JP2012507728A - 試料膜厚の測定及びエンドポインティング - Google Patents
試料膜厚の測定及びエンドポインティング Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012507728A JP2012507728A JP2011534861A JP2011534861A JP2012507728A JP 2012507728 A JP2012507728 A JP 2012507728A JP 2011534861 A JP2011534861 A JP 2011534861A JP 2011534861 A JP2011534861 A JP 2011534861A JP 2012507728 A JP2012507728 A JP 2012507728A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- tem
- film thickness
- value
- contrast
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 157
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 146
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 26
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 353
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 79
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 68
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 claims description 50
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 33
- 238000003801 milling Methods 0.000 claims description 27
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 20
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 claims description 14
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 10
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 7
- 238000005094 computer simulation Methods 0.000 claims description 7
- 238000005464 sample preparation method Methods 0.000 claims description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract description 16
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 21
- 230000008569 process Effects 0.000 description 20
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 19
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 19
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 17
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 15
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 14
- 230000008859 change Effects 0.000 description 11
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 11
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 7
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 4
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000000851 scanning transmission electron micrograph Methods 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000004429 Calibre Substances 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012369 In process control Methods 0.000 description 1
- 238000000342 Monte Carlo simulation Methods 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical class O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000001803 electron scattering Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- CKHJYUSOUQDYEN-UHFFFAOYSA-N gallium(3+) Chemical compound [Ga+3] CKHJYUSOUQDYEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010965 in-process control Methods 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 238000013515 script Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000013024 troubleshooting Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching
- H01J37/3053—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching for evaporating or etching
- H01J37/3056—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching for evaporating or etching for microworking, e.g. etching of gratings, trimming of electrical components
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/286—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q involving mechanical work, e.g. chopping, disintegrating, compacting, homogenising
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/24455—Transmitted particle detectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/304—Controlling tubes
- H01J2237/30466—Detecting endpoint of process
