JP2012214032A - 積層シートの製造方法および積層シート製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】積層シートを製造する際に当該積層シートを構成する基材と樹脂層との接合を確実に行なうことができる積層シート製造装置、かかる積層シート製造装置を用いて製造される積層シートを提供すること。
【解決手段】積層シート製造装置30は、第1の樹脂層3および第2の樹脂層4を繊維基材2の両面に接合して積層シート40を製造するものである。この積層シート製造装置30は、第1の樹脂層3と繊維基材2と第2の樹脂層4とをこの順に重ね合わせた積層体40'を挟むシート材91a、91bと、積層体40'がシート材91a、91b間に挟まれた状態でシート材91a、91b間の空間を減圧する減圧手段8とを備え、減圧手段8の作動により前記空間が減圧された際、積層体40'をシート材91a、91bごと押し潰して、第1の樹脂層3と繊維基材2と第2の樹脂層4とを圧着し、積層シート40を得る。
【選択図】 図1
Description
小型化・薄膜化することが要求されている。この要求に答えるために、多層構造の回路基
板を用い、その各層を薄くすることが行なわれている。
このシートは、繊維基材の両面に、Bステージの樹脂組成物シートを重ね合わせ、この積層体を加圧することで、製造される。
なお、このような課題は、繊維基材と樹脂層とを積層する場合のみならず、樹脂層同士を積層する場合、繊維基材を含むプリプレグ同士を積層する場合においても、生じている。
また、一対のシート材の内側の空間とは、一対のシート材で積層体を挟んだ際に、積層体とシート材との間や、対向するシート材内面間に隙間がある場合には、この隙間であってもよい。また、一対のシート材が積層体に密着しており、積層体とシート材との間や、対向するシート材内面間に隙間がない場合には、積層体内部の空間、たとえば、基材に形成された孔内の空間であってもよい。基材は、搬送方向に連通するとともに、表裏面に連通する孔が形成されているため、減圧室外に位置する積層体の基材内部の空間が、減圧室内の基材内部の空間を介して、減圧室と連通することとなる。
さらに、本発明においては、減圧状態で基材とシートとを積層しているため、基材とシートとの間に空気が残存してしまうことも防止でき、樹脂層と基材との密着性を高め、これらを強固に固定することができる。
すなわち、本発明によれば、樹脂層を有するシートの前記樹脂層を、薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、前記シートと前記基材とが供給され、減圧手段により減圧される減圧室と、前記減圧室内の前記シートと前記基材とを圧着して積層体を構成する圧着手段と、前記減圧室から送出された積層体を、挟む2枚のシート材とを備え、前記積層体を前記2枚のシート材間に挟んだ状態において、該シート材間の空間が、前記減圧室に連通し、前記減圧手段の作動により、前記減圧室を介して前記空間が減圧され、前記空間が減圧されることにより、前記積層体を前記2枚のシート材により、押し潰して、前記シートと前記基材とを圧着し、前記積層シートを得るよう構成されていることを特徴とする積層シート製造装置も提供できる。
図1は、本発明の積層シート製造装置の実施形態を示す概略断面側面図、図2は、図1中のA−A線断面図、図3は、図1中のB−B線断面図、図4は、図1中の一点鎖線で囲まれた領域[C]の拡大図、図5および図6は、それぞれ、図1中のD−D線断面図、図7は、本発明の積層シートを示す断面図、図8は、図7に示す積層シートを用いて製造された基板を示す断面図、図9は、図8に示す基板を用いて製造された半導体装置を示す断面図である。なお、以下の説明では、図1〜図9中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」として説明する。また、図7〜図9は、厚さ方向(図中の上下方向)に大きく誇張して示してある。
まず、積層シート40について、図7を参照しつつ説明する。なお、積層シート40をその長手方向の途中で所定の寸法に切断すると、プリプレグ1が得られる。
なお、各樹脂層3,4はBステージ状態である。
この繊維基材2としては、例えば、ガラス織布、ガラス不織布等のガラス繊維基材、ポリアミド樹脂繊維、芳香族ポリアミド樹脂繊維や全芳香族ポリアミド樹脂繊維等を含むアラミド繊維等のポリアミド系樹脂繊維、ポリエステル樹脂繊維、芳香族ポリエステル樹脂繊維、全芳香族ポリエステル樹脂繊維等のポリエステル系樹脂繊維、ポリイミド樹脂繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール、フッ素樹脂繊維等を主成分とする織布または不織布で構成される合成繊維基材、クラフト紙、コットンリンター紙、リンターとクラフトパルプの混抄紙等を主成分とする紙繊維基材等の有機繊維基材等の繊維基材等が挙げられる。
