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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5678741B2 (ja) * 2011-03-11 2015-03-04 セイコーエプソン株式会社 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器
NO335565B1 (no) * 2012-12-21 2014-12-29 Cggveritas Services Norway As Geofysisk akselerasjonssensor med justerbar støtbeskyttelse og fremgangsmåte
US8914986B1 (en) * 2013-01-16 2014-12-23 The Boeing Company Inclinometer device and method of manufacture
US9400337B2 (en) 2013-03-15 2016-07-26 L-3 Communications Corporation Beam accelerometer
US9623285B1 (en) * 2013-08-09 2017-04-18 Mariano M Ruiz Barbell level indicator
CN105429607B (zh) * 2014-09-16 2020-12-29 精工爱普生株式会社 振动装置、电子设备以及移动体
US20170097278A1 (en) * 2015-10-02 2017-04-06 Seiko Epson Corporation Measurement instrument, measurement method, measurement system, and program
JP6627501B2 (ja) * 2015-12-28 2020-01-08 セイコーエプソン株式会社 計測装置、減衰特性算出方法、プログラム、および計測システム
JP6705168B2 (ja) 2015-12-28 2020-06-03 セイコーエプソン株式会社 センサー用基板、物理量検出センサー、加速度センサー、電子機器、および移動体
JP6604200B2 (ja) * 2015-12-28 2019-11-13 セイコーエプソン株式会社 加速度センサー、計測システム、および計測装置
US10060943B2 (en) 2016-03-18 2018-08-28 Rosemount Aerospace Inc. Symmetric MEMS piezoelectric accelerometer for lateral noise
JP6840960B2 (ja) 2016-09-07 2021-03-10 セイコーエプソン株式会社 センサー用基板、物理量検出センサー、加速度センサー、電子機器、移動体、およびセンサー用基板の製造方法
JP6897187B2 (ja) * 2017-03-16 2021-06-30 セイコーエプソン株式会社 物理量検出器、物理量検出デバイス、電子機器および移動体
JP7087479B2 (ja) 2018-03-09 2022-06-21 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、物理量センサーデバイス、物理量センサーデバイスを用いた傾斜計、慣性計測装置、構造物監視装置、及び移動体
CN110243343B (zh) * 2018-03-09 2022-07-29 精工爱普生株式会社 传感器模块、倾斜仪以及结构物监视装置
CN109158753A (zh) * 2018-07-24 2019-01-08 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 一种单晶硅挠性加速度计的密封方法
JP2020134391A (ja) * 2019-02-22 2020-08-31 セイコーエプソン株式会社 センサーモジュール、センサーシステム及び慣性センサーの異常判定方法
JP7188311B2 (ja) 2019-07-31 2022-12-13 セイコーエプソン株式会社 ジャイロセンサー、電子機器、及び移動体
JP1731151S (ja) * 2022-02-21 2022-12-01 測定器用センサーカバー

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62108161A (ja) * 1985-11-06 1987-05-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 加速度センサ
JPS6317428U (enExample) * 1986-07-18 1988-02-05
FR2627592B1 (fr) * 1988-02-22 1990-07-27 Sagem Accelerometre pendulaire non asservi a poutre resonante
FR2640045B1 (fr) 1988-12-02 1991-03-08 Sagem Transducteur force-frequence a poutres vibrantes et accelerometre pendulaire en comportant application
US4881408A (en) 1989-02-16 1989-11-21 Sundstrand Data Control, Inc. Low profile accelerometer
JP2600393B2 (ja) * 1989-09-25 1997-04-16 日産自動車株式会社 半導体加速度センサの製造方法
FR2666887A1 (fr) * 1990-09-17 1992-03-20 Asulab Sa Capteur de mesure d'une grandeur physique.
US5239871A (en) * 1990-12-17 1993-08-31 Texas Instruments Incorporated Capacitive accelerometer
US5241861A (en) * 1991-02-08 1993-09-07 Sundstrand Corporation Micromachined rate and acceleration sensor
US5331853A (en) * 1991-02-08 1994-07-26 Alliedsignal Inc. Micromachined rate and acceleration sensor
DE69509312T2 (de) * 1994-06-29 1999-11-04 New Sd, Inc. Beschleunigungsmesser sowie Verfahren zu seiner Herstellung
JPH08297139A (ja) * 1995-04-26 1996-11-12 Mitsubishi Electric Corp 半導体加速度センサ
JPH0943269A (ja) * 1995-07-28 1997-02-14 Omron Corp 加速度トランスデューサ
JP2000206141A (ja) * 1999-01-20 2000-07-28 Miyota Kk 運動量センサ
US6263736B1 (en) * 1999-09-24 2001-07-24 Ut-Battelle, Llc Electrostatically tunable resonance frequency beam utilizing a stress-sensitive film
WO2002093180A1 (en) * 2001-05-15 2002-11-21 Honeywell International Inc. Accelerometer strain relief structure
US7802475B2 (en) * 2006-10-13 2010-09-28 Seiko Epson Corporation Acceleration sensor
JP2011064652A (ja) 2009-09-18 2011-03-31 Seiko Epson Corp 加速度検出器
JP5375624B2 (ja) * 2010-01-18 2013-12-25 セイコーエプソン株式会社 加速度センサー、及び加速度検出装置
JP5678741B2 (ja) * 2011-03-11 2015-03-04 セイコーエプソン株式会社 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器
JP5824876B2 (ja) * 2011-05-30 2015-12-02 セイコーエプソン株式会社 物理量検出器の製造方法
JP2013050321A (ja) * 2011-08-30 2013-03-14 Seiko Epson Corp 物理量検出器及び電子機器
JP5896114B2 (ja) * 2011-10-31 2016-03-30 セイコーエプソン株式会社 物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器
JP2013217667A (ja) * 2012-04-04 2013-10-24 Seiko Epson Corp 物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器、並びに物理量検出デバイスの製造方法

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