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/317—Processing objects on a microscale
- H01J2237/3174—Etching microareas
- H01J2237/31745—Etching microareas for preparing specimen to be viewed in microscopes or analyzed in microanalysers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/317—Processing objects on a microscale
- H01J2237/31749—Focused ion beam
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】FIB/SEMデュアルビームにおいてSEM−STEM検出器を使用することにより、STEM信号で試料膜厚を観察しながら、FIBを用いて試料を薄膜化することができる。本発明の好ましい一つの実施形態では、再現性があって自動化に適している正確なエンドポイント検出の方法を使用することによって、S/TEM試料の膜厚を測定し、S/TEM試料を作成することができる。また、好ましい実施形態では、TEM薄膜作成中に自動的なエンドポインティングを実現することができ、手動による薄膜化中に使用者に試料膜厚に関する直結フィードバックを提供することができる。したがって、本発明の好ましい実施形態では、試料を薄膜化する際にエンドポイントを決定するための改善された方法、及びTEM試料作成のスループットと再現性を向上するように、部分的又は完全に自動化されたエンドポインティングの方法を提供する。
【選択図】図4
Description
(a)FIBと、電子カラム及び信号検出器を有するS/TEMとを備えたデュアルビーム装置内に前記試料を挿入し、
(b)前記試料に電子ビームを指向する前記電子カラムと、前記試料を通過する電子を検出する前記信号検出器とを用いて、前記試料を画像化し、
(c)前記信号検出器によって前記電子ビームの電子がまったく又は比較的少数しか検出されなかった信号に低い透過値を割り当てる手順、前記信号検出器によって前記電子ビームの実質的にすべての電子が検出された信号に高い透過値を割り当てる手順、及び前記低い透過値と前記高い透過値との範囲の像コントラスト値を規格化する手順によって、前記検出された信号を規格化し、
(d)前記試料の少なくとも一部に関するS/TEM像コントラストレベルと、格納データとを比較し、
(e)前記格納データと前記試料コントラスト値との関係に基づいて、前記試料の前記少なくとも一部に関する膜厚値を決定し、
(f)前記決定された膜厚値が前記試料に関する所望の膜厚より大きい場合、FIBミリングを使用して前記試料を薄膜化し、
(g)前記決定された膜厚値が前記所望の膜厚値と等しくなるまで、(b)から(e)の手順を繰り返すことができる。
以下は、モデリングのいくつかの実施例であり、各種SEM−STEMモードで観察される所望のコントラストについて、及びこのコントラストが画像化の諸条件(例えば、試料膜厚、電子ビーム電圧及び異なる材料のパラメータ)に応じてどのように変化するかについて、よりよく理解できるように実施された。このようなモデルリングは、SEM−STEM像内で観察されるコントラストを解釈するのに有用であり、試料作成及び画像化の諸条件を最適化するのに有用である。
BF(a):ILD>Si>W
ADF(b):Si>ILD>W
HADF(c):W>Si>ILD
最大レンジ:RKO=0.0276.A.E1.67/(D.Z0.889)
上式では、EはkVであり、レンジはμmである。乗数1.67と1.7との間の差異は、モデリングの統計的誤差内であり差し支えないが、以降のモデリングでは、整合を図るため、KOレンジからkVの乗数1.67を採用することとした。
F=(Dd.Zz/Aa)*(t/E1.67)
上式では、d、z、aはモデルパラメータであり、tは試料膜厚である。次いで、条件として下記のとおりとした。
FMaterial=FSilicon
上記で角度分布が同一であるとすると、シリコンに関し、標準的な膜厚(この場合100nm)において相当するビーム電圧Eを計算することが可能となる。
z=1.0、a=0.5及びd=1.0
F=(Dd.ZZAa)*(t/(E−E0)1.67)
z=l.9、a=1.0及びd=1.0
F=Z/((RKO/t)1/1.67−l)1.67
このモデルを適当に用いることで、モンテカルロモデリングを追加で実行することなしに、より広いレンジでの試料条件を検討することができる。
23 FIB
24 試料ホルダ
25 電子ビーム
26 環状暗視野領域
28 明視野領域
30 明視野の透過電子
32 暗視野の透過電子
Claims (46)
- S/TEM分析に関し、試料を薄膜化する際のエンドポイントティング方法であって、
(a)FIBと、電子カラム及び信号検出器を有するS/TEMとを備えたデュアルビーム装置内に前記試料を挿入し、
(b)前記試料に電子ビームを指向する前記電子カラムと、前記試料を通過する電子を検出する前記信号検出器とを用いて、前記試料を画像化し、
(c)前記信号検出器によって前記電子ビームの電子がまったく又は比較的少数しか検出されなかった信号に低い透過値を割り当てる手順、前記信号検出器によって前記電子ビームの実質的にすべての電子が検出された信号に高い透過値を割り当てる手順、及び前記低い透過値と前記高い透過値との範囲の像コントラスト値を規格化する手順によって、前記検出された信号を規格化し、
(d)前記試料の少なくとも一部に関するS/TEM像コントラストレベルと、格納データとを比較し、
(e)前記格納データと前記試料コントラスト値との関係に基づいて、前記試料の前記少なくとも一部に関する膜厚値を決定し、
(f)前記決定された膜厚値が前記試料に関する所望の膜厚より大きい場合、FIBミリングを使用して前記試料を薄膜化し、
(g)前記決定された膜厚値が前記所望の膜厚値と等しくなるまで、(b)から(e)の手順を繰り返すことを特徴とする方法。 - 前記格納データは、前記試料と同じ材料からなるキャリブレーション用試料に関するS/TEM像コントラスト値と試料膜厚との関係を示すキャリブレーションデータを備えることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記格納データは、前記試料と同じ材料からなるキャリブレーション用試料に関するコントラストデータ対試料膜厚のキャリブレーション曲線のデータ点を備えることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記格納データは、前記試料を通過したS/TEM信号に関する透過信号を、前記試料材料に関する既知の試料膜厚と検出された透過信号との理想曲線に整合させた格納されたキャリブレーションを備えることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記格納データは、前記試料材料からなり既知の膜厚を有する複数のキャリブレーション用試料のS/TEM画像化によって、実験的に決定されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記格納データは、コンピュータモデリングによって決定されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記格納データは、前記試料材料及び前記S/TEM検出器のジオメトリを基準として、S/TEM透過と試料膜厚とのコンピュータモデリングによって決定されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記格納データが第1のS/TEMシステムで決定され、薄膜化されていく前記試料が第2のS/TEMシステムを用いて画像化され、
前記方法は、さらに、
前記試料を薄膜化する前に、同じ試料材料からなり既知の膜厚を有するキャリブレーション用試料に関する前記第2のS/TEMシステムの前記S/TEM像コントラストレベルを決定し、
