JP2015111108A - 断面形成用途のプロセス自動化のためのパターン認識を伴う差分画像化 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】FIB手順を含む手順中にオペレータが多数の画像を取得することを可能にすること、およびそれらの多数の画像を重ね合わせて、ミリング・ステップ間の差異を明確に示す差分画像を生成することによってTEM試料を含む用途に対して差分画像化を使用する。この方法はさらに、ミリングされているエリアのリアルタイム画像を生成すること、および差分画像のオーバレイを使用してそれぞれの画像中の小さな変化を示し、そのようにしてイオン・ビーム・ミリング位置を強調表示することを含む。この方法はさらに、差分画像を生成するプロセスを自動化すること、およびその差分画像を使用して後続のスライスを自動的にミリングすることを含む。
【選択図】図6
Description
704 電子ビーム・カラム
706 集束イオン・ビーム(FIB)カラム
708 試料室
718 加工物
722 走査電子顕微鏡電源/制御ユニット
724 可動ステージ
Claims (10)
- 荷電粒子ビーム・システムを使用して試料上で終点決定を実行する方法であって、
イオン・ビームおよび電子顕微鏡を含む前記荷電粒子ビーム・システム内に試料を装墳するステップと、
前記イオン・ビームを使用して前記試料をミリングして、前記試料の第1の表面を露出させるステップと、
前記電子顕微鏡を使用して、前記試料の前記第1の表面の第1の画像を形成するステップと、
前記イオン・ビームを使用して前記試料の前記第1の表面をミリングして、前記試料の第2の表面を露出させるステップと、
前記電子顕微鏡を使用して、前記試料の前記第2の表面の第2の画像を形成するステップと、
前記第1の画像の上に前記第2の画像を重ね合わせることによって第3の画像を形成するステップであり、前記第3の画像が、前記第1の画像から前記第2の画像を差し引くことによって形成された差分画像であり、前記第3の画像が、前記第2の表面を生成するための前記イオン・ビーム・ミリングによって生じた差異を示すステップと
を含む方法。 - 前記第3の画像を生成するステップが、前記第1の画像の1つまたは複数の画素のグレースケール・レベルが、前記第2の画像の対応する画素のグレースケール・レベルよりも暗いかどうかを判定するステップを含む、請求項1または請求項10に記載の方法。
- 前記第3の画像を生成するステップが、前記第1の画像中のより暗い画素を、前記第2の画像中のより明るい対応する画素に置き換え、置き換えられた前記第2の画像中のより暗い画素を、前記第2の画像中のより明るい対応する画素に置き換えるステップとを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記第3の画像を第2の画像の上に点滅するオーバレイで定期的に表示することができ、それによって、前記イオン・ビームが最後にミリングした位置を示す強調表示を生成することができる、請求項3に記載の方法。
- 前記イオン・ビームを使用して前記試料の前記第2の表面をミリングして、前記試料の第3の表面を生成するステップと、
前記電子顕微鏡を使用して前記試料の前記第3の表面を画像化し、それによって前記試料の第4の画像を生成するステップと、
前記第2の画像の上に前記第4の画像を重ね合わせて、前記第3の表面を生成するための前記荷電粒子ビームによって生じた差異を示す差分画像を生成するステップと
をさらに含む、請求項3に記載の方法。 - 前記第1および第2の画像の画像収集ならびに前記第3の差分画像の生成を自動化するためにコントローラが使用され、前記コントローラが、コンピュータ・プロセッサおよびコンピュータ可読記憶装置を含む、請求項3に記載の方法。
- 前記コントローラが、前記第3の差分画像を使用して、前記第2の表面を、前記差分画像からの差異に基づいて自動的にミリングする、請求項6に記載の方法。
- 前記試料の表面の前記イオン・ビームのドエル点を、前記コントローラによって、前記第3の差分画像を使用して決定することができる、請求項7に記載の方法。
- 差分画像を生成するための計算を実質的にリアルタイム・フィードバックで実行して、前記差分画像の前記生成の直後に、前記荷電粒子ビーム・システムのオペレータが前記イオン・ビームを使用して試料をミリングすることができるようにするステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 荷電粒子ビーム・システムを使用して試料上で終点決定を実行する方法であって、
イオン・ビームおよび電子顕微鏡を含む荷電粒子ビーム・システム内に試料を装墳するステップと、
前記イオン・ビームを使用して前記試料をミリングして、前記試料の第1の表面を露出させるステップと、
前記電子顕微鏡を使用して、前記試料の前記第1の表面の第1の画像を形成するステップと、
前記イオン・ビームを使用して前記試料の前記第1の表面をミリングして、前記試料の第2の表面を露出させるステップと、
前記電子顕微鏡を使用して、前記試料の前記第2の表面の第2の画像を形成するステップと、
前記第2の画像の上に前記第1の画像を重ね合わせることによって第3の画像を形成するステップであり、前記第3の画像が、前記第2の画像から前記第1の画像を差し引くことによって形成された差分画像であり、前記第3の画像が、前記第2の表面を生成するための前記イオン・ビーム・ミリングによって生じた差異を示すステップと
を含む方法。
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