なお、繊維基材は、上述した繊維のいずれか1種を使用してもよいし、2種以上を使用したものであってもよい。
本実施形態では、第1の含浸部31の厚みと、第2の含浸部41の厚みは等しい。
同様に、第2の樹脂層4は、薄板状の第2の支持体(シート)5bとして、積層シート製造装置30に供給される。このシート5bは、第2の樹脂層4と、この樹脂層4を支持する図示しない支持基材と、第2の樹脂層4を保護する保護シート51とを備える。支持基材は、第2の樹脂層4を挟んで保護シート51とは反対側に設けられている。したがって、図1では、図示しないが第二のローラ72bには、支持基材を介して第2の樹脂層4が接触している。
支持基材としては、保護シート51と同様のものを使用することができる。
<積層シート製造装置(積層シートの製造方法)>
次に、積層シート40の製造に用いる積層シート製造装置30について、図1〜図6を参照しつつ説明する。
積層シート製造装置30は、
シートである支持体5a,5bと繊維基材2とが供給され、減圧手段8により減圧される減圧室(空間)70と、減圧室70内の支持体5a,5bと繊維基材2とを圧着して積層体40'を構成する圧着手段(ローラ72a,72b)と、減圧室70から送出された積層体40'を、挟む2枚のシート材91a、91bとを備える。
2枚のシート材91a、91b間に積層体40'を挟んだ状態において、該シート材91a、91b間の空間913(図5参照)が、前記減圧室70に連通している。前記減圧手段8の作動により、減圧室70を介して前記空間913が減圧され、前記空間913が減圧されることにより、前記積層体40'を前記2枚のシート材91a、91bにより、押し潰して、支持体5a,5bと繊維基材2とを圧着し、積層シート40を得る。
ここで、繊維基材2、支持体5a,5bは長尺状であり、その長手方向に沿って連続的に搬送される。
図1に示すように、積層シート製造装置30は、ハウジング6と、ハウジング6内に収納された第1のローラ(送り出しローラ)71a、71b、第2のローラ72a、72bおよび第3のローラ73a、73bと、第2のローラ72a、72bに従動する従動ローラ77a、77bと、第2のローラ72aと従動ローラ77aとに架け回されたシート材91aと、第2のローラ72bと従動ローラ77bとに架け回されたシート材91bと、多数組の補助ローラ78a、78bと、シート材91a、91bを加熱する加熱手段92と、シート材91a、91bを冷却する冷却手段93と、ハウジング6内を減圧する減圧手段8とを備えている。以下、各部の構成について説明する。
ここで、壁部61は、平板状のものであることが好ましいが、これに限られるものではない。第1のローラ71aおよび71bと、第2のローラ72aおよび72bと、第3のローラ73aおよび73bとで、シート搬送方向に沿った両端面が開口した筒状体が構成される。壁部61は、この筒状体の前記開口を閉鎖するものであればよい。なお、一対の壁部61は、各ローラ71a、71b、72a、72b、73a、73bが架け渡されるものであることが特に好ましい。
中間部に位置する本体部74と、本体部74の両端側にそれぞれ位置する軸75とで構成
されている。各軸75は、それぞれ、その外径が本体部74の外径よりも縮径している。
ング)76に挿入されており、当該軸受け76により回転可能に壁部61に支持されている。
に限定されず、例えば、中空体のものであってもよい。
構成材料で挙げたような材料を用いることができる。この場合、第1のローラ71aの本
体部74の外周面741には、外周面741が摩耗するのを防止する処理が施されていて
もよい。この処理としては、例えば、外周面741にDLC(Diamond Like Carbon)の
被膜を形成する方法が挙げられる。また、第1のローラ71aの構成材料としては、壁部
61の構成材料で挙げたような材料の他に、例えば、ニトリルゴム、ブチルゴム、ウレタ
ンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムのような各種ゴム材料も用いることができる。
体部74の外周面741同士が繊維基材2を介して、互いに当接し(圧接し)合っている(図2参照)。そして、第1のローラ71aと第1のローラ71bとが回転すると、これらの間で繊維基材2を図1中の左側から右側へ搬送する、すなわち、シート材91a、91b間に向かって送り出すことができる。これにより、シート状の繊維基材2が後述する空間70内部に搬送されることとなる。
