣接した2つの前記PN接合の間に絶縁材料フィルム層を挟んで堆積し、且つ前記挟まれた絶縁材料フィルムを堆積するとき、前記基板並びに堆積されたフィルム層の他端及び全ての側面を遮蔽し、前記挟まれた絶縁材料フィルム層と隣接された2つの三層膜PN接合は、前記遮蔽された一端において接続することによって、前記2つのPN接合を直列に形成する工程と、
最後の三層膜のPN接合における最も外側のフィルム層から一つの電極を引き出す工程と、
前記工程を繰り返して前記基板の他方の面に複数の三層膜PN接合が直列に形成され、前記基板の両面における最後の三層膜において、PN接合の最も外側のフィルム層からそれぞれ電極を引き出し、薄膜熱電池の主体構造を形成する工程と、
を備える、
ことを特徴とする薄膜熱電池の製造方法。
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