JP2012230301A - 半導体装置、表示装置および電子機器 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 73
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 47
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 19
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 claims description 5
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 66
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 26
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 23
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 23
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 9
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical group [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/124—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or layout of the wiring layers specially adapted to the circuit arrangement, e.g. scanning lines in LCD pixel circuits
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/13338—Input devices, e.g. touch panels
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1345—Conductors connecting electrodes to cell terminals
- G02F1/13454—Drivers integrated on the active matrix substrate
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136286—Wiring, e.g. gate line, drain line
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/1368—Active matrix addressed cells in which the switching element is a three-electrode device
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- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
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- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
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- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
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- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
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- H01L29/772—Field effect transistors
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- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
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- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- H—ELECTRICITY
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
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Abstract
【解決手段】半導体装置は、基板上の第1の方向に沿って延在し、互いに離隔配置された主配線部および分岐配線部を有する1または複数の第1の配線と、基板上の第1の方向とは異なる第2の方向に沿って延在する幹配線部と、主配線部と分岐配線部との間隙領域内で第1の方向に沿って延在する複数の枝配線部とを有する1または複数の第2の配線と、複数の枝配線部が個別にゲート電極として機能すると共に、主配線部内および分岐配線部内に形成されたソース領域と、複数の枝配線部間に形成されたドレイン領域とを有し、各々が第2の方向に沿って複数個に分割形成されてなる1または複数のトランジスタと、第2の方向に沿って延在し、トランジスタのドレイン領域と電気的に接続された1または複数の第3の配線とを備えている。