前記第2のS/TEMシステムにおけるキャリブレーション曲線が、前記第1のS/TEMシステムで決定された前記格納データに整合するように、前記第2のS/TEMシステムの前記キャリブレーション用試料に関する前記S/TEM像コントラストレベルを用いることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の方法。 - 前記試料を画像化する手順は、明視野像を用いて前記試料を画像化することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の方法。
- さらに、信号効率が前記キャリブレーション曲線に整合するようにデュアルビーム装置をキャリブレーションすることを特徴とする請求項1乃至9に記載のいずれかの方法。
- 前記キャリブレーション曲線は、特定のデュアルビーム設計に対して固有であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の方法。
- 前記低い透過値を割り当てる手順は、すべて又はほぼすべての電子が前記検出器に到達することを妨げるような十分に厚い前記薄膜の1つ以上の領域に前記電子ビームを走査する際に実行され、
前記高い透過値を割り当てる手順は、すべて又はほぼすべての電子が前記検出器に到達することを可能とするような十分に薄い薄膜の1つ以上の領域に前記電子ビームを走査する際に実行されることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の方法。 - 前記低い透過値を割り当てる手順は、0%乃至5%の値を割り当てる手順を含み、
前記高い透過値を割り当てる手順は、95%乃至100%の値を割り当てる手順を含むことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の方法。 - 前記低い透過値を割り当てる手順は、0%の値を割り当てる手順を含み、
前記高い透過値を割り当てる手順は、100%の値を割り当てる手順を含むことを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載の方法。 - 前記デュアルビーム装置をキャリブレーションする手順は、モデル化された曲線のデータに一致する一つ以上のデータ点を取得する手順を含むことを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 前記規格化されたコントラスト値は、検出器及び装置の設定が変更された場合でも不変であることを特徴とする請求項1乃至15のいずれか1項に記載の方法。
- 前記検出器及び装置の設定は、作動距離、試料の間隔、ビーム電圧、検出器のジオメトリ、試料傾斜角、輝度及びコントラストからなるグループから選択されることを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 使用者によって、前記FIBによってミル処理される所望の試料膜厚を、コードを実行する機械に入力する手順と、
FIBミリングによって、前記試料を薄膜化する手順と、
前記所望の試料膜厚に達したとの決定に基づいて、ミリングを終了する手順とをさらに備えることを特徴とする請求項1乃至17のいずれか1項に記載の方法。 - 前記ミリングを終了する手順は、前記機械が前記デュアルビーム装置と通信してコンピュータ可読コードを実行することによって開始されることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記ミリングを終了する手順は、使用者が介在することなく、前記機械がコンピュータ可読コードを実行することによって自動的に実行されることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記試料を所望の膜厚まで自動的にミル処理するように、前記試料材料に関するS/TEMコントラスト情報を使用する手順を備えることを特徴とする試料作成方法。
- 前記試料材料に関するS/TEMコントラストデータに基づいて、前記試料を所望の膜厚までミル処理するようにFIBを使用する手順を備えることを特徴とする試料作成方法。
- 前記S/TEMコントラストデータによって前記試料が前記所望の膜厚にあることが示されたとき、FIBミリングを中止する手順をさらに備えることを特徴とする請求項22に記載の方法。
- 前記所望の試料膜厚に対応するS/TEM像コントラスト値を決定する手順をさらに備えることを特徴とする請求項23に記載の方法。
- 前記S/TEMコントラストデータは、前記試料材料に関する試料膜厚に関連付けられたS/TEM像コントラスト値を備えることを特徴とする請求項22に記載の方法。
- 前記コントラストデータは、コントラスト/膜厚曲線から取得されることを特徴とする請求項22に記載の方法。
- 前記コントラスト/膜厚曲線は、異なる膜厚の試料に関するS/TEM像コントラスト値を決定する手順によって取得されることを特徴とする請求項26に記載の方法。
- 前記異なる膜厚の試料に関するS/TEM像コントラスト値を決定する手順は、異なる既知の膜厚の試料に関するS/TEM像コントラスト値を測定する手順を備えることを特徴とする請求項27に記載の方法。
- 前記異なる既知の膜厚の試料に関するS/TEM像コントラスト値は、コンピュータモデリングによって決定されることを特徴とする請求項27に記載の方法。
- 前記所望の試料膜厚に対応するS/TEM像コントラスト値は、同じ材料からなるキャリブレーション用試料に関するコントラストデータ対試料膜厚のキャリブレーション曲線のデータ点から決定されることを特徴とする請求項24に記載の方法。
- S/TEM分析に関し、試料を薄膜化する際にエンドポインティングする方法であって、
薄膜化される前記試料と同じ材料からなり、異なる膜厚のキャリブレーション用試料に関する規格化されたS/TEM像コントラスト値を決定する手順によって、キャリブレーションデータを取得し、
S/TEMを用いて前記試料を画像化し、
前記試料画像に関する前記S/TEM像コントラスト値を規格化し、
前記試料画像に関する前記規格化されたS/TEM像コントラスト値と、前記キャリブレーションデータとを比較し、
前記試料を薄膜化し、
前記試料画像に関する規格されたS/TEM像コントラスト値と前記キャリブレーションデータとの比較によって、前記試料が前記所望の膜厚にあることが示されたとき、試料の薄膜化を停止することを特徴とする方法。 - 異なる膜厚のキャリブレーション用試料に関する規格化されたS/TEM像コントラスト値を決定する手順は、
信号検出器によって前記ビームの電子がまったく又は比較的少数しか検出されなかった信号に低い透過値を割り当てる手順と、
前記信号検出器によって前記ビームの実質的にすべての電子が検出された信号に高い透過値を割り当てる手順と、
前記キャリブレーション用試料画像に関する前記低い透過値と前記高い透過値との範囲の前記コントラスト値を規格化する手順と、を備えることを特徴とする請求項31に記載の方法。 - 前記低い透過値は0%であり、前記高い透過値は100%であることを特徴とする請求項32に記載の方法。
- 前記試料画像に関する前記S/TEM像コントラスト値を規格化する手順は、
低い透過値を、信号検出器で前記ビームの電子がまったく又は比較的少数しか検出されなかった検出信号に割り当てる手順と、
高い透過値を、前記信号検出器で前記ビームの実質的にすべての電子が検出された検出信号に割り当てる手順と、
前記試料画像に関する前記コントラスト値を前記低い透過値と前記高い透過値との範囲で規格化する手順と、を備えることを特徴とする請求項31に記載の方法。 - 前記低い透過値は0%であり、前記高い透過値は100%であることを特徴とする請求項34に記載の方法。
- 試料に関するコントラスト情報を取得するS/TEMと、
前記試料を所望の膜厚までミル処理するFIBと、
前記コントラスト情報に基づいて、前記試料を前記所望の膜厚までミル処理するように前記FIBを制御するコントローラと、を備えることを特徴とする装置。 - 前記コントローラは、前記コントラスト情報が前記所望の膜厚に関連付けられた前記コントラスト値を指示したとき、前記FIBに対してミリングを停止させることができることを特徴とする請求項36に記載の装置。
- 前記コントローラは、前記所望の膜厚に関連付けられたコントラスト値を特定することができることを特徴とする請求項36又は37に記載の装置。
- 前記コントローラは、コントラスト/膜厚曲線の情報から、前記コントラスト値を特定することを特徴とする請求項38に記載の装置。
- さらに、コントラスト/膜厚曲線を示すルックアップデータを格納するメモリを備えることを特徴とする請求項36乃至39のいずれか1項に記載の装置。
- S/TEM分析のための試料を薄膜化する装置であって、
FIBカラムと、
S/TEMカラム及び検出器と、
試料材料に関するキャリブレーションデータを格納するコンピュータ可読メモリと、を備え、
前記格納データが、前記試料材料に関する試料膜厚に対応するS/TEM像コントラスト値を備えることを特徴とする装置。 - 前記試料に関する前記S/TEM像コントラスト値と、前記格納されたキャリブレーションデータとの比較に基づいて、前記試料を所望の膜厚まで薄膜化するようにFIBを制御するコントローラをさらに備えることを特徴とする請求項41に記載の装置。
- 第1材料及び第2材料の複合物からなる試料を薄膜化する際にエンドポインティングする方法であって、
前記薄膜化する試料と同じ第1材料及び第2材料の複合物からなるキャリブレーション用試料を用い、薄膜化されているキャリブレーション用試料について所望の電子ビーム電圧で、前記第1及び第2試料材料に関する暗視野信号の交差点となるS/TEM像コントラスト値を決定する手順によって、キャリブレーションデータを取得し、
前記試料に関する前記暗視野信号を決定するために、前記S/TEMを用いて、前記試料を前記所望の電子ビーム電圧で画像化し、
前記試料を薄膜化し、
前記第1及び第2材料に関する前記コントラスト値が、前記所望の膜厚における前記キャリブレーション用試料の暗視野信号の交差点と一致するとき、試料の薄膜化を停止することを特徴とする方法。 - 前記薄膜化されているキャリブレーション用試料について所望の電子ビーム電圧で、前記第1及び第2試料材料に関する暗視野信号の交差点となるS/TEM像コントラスト値を決定する手順は、
前記試料が薄膜化されるときの前記第1及び第2材料に関する暗視野コントラスト値を取得する手順と、
前記第1及び第2材料に関する前記コントラスト値が等しいとき、前記試料膜厚を決定する手順と、を備えることを特徴とする請求項43に記載の方法。 - 第1材料及び第2材料の複合物からなる試料を薄膜化する際にエンドポインティングする方法であって、
前記薄膜化する試料と同じ第1材料及び第2材料の複合物からなるキャリブレーション用試料を用い、薄膜化されているキャリブレーション用試料について所望の電子ビーム電圧で、前記第1及び第2試料材料に関する暗視野信号の交差点となるS/TEM像コントラスト値を決定する手順によって、キャリブレーションデータを取得し、
所望の電子ビーム電圧を選択し、その電子ビーム電圧に関する暗視野信号の交差点に関するコントラスト値を決定し、
前記試料に関する前記暗視野信号を決定するために、前記S/TEMを用いて、前記試料を前記所望の電子ビーム電圧で画像化し、
前記試料を薄膜化し、
前記第1及び第2材料に関する前記コントラスト値が、前記所望の膜厚における前記キャリブレーション用試料の暗視野信号の交差点と一致するとき、試料の薄膜化を停止することを特徴とする方法。 - 前記暗視野信号の交差点に関するS/TEM像コントラスト値を決定する手順は、
前記第1及び第2材料に関する暗視野信号コントラスト値対試料膜厚の曲線を取得する手順と、
前記第1及び第2材料に関する前記コントラスト値が等しくなる前記試料膜厚を決定する手順と、を備えることを特徴とする請求項43又は45に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11039408P | 2008-10-31 | 2008-10-31 | |
US61/110,394 | 2008-10-31 | ||
PCT/US2009/063007 WO2010051546A2 (en) | 2008-10-31 | 2009-11-02 | Measurement and endpointing of sample thickness |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014228898A Division JP5852725B2 (ja) | 2008-10-31 | 2014-11-11 | 加工終点検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012507728A true JP2012507728A (ja) | 2012-03-29 |
JP5649583B2 JP5649583B2 (ja) | 2015-01-07 |
Family
ID=42129591
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011534861A Active JP5649583B2 (ja) | 2008-10-31 | 2009-11-02 | 加工終点検出方法及び装置 |
JP2014228898A Active JP5852725B2 (ja) | 2008-10-31 | 2014-11-11 | 加工終点検出方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014228898A Active JP5852725B2 (ja) | 2008-10-31 | 2014-11-11 | 加工終点検出方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8170832B2 (ja) |
EP (2) | EP2351062A4 (ja) |
JP (2) | JP5649583B2 (ja) |
CN (2) | CN102394209B (ja) |
WO (1) | WO2010051546A2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014155557A1 (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-02 | 富士通株式会社 | 試料測定装置、試料測定方法、半導体装置の評価方法、およびコンピュータプログラム |
JP2015111108A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-06-18 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 断面形成用途のプロセス自動化のためのパターン認識を伴う差分画像化 |
WO2015170397A1 (ja) * | 2014-05-09 | 2015-11-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料加工方法、及び荷電粒子線装置 |
JP2015532709A (ja) * | 2012-07-27 | 2015-11-12 | ガタン インコーポレイテッドGatan Inc. | イオンビーム試料調製装置及び方法 |
JP2017528899A (ja) * | 2014-07-25 | 2017-09-28 | イー エイ フィシオネ インストルメンツ インコーポレーテッドE.A.Fischione Instruments, Inc. | 顕微鏡用試料の作製装置 |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2351062A4 (en) | 2008-10-31 | 2012-10-31 | Fei Co | MEASUREMENT AND SENSING OF THE SAMPLE THICKNESS POINT OF A SAMPLE |
US8227781B2 (en) * | 2009-07-24 | 2012-07-24 | Lyudmila Zaykova-Feldman | Variable-tilt specimen holder and method and for monitoring milling in a charged-particle instrument |
CZ2013115A3 (cs) * | 2010-08-18 | 2013-04-03 | Hitachi High - Technologies Corporation | Prístroj s elektronovým svazkem |
EP2461347A1 (en) * | 2010-12-06 | 2012-06-06 | Fei Company | Detector system for transmission electron microscope |
JP5473891B2 (ja) * | 2010-12-27 | 2014-04-16 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び試料作製方法 |
JP2013057638A (ja) * | 2011-09-09 | 2013-03-28 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | ゴム材料のシミュレーション方法 |
CN102538670B (zh) * | 2011-10-31 | 2015-04-22 | 上海显恒光电科技股份有限公司 | 一种微米级电子束焦斑尺寸的光学测量装置及其方法 |
JP6062628B2 (ja) * | 2011-12-08 | 2017-01-18 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 薄膜試料作製装置及び方法 |
JP2013167505A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 薄膜試料の作製方法及び膜厚測定方法 |
US10204762B2 (en) | 2012-07-16 | 2019-02-12 | Fei Company | Endpointing for focused ion beam processing |
US10465293B2 (en) | 2012-08-31 | 2019-11-05 | Fei Company | Dose-based end-pointing for low-kV FIB milling TEM sample preparation |
TWI461653B (zh) * | 2013-02-06 | 2014-11-21 | Inotera Memories Inc | 測量樣本尺寸的方法 |
GB201308436D0 (en) | 2013-05-10 | 2013-06-19 | Oxford Instr Nanotechnology Tools Ltd | Metrology for preparation of thin samples |
CZ304824B6 (cs) * | 2013-07-11 | 2014-11-19 | Tescan Orsay Holding, A.S. | Způsob opracovávání vzorku v zařízení se dvěma nebo více částicovými svazky a zařízení k jeho provádění |
US8933401B1 (en) * | 2013-10-25 | 2015-01-13 | Lawrence Livermore National Security, Llc | System and method for compressive scanning electron microscopy |
CN103868773A (zh) * | 2014-03-24 | 2014-06-18 | 上海华力微电子有限公司 | 透射电镜样品的制作方法 |
US9594035B2 (en) * | 2014-04-25 | 2017-03-14 | Revera, Incorporated | Silicon germanium thickness and composition determination using combined XPS and XRF technologies |
US11004656B2 (en) | 2014-10-15 | 2021-05-11 | Gatan, Inc. | Methods and apparatus for determining, using, and indicating ion beam working properties |
WO2016067039A1 (en) * | 2014-10-29 | 2016-05-06 | Omniprobe, Inc | Rapid tem sample preparation method with backside fib milling |
CN104697836B (zh) * | 2015-03-30 | 2018-04-06 | 上海华力微电子有限公司 | 一种tem样品制备方法 |
EP3104155A1 (en) * | 2015-06-09 | 2016-12-14 | FEI Company | Method of analyzing surface modification of a specimen in a charged-particle microscope |
NL2017844A (en) * | 2015-12-22 | 2017-06-28 | Asml Netherlands Bv | Focus control arrangement and method |
US9837246B1 (en) | 2016-07-22 | 2017-12-05 | Fei Company | Reinforced sample for transmission electron microscope |
US9779910B1 (en) | 2016-09-13 | 2017-10-03 | Qualcomm Incorporated | Utilization of voltage contrast during sample preparation for transmission electron microscopy |
DE102017209423A1 (de) * | 2017-06-02 | 2018-12-06 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Elektronenstrahltomographieverfahren und Elektronenstrahltomographiesystem |
CN107894357B (zh) * | 2017-11-08 | 2021-03-05 | 上海华力微电子有限公司 | 一种自动化的样本减薄方法 |
EP3531439B1 (en) | 2018-02-22 | 2020-06-24 | FEI Company | Intelligent pre-scan in scanning transmission charged particle microscopy |
DE102018117492B3 (de) | 2018-07-19 | 2019-10-02 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zum Betreiben einer Mehrzahl von FIB-SEM-Systemen |
EP3648138A1 (en) | 2018-10-31 | 2020-05-06 | FEI Company | Measurement and endpointing of sample thickness |
CN109350109B (zh) * | 2018-12-06 | 2022-03-04 | 北京锐视康科技发展有限公司 | 多功能牙科扫描系统 |
WO2020160788A1 (en) * | 2019-02-08 | 2020-08-13 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V. | Apparatus and method for preparing a sample for transmission microscopy investigations by ion beam initiated ablation |
CN111024017B (zh) * | 2019-12-04 | 2021-10-15 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 一种膜厚样片及膜厚样片的制备方法 |
KR20220123049A (ko) * | 2020-02-27 | 2022-09-05 | 주식회사 히타치하이테크 | 반도체 해석 시스템 |
US11171048B2 (en) * | 2020-03-12 | 2021-11-09 | Fei Company | Adaptive endpoint detection for automated delayering of semiconductor samples |
CN113008171A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-06-22 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种样品厚度的确定方法 |
WO2022216970A1 (en) * | 2021-04-07 | 2022-10-13 | Protochips, Inc. | Systems and methods of metadata and image management for reviewing data from transmission electron microscope (tem) sessions |
CN117546265A (zh) | 2021-04-07 | 2024-02-09 | 普罗托芯片有限公司 | 用于检查来自透射电子显微镜(tem)会话的数据的元数据和图像管理的系统和方法 |
CN113324488B (zh) * | 2021-05-14 | 2023-04-18 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种厚度测量方法和系统 |
NL2032641B1 (en) | 2022-07-29 | 2024-02-06 | Univ Delft Tech | Method and apparatus for in-situ sample quality inspection in cryogenic focused ion beam milling |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0215545A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-19 | Hitachi Ltd | X線マスクの欠陥検査方法及びその装置 |
JPH06231720A (ja) * | 1993-02-05 | 1994-08-19 | Seiko Instr Inc | 集束荷電ビーム装置および加工観察方法 |
JPH07333120A (ja) * | 1994-06-14 | 1995-12-22 | Hitachi Ltd | 試料作成方法及びその装置 |
JPH085528A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-12 | Sharp Corp | 透過電子顕微鏡用断面試料作成用集束イオンビーム装置及び透過電子顕微鏡用断面試料作成方法 |
JPH10214587A (ja) * | 1997-01-30 | 1998-08-11 | Hitachi Ltd | 立体観察用走査透過電子顕微鏡及び立体画像形成システム |
JPH11504464A (ja) * | 1995-04-29 | 1999-04-20 | バル−テク・アクツィエンゲゼルシャフト | 電子顕微鏡法のためのイオンビーム準備装置 |
JP2006127850A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子ビーム装置及び試料作製方法 |
Family Cites Families (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4629898A (en) * | 1981-10-02 | 1986-12-16 | Oregon Graduate Center | Electron and ion beam apparatus and passivation milling |
US5093572A (en) * | 1989-11-02 | 1992-03-03 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Scanning electron microscope for observation of cross section and method of observing cross section employing the same |
US6051834A (en) * | 1991-05-15 | 2000-04-18 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope |
DE4421517A1 (de) * | 1993-06-28 | 1995-01-05 | Schlumberger Technologies Inc | Verfahren zum Abtrag oder Auftrag von Material mittels eines Partikelstrahls und Vorrichtung zu seiner Durchführung |
JP3987208B2 (ja) * | 1998-07-03 | 2007-10-03 | 株式会社日立製作所 | 走査透過型電子顕微鏡 |
US6276987B1 (en) * | 1998-08-04 | 2001-08-21 | International Business Machines Corporation | Chemical mechanical polishing endpoint process control |
US6768110B2 (en) * | 2000-06-21 | 2004-07-27 | Gatan, Inc. | Ion beam milling system and method for electron microscopy specimen preparation |
US6905623B2 (en) * | 2000-12-15 | 2005-06-14 | Credence Systems Corporation | Precise, in-situ endpoint detection for charged particle beam processing |
US6589709B1 (en) * | 2001-03-28 | 2003-07-08 | Advanced Micro Devices, Inc. | Process for preventing deformation of patterned photoresist features |
US6774365B2 (en) * | 2001-03-28 | 2004-08-10 | Advanced Micro Devices, Inc. | SEM inspection and analysis of patterned photoresist features |
US6653231B2 (en) * | 2001-03-28 | 2003-11-25 | Advanced Micro Devices, Inc. | Process for reducing the critical dimensions of integrated circuit device features |
US6828259B2 (en) * | 2001-03-28 | 2004-12-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | Enhanced transistor gate using E-beam radiation |
US6815359B2 (en) * | 2001-03-28 | 2004-11-09 | Advanced Micro Devices, Inc. | Process for improving the etch stability of ultra-thin photoresist |