位置、すなわち、第1のローラ71a、71bに対し繊維基材2の搬送方向前方(下流側)に配置されている。また、第2のローラ72aと第2のローラ72bとは、水平方向に互いに平行に配置され、本体部74の外周面741同士が繊維基材2、第1の樹脂層3および第2の樹脂層4を介して、互いに当接し(圧接し)合っている。そして、第2のローラ72aと第2のローラ72bとが回転すると、これらの間で繊維基材2に第1の樹脂層3と第2の樹脂層4とが重ね合わせられる。第2のローラ72aと第2のローラ72bとで、繊維基材2、樹脂層3、4の積層体が厚さ方向に加圧されることとなるが、このとき、樹脂層3,4は、繊維基材2に含浸することが好ましい。ただし、繊維基材2内部が完全に樹脂層3,4で埋まってしまうことはない。第2のローラ72aと第2のローラ72bからは、繊維基材2、第1の樹脂層3、第2の樹脂層4の積層体(未接合体)40'が送出される。
また、第2のローラ72a、72bを加熱ローラとすることで、繊維基材2に対して第1の樹脂層3と第2の樹脂層4とを含浸させやすくすることができる。
第2のローラ72a、72bにより、積層体40'は後述する空間70外部に送り出される。
第3のローラ73bは、繊維基材2の他方の面側(裏面側)に配置された第1のローラ71bの繊維基材2の搬送方向下流側であり、繊維基材2の他方の面側(裏面側)に配置された第2のローラ72bの積層体40'の搬送方向上流側に配置されている。
第3のローラ73aと第3のローラ73bとは、互いに上下方向(鉛直方向)に離間し、水平方向には平行に対向配置されている。そして、第3のローラ73aが回転すると、第1の支持体5aの第1の樹脂層3から保護シート51を剥離する(巻き取る)ことができる(図1参照)。これと同様に、第3のローラ73bが回転すると、第2の支持体5bの第2の樹脂層4から保護シート51を剥離することができる(図1参照)。
シート材91aとシート材91bとは、大気圧以上の雰囲気下(本実施形態では大気圧下)に配置されている。
ポンプ81は、ハウジング6の外側に設置され、例えば真空ポンプが適用される。
ローラ71a、71b、ローラ72a、72b、ローラ73a、73bで囲まれた空間70内部を、減圧する減圧手段8を駆動することで、第1のローラ71a、71bの繊維基材2搬送方向上流側の領域よりも、空間70内の気圧が低くなり、負圧となる。さらに、第2のローラ72a、72bよりも積層体40´搬送方向下流側の領域であって、シート材91a,91bではさまれた空間の外側の領域よりも、空間70の気圧は低くなる。
管である。
さらに、加熱手段92は、補助ローラ78a、78bを介して、積層体40'を、その幅方向に沿って加熱することができる。積層体40'が加熱されることで、繊維基材2に第1の樹脂層3と第2の樹脂層4とがさらに含浸しやすくなる。すなわち、加熱手段92と、補助ローラ78a、78bとで含浸手段が構成されることとなる。
空間70内の気圧は、負圧となり、たとえば、800Pa以下、100Pa以上である。
繊維基材2はたとえば、図示しない供給ローラに巻回されており、供給ローラから、第1のローラ71aおよび第1のローラ71bを介して、空間S内に供給される。
また、第2の樹脂層4は、Bステージの状態であり、固形、半固形、あるいは液体の状態である。
前(以前)に空間70内で保護シート51が剥離することができることにより、当該保護シート51が各樹脂層の圧着の邪魔になるのを防止することができるとともに、圧着直前まで保護シート51で各樹脂層を保護することができる。
このとき、第1の樹脂層3に設けられた支持基材が、第2のローラ72aに接触し、第1の樹脂層3に設けられた支持基材が、第2のローラ72bに接触する。第1の樹脂層3および第2の樹脂層4は繊維基材2に直接接触する。図4に示すように、第2のローラ72aと第2のローラ72bとの間の圧接力(当接力)F1により、第1の樹脂層3が上側から繊維基材2に押圧される(押し付けられる)とともに、第2の樹脂層4が下側から繊維基材2に押圧される。これにより、積層体40'が得られる。積層体40'は、第2のローラ72aと第2のローラ72bとの間から連続的に排出されて、一対のシート材91a、91b間に供給されることとなる。
なお、ここで、繊維基材2等が連続的に供給される、あるいは排出されるとは、枚葉式のように、繊維基材等が間欠的に供給、あるいは排出されるものを除く趣旨である。たとえば、空間70内に繊維基材2等が存在する状態と、存在しない状態とが短期間で交互にいれかわるものを除く趣旨である。ただし、必要に応じて、繊維基材2等の搬送を停止してもよい。
さらに、空間70内を減圧することで、繊維基材2内部の気体が吸引されることとなり、繊維基材2内部に含浸した樹脂層中にボイドが発生しにくくなる。
なお、第2のローラ72aと第2のローラ72bにより、樹脂層3,4の一部が繊維基材2内部に含浸するものの、完全に含浸することはない。この工程において、樹脂層3,4は、繊維基材2に含浸するものの、第2のローラ72a、72bから送り出された積層体40'の繊維基材2内部は、空間70内に位置する繊維基材2内部と連通している。
ここで、一対のシート材91a、91b間の空間913は、空間70に連通していることから、空間70内部が減圧手段8により減圧されると、空間70を介して空間913内部の気体が減圧手段8に吸引されて空間913内も減圧されることとなる。これにより、負圧が発生し、シート材91a、91bを互いに近づけようとする力が発生して、一対のシート材91a、91bにより、積層体40'がその厚み方向から押圧されることとなる。これにより、樹脂層3,4の繊維基材2内部への含浸がさらに進行することとなり、樹脂層3,4と繊維基材2とが強固に固定されることとなる。
これに加え、繊維基材2の搬送方向側の端面は、樹脂層3,4に被覆されておらず、露出している。繊維基材2内の孔は、搬送方向側の端面にも連通していることから、搬送方向側の端面から、空間913、さらには、空間70を介して、気体が吸引されて、繊維基材2内部も減圧されることとなる。これによっても、一対のシート材91a、91b間で樹脂層3,4が繊維基材2内部へ含浸する際に、繊維基材2内部に気体が残存してしまうことを抑制できる。
さらには、一対のシート材91a、91b間に位置する繊維基材2内部が減圧されるので、これにより、樹脂層3,4が繊維基材2内部側に引っ張られて、樹脂層3,4の繊維基材2内部への含浸がさらに進行することとなる。
一対のシート材91a、91b間に位置する繊維基材2内部が減圧される状態は樹脂層3,4が繊維基材2内部にほぼ完全に含浸するまで続くこととなる。したがって、積層体40'が搬送されている状態で、樹脂層3,4の繊維基材2内部への含浸が進行する。積層体40'が一対のシート材91a、91bにより、搬送されている間中、樹脂層3,4の繊維基材2内部への含浸が進行してもよく、また、搬送途中で、樹脂層3,4の繊維基材2内部への含浸が終了してもよい。
また、対向するシート材91a、91bの内側領域は、減圧されるものの、一対のシート材91a、91bの外側の領域は、大気圧以上(本実施形態では、大気圧下)の雰囲気である。これにより、一対のシート材91a、91bおよび、一対のシート材91a、91b内部の積層体40'には、外部から大気圧以上の力がかかる。これによっても、樹脂層3,4の繊維基材2内部への含浸を促進させることができる。
次に、プリプレグ1を用いた基板10について、図8を参照しつつ説明する。この図8に示す基板10は、積層体11と、この積層体11の両面に設けられた金属層12とを有している。
次に、基板10を用いた半導体装置100について、図9を参照しつつ説明する。なお、図9中では、繊維基材2、13を省略して示し、第1の樹脂層3および第2の樹脂層4を一体として示してある。
次に、図10〜図11を参照して、本発明の第二実施形態について説明する。
本実施形態の製造装置30Aについて詳細に説明する。
製造装置30Aは、製造装置30から、一対のシート材91a、91bを削除するとともに、製造装置30の補助ローラ78a、78bを、補助ローラ78c、78dに置換したものである。また、製造装置30の従動ローラ77a、77bを、ローラ77c、77dに置換したものである。さらに、製造装置30Aは、冷却手段93を有しない。他の点は、製造装置30と同様である。
補助ローラ78c、78dは、円柱形状のローラであり、前記実施形態の補助ローラ78a、78bとは異なり、拡径部781を有していない。図11にも示すように、補助ローラ78c、78dの外周面が積層体40A'の搬送方向と直交する幅方向全体にわたって当接する。
この補助ローラ78c、78dは加熱ローラであり、加熱手段92によって加熱されている。すなわち、加熱手段92と、補助ローラ78c、78dとで含浸手段が構成されることとなる。
ローラ77c、77dは、積層シート40Aを搬送する搬送ローラであり、一対の壁部61間に架け渡されている。ローラ77c、77dの回転軸は、ローラ72a、72bと平行である。
ローラ77c、77dは回転軸がモータに接続されており、モータが作動すると、その動力が歯車機構を介して伝達され、回転することとなる。
はじめに、前記実施形態と同様、空間70内部をあらかじめ減圧しておく。
次に、前記実施形態と同様、空間70内に繊維基材2を連続的に供給する。
さらに、第2のローラ72aと第3のローラ73aとが回転すると、これらのローラ間からシート5cが空間70内に送り出される(連続的に供給される)。
ここで、シート5cについて説明する。このシート5cは、保護シート51と、樹脂層3と、シート材52とを備える。保護シート51とシート材52とは、樹脂層3を挟んで対向配置される。
シート材52としては、特に限定されないが、高分子フィルムがあげられ、PET等があげられる。
シート5cは、前記実施形態と同様、保護シート51が第3のローラ73aの外周面に沿って巻き取られ(引張られ)、これにより、第1の樹脂層3から保護シート51が剥離される。
ここで、シート5dについて説明する。このシート5dは、保護シート51と、樹脂層4と、シート材52とを備える。保護シート51とシート材52とは、樹脂層4を挟んで対向配置される。
このシート5dは、保護シート51が第3のローラ73bに巻き取られ、これにより、第2の樹脂層4から保護シート51が剥離される。
繊維基材2とシート材52付き第1の樹脂層3とシート材52付き第2の樹脂層4とは、第2のローラ72aと第2のローラ72bとの間を一括して通過することとなる。
このとき、前記実施形態と同様に、繊維基材2内部に樹脂層3,4が含浸し、積層体40A'が得られる。そして、前記実施形態と同様、第2のローラ72aと第2のローラ72bにより、樹脂層3,4の一部が繊維基材2内部に含浸するものの、完全に含浸することはない。この工程において、樹脂層3,4は、繊維基材2に含浸するものの、第2のローラ72a、72bから送り出された積層体40A'の繊維基材2内部は、空間70内に位置する繊維基材2内部と連通している。
一対の第2のローラ72a、72bにより、繊維基材2、第1の樹脂層3および第2の樹脂層4が圧着される。このとき、第1の樹脂層3の幅方向の一方の端部(搬送方向に沿った一方の端部)と、第2の樹脂層4の幅方向の一方の端部(搬送方向に沿った一方の端部)とが圧着(熱圧着)されるとともに、第1の樹脂層3の幅方向の他方の端部と、第2の樹脂層4の幅方向の他方の端部とが圧着(熱圧着)される。樹脂層3,4の幅方向の端部同士が溶融接合されて、接合部を形成し、繊維基材2が第1の樹脂層3および第2の樹脂層4内に内包される形となる。すなわち、積層体40A'の幅方向の両端部は密閉された状態となる。なお、シート材52の幅方向の寸法は、第1の樹脂層3および第2の樹脂層4と等しくてもよく、また、第1の樹脂層3および第2の樹脂層4の幅寸法よりも長くてもよい。
ここで、繊維基材2は、複数の孔が形成された多孔質材である。繊維基材2に形成された孔は、他の孔を介して、積層体搬送方向に連通し、さらに、繊維基材2表裏面に連通する。そのため、空間70外部に位置する繊維基材2であっても、その内部は、空間70に連通することとなる。換言すると、一対のシート材52の内部の空間が、空間70に連通しているといえる。
補助ローラ78c、78dにより、積層体40A'は搬送されるとともに、加熱されるため、空間70から送り出された積層体40A'においても、樹脂層3,4の繊維基材2への含浸は進行する。樹脂層3,4の繊維基材2への含浸は、積層体40A'が搬送されながら、進行することとなる。
また、積層体40A'の幅方向の両端部には、樹脂層3,4の端部同士が溶融接合した接合部が形成されているため、補助ローラ78c、78dで搬送されている間に、繊維基材2の端面側から気体が繊維基材2内部に流入してしまうことを防止できる。したがって、空間70外部に位置する積層シート40の繊維基材2内部の気体を確実に吸引することができる。
なお、製造装置30Aにおいて、空間70から送出された積層体40A'が搬送されている状態で、樹脂層3,4の繊維基材2への含浸が進行していくが、積層体40A'が搬送されている途中で、樹脂層3,4の繊維基材2への含浸が終了してもよく、積層体40A'が搬送されている間中、樹脂層3,4の繊維基材2への含浸が進行していてもよい。
このような本実施形態によれば、前述した効果に加えて、第一実施形態と同様の効果を奏することができる。
同一であってもよい。
脂組成物がそれぞれ含浸したものであるが、これに限定されず、例えば次のようなもので
あってもよい。1つ目の例は、繊維基材の厚さ方向全体にわたって第1の樹脂組成物が含浸し、第2の樹脂組成物は含浸していない積層シート。2つ目の例は、繊維基材の厚さ方向全体にわたって第2の樹脂組成物が含浸し、第1の樹脂組成物は含浸していない積層シート。3つ目の例は、繊維基材の厚さ方向の一部に第1の樹脂組成物が含浸し、第2の樹脂組成物は含浸していない積層シート。4つ目の例は、繊維基材の厚さ方向の一部に第2の樹脂組成物が含浸し、第1の樹脂組成物は含浸していない積層シート。以上4つの例の積層シートでも、第1の樹脂組成物と第2の樹脂組成物とは、互いに組成が異なるものでもよく、また、互いに組成が同一のものでもよい。そして、このような構成の積層シートも積層シート製造装置で製造することができる。
置で製造することができる。
さらに、前記各実施形態では、ローラ72a,72bにより、樹脂層3,4を繊維基材2内部に含浸させるとしたが、これに限らず、ローラ72a、72bにより、樹脂層3,4を繊維基材2内部に含浸させなくてもよい。このような場合において、たとえば、第一実施形態において、一対のシート材91a,91bの長手方向の距離が非常に長くすることで、一対のシート材91a,91bにより積層体40'を搬送しながら、樹脂層3,4を繊維基材2内部に完全含浸させることができる。
(1)固形または半固形の樹脂組成物で構成された樹脂層を有する支持体の前記樹脂層を、薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、前記樹脂層と前記基材とを重ね合わせ、未だ接合されていない状態の未接合体を挟む2枚のシート材と、前記未接合体が前記2枚のシート材間に挟まれた状態で該シート材間の空間を減圧する減圧手段とを備え、前記減圧手段の作動により前記空間が減圧された際、前記未接合体を前記シート材ごと押し潰して、前記樹脂層と前記基材とを圧着し、前記積層シートを得るよう構成されていることを特徴とする積層シート製造装置。
(2)前記樹脂層と前記基材との圧着後、前記積層シートからは、前記2枚のシート材がそれぞれ剥離される上記(1)に記載の積層シート製造装置。
(3)前記2枚のシート材がそれぞれ無端状態で架け回され、該シート材を搬送する一対のローラを備える上記(1)または(2)に記載の積層シート製造装置。
(4)前記2枚のシート材を同方向に搬送しつつ、前記空間を減圧する上記(1)な
いし(3)のいずれかに記載の積層シート製造装置。
(5)前記一対のローラ間には、前記2枚のシート材を搬送しつつ、該2枚のシート材の搬送方向と平行な縁部同士を気密的に密着させる複数の補助ローラを備える上記(3)または(4)に記載の積層シート製造装置。
(6) 前記2枚のシート材の前記縁部同士を密着させる際に該縁部を加熱して軟化させる加熱手段を備える上記(5)に記載の積層シート製造装置。
(7)前記縁部同士の密着後、前記軟化した縁部を冷却する冷却手段を備える上記(6)に記載の積層シート製造装置。
(8)互いに対向配置された一対の壁部を有し、該一対の壁部のうちの少なくとも一方に開口部が形成されたハウジングと、前記一対のローラのうちの一方のローラ側で前記一対の壁部間に架設され、前記2枚のシート材の間に向かって前記基材を送り出す一対の送り出しローラを備え、前記空間は、前記各一方のローラと前記一対の壁部と前記一対の送り出しローラとで囲まれ、前記開口部が開口する小空間と連通し、前記減圧手段の作動により、前記開口部から前記小空間を介して前記空間内の空気を吸引して該空間が減圧される上記(3)ないし(7)のいずれかに記載の積層シート製造装置。
(9)前記減圧手段は、ポンプと、該ポンプと前記開口部と接続する接続管とを有する上記(8)に記載の積層シート製造装置。
(10)前記2枚のシート材は、それぞれ、高分子フィルムで構成されている上記(1)ないし(9)のいずれかに記載の積層シート製造装置。
この出願は、2011年3月30日に出願された日本特許出願2011−076664を基礎とする優先権を主張し、その開示をすべてここに取り込む。
2 繊維基材(基材)
3 第1の樹脂層(樹脂層)
31 第1の含浸部
32 第1の非含浸部
4 第2の樹脂層(樹脂層)
41 第2の含浸部
42 第2の非含浸部
5a 第1の支持体(シート)
5b 第2の支持体(シート)
51 保護シート
52 シート材
5c シート
5d シート
6 ハウジング
61 壁部
611 開口部
612 凹部
62 シール材
71a、71b 第1のローラ(送り出しローラ)
72a、72b 第2のローラ
73a、73b 第3のローラ
74 本体部
741 外周面
75 軸
76 軸受け(ベアリング)
77a、77b 従動ローラ
77c、77d ローラ
78a、78b 補助ローラ
781 拡径部
78c、78d 補助ローラ
8 減圧手段
81 ポンプ
82 接続管
91a、91b シート材
911 重なり部
912 縁部
913 空間
92 加熱手段
93 冷却手段
10 基板
11 積層体
12 金属層
13 繊維基材
20 界面
30 積層シート製造装置
30A 積層シート製造装置
40 積層シート
40A 積層シート
40' 積層体
40A' 積層体
70 空間(小空間、減圧室)
100 半導体装置
200 多層基板
201a、201b、201d、201e 回路部
202、203 導体部
300 パッド部
400 配線部
500 半導体素子
501 バンプ
F1 圧接力(当接力)
F2 減圧力
F3 力
G 空気
T 平均厚さ
Claims (21)
- 樹脂層を有するシートの前記樹脂層を、長尺の薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シートの製造方法において、
前記基材は、搬送方向に連通するとともに、表裏面に連通する孔が形成された繊維基材であり、
減圧手段により減圧された減圧室内に、前記シートと前記基材と搬送し、減圧状態で、前記シートの樹脂層と前記基材とを当接させて、積層体を構成する工程と、
前記減圧室から前記積層体を送り出す工程と、
前記積層体を一対のシート材により挟む工程と、
前記減圧室外部に位置し、前記積層体を挟んだ前記一対のシート材の内側の空間が、前記減圧室に連通しており、前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する工程とを含む積層シートの製造方法。 - 請求項1に記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、前記積層体を加熱する積層シートの製造方法。 - 請求項1または2に記載の積層シートの製造方法において、
前記減圧室には、前記基材が連続的に供給されるとともに、前記減圧室から前記基材が連続的に送出され、
前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記減圧室内に位置する前記基材内部の気体を前記減圧手段で吸引することで、前記一対のシート材の内側の前記基材内部の空間の気体が吸引される積層シートの製造方法。 - 請求項3に記載の積層シートの製造方法において、
前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記樹脂層を前記基材内部に含浸させる積層シートの製造方法。 - 請求項4に記載の積層シートの製造方法において、
積層体を構成する前記工程では、前記基材と前記シートとを圧着し、前記シートの前記樹脂層を前記基材に含浸させる積層シートの製造方法。 - 請求項3乃至5のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
積層体を構成する前記工程では、
前記基材の表裏面に前記シートの前記樹脂層を重ね合わせるとともに、前記各樹脂層の搬送方向に沿った端部同士を圧着して、前記樹脂層間に前記基材を内包させる積層シートの製造方法。 - 請求項6に記載の積層シートの製造方法において、
前記シート材は、前記シートの樹脂層の前記基材に当接する面と反対側の面に設けられ、前記樹脂層を支持する支持体であり、
前記シート材付きの前記シートを前記減圧室に供給し、前記シート材付きの前記シートの前記樹脂層を前記基材に当接させることで、積層体を構成する前記工程と、前記一対のシート材により前記積層体を挟む前記工程とを実施する積層シートの製造方法。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記一対のシート材の対向する内面間に空隙が形成され、前記空隙内を減圧することで、前記一対のシート材により前記シートと前記基材とを圧着する積層シートの製造方法。 - 請求項8に記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程後、前記一対のシート材は、前記積層体から剥離される積層シートの製造方法。 - 請求項1乃至9のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記積層体を挟んだ前記一対のシート材が大気圧以上の雰囲気下に位置する状態で、前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する積層シートの製造方法。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記積層体を搬送しながら、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する積層シートの製造方法。 - 樹脂層を有するシートの前記樹脂層を、薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、
前記シートと前記基材とが供給され、減圧手段により減圧される減圧室と、
前記減圧室内の前記シートと前記基材とを圧着して積層体を構成する圧着手段と、
前記減圧室から送出された積層体を、挟む2枚のシート材とを備え、
前記積層体を前記2枚のシート材間に挟んだ状態において、該シート材間の空間が、前記減圧室に連通し、
前記減圧手段の作動により、前記減圧室を介して前記空間が減圧され、前記空間が減圧されることにより、前記積層体を前記2枚のシート材により、押し潰して、前記シートと前記基材とを圧着し、前記積層シートを得るよう構成されていることを特徴とする積層シート製造装置。 - 請求項12に記載の積層シート製造装置において、
前記各シート材は、一対のローラ間に無端状態で架け回されている積層シート製造装置。 - 請求項13に記載の積層シート製造装置において、
前記一対のローラ間に配置され、前記シート材を搬送しつつ、該2枚のシート材の搬送方向と平行な縁部同士を密着させる複数の補助ローラを備える積層シート製造装置。 - 請求項14に記載の積層シート製造装置において、
前記2枚のシート材の前記縁部同士を密着させる際に該縁部を加熱して軟化させる加熱手段を備える積層シート製造装置。 - 請求項15に記載の積層シート製造装置において、
前記縁部同士の密着後、前記軟化した縁部を冷却する冷却手段を備える積層シート製造装置。 - 請求項12乃至16のいずれかに記載の積層シートの製造装置において、
前記基材を送出する一対の第1のローラと、
前記第1のローラから送出された前記基材が供給される一対の第2のローラと、
前記第1のローラの基材搬送方向下流側に配置されるとともに、前記第2のローラの基材搬送方向上流側に配置され、前記一対の第1のローラから送出された前記基材の表面側および裏面側にそれぞれ配置された第3のローラとを備え、
前記一対の第2のローラのうち一方は、前記シート材が無端状態で架け渡された前記一対のローラのうちの一方のローラであり、
前記一対の第2のローラのうち他方は、前記シート材が無端状態で架け渡された他の前記一対のローラのうちの一方のローラであり、
前記減圧手段は、
前記一対の第1のローラ、前記一対の第2のローラ、前記第3のローラとで囲まれた第二の空間内を減圧するものであり、
前記一対の第1のローラは、前記第二の空間内に前記基材を送出するローラであり、
前記基材の表面側または裏面側において、一方の前記第3のローラと一方の前記第2のローラとの間から、前記第二の空間内にむけて前記シートが送出され、
前記第2のローラは、前記基材と前記シートの前記樹脂層とを圧着するとともに、前記基材および前記シートを含む積層体を前記2枚のシート材間へ送り出すローラであり、
前記シート材間の前記空間は、前記第二の空間と連通している積層シートの製造装置。 - 請求項12乃至17のいずれかに記載の積層シート製造装置において、
前記2枚のシート材は、それぞれ、高分子フィルムで構成されている積層シート製造装置。 - 搬送方向に連通するとともに表裏面に連通する孔が形成された多孔質基材と、樹脂層とが連続的に供給される減圧室と、
前記減圧室内を減圧する減圧手段と、
前記減圧室内に供給された前記多孔質基材と前記樹脂層とを圧着して、積層体を構成する圧着手段と、
前記減圧室から連続的に送り出される前記積層体を加熱し、前記樹脂層を前記多孔質基材に含浸させる含浸手段とを備える積層シートの製造装置。 - 請求項19に記載の積層シートの製造装置において、
前記圧着手段は、前記樹脂層を圧着した後の前記多孔質基材内部の孔が、前記減圧室内に位置し前記樹脂層が圧着される前の前記多孔質基材の孔に連通する程度に前記樹脂層と前記多孔質基材とを圧着するように構成されており、
当該製造装置は、前記減圧室内を前記減圧手段により減圧状態としながら、前記圧着手段によって得られた前記積層体を、前記含浸手段にて加熱するように構成された積層シートの製造装置。 - 請求項20に記載の積層シートの製造装置において、
前記減圧室内には、前記多孔質基材と一対の樹脂層とが供給され、
前記圧着手段は、前記多孔質基材と、この多孔質基材を挟んで配置された前記一対の樹脂層とを圧着し、
前記多孔質基材の搬送方向と直交する方向の幅寸法は、前記各樹脂層の搬送方向と直交する方向の幅寸法よりも小さく、
前記圧着手段は、前記一対の前記樹脂層の幅方向の端部同士を圧着して、前記樹脂層間に前記基材を内包させる手段である積層シートの製造装置。
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