【選択図】図10
Description
1.タッチセンサ付きの表示装置におけるタッチ検出方式の基本原理
2.第1の実施の形態(トランジスタを偶数個に分割形成した例)
3.第2の実施の形態(トランジスタを奇数個に分割形成した例)
4.第1,第2の実施の形態に共通の変形例
変形例1(電源線の配線に部分的に貫通孔を設けた例)
変形例2(バッファ回路の代わりにインバータ回路に適用した例)
5.適用例(表示装置の電子機器への適用例)
6.その他の変形例
最初に図1〜図3を参照して、以下の実施の形態等に係る表示装置(タッチセンサ付きの表示装置)における、タッチ検出方式の基本原理について説明する。このタッチ検出方式は、静電容量型タッチセンサとして具現化されるものであり、例えば図1(A)に示したように、誘電体Diを挟んで互いに対向配置された一対の電極(駆動電極E1および検出電極E2)を用い、容量素子を構成する。この構造は、図1(B)に示した等価回路として表される。駆動電極E1、検出電極E2および誘電体Diによって、容量素子C1が構成される。容量素子C1は、その一端が交流信号源(駆動信号源)Sacに接続され、他端Pは抵抗器Rを介して接地されると共に、電圧検出器(検出回路)DETに接続される。交流信号源Sacから駆動電極E1(容量素子C1の一端)に所定の周波数(例えば数kHz〜十数kHz程度)の交流矩形波Sg(図3(B))を印加すると、検出電極E2(容量素子C1の他端P)に、図3(A)に示したような出力波形(検出信号Vdet)が現れる。なお、この交流矩形波Sgは、後述するコモン駆動信号Vcomに相当するものである。
[表示装置1の構成]
図4は、本開示の第1の実施の形態に係る半導体装置を備えた表示装置(タッチセンサ付きの表示装置1)の要部断面構造を表すものである。この表示装置1は、表示素子として液晶素子を用いると共に、この液晶素子に元々備えられている電極の一部(後述する共通電極43)および表示用駆動信号(後述するコモン駆動信号Vcom)を兼用して静電容量型タッチセンサを構成したものである。すなわち、表示装置1は、表示機能およびタッチセンサ機能を有している。
図5は、対向基板4における共通電極43およびセンサ用検出電極44の一構成例を斜視状態にて表したものである。この例では、共通電極43は、図の左右方向に延在する複数のストライプ状の電極パターン(ここでは、一例としてn個(n:2以上の整数)の共通電極431〜43nからなる)に分割されている。各電極パターンには、共通電極ドライバ43Dによってコモン駆動信号Vcomが順次供給され、後述するように時分割的に線順次走査駆動が行われるようになっている。一方、センサ用検出電極44は、共通電極43の電極パターンの延在方向と直交する方向に延びる複数のストライプ状の電極パターンから構成されている。センサ用検出電極44の各電極パターンからは、それぞれ、検出信号Vdetが出力され、後述する検出回路8に入力されるようになっている。
図6および図7は、表示装置1における画素構造および各種ドライバの構成例を表したものである。表示装置1では、有効表示領域10A内に、TFT素子Trと液晶素子LCとを有する複数の表示画素20(画素)がマトリクス状に配置されている。すなわち、複数の表示画素20を有する表示部が、有効表示領域10Aに配設されている。また、この有効表示領域10Aの外縁(外周)に位置する額縁領域(非表示領域)10B内には、後述する半導体装置を含む表示ドライバ(駆動部)と、検出回路8(DET)とが配設されている。なお、図6および図7において、X軸方向が水平ライン方向(H方向,第2の方向)に対応すると共に、Y軸方向が垂直ライン方向(V方向,第1の方向)に対応し、以降の他の図においても同様である。
図8は、図6,図7に示したバッファ回路(COMバッファ43D4、ゲート/COMバッファ40D5、またはゲートドライバ26D内の図示しないバッファ回路)の回路構成例を表したものである。ここで、このバッファ回路が、本開示における「垂直駆動回路」および「半導体装置(半導体回路)」の一具体例に対応する。ただし、以下では説明の便宜上、COMバッファ43D4におけるバッファ回路の回路構成例として説明する。
図10は、図8に示したCOMバッファ43D4等におけるバッファ回路の配置構成例(レイアウト構成例:X−Y平面構成例)を表したものであり、図11は、図10におけるII−II線に沿った矢視断面構成例(Y−Z断面構成例)を模式的に表したものである。
W11+(W12×M’)=W1 ……(1)
W21+(W22×M’)=W2 ……(2)
図12は、図6および図7に示した、タッチ検出動作を行う検出回路8の回路構成例を表したものである。この検出回路8(電圧検出器DET)は、増幅部81、A/D(アナログ/デジタル)変換部83、信号処理部84、座標抽出部85および前述した抵抗器Rを有している。
(1.基本動作)
この表示装置1では、画素基板2の表示ドライバ(共通電極ドライバ43D等)が、共通電極43の各電極パターン(共通電極431〜43n)に対してコモン駆動信号Vcomを線順次で供給する。この表示ドライバはまた、信号線25を介して画素電極22へ画素信号(画像信号)を供給すると共に、これに同期して、ゲート線26を介して各画素電極のTFT(TFT素子Tr)のスイッチングを線順次で制御する。これにより、液晶層6には、表示画素20ごとに、コモン駆動信号Vcomと各画像信号とにより定まる縦方向(基板に垂直な方向)の電界が印加され、液晶状態の変調が行われる。
次に、前述したCOMバッファ43D4等におけるバッファ回路の作用について、比較例と比較しつつ詳細に説明する。
図13は、比較例に係るバッファ回路(バッファ回路104)の配置構成例(レイアウト構成例:X−Y平面構成例)を表したものである。
これに対して本実施の形態のバッファ回路では、図10および図11に示したようにして配置されている。すなわち、Y軸方向に沿って延在する電源線Lv1,Lv2が、主配線部31および分岐配線部32を含んで構成され、これらの主配線部31内および分岐配線部32内にそれぞれ、各トランジスタTn1,Tn2,Tp1,Tp2のソース領域Sが形成されている。これにより、電源線Lv1,Lv2において、トランジスタのソース領域Sが、Y軸方向に沿って直線的に繋がれるようになっている。
次に、本開示の第2の実施の形態について説明する。なお、上記第1の実施の形態と同一部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
W11+(W12×N’)=W1 ……(3)
W21+(W22×N’)=W2 ……(4)
次に、上記した第1および第2の実施の形態に共通の変形例(変形例1,2)について説明する。なお、これらの実施の形態と同一部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
図15および図16はそれぞれ、変形例1に係るバッファ回路(COMバッファ43D4等におけるバッファ回路)の配置構成例(レイアウト構成例:X−Y平面構成例)を表したものである。具体的には、図15は、第1の実施の形態の変形例1に対応し、図16は、第2の実施の形態の変形例1に対応する。
図17および図18はそれぞれ、変形例2に係るインバータ回路(COMバッファ43D4等におけるインバータ回路)の配置構成例(レイアウト構成例:X−Y平面構成例)を表したものである。具体的には、図17は、第1の実施の形態の変形例2に対応し、図18は、第2の実施の形態の変形例2に対応する。なお、このインバータ回路は、本開示における「垂直駆動回路」および「半導体装置(半導体回路)」の一具体例に対応する。
次に、図19〜図23を参照して、上記各実施の形態および各変形例で説明した表示装置1(タッチセンサ付きの表示装置)の適用例について説明する。上記実施の形態等の表示装置1は、テレビジョン装置,デジタルカメラ,ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話等の携帯端末装置あるいはビデオカメラなどのあらゆる分野の電子機器に適用することが可能である。言い換えると、上記実施の形態等の表示装置1は、外部から入力された映像信号あるいは内部で生成した映像信号を、画像あるいは映像として表示するあらゆる分野の電子機器に適用することが可能である。
図19は、上記実施の形態等の表示装置1が適用されるテレビジョン装置の外観を表したものである。このテレビジョン装置は、例えば、フロントパネル511およびフィルターガラス512を含む映像表示画面部510を有しており、この映像表示画面部510は、上記実施の形態等に係る表示装置1により構成されている。
図20は、上記実施の形態等の表示装置1が適用されるデジタルカメラの外観を表したものである。このデジタルカメラは、例えば、フラッシュ用の発光部521、表示部522、メニュースイッチ523およびシャッターボタン524を有しており、その表示部522は、上記実施の形態等に係る表示装置1により構成されている。
図21は、上記実施の形態等の表示装置1が適用されるノート型パーソナルコンピュータの外観を表したものである。このノート型パーソナルコンピュータは、例えば、本体531,文字等の入力操作のためのキーボード532および画像を表示する表示部533を有しており、その表示部533は、上記実施の形態等に係る表示装置1により構成されている。
図22は、上記実施の形態等の表示装置1が適用されるビデオカメラの外観を表したものである。このビデオカメラは、例えば、本体部541,この本体部541の前方側面に設けられた被写体撮影用のレンズ542,撮影時のスタート/ストップスイッチ543および表示部544を有している。そして、その表示部544は、上記実施の形態等に係る表示装置1により構成されている。
図23は、上記実施の形態等の表示装置1が適用される携帯電話機の外観を表したものである。この携帯電話機は、例えば、上側筐体710と下側筐体720とを連結部(ヒンジ部)730で連結したものであり、ディスプレイ740,サブディスプレイ750,ピクチャーライト760およびカメラ770を有している。そのディスプレイ740またはサブディスプレイ750は、上記実施の形態等に係る表示装置1により構成されている。
以上、実施の形態、変形例および適用例を挙げて本技術を説明したが、本技術はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。
(1)
基板上の第1の方向に沿って延在し、互いに離隔配置された主配線部および分岐配線部を有する1または複数の第1の配線と、
前記基板上の前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿って延在する幹配線部と、前記主配線部と前記分岐配線部との間隙領域内で前記第1の方向に沿って延在する複数の枝配線部と、を有する1または複数の第2の配線と、
前記複数の枝配線部が個別にゲート電極として機能すると共に、前記主配線部内および前記分岐配線部内に形成されたソース領域と、前記複数の枝配線部間に形成されたドレイン領域とを有し、各々が前記第2の方向に沿って複数個に分割形成されてなる1または複数のトランジスタと、
前記第2の方向に沿って延在し、前記トランジスタのドレイン領域と電気的に接続された1または複数の第3の配線と
を備えた半導体装置。
(2)
前記トランジスタが、偶数個に分割形成されてなる
前記(1)に記載の半導体装置。
(3)
前記トランジスタが、奇数個に分割形成されてなる
前記(1)に記載の半導体装置。
(4)
2つの前記第1の配線と、2つの前記第2の配線と、4つの前記トランジスタと、1つの前記第3の配線とにより、単位回路としての1つのバッファ回路が形成されている
前記(1)ないし(3)のいずれか1項に記載の半導体装置。
(5)
1つの前記第1の配線と、2つの前記第2の配線と、2つの前記トランジスタと、1つの前記第3の配線とにより、単位回路としての1つのインバータ回路が形成されている
前記(1)ないし(3)のいずれか1項に記載の半導体装置。
(6)
前記第1の配線が電源線であり、前記第2の配線が制御信号線であり、前記第3の配線が出力信号線であると共に、
前記第1ないし第3の配線が、互いに異なる層に形成されている
前記(4)または(5)に記載の半導体装置。
(7)
前記単位回路が、前記第1の方向に沿って複数設けられている
前記(6)に記載の半導体装置。
(8)
前記制御信号線から供給される制御信号によって、複数の前記単位回路が前記第1の方向に沿って順次動作する
前記(7)に記載の半導体装置。
(9)
前記第3の配線は、前記第1の配線と前記第3の配線との重畳領域の少なくとも一部に、貫通孔を有する
前記(1)ないし(8)のいずれか1項に記載の半導体装置。
(10)
前記第1の配線は、前記間隙領域内に、前記主配線部と前記分岐配線部とを電気的に接続する接続部を有する
前記(1)ないし(9)のいずれか1項に記載の半導体装置。
(11)
前記第1の方向と前記第2の方向とが、互いに略直交している
前記(1)ないし(10)のいずれか1項に記載の半導体装置。
(12)
表示部と、半導体装置を含む駆動部とを備え、
前記半導体装置は、
基板上の第1の方向に沿って延在し、互いに離隔配置された主配線部および分岐配線部を有する1または複数の第1の配線と、
前記基板上の前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿って延在する幹配線部と、前記主配線部と前記分岐配線部との間隙領域内で前記第1の方向に沿って延在する複数の枝配線部と、を有する1または複数の第2の配線と、
前記複数の枝配線部が個別にゲート電極として機能すると共に、前記主配線部内および前記分岐配線部内に形成されたソース領域と、前記複数の枝配線部間に形成されたドレイン領域とを有し、各々が前記第2の方向に沿って複数個に分割形成されてなる1または複数のトランジスタと、
前記第2の方向に沿って延在し、前記トランジスタのドレイン領域と電気的に接続された1または複数の第3の配線と
を備えた表示装置。
(13)
前記表示部は、有効表示領域に配設され、
前記駆動部は、前記有効表示領域の外縁に位置する額縁領域内に配設されている
前記(12)に記載の表示装置。
(14)
前記表示部は複数の画素を有し、
前記半導体装置が、前記複数の画素を前記第1の方向に沿って順次駆動する垂直駆動回路である
前記(13)に記載の表示装置。
(15)
前記駆動部は、複数のトランジスタを含む水平駆動回路を有し、
前記垂直駆動回路および前記水平駆動回路におけるトランジスタのゲート電極がそれぞれ、前記第1の方向に沿って延在するように配置されている
前記(14)に記載の表示装置。
(16)
前記垂直駆動回路および前記水平駆動回路におけるトランジスタがそれぞれ、多結晶半導体層を含む
前記(15)に記載の表示装置。
(17)
前記多結晶半導体層が、非晶質半導体層に対して所定方向に沿ったレーザアニール処理を施すことにより形成されたものである
前記(16)に記載の表示装置。
(18)
タッチセンサ機能を有する
前記(12)ないし(17)のいずれか1項に記載の表示装置。
(19)
前記表示部が、液晶素子または有機EL素子を用いて構成されている
前記(12)ないし(18)のいずれか1項に記載の表示装置。
(20)
表示部と、半導体装置を含む駆動部とを有する表示装置を備え、
前記半導体装置は、
基板上の第1の方向に沿って延在し、互いに離隔配置された主配線部および分岐配線部を有する1または複数の第1の配線と、
前記基板上の前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿って延在する幹配線部と、前記主配線部と前記分岐配線部との間隙領域内で前記第1の方向に沿って延在する複数の枝配線部と、を有する1または複数の第2の配線と、
前記複数の枝配線部が個別にゲート電極として機能すると共に、前記主配線部内および前記分岐配線部内に形成されたソース領域と、前記複数の枝配線部間に形成されたドレイン領域とを有し、各々が前記第2の方向に沿って複数個に分割形成されてなる1または複数のトランジスタと、
前記第2の方向に沿って延在し、前記トランジスタのドレイン領域と電気的に接続された1または複数の第3の配線と
を備えた電子機器。
Claims (20)
- 基板上の第1の方向に沿って延在し、互いに離隔配置された主配線部および分岐配線部を有する1または複数の第1の配線と、
前記基板上の前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿って延在する幹配線部と、前記主配線部と前記分岐配線部との間隙領域内で前記第1の方向に沿って延在する複数の枝配線部と、を有する1または複数の第2の配線と、
前記複数の枝配線部が個別にゲート電極として機能すると共に、前記主配線部内および前記分岐配線部内に形成されたソース領域と、前記複数の枝配線部間に形成されたドレイン領域とを有し、各々が前記第2の方向に沿って複数個に分割形成されてなる1または複数のトランジスタと、
前記第2の方向に沿って延在し、前記トランジスタのドレイン領域と電気的に接続された1または複数の第3の配線と
を備えた半導体装置。 - 前記トランジスタが、偶数個に分割形成されてなる
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記トランジスタが、奇数個に分割形成されてなる
請求項1に記載の半導体装置。 - 2つの前記第1の配線と、2つの前記第2の配線と、4つの前記トランジスタと、1つの前記第3の配線とにより、単位回路としての1つのバッファ回路が形成されている
請求項1に記載の半導体装置。 - 1つの前記第1の配線と、2つの前記第2の配線と、2つの前記トランジスタと、1つの前記第3の配線とにより、単位回路としての1つのインバータ回路が形成されている
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1の配線が電源線であり、前記第2の配線が制御信号線であり、前記第3の配線が出力信号線であると共に、
前記第1ないし第3の配線が、互いに異なる層に形成されている
請求項4に記載の半導体装置。 - 前記単位回路が、前記第1の方向に沿って複数設けられている
請求項6に記載の半導体装置。 - 前記制御信号線から供給される制御信号によって、複数の前記単位回路が前記第1の方向に沿って順次動作する
請求項7に記載の半導体装置。 - 前記第3の配線は、前記第1の配線と前記第3の配線との重畳領域の少なくとも一部に、貫通孔を有する
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1の配線は、前記間隙領域内に、前記主配線部と前記分岐配線部とを電気的に接続する接続部を有する
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1の方向と前記第2の方向とが、互いに略直交している
請求項1に記載の半導体装置。 - 表示部と、半導体装置を含む駆動部とを備え、
前記半導体装置は、
基板上の第1の方向に沿って延在し、互いに離隔配置された主配線部および分岐配線部を有する1または複数の第1の配線と、
前記基板上の前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿って延在する幹配線部と、前記主配線部と前記分岐配線部との間隙領域内で前記第1の方向に沿って延在する複数の枝配線部と、を有する1または複数の第2の配線と、
前記複数の枝配線部が個別にゲート電極として機能すると共に、前記主配線部内および前記分岐配線部内に形成されたソース領域と、前記複数の枝配線部間に形成されたドレイン領域とを有し、各々が前記第2の方向に沿って複数個に分割形成されてなる1または複数のトランジスタと、
前記第2の方向に沿って延在し、前記トランジスタのドレイン領域と電気的に接続された1または複数の第3の配線と
を備えた表示装置。 - 前記表示部は、有効表示領域に配設され、
前記駆動部は、前記有効表示領域の外縁に位置する額縁領域内に配設されている
請求項12に記載の表示装置。 - 前記表示部は複数の画素を有し、
前記半導体装置が、前記複数の画素を前記第1の方向に沿って順次駆動する垂直駆動回路である
請求項13に記載の表示装置。 - 前記駆動部は、複数のトランジスタを含む水平駆動回路を有し、
前記垂直駆動回路および前記水平駆動回路におけるトランジスタのゲート電極がそれぞれ、前記第1の方向に沿って延在するように配置されている
請求項14に記載の表示装置。 - 前記垂直駆動回路および前記水平駆動回路におけるトランジスタがそれぞれ、多結晶半導体層を含む
請求項15に記載の表示装置。 - 前記多結晶半導体層が、非晶質半導体層に対して所定方向に沿ったレーザアニール処理を施すことにより形成されたものである
請求項16に記載の表示装置。 - タッチセンサ機能を有する
請求項12に記載の表示装置。 - 前記表示部が、液晶素子または有機EL素子を用いて構成されている
請求項12に記載の表示装置。 - 表示部と、半導体装置を含む駆動部とを有する表示装置を備え、
前記半導体装置は、
基板上の第1の方向に沿って延在し、互いに離隔配置された主配線部および分岐配線部を有する1または複数の第1の配線と、
前記基板上の前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿って延在する幹配線部と、前記主配線部と前記分岐配線部との間隙領域内で前記第1の方向に沿って延在する複数の枝配線部と、を有する1または複数の第2の配線と、
前記複数の枝配線部が個別にゲート電極として機能すると共に、前記主配線部内および前記分岐配線部内に形成されたソース領域と、前記複数の枝配線部間に形成されたドレイン領域とを有し、各々が前記第2の方向に沿って複数個に分割形成されてなる1または複数のトランジスタと、
前記第2の方向に沿って延在し、前記トランジスタのドレイン領域と電気的に接続された1または複数の第3の配線と
を備えた電子機器。
Priority Applications (10)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011099345A JP5581261B2 (ja) | 2011-04-27 | 2011-04-27 | 半導体装置、表示装置および電子機器 |
TW101111180A TWI470306B (zh) | 2011-04-27 | 2012-03-29 | 半導體裝置,顯示裝置及電子裝置 |
CN201210111837.4A CN102760718B (zh) | 2011-04-27 | 2012-04-16 | 半导体装置、显示装置和电子设备 |
CN201610213496.XA CN105720037B (zh) | 2011-04-27 | 2012-04-16 | 半导体装置和显示装置 |
US13/449,442 US8884919B2 (en) | 2011-04-27 | 2012-04-18 | Semiconductor device, display device, and electronic device |
KR1020120040042A KR101919155B1 (ko) | 2011-04-27 | 2012-04-18 | 반도체 장치, 표시 장치 및 전자 기기 |
US14/514,798 US9111808B2 (en) | 2011-04-27 | 2014-10-15 | Semiconductor device, display device, and electronic device |
US14/793,477 US9721975B2 (en) | 2011-04-27 | 2015-07-07 | Semiconductor device, display device, and electronic device |
US15/635,383 US10714505B2 (en) | 2011-04-27 | 2017-06-28 | Semiconductor device, display device, and electronic device |
US16/885,419 US10998347B2 (en) | 2011-04-27 | 2020-05-28 | Semiconductor device, display device, and electronic device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011099345A JP5581261B2 (ja) | 2011-04-27 | 2011-04-27 | 半導体装置、表示装置および電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012230301A true JP2012230301A (ja) | 2012-11-22 |
JP5581261B2 JP5581261B2 (ja) | 2014-08-27 |
Family
ID=47055113
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011099345A Expired - Fee Related JP5581261B2 (ja) | 2011-04-27 | 2011-04-27 | 半導体装置、表示装置および電子機器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (5) | US8884919B2 (ja) |
JP (1) | JP5581261B2 (ja) |
KR (1) | KR101919155B1 (ja) |
CN (2) | CN105720037B (ja) |
TW (1) | TWI470306B (ja) |
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WO2014045603A1 (ja) * | 2012-09-24 | 2014-03-27 | パナソニック株式会社 | 入力装置 |
US9746706B2 (en) | 2012-10-26 | 2017-08-29 | Japan Display Inc. | Display device and electronic apparatus |
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- 2012-04-16 CN CN201210111837.4A patent/CN102760718B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-04-18 KR KR1020120040042A patent/KR101919155B1/ko active IP Right Grant
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US9111808B2 (en) | 2015-08-18 |
KR101919155B1 (ko) | 2018-11-15 |
CN102760718A (zh) | 2012-10-31 |
US20170294452A1 (en) | 2017-10-12 |
CN105720037B (zh) | 2018-08-07 |
TWI470306B (zh) | 2015-01-21 |
US20150311228A1 (en) | 2015-10-29 |
KR20120121835A (ko) | 2012-11-06 |
JP5581261B2 (ja) | 2014-08-27 |
CN102760718B (zh) | 2016-05-04 |
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US20150028339A1 (en) | 2015-01-29 |
US10714505B2 (en) | 2020-07-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20130328 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131021 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20131021 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140320 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140708 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140714 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |