JP2012251801A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2012251801A5
JP2012251801A5 JP2011122790A JP2011122790A JP2012251801A5 JP 2012251801 A5 JP2012251801 A5 JP 2012251801A5 JP 2011122790 A JP2011122790 A JP 2011122790A JP 2011122790 A JP2011122790 A JP 2011122790A JP 2012251801 A5 JP2012251801 A5 JP 2012251801A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
sensor element
module according
support member
mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011122790A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2012251801A (ja
JP5935244B2 (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2011122790A external-priority patent/JP5935244B2/ja
Priority to JP2011122790A priority Critical patent/JP5935244B2/ja
Application filed filed Critical
Priority to US13/478,619 priority patent/US9243909B2/en
Priority to EP20120169761 priority patent/EP2530430B1/en
Priority to CN2012101743765A priority patent/CN102809662A/zh
Publication of JP2012251801A publication Critical patent/JP2012251801A/ja
Publication of JP2012251801A5 publication Critical patent/JP2012251801A5/ja
Priority to US14/971,007 priority patent/US10072954B2/en
Publication of JP5935244B2 publication Critical patent/JP5935244B2/ja
Application granted granted Critical
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2011122790A 2011-05-31 2011-05-31 モジュールおよび電子機器 Active JP5935244B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011122790A JP5935244B2 (ja) 2011-05-31 2011-05-31 モジュールおよび電子機器
US13/478,619 US9243909B2 (en) 2011-05-31 2012-05-23 Module and electronic apparatus
EP20120169761 EP2530430B1 (en) 2011-05-31 2012-05-29 Module and electronic apparatus
CN2012101743765A CN102809662A (zh) 2011-05-31 2012-05-30 模块以及电子设备
US14/971,007 US10072954B2 (en) 2011-05-31 2015-12-16 Module and electronic apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011122790A JP5935244B2 (ja) 2011-05-31 2011-05-31 モジュールおよび電子機器

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012251801A JP2012251801A (ja) 2012-12-20
JP2012251801A5 true JP2012251801A5 (enExample) 2014-06-26
JP5935244B2 JP5935244B2 (ja) 2016-06-15

Family

ID=46514083

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011122790A Active JP5935244B2 (ja) 2011-05-31 2011-05-31 モジュールおよび電子機器

Country Status (4)

Country Link
US (2) US9243909B2 (enExample)
EP (1) EP2530430B1 (enExample)
JP (1) JP5935244B2 (enExample)
CN (1) CN102809662A (enExample)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014126495A (ja) * 2012-12-27 2014-07-07 Seiko Epson Corp センサー、電子機器、および移動体
JP6136402B2 (ja) 2013-03-15 2017-05-31 セイコーエプソン株式会社 センサーユニット、電子機器、および移動体
CN106662446B (zh) * 2014-07-16 2019-10-25 精工爱普生株式会社 传感器单元、电子设备以及移动体
JP6922705B2 (ja) * 2017-12-06 2021-08-18 トヨタ自動車株式会社 センサー搭載構造
JP2019184452A (ja) * 2018-04-12 2019-10-24 セイコーエプソン株式会社 センサーユニット、および構造物監視装置
JP2020101484A (ja) * 2018-12-25 2020-07-02 セイコーエプソン株式会社 慣性センサー、電子機器および移動体
CN109931485A (zh) * 2019-04-15 2019-06-25 中国船舶重工集团公司第七0三研究所 一种带散热与隔热功能的振动加速度传感器支架
CN110793618B (zh) * 2019-10-28 2021-10-26 浙江优特轴承有限公司 用高频单轴加速规检测主轴轴承三轴振动的方法
US11707341B2 (en) * 2020-03-02 2023-07-25 Biosense Webster (Israel) Ltd. Jig for assembling a position sensor
JP2024042245A (ja) * 2022-09-15 2024-03-28 セイコーエプソン株式会社 慣性計測装置
CN118464085A (zh) * 2024-05-13 2024-08-09 中国建筑科学研究院有限公司 一种用于结构健康监测传感器的装配式外壳

Family Cites Families (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5233871A (en) * 1991-11-01 1993-08-10 Delco Electronics Corporation Hybrid accelerometer assembly
JPH05340960A (ja) * 1992-06-09 1993-12-24 Hitachi Ltd 多次元加速度センサ
JP3387199B2 (ja) * 1994-04-21 2003-03-17 松下電器産業株式会社 角速度センサ装置
JPH07306047A (ja) 1994-05-10 1995-11-21 Murata Mfg Co Ltd 多軸検出型振動ジャイロ
JPH09203638A (ja) * 1996-01-25 1997-08-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ装置
JP3780086B2 (ja) 1998-01-22 2006-05-31 Ｎｅｃトーキン株式会社 姿勢角度検出装置
JP3748328B2 (ja) 1998-03-30 2006-02-22 カルソニックカンセイ株式会社 センサ
JPH11289141A (ja) 1998-04-02 1999-10-19 Toshiba Corp 回路基板及びその製造方法
DE19858621C2 (de) 1998-12-18 2001-02-01 Autoflug Gmbh Verfahren zum Verbessern der Meßwerte eines inertialen Meßsystems
JP2000227335A (ja) * 1999-02-04 2000-08-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ
JP2001102746A (ja) 1999-09-30 2001-04-13 Sony Corp 回路装置とその製造方法
JP2002009228A (ja) 2000-06-20 2002-01-11 Seiko Epson Corp 半導体装置
US6545865B2 (en) 2001-07-13 2003-04-08 International Business Machines Corporation Shock mount for a device packaged in a portable cartridge
DE10134620A1 (de) 2001-07-17 2003-02-06 Bosch Gmbh Robert Mehraxiales Inertialsensorsystem und Verfahren zu seiner Herstellung
JP2003107549A (ja) 2001-09-28 2003-04-09 Canon Inc 振動検出手段の実装装置及び防振システム
US7040922B2 (en) 2003-06-05 2006-05-09 Analog Devices, Inc. Multi-surface mounting member and electronic device
JP2005197493A (ja) 2004-01-08 2005-07-21 Ihi Aerospace Co Ltd 回路基板組立体
KR20070114198A (ko) 2005-02-28 2007-11-29 제이슨 알. 로젠블라트 주변의 비정상 공기 상태를 감지하는 모듈을 수용하는 수평설치된 조립체
JP4751085B2 (ja) * 2005-03-31 2011-08-17 東京計器株式会社 センサの組立方法
JP2007057288A (ja) 2005-08-23 2007-03-08 Seiko Epson Corp 圧電ジャイロセンサモジュール及び電子機器
JP4686304B2 (ja) 2005-08-25 2011-05-25 日信工業株式会社 電子装置および電子装置の製造方法
US20090283891A1 (en) 2006-04-07 2009-11-19 Koninklijke Philips Electronics N.V. Elastically deformable integrated-circuit device
JP2008109378A (ja) * 2006-10-25 2008-05-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学デバイスモジュールとその製造方法および光学デバイスユニットとその製造方法
JP4714665B2 (ja) * 2006-11-20 2011-06-29 パナソニック株式会社 光学デバイスモジュール及びその製造方法
US7291023B1 (en) 2006-11-21 2007-11-06 Autoliv Asp, Inc. Electric vehicle motion sensor
FR2910129B1 (fr) * 2006-12-15 2009-07-10 Skf Ab Dispositif de palier a roulement instrumente
US8462109B2 (en) 2007-01-05 2013-06-11 Invensense, Inc. Controlling and accessing content using motion processing on mobile devices
CN100476358C (zh) 2007-08-06 2009-04-08 北京航空航天大学 一种mems陀螺仪的精密安装基准体组件及其安装方法
US20090056446A1 (en) * 2007-09-05 2009-03-05 Cluff Charles A Multiple-axis sensor package and method of assembly
US7933128B2 (en) 2007-10-10 2011-04-26 Epson Toyocom Corporation Electronic device, electronic module, and methods for manufacturing the same
US8100010B2 (en) 2008-04-14 2012-01-24 Honeywell International Inc. Method and system for forming an electronic assembly having inertial sensors mounted thereto
US8037754B2 (en) * 2008-06-12 2011-10-18 Rosemount Aerospace Inc. Integrated inertial measurement system and methods of constructing the same
US7625245B1 (en) 2008-07-24 2009-12-01 Lotes Co., Ltd. Low-profile electrical connector and device thereof
JP2010185716A (ja) * 2009-02-10 2010-08-26 Murata Mfg Co Ltd 角速度センサモジュール
JP2010192060A (ja) 2009-02-20 2010-09-02 Cis Electronica Industria & Comercio Ltda センサモジュールおよびセンサモジュールの製造方法
CN101532840B (zh) 2009-03-19 2010-12-08 浙江大学 一种用于深海惯性导航的惯性测量装置
JP2010231895A (ja) 2009-03-25 2010-10-14 Panasonic Electric Works Co Ltd 基板固定構造および物理量センサ
CN102004522A (zh) 2009-08-31 2011-04-06 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 主板
JP5318720B2 (ja) 2009-09-30 2013-10-16 富士通テン株式会社 電子制御装置
US8194409B2 (en) 2009-11-09 2012-06-05 Tyco Electronics Corporation Guide frame for a pluggable module
JP5302867B2 (ja) * 2009-12-07 2013-10-02 ホシデン株式会社 マイクロホン
US8368154B2 (en) * 2010-02-17 2013-02-05 The Regents Of The University Of California Three dimensional folded MEMS technology for multi-axis sensor systems
CN102121829B (zh) 2010-08-09 2013-06-12 汪滔 一种微型惯性测量系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2012251801A5 (enExample)
JP2012251802A5 (enExample)
JP2014025846A5 (enExample)
JP2013019825A5 (enExample)
JP2008096420A5 (enExample)
JP2013186030A5 (enExample)
JP2012047726A5 (enExample)
JP2016211860A5 (enExample)
JP2011247729A5 (ja) 素子構造体、慣性センサー、電子機器
JP2015055896A5 (enExample)
WO2013183266A3 (en) Semiconductor device and sensing system
JP2012189480A5 (enExample)
WO2012085456A3 (fr) Structure planaire pour gyromètre tri-axe
JP2018163120A5 (enExample)
JP2017049122A5 (enExample)
JP2013019745A5 (enExample)
JP2011117972A5 (ja) 振動子及び電子機器
JP2014062753A5 (enExample)
JP2013238437A5 (enExample)
MY186015A (en) Physical quantity sensor
JP2014085233A5 (enExample)
JP2014178248A5 (enExample)
JP2016048649A5 (enExample)
JP2014033389A5 (enExample)
JP2016118421A5 (enExample)