US6716571B2 (en) * | 2001-03-28 | 2004-04-06 | Advanced Micro Devices, Inc. | Selective photoresist hardening to facilitate lateral trimming |
US6630288B2 (en) * | 2001-03-28 | 2003-10-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | Process for forming sub-lithographic photoresist features by modification of the photoresist surface |
US6683316B2 (en) * | 2001-08-01 | 2004-01-27 | Aspex, Llc | Apparatus for correlating an optical image and a SEM image and method of use thereof |
JP3776887B2 (ja) * | 2003-01-07 | 2006-05-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線装置 |
JP4153388B2 (ja) * | 2003-08-29 | 2008-09-24 | Tdk株式会社 | 試料測定方法 |
KR100594234B1 (ko) * | 2003-12-05 | 2006-06-30 | 삼성전자주식회사 | 편광 현상을 이용하여 해상도를 향상시킬 수 있는 포토마스크 및 그 제조방법 |
KR101065074B1 (ko) * | 2004-01-16 | 2011-09-15 | 삼성전자주식회사 | 투과전자현미경 성분 맵핑용 표준시료 및 이를 이용한 투과전자현미경 성분 맵핑방법 |
US7141791B2 (en) * | 2004-09-07 | 2006-11-28 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Apparatus and method for E-beam dark field imaging |
JP4181561B2 (ja) * | 2005-05-12 | 2008-11-19 | 松下電器産業株式会社 | 半導体加工方法および加工装置 |
CN101105463B (zh) * | 2006-07-10 | 2010-12-22 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | Tem样品最小有效厚度的检测方法 |
CN101153833B (zh) * | 2006-09-30 | 2010-09-29 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 透射电子显微镜样品的制作方法 |
US8134124B2 (en) | 2006-10-20 | 2012-03-13 | Fei Company | Method for creating S/tem sample and sample structure |
US7834315B2 (en) * | 2007-04-23 | 2010-11-16 | Omniprobe, Inc. | Method for STEM sample inspection in a charged particle beam instrument |
US8835845B2 (en) * | 2007-06-01 | 2014-09-16 | Fei Company | In-situ STEM sample preparation |
JP5873227B2 (ja) * | 2007-12-06 | 2016-03-01 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | デコレーションを用いたスライス・アンド・ビュー |
EP2149897A1 (en) | 2008-07-31 | 2010-02-03 | FEI Company | Method for milling and end-pointing a sample |
EP2351062A4 (en) | 2008-10-31 | 2012-10-31 | Fei Co | MEASUREMENT AND SENSING OF THE SAMPLE THICKNESS POINT OF A SAMPLE |
EP2233907A1 (en) * | 2009-03-27 | 2010-09-29 | FEI Company | Forming an image while milling a work piece |
-
2009
- 2009-11-02 EP EP09824231A patent/EP2351062A4/en not_active Ceased
- 2009-11-02 EP EP11165381.2A patent/EP2367195B1/en active Active
- 2009-11-02 CN CN201110252293.9A patent/CN102394209B/zh active Active
- 2009-11-02 CN CN200980153190.8A patent/CN102272878B/zh active Active
- 2009-11-02 WO PCT/US2009/063007 patent/WO2010051546A2/en active Application Filing
- 2009-11-02 US US12/611,023 patent/US8170832B2/en active Active
- 2009-11-02 JP JP2011534861A patent/JP5649583B2/ja active Active
-
2012
- 2012-04-06 US US13/441,465 patent/US9184025B2/en active Active
-
2014
- 2014-11-11 JP JP2014228898A patent/JP5852725B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0215545A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-19 | Hitachi Ltd | X線マスクの欠陥検査方法及びその装置 |
JPH06231720A (ja) * | 1993-02-05 | 1994-08-19 | Seiko Instr Inc | 集束荷電ビーム装置および加工観察方法 |
JPH07333120A (ja) * | 1994-06-14 | 1995-12-22 | Hitachi Ltd | 試料作成方法及びその装置 |
JPH085528A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-12 | Sharp Corp | 透過電子顕微鏡用断面試料作成用集束イオンビーム装置及び透過電子顕微鏡用断面試料作成方法 |
JPH11504464A (ja) * | 1995-04-29 | 1999-04-20 | バル−テク・アクツィエンゲゼルシャフト | 電子顕微鏡法のためのイオンビーム準備装置 |
JPH10214587A (ja) * | 1997-01-30 | 1998-08-11 | Hitachi Ltd | 立体観察用走査透過電子顕微鏡及び立体画像形成システム |
JP2006127850A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子ビーム装置及び試料作製方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015532709A (ja) * | 2012-07-27 | 2015-11-12 | ガタン インコーポレイテッドGatan Inc. | イオンビーム試料調製装置及び方法 |
US10110854B2 (en) | 2012-07-27 | 2018-10-23 | Gatan, Inc. | Ion beam sample preparation apparatus and methods |
WO2014155557A1 (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-02 | 富士通株式会社 | 試料測定装置、試料測定方法、半導体装置の評価方法、およびコンピュータプログラム |
JP6044704B2 (ja) * | 2013-03-27 | 2016-12-14 | 富士通株式会社 | 試料測定装置、試料測定方法、半導体装置の評価方法、およびコンピュータプログラム |
JP2015111108A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-06-18 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 断面形成用途のプロセス自動化のためのパターン認識を伴う差分画像化 |
WO2015170397A1 (ja) * | 2014-05-09 | 2015-11-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料加工方法、及び荷電粒子線装置 |
JPWO2015170397A1 (ja) * | 2014-05-09 | 2017-04-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料加工方法、及び荷電粒子線装置 |
US9922798B2 (en) | 2014-05-09 | 2018-03-20 | Hitachi High-Technologies Corporation | Sample processing method and charged particle beam device |
JP2017528899A (ja) * | 2014-07-25 | 2017-09-28 | イー エイ フィシオネ インストルメンツ インコーポレーテッドE.A.Fischione Instruments, Inc. | 顕微鏡用試料の作製装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2367195A3 (en) | 2012-11-21 |
EP2351062A2 (en) | 2011-08-03 |
WO2010051546A2 (en) | 2010-05-06 |
EP2367195A2 (en) | 2011-09-21 |
CN102394209B (zh) | 2015-01-14 |
JP5852725B2 (ja) | 2016-02-03 |
WO2010051546A3 (en) | 2010-08-05 |
CN102272878A (zh) | 2011-12-07 |
CN102272878B (zh) | 2014-07-23 |
US9184025B2 (en) | 2015-11-10 |
EP2351062A4 (en) | 2012-10-31 |
JP2015038509A (ja) | 2015-02-26 |
EP2367195B1 (en) | 2014-03-12 |
US20120187285A1 (en) | 2012-07-26 |
JP5649583B2 (ja) | 2015-01-07 |
US8170832B2 (en) | 2012-05-01 |
CN102394209A (zh) | 2012-03-28 |
US20100116977A1 (en) | 2010-05-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5852725B2 (ja) | 加工終点検出方法 | |
US10978272B2 (en) | Measurement and endpointing of sample thickness | |
JP6188792B2 (ja) | Tem観察用の薄片の調製 | |
JP4158384B2 (ja) | 半導体デバイスの製造工程監視方法及びそのシステム | |
US6700122B2 (en) | Wafer inspection system and wafer inspection process using charged particle beam | |
JP5813413B2 (ja) | シュリンク前形状推定方法およびcd−sem装置 | |
US7358494B1 (en) | Material composition analysis system and method | |
US20060043292A1 (en) | Method and apparatus for inspecting semiconductor device | |
KR101709433B1 (ko) | 시료 관찰 장치 | |
CN106435595A (zh) | 用于对样品去层以对样品进行逆向工程的系统和方法 | |
JP4791333B2 (ja) | パターン寸法計測方法及び走査型透過荷電粒子顕微鏡 | |
JP2005520279A (ja) | 走査型計測装置の較正のための方法と装置 | |
US7473911B2 (en) | Specimen current mapper | |
US20220005669A1 (en) | Ion beam delayering system and method, topographically enhanced delayered sample produced thereby, and imaging methods and systems related thereto | |
JP6372948B2 (ja) | 試料の自動配向 | |
KR20230014646A (ko) | 반도체 시편에서의 측방향 함몰부 측정 | |
JP2022526994A (ja) | Z高さの絶対値を利用したツール間の相乗効果 | |
WO2024102524A1 (en) | Improved precision in stereoscopic measurements using a pre-deposition layer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120919 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120928 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130726 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130726 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20131023 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20131030 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20131121 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20131128 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20131220 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140127 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140919 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20141020 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20141029 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5649583 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |