KR20140020986A - 적층시트의 제조방법 및 적층시트 제조장치 - Google Patents

적층시트의 제조방법 및 적층시트 제조장치 Download PDF

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KR20140020986A
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sheet
pair
resin layer
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roller
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KR1020137028607A
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히사오 신토
다케시 호소미
도시히데 가나자와
겐타 우에
마로시 유아사
히로유키 하야시
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스미토모 베이클리트 컴퍼니 리미티드
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Abstract

적층시트 제조장치(30)는 제1 수지층(3) 및 제2 수지층(4)을 섬유기재(2)의 양면에 접합하여 적층시트(40)를 제조하는 것이다. 이 적층시트 제조장치(30)는 제1 수지층(3)과 섬유기재(2)와 제2 수지층(4)을 이 순서로 겹치게 한 적층체(40')를 사이에 끼우는 시트재(91a), (91b)와, 적층체(40')가 시트재(91a), (91b) 사이에 끼워진 상태에서 시트재(91a), (91b) 사이의 공간을 감압하는 감압수단(8)을 구비하고, 감압수단(8)의 작동에 의해 상기 공간이 감압되었을 때, 적층체(40')를 시트재(91a), (91b)마다 눌러, 제1 수지층(3)과 섬유기재(2)와 제2 수지층(4)을 압착하여, 적층시트(40)를 얻는다.

Description

적층시트의 제조방법 및 적층시트 제조장치 {METHOD AND APPARATUS FOR FABRICATING LAMINATE SHEET}
본 발명은 적층시트의 제조방법 및 적층시트 제조장치에 관한 것이다.
최근, 전자부품·전자기기 등을 소형화·박막화하기 위하여, 이것에 이용되는 회로기판 등을 소형화·박막화하는 것이 요구되고 있다. 이 요구에 답하기 위해서, 다층 구조의 회로기판을 이용하고, 그 각 층을 얇게 하는 것이 행해지고 있다.
다층 구조의 회로기판에는, 예를 들면, 섬유기재(纖維基材)의 양면(兩面)에 수지 조성물 시트(수지층)를 배치하여 래미네이트(laminate) 접착시킨 시트가 사용되고 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조).
이 시트는, 섬유기재의 양면에, B스테이지의 수지 조성물 시트를 겹치고, 이 적층체를 가압함으로써 제조된다.
특허문헌 1 : 일본국 특개2003-340952호 공보
그렇지만, 이와 같은 제조방법에서는, 수지층의 섬유기재에 대한 압착(壓着)이 불충분하게 될 가능성이 있으며, 그 결과, 섬유기재로부터 수지층이 박리(剝離)할 우려가 있었다.
또한, 이와 같은 과제는, 섬유기재와 수지층을 적층하는 경우뿐만 아니라, 수지층끼리를 적층하는 경우, 섬유기재를 포함하는 프리프레그(prepreg)끼리를 적층하는 경우에도 생기고 있다.
본 발명에 의하면, 수지층을 가지는 시트의 상기 수지층을, 길이가 긴 박판(薄板) 모양의 기재의 편면(片面) 또는 양면에 접합하여 적층시트를 제조하는 적층시트의 제조방법에 있어서, 상기 기재는 반송방향으로 연통함과 아울러, 표리면(表裏面)에 연통하는 구멍이 형성된 섬유기재이며, 감압(減壓)수단에 의해 감압된 감압실 내로, 상기 시트와 상기 기재를 반송하고, 감압 상태에서, 상기 시트의 수지층과 기재를 맞닿게 하여, 적층체를 구성하는 공정과, 상기 감압실로부터 상기 적층체를 송출(送出)하는 공정과, 상기 적층체를 한 쌍의 시트재에 의해 사이에 끼우는 공정과, 상기 감압실 외부에 위치하며, 상기 적층체를 사이에 끼운 상기 한 쌍의 시트재의 내측의 공간이, 상기 감압실에 연통하고 있고, 상기 감압수단에 의해, 상기 한 쌍의 시트재의 내측의 공간을 감압하는 공정을 포함하는 적층시트의 제조방법이 제공된다.
여기서, 적층체를, 감압실로부터 송출한 후, 한 쌍의 시트재에 의해, 사이에 끼워도 되고, 또, 미리 시트에 시트재를 마련해 두고, 시트재가 부착된 시트를 감압실로 공급하여, 감압실로부터 한 쌍의 시트재에 의해 사이에 끼워진 적층체를 송출해도 된다.
또, 한 쌍의 시트재의 내측의 공간은, 한 쌍의 시트재에 의해 적층체를 사이에 끼웠을 때에, 적층체와 시트재와의 사이나, 대향하는 시트재 내면 사이에 틈새가 있는 경우에는, 이 틈새로 하여도 된다. 또, 한 쌍의 시트재가 적층체에 밀착하고 있고, 적층체와 시트재와의 사이나, 대향하는 시트재 내면 사이에 틈새가 없는 경우에는, 적층 체내부의 공간, 예를 들어, 기재에 형성된 구멍 내의 공간이라도 된다. 기재는 반송방향으로 연통함과 아울러, 표리면에 연통하는 구멍이 형성되어 있기 때문에, 감압실 외에 위치하는 적층체의 기재 내부의 공간이, 감압실 내의 기재 내부의 공간을 통하여, 감압실과 연통하게 된다.
한 쌍의 시트재로 적층체를 사이에 끼웠을 때의 적층체와 시트재와의 사이나, 대향하는 시트재 내면 사이의 틈새, 한 쌍의 시트재가 적층체에 밀착하고 있는 경우에서의 기재 내부의 구멍 내라고 하는 공극(空隙) 가운데, 어느 하나의 공극 내가 상기 감압수단에 의해 감압된다. 이것에 의해, 상기 공극 내와 한 쌍의 시트재의 외부와의 차압분으로 적층체를 가압하게 된다. 이 때문에, 적층체에 있어서, 수지층과 기재가 강고하게 고정되게 된다.
또한, 본 발명에서는, 감압 상태에서 기재와 시트를 적층하고 있기 때문에, 기재와 시트와의 사이에 공기가 잔존해 버리는 것도 방지할 수 있고, 수지층과 기재와의 밀착성을 높여, 이들을 강고하게 고정할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 상술한 적층시트의 제조방법으로 사용되는 제조장치도 제공할 수 있다.
즉, 본 발명에 의하면, 수지층을 가지는 시트의 상기 수지층을, 박판 모양의 기재의 편면 또는 양면에 접합하여 적층시트를 제조하는 적층시트 제조장치로서, 상기 시트와 상기 기재가 공급되고, 감압수단에 의해 감압되는 감압실과, 상기 감압실 내의 상기 시트와 상기 기재를 압착하여 적층체를 구성하는 압착수단과, 상기 감압실로부터 송출된 적층체를, 사이에 끼우는 2매의 시트재를 구비하며, 상기 적층체를 상기 2매의 시트재 사이에 끼운 상태에 있어서, 이 시트재 사이의 공간이 상기 감압실에 연통하고, 상기 감압수단의 작동에 의해, 상기 감압실을 통하여 상기 공간이 감압되며, 상기 공간이 감압되는 것에 의해, 상기 적층체를 상기 2매의 시트재에 의해 눌러서, 상기 시트와 상기 기재를 압착하여, 상기 적층시트를 얻도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 적층시트 제조장치도 제공할 수 있다.
이와 같은 제조장치에 의하면, 적층시트를 제조할 때에 감압수단을 작동시키는 것에 의해 2매의 시트재 사이의 공간을 감압하여, 이 공간 내에 있는 적층체를 2매의 시트재마다 누를 수 있다. 이것에 의해, 적층체는 그 전면(全面)(전체)에 걸쳐서 각 시트재에 의해 균일하게 가압되며, 수지층과 기재가 확실히 압착, 접합되어 적층시트가 된다. 이것에 의해, 예를 들면 수지층의 두께나 조성에 의하지 않고, 당해 수지층이 기재에 확실하고 강고하게 접합된 적층시트를 제조할 수 있다.
본 발명에 의하면, 수지층과 기재가 강고하게 고정된 적층시트의 제조방법 및 적층시트 제조장치가 제공된다.
도 1은 본 발명의 적층시트 제조장치의 실시형태를 나타내는 개략 단면 측면도이다.
도 2는 도 1 중의 A-A선 단면도이다.
도 3은 도 1 중의 B-B선 단면도이다.
도 4는 도 1 중의 일점쇄선(一点鎖線)으로 둘러싸인 영역 [C]의 확대도이다.
도 5는 도 1 중의 D-D선 단면도이다.
도 6은 도 1 중의 D-D선 단면도이다.
도 7은 본 발명의 적층시트를 나타내는 단면도이다.
도 8은 도 7에 나타내는 적층시트를 이용하여 제조된 기판을 나타내는 단면도이다.
도 9는 도 8에 나타내는 기판을 이용하여 제조된 반도체 장치를 나타내는 단면도이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시형태에 관한 제조장치를 나타내는 단면도이다.
도 11은 수지층과 섬유기재와의 적층체의 길이방향과 직교하는 방향의 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 근거하여 설명한다. 또한, 모든 도면에서, 동일한 구성요소에는 동일 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 중복하지 않도록 적절히 생략된다.
도 1은 본 발명의 적층시트 제조장치의 실시형태를 나타내는 개략 단면 측면도, 도 2는 도 1 중의 A-A선 단면도, 도 3은 도 1 중의 B-B선 단면도, 도 4는 도 1 중의 일점쇄선으로 둘러싸인 영역 [C]의 확대도, 도 5 및 도 6은, 각각, 도 1 중의 D-D선 단면도, 도 7은 본 발명의 적층시트를 나타내는 단면도, 도 8은 도 7에 나타내는 적층시트를 이용하여 제조된 기판을 나타내는 단면도, 도 9는 도 8에 나타내는 기판을 이용하여 제조된 반도체 장치를 나타내는 단면도이다. 또한, 이하의 설명에서는, 도 1 ~ 도 9 중의 상측을 「상」 또는 「위쪽」, 하측을 「하」 또는 「아래쪽」으로서 설명한다. 또, 도 7 ~ 도 9는 두께방향(도면 중의 상하방향)으로 크게 과장하여 나타내고 있다.
도 1에 나타내는 적층시트 제조장치(30)는, 도 7에 나타내는 구성의 적층시트(40)를 제조하는 장치이다.
<적층시트>
우선, 적층시트(40)에 대해서 도 7을 참조하면서 설명한다. 또한, 적층시트(40)를 그 길이방향의 도중에서 소정의 치수로 절단하면, 프리프레그(1)가 얻어진다.
도 7에 나타내는 적층시트(40)는, 그 전체 형상이 띠 모양(길이가 긴 모양)을 이루며, 박판 모양(평판 모양)의 섬유기재(기재)(2)와, 섬유기재(2)의 한쪽의 면(상면) 측에 위치하고, 고형(固形) 또는 반(半)고형의 제1 수지 조성물로 구성되는 제1 수지층(수지층)(3)과, 섬유기재(2)의 다른 쪽의 면(하면) 측에 위치하고, 고형 또는 반고형의 제2 수지 조성물로 구성되는 제2 수지층(수지층)(4)을 가진다. 이 적층시트(40)는 소정의 치수로 절단되어 사용된다.
또한, 각 수지층(3, 4)은 B스테이지 상태이다.
섬유기재(2)는 적층시트(40)의 기계적 강도를 향상하는 기능을 가진다.
이 섬유기재(2)로서는, 예를 들면, 글라스 직포(織布), 글라스 부직포 등의 글라스 섬유기재, 폴리아미드 수지섬유, 방향족 폴리아미드 수지섬유나 전(全)방향족 폴리아미드 수지섬유 등을 포함하는 아라미드 섬유 등의 폴리아미드계 수지섬유, 폴리에스테르 수지섬유, 방향족 폴리에스테르 수지섬유, 전방향족 폴리에스테르 수지섬유 등의 폴리에스테르계 수지섬유, 폴리이미드 수지섬유, 폴리 파라-페닐렌벤조비스옥사졸(poly p-phenylenebenzobisoxazole), 불소수지섬유 등을 주성분으로 하는 직포 또는 부직포로 구성되는 합성섬유기재, 그라프트(graft)지, 코톤 린터(cotton linter)지, 린타와 그라프트 펄프의 혼초지(混抄紙) 등을 주성분으로 하는 종이 섬유기재 등인 유기 섬유기재 등의 섬유기재 등을 들 수 있다.
또한, 섬유기재는 상술한 섬유의 어느 1종을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용한 것이라도 된다.
이들 중에서도, 섬유기재(2)는 글라스 섬유기재인 것이 바람직하다. 이러한 글라스 섬유기재를 이용하는 것에 의해, 적층시트(40)를 절단하여 얻어진 프리프레그(1)의 기계적 강도를 보다 향상시킬 수 있다. 또, 프리프레그(1)의 열팽창계수를 작게 할 수도 있다고 하는 효과도 있다.
이와 같은 글라스 섬유기재를 구성하는 유리로서는, 예를 들면, E유리, C유리, A유리, S유리, D유리, NE유리, T유리, H유리, 석영유리 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 유리는 S유리, 석영유리 또는 T유리인 것이 바람직하다. 이것에 의해, 글라스 섬유기재의 열팽창계수를 비교적 작게 할 수 있고, 이 때문에, 적층시트(40)를 그 열팽창계수가 가능한 한 작은 것으로 할 수 있다.
섬유기재(2)의 평균두께 T는, 특별히 한정되지 않지만, 150㎛ 이하인 것이 바람직하고, 100㎛ 이하인 것이 보다 바람직하고, 10 ~ 25㎛ 정도인 것이 더욱 바람직하다. 이러한 두께의 섬유기재(2)를 이용하는 것에 의해, 프리프레그(1)(적층시트(40))의 기계적 강도를 확보하면서, 그 박형화(薄型化)를 도모할 수 있다. 또, 프리프레그(1)의 가공성을 향상시킬 수도 있다.
이 섬유기재(2)의 한쪽의 면 측에는 제1 수지층(3)이 마련되고, 또, 다른 쪽의 면 측에는 제2 수지층(4)이 마련되어 있다. 또, 제1 수지층(3)은 제1 수지 조성물로 구성되고, 한편, 제2 수지층(4)은 제2 수지 조성물로 구성되어 있다. 제1 수지 조성물과 제2 수지 조성물은 같은 조성물이라도 되고, 다른 것이라도 된다. 본 실시형태에서는 동일한 조성물로 한다.
도 7에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서는, 섬유기재(2)의 두께방향의 일부에 제1 수지 조성물(제1 수지층(3))이 함침되고(이하 이 부분을 「제1 함침부(31)」라고 한다), 섬유기재(2)의 제1 수지 조성물이 함침되어 있지 않은 남은 부분에, 제2 수지 조성물(제2 수지층(4))이 함침되어 있다(이하 이 부분을 「제2 함침부(41)」라고 한다). 이것에 의해, 제1 수지층(3)의 일부인 제1 함침부(31)와 제2 수지층(4)의 일부인 제2 함침부(41)가 섬유기재(2) 내에 위치한다. 그리고, 섬유기재(2) 내에서, 제1 함침부(31)(제1 수지층(3)의 하면)와 제2 함침부(41)(제2 수지층(4)의 상면)가 접촉하고 있다. 환언하면, 제1 수지 조성물이 섬유기재(2)의 상면 측으로부터 섬유기재(2)에 함침되고, 제2 수지 조성물이 섬유기재(2)의 하면 측으로부터 섬유기재(2)에 함침되며, 이들 수지 조성물에 의해 섬유기재(2) 내의 공극이 충전되어 있다.
본 실시형태에서는, 제1 함침부(31)의 두께와, 제2 함침부(41)의 두께는 동일하다.
또한, 제1 수지층(3)의 제1 함침부(31)를 제외한 부분(제1 비함침부(32))의 두께와, 제2 수지층(4)의 제2 함침부(41)를 제외한 부분(제2 비함침부(42))의 두께는 동일하다. 제1 비함침부(32)의 두께, 제2 비함침부(42)의 두께는, 예를 들어, 2 ~ 20㎛이다. 또한, 제1 함침부(31)의 두께와 제2 함침부(41)의 두께는 달라도 되고, 또, 제1 비함침부(32)의 두께와 제2 비함침부(42)의 두께가 달라도 된다. 또한, 부호 20은 함침부(31, 41) 사이의 경계를 모식적으로 나타내는 것이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 제1 수지층(3)은 박판 모양의 제1 지지체(시트)(5a)로서, 적층시트 제조장치(30)에 공급된다. 이 시트(5a)는 제1 수지층(3)과, 이 수지층(3)을 지지하는 도시하지 않은 지지기재와, 제1 수지층(3)을 보호하는 보호시트(51)를 구비한다. 지지기재는 제1 수지층(3)을 사이에 두고 보호시트(51)와는 반대 측에 마련되어 있다. 따라서, 도 1에서는, 도시하지 않으나 제2 롤러(72a)에는 지지기재를 통하여 제1 수지층(3)이 접촉하고 있다.
마찬가지로, 제2 수지층(4)은 박판 모양의 제2 지지체(시트)(5b)로서, 적층시트 제조장치(30)에 공급된다. 이 시트(5b)는 제2 수지층(4)과, 이 수지층(4)을 지지하는 도시하지 않은 지지기재와, 제2 수지층(4)을 보호하는 보호시트(51)를 구비한다. 지지기재는 제2 수지층(4)을 사이에 두고 보호시트(51)와는 반대 측에 마련되어 있다. 따라서, 도 1에서는 도시하지 않으나 제2 롤러(72b)에는 지지기재를 통하여 제2 수지층(4)이 접촉하고 있다.
보호시트(51)로서는, 예를 들면, 수지필름이 바람직하다. 수지필름을 구성하는 수지재료로서는, 예를 들면, 불소계 수지, 폴리이미드, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 등의 폴리에스테르, 폴리에틸렌 등을 들 수 있다. 그리고, 수지필름을 구성하는 수지재료로서는, 이들 중에서도, 내열성이 뛰어나고, 염가이기 때문에, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌이 바람직하다. 또, 수지필름은 그 수지필름의 수지층 측의 면에 박리 가능한 처리가 시행된 것이 바람직하다. 이것에 의해, 후술하는 바와 같이 보호시트(51)와 수지층을 용이하게 분리할 수 있다.
지지기재로서는 보호시트(51)와 동일한 것을 사용할 수 있다.
보호시트(51)나 지지기재의 평균두께는, 특별히 한정되지 않지만, 8 ~ 70㎛ 정도인 것이 바람직하고, 12 ~ 40㎛ 정도인 것이 보다 바람직하다.
제1 수지 조성물 및 제2 수지 조성물은 다음과 같은 조성으로 하는 것이 바람직하다.
각 수지 조성물은, 예를 들면, 경화성 수지를 포함하며, 필요에 따라서, 경화조제(硬化助劑)(예를 들면 경화제, 경화촉진제 등) 및 무기 충전재 중 적어도 1종을 포함하여 구성된다.
경화성 수지에는, 예를 들면, 유리어(urea)(요소) 수지, 멜라민 수지, 말레이미드(maleimide) 화합물, 폴리우레탄 수지, 불포화 폴리에스테르수지, 벤조옥사진환(benzoxazine環)을 가지는 수지, 비스아릴나딕 이미드(bisallylnadic imide) 화합물, 비닐벤질 수지, 비닐벤질 에테르 수지, 벤조시크로브텐(benzocyclobutene) 수지, 시아네이트(cyanate) 수지, 에폭시 수지 등의 열경화성 수지, 자외선 경화성 수지, 혐기(嫌氣) 경화성 수지 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 경화성 수지는 유리전이온도가 200℃ 이상이 되는 조합이 바람직하다. 예를 들면, 스피로환(spiro環) 함유, 복소환(復素環)식, 트리메틸올(trimethylol)형, 비페닐형, 나프탈렌형, 안트라센형, 노볼락형의 2 또는 3 관능(官能) 이상의 에폭시 수지, 시아네이트 수지(시아네이트 수지의 프리폴리머(prepolymer)를 포함함), 말레이미드 화합물, 벤조시크로브텐 수지, 벤조옥사진환을 가지는 수지를 이용하는 것이 바람직하다.
상기 경화성 수지 중에서도, 열경화성 수지를 이용하는 것에 의해, 또한, 후술하는 기판(10)(도 11 참조)을 제작한 후에 있어서, 경화 후의 수지층(3, 4) 중에 가교(架橋) 밀도가 증가하므로, 경화 후의 수지층(3, 4)(얻어지는 기판)의 내열성의 향상을 도모할 수 있다.
특히, 상기 열경화성 수지와 충전재를 병용하는 것에 의해, 프리프레그(1)의 열팽창계수를 작게 하는 것(이하, 「저열팽창화」라고 하기도 함)을 할 수 있다. 또한, 프리프레그(1)의 전기 특성(저유전율, 저유전정접(低誘電正接)) 등의 향상을 도모할 수도 있다.
상기 에폭시 수지로서는, 예를 들면, 페놀 노볼락형 에폭시 수지, 비스페놀형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지, 안트라센형 에폭시 수지, 아릴알킬렌형 에폭시 수지 등을 들 수 있다.
이들 중에서도, 에폭시 수지는 나프탈렌형, 아릴알킬렌형 에폭시 수지인 것이 바람직하다. 나프탈렌형, 아릴알킬렌형 에폭시 수지를 이용하는 것에 의해, 경화 후의 수지층(3, 4)(얻어지는 기판)에 있어서, 흡습(吸濕)납땜 내열성(흡습 후의 납땜 내열성) 및 난연성(難燃性)을 향상시킬 수 있다. 나프탈렌형 엑폭시로서는, DIC(주)제의 HP-4700, HP-4770, HP-4032D, HP-5000, HP-6000, 니혼카야쿠(주)제의 NC-7300L, 신닛데츠카가쿠(주)제의 ESN-375 등을 들 수 있고, 아릴알킬렌형 에폭시 수지로서는, 니혼카야쿠(주)제의 NC-3000, NC-3000 L, NC-3000-FH, 니혼카야쿠(주)제의 NC-7300L, 신닛데츠카가쿠(주)제의 ESN-375 등을 들 수 있다. 아릴알킬렌형 에폭시 수지는 반복단위 중에 방향족기와 메틸렌 등의 알킬렌기의 조합을 하나 이상 포함하는 에폭시 수지가 좋으며, 내열성, 난연성 및 기계적 강도가 뛰어나다. 또, 할로겐 프리의 배선판에 대응하는데 있어서는, 실질적으로 할로겐을 포함하지 않는 에폭시 수지를 이용하는 것이 바람직하다.
상기 시아네이트 수지는, 예를 들면, 할로겐화 시안 화합물과 페놀류나 나프톨류를 반응시키고, 필요에 따라서 가열 등의 방법에 의해 프리폴리머화하는 것에 의해 얻을 수 있다. 또, 이와 같이 하여 조제된 시판품을 이용할 수도 있다.
상기 시아네이트 수지는, 예를 들면, 노볼락형 시아네이트 수지, 비스페놀 A형 시아네이트 수지, 비스페놀 E형 시아네이트 수지, 테트라 메틸 비스페놀 F형 시아네이트 수지 등의 비스페놀형 시아네이트 수지 및 나프톨 아랄킬형 시아네이트 수지 등을 들 수 있다.
또, 상기 시아네이트 수지는 분자 내에 2개 이상의 시아네이트기(-O-CN)를 가지는 것이 바람직하다. 예를 들면, 2, 2'-비스(4-시아나토페닐) 이소프로필리덴, 1, 1'-비스(4-시아나토페닐) 에탄, 비스(4-시아나토-3, 5-디메틸 페닐) 메탄, 1, 3-비스(4-시아나토페닐-1-(1-메틸에틸리덴)) 벤젠, 비스(4-시아나토페닐) 티오에테르, 비스(4-시아나토페닐) 에테르, 1, 1, 1-트리스(4-시아나토페닐) 에탄, 트리스(4-시아나토페닐) 포스파이트(phosphite), 비스(4-시아나토페닐) 설폰, 2, 2-비스(4-시아나토페닐) 프로판, 1, 3-, 1, 4-, 1, 6-, 1, 8-, 2, 6- 또는 2, 7-디시아나토나프탈렌, 1, 3, 6-트리시아나토나프탈렌, 4, 4-디시아나토비페닐 및 페놀 노볼락형, 크레졸 노볼락형, 디시크로펜타디엔형 등의 다가(多價) 페놀류와, 할로겐화 시안과의 반응으로 얻어지는 시아네이트 수지, 나프톨 아랄킬형의 다가 나프톨류와 할로겐화 시안과의 반응으로 얻어지는 시아네이트 수지 등을 들 수 있다. 이들 중에서, 페놀 노볼락형 시아네이트 수지가 난연성 및 저열팽창성이 뛰어나고, 2, 2-비스(4-시아나토페닐) 이소프로필리덴 및 디시크로펜타디엔형 시아네이트 수지가 가교 밀도의 제어 및 내습 신뢰성이 뛰어나다. 특히, 페놀 노볼락형 시아네이트 수지가 저열팽창성의 점으로부터 바람직하다. 또한, 또 다른 시아네이트 수지를 1종류 혹은 2종류 이상 병용하거나 할 수도 있으며, 특별히 한정되지 않는다.
상기 시아네이트 수지는 단독으로 이용해도 되고, 중량 평균 분자량이 다른 시아네이트 수지를 병용하거나 상기 시아네이트 수지와 그 프리폴리머를 병용하거나 할 수도 있다.
이들 시아네이트 수지를 이용하는 것에 의해, 효과적으로 내열성 및 난연성을 발현시킬 수 있다.
또, 상기 경화성 수지는 2종 이상을 병용하여 이용할 수도 있다. 예를 들면, 경화성 수지로서 상기 에폭시 수지를 이용하는 경우, 보다 난연성을 향상시키는데 있어서, 상기 시아네이트 수지를 병용할 수 있고, 또, 보다 내열성을 향상시키는데 있어서, 상기 말레이미드 화합물을 병용할 수 있다. 또한, 경화성 수지로서 상기 시아네이트 수지를 이용하는 경우는, 보다 내열성이나 난연성 등을 향상시키는데 있어서, 상기 에폭시 수지를 병용할 수 있다.
경화성 수지의 함유량은 특별히 한정되지 않지만, 수지 조성물 전체의 5 ~ 70질량％인 것이 바람직하고, 10 ~ 50질량％인 것이 보다 바람직하다. 경화성 수지의 함유량이 상기 하한값 미만이면, 경화성 수지의 종류 등에 의해서는, 수지 조성물의 바니시(varnish)의 점도가 너무 낮아져서, 프리프레그(1)를 형성하는 것이 곤란하게 되는 경우가 있다. 한편, 경화성 수지의 함유량이 상기 상한값을 넘으면, 다른 성분의 양이 너무 적게 되기 때문에, 경화성 수지의 종류 등에 따라서는 프리프레그(1)의 기계적 강도가 저하하는 경우가 있다.
또, 수지 조성물은 무기 충전재를 포함하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 프리프레그(1)를 박형화(예를 들면, 두께 35㎛ 이하)하여도, 기계적 강도가 뛰어난 기판(10)을 얻을 수 있다. 또한, 기판(10)의 저열팽창화를 향상시킬 수도 있다.
무기 충전재로서는, 예를 들면, 탈크(talc), 알루미나, 유리, 용융 실리카와 같은 실리카, 마이카(mica), 수산화 알루미늄, 수산화 마그네슘 등을 들 수 있다. 또, 무기 충전재의 사용 목적에 따라서, 파쇄 모양, 구(球) 모양인 것이 적절히 선택된다. 이들 중에서도, 저열팽창성이 뛰어나는 관점에서는, 무기 충전재는 실리카인 것이 바람직하고, 용융 실리카(특히 구 모양 용융 실리카)인 것이 보다 바람직하다.
또, 수지 조성물은 이상에서 설명한 성분 외, 본 발명의 효과를 저해하지 않는 범위에서 필요에 따라서 다른 성분을 배합할 수 있다. 다른 성분으로서는, 예를 들면, 오르벤(orben), 벤톤(bentone) 등의 증점제(增粘劑), 실리콘계, 불소계, 고분자계의 소포제(消泡劑) 또는 레벨링제, 커플링제 등의 밀착성 부여제, 난연제, 프탈로시아닌(phthalocyanine)·블루, 프탈로시아닌·그린, 아이오딘(iodine)·그린, 디사조 엘로우(disazo yellow), 카본 블랙, 안트라퀴논(anthraquinone) 종류 등의 착색제 등을 들 수 있다.
<제1 실시형태>
<적층시트 제조장치(적층시트의 제조방법)>
다음으로, 적층시트(40)의 제조에 이용하는 적층시트 제조장치(30)에 대해서, 도 1 ~ 도 6을 참조하면서 설명한다.
먼저, 본 실시형태의 적층시트 제조장치(30)의 개요에 대해서 설명한다.
적층시트 제조장치(30)는,
시트인 지지체(5a, 5b)와 섬유기재(2)가 공급되고, 감압수단(8)에 의해 감압되는 감압실(공간)(70)과, 감압실(70) 내의 지지체(5a, 5b)와 섬유기재(2)를 압착하여 적층체(40')를 구성하는 압착수단(롤러(72a, 72b))과, 감압실(70)로부터 송출된 적층체(40')를, 사이에 끼우는 2매의 시트재(91a, 91b)를 구비한다.
2매의 시트재(91a, 91b) 사이에 적층체(40')를 사이에 끼운 상태에 있어서, 이 시트재(91a, 91b) 사이의 공간(913)(도 5 참조)이 상기 감압실(70)에 연통하고 있다. 상기 감압수단(8)의 작동에 의해, 감압실(70)을 통하여 상기 공간(913)이 감압되고, 상기 공간(913)이 감압되는 것에 의해, 상기 적층체(40')를 상기 2매의 시트재(91a, 91b)에 의해 눌러서, 지지체(5a, 5b)와 섬유기재(2)를 압착하여, 적층시트(40)를 얻는다.
여기서, 섬유기재(2), 지지체(5a, 5b)는 길이 긴 모양이며, 그 길이방향을 따라서 연속적으로 반송된다.
다음으로, 적층시트 제조장치(30)에 대해서 상세하게 설명한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 적층시트 제조장치(30)는 하우징(6)과, 하우징(6) 내에 수납된 제1 롤러(송출롤러)(71a, 71b), 제2 롤러(72a, 72b) 및 제3 롤러(73a, 73b)와, 제2 롤러(72a, 72b)에 종동(從動)하는 종동롤러(77a, 77b)와, 제2 롤러(72a)와 종동롤러(77a)에 걸쳐서 돌려지는 시트재(91a)와, 제2 롤러(72b)와 종동롤러(77b)에 걸쳐서 돌려지는 시트재(91b)와, 다수 조(組)의 보조롤러(78a, 78b)와, 시트재(91a, 91b)를 가열하는 가열수단(92)과, 시트재(91a, 91b)를 냉각하는 냉각수단(93)과, 하우징(6) 내를 감압하는 감압수단(8)을 구비하고 있다. 이하, 각 부의 구성에 대해서 설명한다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 하우징(6)은 간격을 두고 서로 대향 배치된 한 쌍의 벽부(61)를 가지는, 예를 들면 상자 모양을 이루는 것이다. 벽부(61)의 구성 재료로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 철, 스테인리스강, 알루미늄 등의 각종 금속 또는 이들을 포함하는 합금을 들 수 있다. 또, 이와 같은 금속재료 외에, 예를 들면, 폴리에틸렌, 폴리 테트라 플루오르 에틸렌 등과 같은 수지재료도 벽부(61)의 구성 재료로서 이용할 수 있다.
여기서, 벽부(61)는 평판 모양인 것이 바람직하지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 제1 롤러(71a 및 71b)와, 제2 롤러(72a 및 72b)와, 제3 롤러(73a 및 73b)와, 시트반송방향에 따른 양단면이 개구한 통상체(筒狀體)가 구성된다. 벽부(61)는 이 통상체의 상기 개구를 폐쇄하는 것이면 된다. 또한, 한 쌍의 벽부(61)는 각 롤러(71a, 71b, 72a, 72b, 73a, 73b)가 걸쳐지는 것이 특히 바람직하다.
하우징(6)의 2개의 벽부(61) 사이에는 제1 롤러(71a 및 71b)와, 제2 롤러(72a 및 72b)와, 제3 롤러(73a 및 73b)와, 종동롤러(77a, 77b)가 각각 가설(架設)되어 있다. 이들 롤러는 회전축이 서로 평행하게 되어 있다. 그리고, 이들 롤러는, 예를 들면, 다수의 치차(齒車)가 배치된 치차 기구(도시생략)를 통하여 모터(도시생략)와 연결되어 있다. 그리고, 이 모터가 작동하면, 그 동력이 치차 기구를 통하여 전달되며, 각 롤러가 각각 회전하게 된다. 또한, 이들 롤러는 굵기가 다른 것 이외는 동일한 구성이다. 이하, 제1 롤러(71a)의 구성에 대해서 대표적으로 설명하지만, 다른 롤러도 동일한 구조이다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 제1 롤러(71a)는 외형 형상이 원주 모양을 이루고, 그 길이방향의 중간부에 위치하는 본체부(74)와, 본체부(74)의 양단 측에 각각 위치하는 축(75)으로 구성되어 있다. 각 축(75)은, 각각, 그 외경이 본체부(74)의 외경보다도 작다.
이 제1 롤러(71a)는 각 축(75)이 각각 벽부(61)에 설치된 베어링(76)에 삽입되어 있으며, 당해 베어링(76)에 의해 회전 가능하게 벽부(61)에 지지되어 있다.
또한, 제1 롤러(71a)는 도 1, 도 2에 나타내는 구성에서는 중실체(中實體)인 것이지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면, 중공체(中空體)인 것이라도 된다.
또, 제1 롤러(71a)의 구성 재료로서는, 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, 벽부(61)의 구성 재료로 든 것 같은 재료를 이용할 수 있다. 이 경우, 제1 롤러(71a)의 본체부(74)의 외주면(741)에는 외주면(741)이 마모하는 것을 방지하는 처리가 시행되어 있어도 된다. 이 처리로서는, 예를 들면, 외주면(741)에 DLC(Diamond Like Carbon)의 피막을 형성하는 방법을 들 수 있다. 또, 제1 롤러(71a)의 구성 재료로서는, 벽부(61)의 구성 재료로 든 것 같은 재료 외에, 예를 들면, 니트릴 고무, 부틸 고무, 우레탄 고무, 실리콘 고무, 불소 고무와 같은 각종 고무 재료도 이용할 수 있다.
제1 롤러(71a)와 제1 롤러(71b)는 수평방향으로 서로 평행하게 배치되고, 본체부(74)의 외주면(741)끼리가 섬유기재(2)를 통하여, 서로 맞닿아(압접하고) 있다(도 2 참조). 그리고, 제1 롤러(71a)와 제1 롤러(71b)가 회전하면, 이들 사이에서 섬유기재(2)를 도 1 중의 좌측으로부터 우측으로 반송한다, 즉, 시트재(91a, 91b) 사이를 향하여 송출할 수 있다. 이것에 의해, 시트 모양의 섬유기재(2)가 후술하는 공간(70) 내부로 반송되게 된다.
제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)는 제1 롤러(71a, 71b)와 다른 위치, 즉, 제1 롤러(71a, 71b)에 대해 섬유기재(2)의 반송방향 전방(하류 측)으로 배치되어 있다. 또, 제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)는 수평방향으로 서로 평행하게 배치되고, 본체부(74)의 외주면(741)끼리가 섬유기재(2), 제1 수지층(3) 및 제2 수지층(4)을 통하여, 서로 맞닿아(압접하고) 있다. 그리고, 제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)가 회전하면, 이들 사이에서 섬유기재(2)에 제1 수지층(3)과 제2 수지층(4)이 겹쳐진다. 제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)에 의해, 섬유기재(2), 수지층(3, 4)의 적층체가 두께방향으로 가압되게 되지만, 이 때, 수지층(3, 4)은 섬유기재(2)에 함침되는 것이 바람직하다. 단, 섬유기재(2) 내부가 완전하게 수지층(3, 4)으로 메워져 버리지 않는다. 제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)로부터는 섬유기재(2), 제1 수지층(3), 제2 수지층(4)의 적층체(미접합체)(40')가 송출된다.
또, 제2 롤러(72a, 72b)를 가열롤러로 함으로써, 섬유기재(2)에 대해서 제1 수지층(3)과 제2 수지층(4)을 함침시키기 쉽게 할 수 있다.
제2 롤러(72a, 72b)에 의해, 적층체(40')는 후술하는 공간(70) 외부로 송출된다.
제3 롤러(73a, 73b)는 섬유기재(2)를 사이에 두고 이간(離間) 배치되어 있다. 제3 롤러(73a)는 섬유기재(2)의 한쪽의 면 측(표면 측)에 배치된 제1 롤러(71a)의 섬유기재(2)의 반송방향 하류 측이며, 섬유기재(2)의 한쪽의 면 측(표면 측)에 배치된 제2 롤러(72a)의 적층체(40')의 반송방향 상류 측에 배치되어 있다.
제3 롤러(73b)는 섬유기재(2)의 다른 쪽의 면 측(이면 측)에 배치된 제1 롤러(71b)의 섬유기재(2)의 반송방향 하류 측이며, 섬유기재(2)의 다른 쪽의 면 측(이면 측)에 배치된 제2 롤러(72b)의 적층체(40')의 반송방향 상류 측에 배치되어 있다.
제3 롤러(73a)와 제3 롤러(73b)는 서로 상하방향(연직방향)으로 이간하고, 수평방향으로는 평행하게 대향 배치되어 있다. 그리고, 제3 롤러(73a)가 회전하면, 제1 지지체(5a)의 제1 수지층(3)으로부터 보호시트(51)를 박리할(권취(卷取)할) 수 있다(도 1 참조). 이와 마찬가지로, 제3 롤러(73b)가 회전하면, 제2 지지체(5b)의 제2 수지층(4)으로부터 보호시트(51)를 박리할 수 있다(도 1 참조).
또한, 제3 롤러(73a)는 그 본체부(74)의 외주면(741)이 제1 롤러(71a)의 본체부(74)의 외주면(741)과, 제2 롤러(72a)의 본체부(74)의 외주면(741)에 각각 맞닿아 있다. 한편, 제3 롤러(73b)는 그 본체부(74)의 외주면(741)이 제1 롤러(71b)의 본체부(74)의 외주면(741)과, 제2 롤러(72b)의 본체부(74)의 외주면(741)에 각각 맞닿아 있다. 이와 같은 배치에 의해, 적층시트 제조장치(30)에서는, 하우징(6)의 각 벽부(61)와, 제1 롤러(71a 및 71b)와, 제2 롤러(72a 및 72b)와, 제3 롤러(73a 및 73b)로 둘러싸인 공간(소공간, 감압실)(70)이 형성된다. 공간(70)은 감압수단(8)의 작동에 의해 감압된다(도 3 참조).
도 2에 나타내는 바와 같이, 제1 롤러(71a 및 71b)(제2 롤러(72a 및 72b), 제3 롤러(73a 및 73b)에 대해서도 마찬가지)의 각각의 본체부(74)의 양단과, 각 벽부(61)와의 사이에는 씰재(62)가 개재하고 있다. 각 씰재(62)는, 각각, 링 모양의 탄성체로 구성되고, 벽부(61)에 형성된 링 모양의 오목부(612)에 압축 상태로 삽입되어 있다. 이것에 의해, 공간(70)의 기밀성이 확실히 유지되며, 따라서, 감압수단(8)으로 공간(70)을 감압했을 때, 그 감압이 신속하고 확실히 행해진다.
씰재(62)의 구성 재료로서는, 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, 천연 고무, 이소프렌(isoprene) 고무, 부타디엔(butadiene) 고무, 스틸렌(styrene)-부타디엔 고무, 니트릴 고무, 클로로프렌(chloroprene) 고무, 부틸 고무, 아크릴 고무, 에틸렌-프로필렌 고무, 히드린 고무(epichlorhydrin rubber), 우레탄 고무, 실리콘 고무, 불소 고무와 같은 각종 고무 재료(특히 가류(加硫) 처리한 것)나, 스틸렌계, 폴리올레핀계, 폴리염화비닐계, 폴리우레탄계, 폴리에스테르계, 폴리아미드계, 폴리 부타디엔계, 트랜스 폴리 이소프렌계, 불소 고무계, 염소화 폴리에틸렌계 등의 각종 열가소성 엘라스토머를 들 수 있으며, 이들 가운데 1종 또는 2종 이상을 혼합하여 이용할 수 있다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 제1 롤러(71a 및 71b)와, 제2 롤러(72a 및 72b)와, 제3 롤러(73a 및 73b)는 서로 본체부(74)의 외경(크기)이 다르게 되어 있다. 본 실시형태에서는, 그 대소 관계는 (제3 롤러) < (제1 롤러) < (제2 롤러)로 되어 있다. 또, 제1 롤러(71a 및 71b)와, 제2 롤러(72a 및 72b)와, 제3 롤러(73a 및 73b)와의 각 롤러의 크기는 임의해지만, 예를 들면 롤러에 가요성을 가지는 시트재를 따르게 했을 때에 당해 시트재에 주름이 생기지 않는 정도로, 가능한 한 작은 것이 바람직하다. 구체적으로는, 직경이 75 ~ 300㎜인 것이 바람직하고, 100 ~ 200㎜인 것이 보다 바람직하다.
또, 제1 롤러(71a)와 제2 롤러(72a)와 제3 롤러(73a)와의 중심끼리를 이어서 형성된 삼각형을 상정(想定)했을 때, 당해 삼각형의 제3 롤러(73a)의 중심을 정점으로 하는 각도는, 60°를 넘고, 180° 미만인 것이 바람직하다. 이것에 대해서는, 제1 롤러(71b)와 제2 롤러(72b)와 제3 롤러(73b)와의 중심끼리를 이어서 형성된 삼각형에 대해서도 마찬가지이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 제2 롤러(72a)의 도면 중의 우측(적층체(40')의 반송방향 하류 측)에는 종동롤러(77a)가 제2 롤러(72a)에 대해서 이간하여 배치되어 있다. 또, 제2 롤러(72b)의 도면 중의 우측(적층체(40')의 반송방향 하류 측)에는 종동롤러(77b)가 제2 롤러(72b)에 대해서 이간하여 배치되어 있다. 종동롤러(77a, 77b)도 하우징(6)의 2개의 벽부(61) 사이에 걸쳐져 있다. 그리고, 이들 종동롤러(77a, 77b)는 회전축이 제2 롤러(72a, 72b)의 회전축에 대해서, 평행하게 되도록, 배치되어 있다. 종동롤러(77a, 77b)는, 각각, 그 본체부(74)의 외경이 제2 롤러(72a, 72b)와 같은 것이다.
그리고, 제2 롤러(72a)와 종동롤러(77a)에는 가요성을 가지는 시트재(91a)가 무단(無端) 상태로, 즉, 루프 모양으로 걸쳐서 돌려지고 있다. 이것에 의해, 제2 롤러(72a)가 회전하면, 그 회전력이 시트재(91a)를 통하여 종동롤러(77a)에 전달되고, 당해 종동롤러(77a)도 회전하게 된다. 또, 그 때, 시트재(91a)가 롤러회전방향을 따라서, 즉, 도 1 중의 반시계방향으로 반송된다.
이것과 마찬가지로, 제2 롤러(72b)와 종동롤러(77b)에는 가요성을 가지는 시트재(91b)가 무단 상태로 걸쳐서 돌려지고 있다. 이것에 의해, 제2 롤러(72b)가 회전하면, 그 회전력이 시트재(91b)를 통하여 종동롤러(77b)에 전달되고, 당해 종동롤러(77b)도 회전하게 된다. 또, 그 때, 시트재(91b)가 롤러회전방향을 따라서, 즉, 도 1 중의 시계방향으로 반송된다.
시트재(91a)와 시트재(91b)는 대기압 이상의 분위기하(본 실시형태에서는 대기압하)에 배치되어 있다.
도 1, 도 5, 도 6에 나타내는 바와 같이, 시트재(91a)와 시트재(91b)는 같은 방향으로 반송되며, 그 때에 서로 겹치는 중복부(911)를 가지고, 당해 중복부(911)에 의해 적층체(40')를 사이에 끼울 수 있다. 즉, 제2 롤러(72a, 72b) 사이로부터 송출된 적층체(40')는 시트재(91a)와 시트재(91b) 사이에 삽입되게 된다.
시트재(91a, 91b)의 구성 재료로서는, 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, 금속박, 고분자 필름, 탄성체 등을 들 수 있다. 금속박으로서는, 예를 들면, 동, 동계 합금, 알루미늄, 알루미늄계 합금, 은, 은계 합금, 금, 금계 합금, 아연, 아연계 합금, 니켈, 니켈계 합금, 주석, 주석계 합금, 철, 철계 합금 등의 금속박을 들 수 있다. 고분자 필름, 탄성체로서는, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 에틸렌-아세트산 비닐 공중합체 등의 폴리올레핀, 변성 폴리올레핀, 폴리아미드(예：나일론 6, 나일론 46, 나일론 66, 나일론 610, 나일론 612, 나일론 11, 나일론 12, 나일론 6-12, 나일론 6-66), 열가소성 폴리이미드, 방향족 폴리에스테르 등의 액정 폴리머, 폴리페닐렌 옥시드, 폴리페닐렌 설파이드, 폴리카보네이트, 폴리 메틸 메타크릴레이트, 폴리에테르, 폴리에테르 에테르 케톤, 폴리에테르 이미드, 폴리아세탈, 스틸렌계, 폴리올레핀계, 폴리염화비닐계, 폴리우레탄계, 폴리에스테르계, 폴리아미드계, 폴리 부타디엔계, 트랜스 폴리 이소프렌계, 불소 고무계, 실리콘 고무계, 염소화 폴리에틸렌계 등의 각종 열가소성 엘라스토머 등, 또는 이들을 주로 하는 공중합체, 브랜드체, 폴리머 알로이 등을 들 수 있으며, 이들 가운데 1종 또는 2종 이상을 혼합하여 이용할 수 있다. 이들 중에서도 특히, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 나프타 레이트, 열가소성 폴리이미드, 방향족 폴리에스테르, 폴리아미드, 폴리에테르 에테르 케톤, 폴리에테르 이미드, 폴리페닐렌 설파이드 등의 고분자 필름을 시트재에 이용하는 것에 의해, 래미네이트성, 평탄성 및 박리성 및 시트재끼리의 접착성이 뛰어나다고 하는 이점이 있다.
또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 하우징(6)의 2개의 벽부(61) 사이에는 복수 조의 보조롤러(78a, 78b)가 가설되어 있다. 보조롤러(78a, 78b)는, 각각, 벽부(61)에 베어링(도시생략)을 통하여 회전 가능하게 지지되어 있다. 보조롤러(78a, 78b)는 시트재(91a, 91b)가 제2 롤러(72a, 72b)와 종동롤러(77a, 77b)와의 회전에 의해 반송될 때에, 그 반송을 보조하는 기능을 가지는 것이다.
복수의 보조롤러(78a)는, 각각, 제2 롤러(72a)와 종동롤러(77a)와의 사이에 적층체(40')의 반송방향을 따라서 일렬로 배치되어 있다. 복수의 보조롤러(78b)도, 각각, 제2 롤러(72b)와 종동롤러(77b)와의 사이에 적층체(40')의 반송방향을 따라서 일렬로 배치되어 있다.
보조롤러(78a, 78b)는, 각각, 외형 형상이 원주 모양을 이루고, 그 길이방향의 양단부에 각각 외경이 확경한 확경부(781)를 가지고 있다. 각 보조롤러(78a)의 확경부(781)는, 각각, 시트재(91a)의 내측으로부터 그 중복부(911)의 반송방향과 평행한 가장자리부(912)에 맞닿아 있다. 각 보조롤러(78b)의 확경부(781)는, 각각, 시트재(91b)의 내측으로부터 그 중복부(911)의 반송방향과 평행한 가장자리부(912)에 맞닿아 있다. 이와 같은 확경부(781)에 의해, 시트재(91a, 91b)의 가장자리부(912)끼리가 기밀적으로 밀착한다(도 5, 도 6 참조). 보다 상세하게 설명하면, 시트재(91a)의 한쪽의 가장자리부(912)와 시트재(91b)의 한쪽의 가장자리부(912)를 사이에 끼워서, 보조롤러(78a)의 확경부(781)와 보조롤러(78b)의 확경부(781)가 대향하여, 가장자리부(912)끼리를 밀착시킨다. 또, 시트재(91a)의 한쪽의 가장자리부(912)와 시트재(91b)의 한쪽의 가장자리부(912)를 사이에 끼워서, 보조롤러(78a)의 확경부(781)와 보조롤러(78b)의 확경부(781)가 대향하여, 가장자리부(912)끼리를 밀착시킨다. 이것에 의해, 시트재(91a)와 시트재(91b)로 주머니 모양체가 구성되게 되고, 그 내부에, 즉, 시트재(91a)와 시트재(91b)와의 사이에 공간(913)이 형성된다(도 5 참조). 이 공간(913) 내에 적층체(40')가 일시적으로(일단) 수납된다. 또한, 공간(913)은 공간(70)으로 연통하고 있다.
또한, 보조롤러(78a, 78b)는, 도 1, 도 5, 도 6에 나타내는 구성에서는 중실체인 것이지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면, 중공체인 것이라도 된다.
또, 보조롤러(78a, 78b)의 구성 재료로서는 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, 제1 롤러(71a)의 구성 재료로 든 것 같은 재료를 이용할 수 있다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 감압수단(8)은 펌프(81)와, 펌프(81)와 각 벽부(61)에 각각 형성된 개구부(611)를 접속하는 접속관(82)을 가지고 있다.
펌프(81)는 하우징(6)의 외측에 설치되고, 예를 들면 진공펌프가 적용된다.
롤러(71a, 71b), 롤러(72a, 72b), 롤러(73a, 73b)로 둘러싸인 공간(70) 내부를, 감압하는 감압수단(8)을 구동함으로써, 제1 롤러(71a, 71b)의 섬유기재(2) 반송방향 상류 측의 영역보다도, 공간(70) 내의 기압이 낮아져, 부압이 된다. 또한, 제2 롤러(72a, 72b)보다도 적층체(40') 반송방향 하류 측의 영역으로서, 시트재(91a, 91b)에 의해 사이에 끼워진 공간의 외측의 영역보다도, 공간(70)의 기압은 낮아진다.
각 접속관(82)은, 각각, 예를 들면 스테인리스강 등과 같은 금속재료로 구성된 경질관(硬質管)이다.
각 개구부(611)는, 각각, 공간(70)을 향하여 개구하고, 공간(70)에 연통하고 있다. 또한, 도 3에 나타내는 구성에서는 쌍방의 벽부(61)에 각각 개구부(611)가 형성되어 있지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면, 한쪽의 벽부(61)에만 개구부(611)가 형성되어 있어도 된다.
그리고, 펌프(81)를 작동시킴으로써, 각 개구부(611)로부터 공간(70) 내의 기체(공기(G))를 흡인(吸引)할 수 있으며, 따라서, 공간(70)을 감압할 수 있다. 또, 이것에 의해, 인접하는 롤러끼리가 서로 가까워지려고 하는 힘이 생겨 서로 더욱 압접하고, 따라서, 공간(70)의 기밀성이 보다 확실히 유지된다.
또한, 감압수단(8)의 작동에 의해 공간(70)이 감압되면, 당해 공간(70)과 연통하는 공간(913)도 그 내부의 기체(공기)가 흡인되어 감압된다. 이 때, 적층체(40')가 공간(913) 내에 수납되어 있다, 즉, 적층체(40')가 시트재(91a, 91b) 사이에 끼워진 상태이면, 이 시트재(91a, 91b)마다 적층체(40')를 누를 수 있다(도 6 참조). 이것에 의해, 적층체(40')는 그 전면(전체)에 걸쳐서 시트재(91a, 91b)에 의한 균일한 힘 F3로 가압되어, 섬유기재(2)에 제1 수지층(3)과 제2 수지층(4)이 확실히 압착, 접합된다(도 5, 도 6 참조). 이것에 의해, 섬유기재(2) 내부에 제1 수지층(3)과 제2 수지층(4)이 더욱 함침하게 된다. 그리고, 적층체(40')가 적층시트(40)가 된다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 가열수단(92)은, 예를 들면 니크롬선 등의 전열선으로 구성되며, 보조롤러(78a, 78b)의 바로 옆에 설치되어 있다. 가열수단(92)에 의해, 그 열은 각 보조롤러(78a)에 전해져 시트재(91a)의 가장자리부(912)를 가열하고, 각 보조롤러(78b)에 전해져 시트재(91b)의 가장자리부(912)를 가열한다. 이것에 의해, 시트재(91a)의 가장자리부(912)와 시트재(91b)의 가장자리부(912)가 각각 연화(軟化)하게 되어, 양자의 가장자리부(912)끼리의 밀착이 확실히 행해진다. 이와 같이 가장자리부(912)끼리가 확실히 밀착한 시트재(91a, 91b)는 본의 아닌 개소, 즉, 가장자리부(912)로부터의 공기가 새는 것이 방지되고, 따라서, 감압수단(8)의 작동에 의해 확실히 감압된다.
또한, 가열수단(92)은, 보조롤러(78a, 78b)를 통하여, 적층체(40')를 그 폭방향을 따라서 가열할 수 있다. 적층체(40')가 가열됨으로써, 섬유기재(2)에 제1 수지층(3)과 제2 수지층(4)이 더욱 함침하기 쉬워진다. 즉, 가열수단(92)과 보조롤러(78a, 78b)에 의해 함침수단이 구성되게 된다.
또, 냉각수단(93)은, 예를 들면 펠티어(peltier) 소자로 구성되고, 시트재(91a)의 중복부(911)와 반대 측의 부분 근방과, 시트재(91b)의 중복부(911)와 반대 측의 부분 근방에 설치되어 있다. 가열수단(92)에 의해 연화한 가장자리부(912)는 반송되어 냉각수단(93)에 임(臨)하면서 냉각수단(93)을 통과한다. 이것에 의해, 밀착 후의 상기 연화한 가장자리부(912)를 일단 냉각할 수 있고, 따라서, 당해 가장자리부(912)가 가열수단(92)에 의해 과잉으로 가열되어 버리는 것을 확실히 방지할 수 있다.
다음으로, 적층시트 제조장치(30)에 의해 적층시트(40)가 제조되는 상태(과정)에 대해서, 도 1, 도 4, 도 5를 참조하면서 설명한다.
적층시트 제조장치(30)에서는 제1 롤러(71a, 71b)와, 제2 롤러(72a, 72b)와, 제3 롤러(73a, 73b)가 회전하는데 앞서, 감압수단(8)을 작동시켜, 공간(70) 내의 기체를 흡인하여, 공간(70) 내를 감압해 둔다.
공간(70) 내의 기압은 부압이 되고, 예를 들어, 800Pa 이하, 100Pa 이상이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 제1 롤러(71a)와 제1 롤러(71b)가 회전하면, 이들 롤러 사이로부터 섬유기재(2)가 공간(70) 내로 송출된다(연속적으로 공급된다).
섬유기재(2)는 예를 들어, 도시하지 않은 공급롤러에 감겨져 있으며, 공급롤러로부터 제1 롤러(71a) 및 제1 롤러(71b)를 통하여 공간(70) 내로 공급된다.
또, 제2 롤러(72a)와 제3 롤러(73a)가 회전하면, 이들 롤러 사이로부터 제1 지지체(5a)가 공간(70) 내로 송출된다(연속적으로 공급된다). 이 제1 지지체(5a)의 보호시트(51)가 제3 롤러(73a)의 외주면을 따라서 권취되며(인장되며), 이것에 의해, 지지기재가 부착된 제1 수지층(3)으로부터 보호시트(51)가 박리된다. 보호시트(51)가 박리한 지지기재가 부착된 제1 수지층(3)은 제2 롤러(72a)를 따라서 서서히 섬유기재(2)에 접근해 간다. 또, 박리된 보호시트(51)는 제1 롤러(71a)와 제3 롤러(73a)에 의해, 제2 롤러(72a, 72b)와는 다른 방향으로 송출된다. 구체적으로는, 제1 롤러(71a)와 제3 롤러(73a)와의 사이로부터 외측(공간(70) 밖)을 향해 송출된다. 또, 제1 수지층(3)은 B스테이지 상태이며, 고형, 반고형 혹은 액체 상태이다.
또, 제2 롤러(72b)와 제3 롤러(73b)가 회전하면, 이들 롤러 사이로부터 제2 지지체(5b)가 공간(70) 내로 송출된다(연속적으로 공급된다). 이 제2 지지체(5b)는 보호시트(51)가 제3 롤러(73b)에 권취되고, 이것에 의해, 지지기재가 부착된 제2 수지층(4)으로부터 보호시트(51)가 박리된다. 보호시트(51)가 박리한 지지기재가 부착된 제2 수지층(4)은, 제2 롤러(72b)에 따라서 서서히 섬유기재(2)에 접근해 나간다. 또, 박리된 보호시트(51)는 제1 롤러(71b)와 제3 롤러(73b)에 의해, 제2 롤러(72a, 72b)와는 다른 방향으로 송출된다. 구체적으로는, 제1 롤러(71b)와 제3 롤러(73b)와의 사이로부터 외측을 향해 송출된다.
또, 제2 수지층(4)은 B스테이지 상태이며, 고형, 반고형 혹은 액체 상태이다.
이와 같이 제1 수지층(3) 및 제2 수지층(4)이 각각 섬유기재(2)와 압착되기 직전(이전)에 공간(70) 내에서 보호시트(51)가 박리할 수 있는 것에 의해, 당해 보호시트(51)가 각 수지층의 압착의 방해가 되는 것을 방지할 수 있음과 아울러, 압착 직전까지 보호시트(51)로 각 수지층을 보호할 수 있다.
그리고, 섬유기재(2)와 지지기재가 부착된 제1 수지층(3)과 지지기재가 부착된 제2 수지층(4)은 제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)와의 사이를 일괄하여 통과하게 된다.
이 때, 제1 수지층(3)에 마련된 지지기재가 제2 롤러(72a)에 접촉하고, 제1 수지층(3)에 마련된 지지기재가 제2 롤러(72b)에 접촉한다. 제1 수지층(3) 및 제2 수지층(4)은 섬유기재(2)에 직접 접촉한다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)와의 사이의 압접력(맞닿는 힘) F1에 의해, 제1 수지층(3)이 위쪽으로부터 섬유기재(2)에 가압됨(밀어 붙여짐)과 아울러, 제2 수지층(4)이 하측으로부터 섬유기재(2)에 가압된다. 이것에 의해, 적층체(40')가 얻어진다. 적층체(40')는 제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)와의 사이로부터 연속적으로 배출되어, 한 쌍의 시트재(91a, 91b) 사이로 공급되게 된다.
또한, 여기서, 섬유기재(2) 등이 연속적으로 공급된다는 것, 혹은 배출된다는 것은, 매엽식(枚葉式)과 같이, 섬유기재 등이 간헐적으로 공급, 혹은 배출되는 것을 제외하는 취지이다. 예를 들어, 공간(70) 내에 섬유기재(2) 등이 존재하는 상태와 존재하지 않는 상태가 단기간에 교호(交互)로 교체되는 것을 제외하는 취지이다. 단, 필요에 따라서, 섬유기재(2) 등의 반송을 정지해도 된다.
또, 상술한 바와 같이, 공간(70)은 감압수단(8)의 작동에 의해 감압되어 있다. 이것에 의해, 도 4에 나타내는 바와 같이, 공간(70) 내에 생긴 감압력 F2가 제1 수지층(3)의 섬유기재(2)로의 가압과, 제2 수지층(4)의 섬유기재(2)로의 가압을 보조할 수 있다.
이와 같은 압접력 F1에 의한 가압과 감압력 F2에 의한 가압이 합쳐져, 수지층(3, 4)을 섬유기재(2)에 강하게 압착할 수 있다. 이것에 의해, 섬유기재(2) 내부에 수지층(3, 4)을 함침시킬 수 있다. 이것에 더하여, 제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)를 가열롤러로 함으로써, 수지층(3, 4)을 섬유기재(2) 내부에 함침시키기 쉽게 할 수 있다.
또한, 공간(70) 내를 감압함으로써, 섬유기재(2) 내부의 기체가 흡인되게 되며, 섬유기재(2) 내부에 함침한 수지층 중에 보이드(void)가 발생하기 어렵게 된다.
또한, 제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)에 의해, 수지층(3, 4)의 일부가 섬유기재(2) 내부에 함침되지만, 완전하게 함침되는 것은 아니다. 이 공정에 있어서, 수지층(3, 4)은 섬유기재(2)에 함침되지만, 제2 롤러(72a, 72b)로부터 송출된 적층체(40')의 섬유기재(2) 내부는 공간(70) 내에 위치하는 섬유기재(2) 내부와 연통하고 있다.
그리고, 제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)와의 사이를 통과할 때에, 적층체(40')는 한 쌍의 시트재(91a, 91b)에 의해 사이에 끼워지게 된다. 그 후, 적층체(40')는 한 쌍의 시트재(91a, 91b)에 의해 사이에 끼워진 상태로 일정 구간 반송되게 된다.
여기서, 한 쌍의 시트재(91a, 91b) 사이의 공간(913)은 공간(70)에 연통하고 있기 때문에, 공간(70) 내부가 감압수단(8)에 의해 감압되면, 공간(70)을 통하여 공간(913) 내부의 기체가 감압수단(8)에 흡인되어 공간(913) 내도 감압되게 된다. 이것에 의해, 부압이 발생하며, 시트재(91a, 91b)를 서로 접근시키려고 하는 힘이 발생하여, 한 쌍의 시트재(91a, 91b)에 의해, 적층체(40')가 그 두께방향으로부터 가압되게 된다. 이것에 의해, 수지층(3, 4)의 섬유기재(2) 내부로의 함침이 더욱 진행하게 되어, 수지층(3, 4)과 섬유기재(2)가 강고하게 고정되게 된다.
또, 섬유기재(2)는, 반송방향으로 연통함과 아울러, 표리면 측에 연통하는 구멍이 형성된 다공질재이다. 한 쌍의 시트재(91a, 91b) 사이에 위치하는 섬유기재(2)의 내부의 구멍은, 다른 구멍을 통하여 공간(70) 내에 위치하는 섬유기재(2)의 내부의 구멍에 연통하고 있다. 이 때문에, 공간(70) 내를 감압함으로써, 공간(70) 내에 위치하는 섬유기재(2)를 통하여, 한 쌍의 시트재(91a, 91b) 사이에 위치하는 섬유기재(2) 내부가 감압되게 된다. 이것에 의해, 한 쌍의 시트재(91a, 91b)에 의해 사이에 끼워진 적층체(40')에 있어서, 수지층(3, 4)이 섬유기재(2) 내부로 함침될 때에, 섬유기재(2) 내부에 기체가 잔존해 버리는 것을 억제할 수 있어, 섬유기재(2) 내에서 보이드가 발생하는 것을 억제할 수 있다.
이것에 더하여, 섬유기재(2)의 반송방향 측의 단면은 수지층(3, 4)에 피복 되지 않고, 노출하고 있다. 섬유기재(2) 내의 구멍은 반송방향 측의 단면에도 연통하고 있기 때문에, 반송방향 측의 단면으로부터 공간(913), 게다가, 공간(70)을 통하여, 기체가 흡인되어, 섬유기재(2) 내부도 감압되게 된다. 이것에 의해서도, 한 쌍의 시트재(91a, 91b) 사이에서 수지층(3, 4)이 섬유기재(2) 내부로 함침될 때에, 섬유기재(2) 내부에 기체가 잔존해 버리는 것을 억제할 수 있다.
또한, 한 쌍의 시트재(91a, 91b) 사이의 적층체(40')는 보조롤러(78a, 78b)를 통하여 가열되기 때문에, 수지층(3, 4)이 섬유기재(2) 내부로 함침되기 쉬워진다.
또한, 한 쌍의 시트재(91a, 91b) 사이에 위치하는 섬유기재(2) 내부가 감압되므로, 이것에 의해, 수지층(3, 4)이 섬유기재(2) 내부 측으로 인장되어, 수지층(3, 4)의 섬유기재(2) 내부로의 함침이 더욱 진행되게 된다.
한 쌍의 시트재(91a, 91b) 사이에 위치하는 섬유기재(2) 내부가 감압되는 상태는 수지층(3, 4)이 섬유기재(2) 내부에 거의 완전하게 함침될 때까지 계속되게 된다. 따라서, 적층체(40')가 반송되고 있는 상태에서, 수지층(3, 4)의 섬유기재(2) 내부로의 함침이 진행된다. 적층체(40')가 한 쌍의 시트재(91a, 91b)에 의해, 반송되고 있는 도중, 수지층(3, 4)의 섬유기재(2) 내부로의 함침이 진행되어도 되고, 또, 반송 도중에 수지층(3, 4)의 섬유기재(2) 내부로의 함침이 종료되어도 된다.
적층체(40')를 사이에 끼운 한 쌍의 시트재(91a, 91b)의 단부는 보조롤러(78a, 78b)에 의해, 가열 및 가압되어, 밀착한다.
또, 대향하는 시트재(91a, 91b)의 내측 영역은 감압되지만, 한 쌍의 시트재(91a, 91b)의 외측의 영역은 대기압 이상(본 실시형태에서는, 대기압하)의 분위기이다. 이것에 의해, 한 쌍의 시트재(91a, 91b) 및 한 쌍의 시트재(91a, 91b) 내부의 적층체(40')에는 외부로부터 대기압 이상의 힘이 걸린다. 이것에 의해서도, 수지층(3, 4)의 섬유기재(2) 내부로의 함침을 촉진시킬 수 있다.
이상에 의해, 예를 들면 제1 수지층(3)이나 제2 수지층(4)의 두께나 조성에 의하지 않고, 당해 각 수지층이 섬유기재(2)에 확실하고 강고하게 접합된 적층시트(40)를 제조할 수 있다.
이상과 같이 하여, 얻어진 적층시트(40)는 도 1 중의 좌측으로 압출된다. 그 때에, 시트재(91a)가 종동롤러(77a)에 감겨 적층시트(40)로부터 박리하고, 시트재(91b)가 종동롤러(77b)에 감겨 적층시트(40)로부터 박리한다.
또, 적층시트 제조장치(30)에서는 적층체(40')를 시트재(91a, 91b) 사이에서 누르는 시간이, 예를 들면 단지 한 쌍의 롤러 사이에서 누르는 시간보다도 길게 확보할 수 있다. 이것에 의해, 제1 수지층(3)이나 제2 수지층(4)을 섬유기재(2)에 의해 확실하고 강고하게 접합, 즉, 함침시킬 수 있다.
또, 적층시트 제조장치(30)에서는, 감압해야 할 공간을, 제1 롤러(71a 및 71b)와, 제2 롤러(72a 및 72b)와, 제3 롤러(73a 및 73b)로 둘러싸인 공간(70)으로서 가능한 한 작게 할 수 있다. 이것에 의해, 적층시트 제조장치(30)가 소형의 것이 된다. 또, 감압수단(8)을 작동시켰을 때, 그 감압을 신속히 행할 수 있다. 또, 고진공화도 가능하다.
또, 섬유기재(2)와 제1 수지층(3)이 접합할 때, 이들 사이에 공기가 머물러 있었다고 해도 압접력 F1에 의해 그 공기를 압출할 수 있고, 따라서, 공기가 머문 채로 접합이 이루어져 버리는 것을 확실히 방지할 수 있다(섬유기재(2)와 제2 수지층(4)과의 접합시에 대해서도 마찬가지).
<기판>
다음으로, 프리프레그(1)를 이용한 기판(10)에 대해서, 도 11을 참조하면서 설명한다. 이 도 11에 나타내는 기판(10)은 적층체(11)와, 이 적층체(11)의 양면에 마련된 금속층(12)을 가지고 있다.
적층체(11)는 제2 수지층(4)끼리를 내측으로 하여 배치된 2개의 프리프레그(1)와, 제2 수지층(4)끼리 사이에 끼워 지지된 섬유기재(13)를 구비한다.
섬유기재(13)에는 상술한 섬유기재(2)와 동일한 것을 이용할 수 있다. 또, 본 실시형태에서는, 제2 수지층(4)은 상술한 바와 같은 특성(가요성)을 가지기 때문에, 섬유기재(13)의 적어도 일부는 제2 수지층(4)에 확실히 매립된다(매설된다).
금속층(12)은 배선부에 가공되는 부분이며, 예를 들면, 동박, 알루미늄박 등의 금속박을 적층체(11)에 접합하는 것, 동, 알루미늄을 적층체(11)의 표면에 도금하는 것 등에 의해 형성된다. 또, 본 실시형태에서는, 제1 수지층(3)은 상술한 바와 같은 특성을 가지기 때문에, 높은 밀착성으로 금속층(12)을 유지할 수 있음과 아울러, 높은 가공 정밀도로 금속층(12)을 배선부에 형성할 수 있게 되어 있다.
금속층(12)과 제1 수지층(3)과의 필 강도(peel strength)는 0.5kN/m 이상인 것이 바람직하고, 0.6kN/m 이상인 것이 보다 바람직하다. 이것에 의해, 금속층(12)을 배선부에 가공하여, 얻어지는 반도체 장치(100)(도 9 참조)에서의 접속 신뢰성을 보다 향상시킬 수 있다.
이와 같은 기판(10)은 제1 수지층(3)상에 금속층(12)을 형성한 프리프레그(1)를 2개 준비하고, 이들 프리프레그(1)로 섬유기재(13)를 끼워 지지한 상태에서, 예를 들면, 진공 래미네이트법 등을 이용하여 제조할 수 있다.
또한, 기판(10)은 섬유기재(13)가 생략되고, 2개의 프리프레그(1)가 제2 수지층(4)끼리를 직접 접합하여 이루어지는 적층체를 포함하는 것이라도 되며, 금속층(12)이 생략된 것이라도 된다.
<반도체 장치>
다음으로, 기판(10)을 이용한 반도체 장치(100)에 대해서, 도 9를 참조하면서 설명한다. 또한, 도 9 중에서는, 섬유기재(2, 13)를 생략하여 나타내고, 제1 수지층(3) 및 제2 수지층(4)을 일체로 하여 나타내고 있다.
도 9에 나타내는 반도체 장치(100)는, 다층 기판(다층 프린트 배선판(회로기판))(200)과, 다층 기판(200)의 상면에 마련된 패드부(300)와, 다층 기판(200)의 하면에 마련된 배선부(400)와, 패드부(300)에 범프(bump)(501)를 접속하는 것에 의해, 다층 기판(200)상에 탑재된 반도체소자(500)를 가지고 있다.
다층 기판(200)은 코어 기판으로서 마련된 기판(10)과, 이 기판(10)의 상측에 마련된 3개의 프리프레그(1a, 1b, 1c)와, 기판(10)의 하측에 마련된 3개의 프리프레그(1d, 1e, 1f)를 구비하고 있다. 프리프레그(1a ~ 1c)를 각각 구성하는 섬유기재(2), 제1 수지층(3), 제2 수지층(4)의 기판(10)으로부터의 배치 순서와, 프리프레그(1d ~ 1f)를 각각 구성하는 섬유기재(2), 제1 수지층(3), 제2 수지층(4)의 기판(10)으로부터의 배치 순서는 동일하게 되어 있다. 즉, 프리프레그(1a ~ 1c)와 프리프레그(1d ~ 1f)는 서로 상하 반전한 것끼리로 되어 있다.
또, 다층 기판(200)은 프리프레그(1a)와 프리프레그(1b)와의 사이에 마련된 회로부(201a)와, 프리프레그(1b)와 프리프레그(1c)와의 사이에 마련된 회로부(201b)와, 프리프레그(1d)와 프리프레그(1e)와의 사이에 마련된 회로부(201d)와, 프리프레그(1e)와 프리프레그(1f)와의 사이에 마련된 회로부(201e)를 가지고 있다.
또한, 다층 기판(200)은 각 프리프레그(1a ~ 1f)를 각각 관통하여 마련되고, 인접하는 회로부끼리나, 회로부와 패드부를 전기적으로 접속하는 도체부(202)를 구비하고 있다.
기판(10)의 각 금속층(12)은, 각각, 소정의 패턴으로 가공되며, 당해 가공된 금속층(12)끼리는 기판(10)을 관통하여 마련된 도체부(203)에 의해 전기적으로 접속되어 있다.
또한, 반도체 장치(100)(다층 기판(200))는, 기판(10)의 편면(片面) 측에, 4개 이상의 프리프레그(1)를 마련하도록 해도 된다. 또한, 반도체 장치(100)는 프리프레그(1) 이외의 프리프레그를 포함하고 있어도 된다.
<제2 실시형태>
다음으로, 도 10 ~ 도 11을 참조하여, 본 발명의 제2 실시형태에 대해서 설명한다.
본 실시형태의 제조장치(30A)에 대해서 상세하게 설명한다.
제조장치(30A)는 제조장치(30)로부터 한 쌍의 시트재(91a, 91b)를 삭제함과 아울러, 제조장치(30)의 보조롤러(78a, 78b)를 보조롤러(78c, 78d)로 치환한 것이다. 또, 제조장치(30)의 종동롤러(77a, 77b)를 롤러(77c, 77d)로 치환한 것이다. 또한, 제조장치(30A)는 냉각수단(93)을 가지지 않는다. 그 외의 점은 제조장치(30)와 동일하다.
보조롤러(78c, 78d)는 원기둥 형상의 롤러이며, 상기 실시형태의 보조롤러(78a, 78b)와는 달리, 확경부(781)를 가지지 않았다. 도 11에도 나타내는 바와 같이, 보조롤러(78c, 78d)의 외주면이 적층체(40A')의 반송방향과 직교하는 폭방향 전체에 걸쳐서 맞닿는다.
이 보조롤러(78c, 78d)는 가열롤러이며, 가열수단(92)에 의해서 가열되고 있다. 즉, 가열수단(92)과, 보조롤러(78c, 78d)에 의해 함침수단이 구성되게 된다.
롤러(77c, 77d)는 적층시트(40A)를 반송하는 반송롤러이며, 한 쌍의 벽부(61) 사이에 걸쳐져 있다. 롤러(77c, 77d)의 회전축은 롤러(72a, 72b)와 평행하다.
롤러(77c, 77d)는 회전축이 모터에 접속되어 있고, 모터가 작동하면, 그 동력이 치차 기구를 통하여 전달되어 회전하게 된다.
이와 같은 제조장치(30A)를 사용한 적층시트(40A)의 제조방법에 대해서 설명한다.
먼저, 상기 실시형태와 마찬가지로, 공간(70) 내부를 미리 감압해 둔다.
다음으로, 상기 실시형태와 마찬가지로, 공간(70) 내에 섬유기재(2)를 연속적으로 공급한다.
또한, 제2 롤러(72a)와 제3 롤러(73a)가 회전하면, 이들 롤러 사이로부터 시트(5c)가 공간(70) 내로 송출된다(연속적으로 공급된다).
여기서, 시트(5c)에 대해서 설명한다. 이 시트(5c)는 보호시트(51)와 수지층(3)과 시트재(52)를 구비한다. 보호시트(51)와 시트재(52)는 수지층(3)을 사이에 두고 대향 배치된다.
시트재(52)로서는, 특별히 한정되지 않지만, 고분자 필름을 들 수 있고, PET 등을 들 수 있다.
시트(5c)는, 상기 실시형태와 마찬가지로, 보호시트(51)가 제3 롤러(73a)의 외주면을 따라서 권취되고(인장되고), 이것에 의해, 제1 수지층(3)으로부터 보호시트(51)가 박리된다.
한편으로, 제2 롤러(72b)와 제3 롤러(73b)가 회전하면, 이들 롤러 사이로부터 시트(5d)가 공간(70) 내로 송출된다(연속적으로 공급된다).
여기서, 시트(5d)에 대해서 설명한다. 이 시트(5d)는 보호시트(51)와, 수지층(4)과, 시트재(52)를 구비한다. 보호시트(51)로 시트재(52)는 수지층(4)을 사이에 두고 대향 배치된다.
이 시트(5d)는 보호시트(51)가 제3 롤러(73b)에 권취되고, 이것에 의해, 제2 수지층(4)으로부터 보호시트(51)가 박리된다.
섬유기재(2)와 시트재(52)가 부착된 제1 수지층(3)과 시트재(52)가 부착된 제2 수지층(4)은 제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)와의 사이를 일괄하여 통과하게 된다.
이 때, 상기 실시형태와 마찬가지로, 섬유기재(2) 내부에 수지층(3, 4)이 함침되어, 적층체(40A')가 얻어진다. 그리고, 상기 실시형태와 마찬가지로, 제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)에 의해, 수지층(3, 4)의 일부가 섬유기재(2) 내부에 함침되지만, 완전하게 함침되는 것은 아니다. 이 공정에 있어서, 수지층(3, 4)은 섬유기재(2)에 함침되지만, 제2 롤러(72a, 72b)로부터 송출된 적층체(40A')의 섬유기재(2) 내부는 공간(70) 내에 위치하는 섬유기재(2) 내부와 연통하고 있다.
여기서, 도 11에 도 10의 E-E방향의 섬유기재(2), 수지층(3, 4)의 단면도를 나타낸다. 섬유기재(2)의 반송방향과 직교하는 방향의 폭치수는 제1 수지층(3) 및 제2 수지층(4)의 반송방향과 직교하는 방향의 폭치수보다도 작다.
한 쌍의 제2 롤러(72a, 72b)에 의해, 섬유기재(2), 제1 수지층(3) 및 제2 수지층(4)이 압착된다. 이 때, 제1 수지층(3)의 폭방향의 한쪽의 단부(반송방향에 따른 한쪽의 단부)와, 제2 수지층(4)의 폭방향의 한쪽의 단부(반송방향에 따른 한쪽의 단부)가 압착(열압착)됨과 아울러, 제1 수지층(3)의 폭방향의 다른 쪽의 단부와, 제2 수지층(4)의 폭방향의 다른 쪽의 단부가 압착(열압착)된다. 수지층(3, 4)의 폭방향의 단부끼리가 용융 접합되어, 접합부를 형성하고, 섬유기재(2)가 제1 수지층(3) 및 제2 수지층(4) 내에 내포되는 형태가 된다. 즉, 적층체(40A')의 폭방향의 양단부는 밀폐된 상태가 된다. 또한, 시트재(52)의 폭방향의 치수는 제1 수지층(3) 및 제2 수지층(4)과 동일해도 되고, 또, 제1 수지층(3) 및 제2 수지층(4)의 폭치수보다도 길어도 된다.
적층체(40A')는 제2 롤러(72a, 72b)에 의해 공간(70)으로부터 연속적으로 송출되어, 보조롤러(78c, 78d) 및 롤러(77c, 77d)에 의해 반송된다.
여기서, 섬유기재(2)는 복수의 구멍이 형성된 다공질재이다. 섬유기재(2)에 형성된 구멍은, 다른 구멍을 통하여, 적층체 반송방향으로 연통하고, 또한, 섬유기재(2) 표리면에 연통한다. 이 때문에, 공간(70) 외부에 위치하는 섬유기재(2)라도, 그 내부는 공간(70)에 연통하게 된다. 환언하면, 한 쌍의 시트재(52)의 내부의 공간이 공간(70)에 연통하고 있다고 말할 수 있다.
공간(70) 외부에 위치하는 섬유기재(2) 내부의 기체는, 섬유기재(2) 내부의 구멍 및 공간(70)을 통하여, 감압수단(8)에 의해 흡인되고, 섬유기재(2) 내부는 부압이 된다. 특히, 적층체(40A')의 폭방향의 양단부는 밀폐된 상태이기 때문에, 섬유기재(2) 내부의 기체를 확실히 흡인할 수 있다. 섬유기재(2) 내부가 감압됨으로써, 수지층(3, 4)이 섬유기재(2)에 강고하게 밀착한다.
보조롤러(78c, 78d)에 의해, 적층체(40A')는 반송됨과 아울러, 가열되기 때문에, 공간(70)으로부터 송출된 적층체(40A')에서도, 수지층(3, 4)의 섬유기재(2)로의 함침은 진행된다. 수지층(3, 4)의 섬유기재(2)로의 함침은 적층체(40A')가 반송되면서, 진행하게 된다.
공간(70) 외부에 위치하는 섬유기재(2) 내부의 기체는, 섬유기재(2) 내부의 구멍 및 공간(70)을 통하여, 감압수단(8)에 의해 흡인되게 되지만, 이 흡인은 수지층(3, 4)이 섬유기재(2) 내부에 일정 정도, 함침될 때까지 계속되게 된다. 즉, 섬유기재(2) 내부의 기체가 감압수단(8)에 흡인되고 있는 동안에, 수지층(3, 4)의 섬유기재(2)로의 함침이 진행하게 된다. 이것에 의해, 수지층(3, 4)이 섬유기재(2)에 의해 함침되기 쉬워짐과 아울러, 섬유기재(2) 내부에 보이드가 발생해 버리는 것이 방지된다.
또, 적층체(40A')의 폭방향의 양단부에는 수지층(3, 4)의 단부끼리가 용융 접합한 접합부가 형성되어 있기 때문에, 보조롤러(78c, 78d)에 의해 반송되고 있는 동안에, 섬유기재(2)의 단면 측으로부터 기체가 섬유기재(2) 내부로 유입해 버리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 공간(70) 외부에 위치하는 적층시트(40)의 섬유기재(2) 내부의 기체를 확실히 흡인할 수 있다.
또한, 제조장치(30A)에 있어서, 공간(70)으로부터 송출된 적층체(40A')가 반송되고 있는 상태에서, 수지층(3, 4)의 섬유기재(2)로의 함침이 진행되어 가지만, 적층체(40A')가 반송되고 있는 도중에, 수지층(3, 4)의 섬유기재(2)로의 함침이 종료되어도 되고, 적층체(40A')가 반송되고 있는 도중, 수지층(3, 4)의 섬유기재(2)로의 함침이 진행되고 있어도 된다.
본 실시형태에서는, 제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)보다도 적층체(40A')의 반송방향 하류 측은 대기압 이상의 분위기(본 실시형태에서는 대기압)이다. 제2 롤러(72a)와 제2 롤러(72b)에 의해, 적층체(40A')는 대기압 이상의 분위기하에 송출되게 된다. 이것에 의해, 적층체(40A')는 대기압 이상의 힘으로 외측으로부터 가압되게 되어, 수지층(3, 4)의 섬유기재(2) 내부로의 함침을 촉진시킬 수 있다.
이상과 같이 하여, 얻어진 적층시트(40A)는, 롤러(77c, 77d)에 의해, 도 10중의 좌측으로 압출된다.
이와 같은 본 실시형태에 의하면, 상술한 효과에 더하여, 제1 실시형태와 동일한 효과를 발휘할 수 있다.
이상, 본 발명의 적층시트 제조장치 및 적층시트를 도시의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니고, 적층시트 제조장치 및 적층시트를 구성하는 각 부는 동일한 기능을 발휘할 수 있는 임의의 구성의 것으로 치환할 수 있다. 또, 임의의 구성물이 부가되어 있어도 된다.
또, 적층시트 제조장치는, 도 1에 나타내는 구성에서는 한 쌍의 제3 롤러가 1조 설치되어 있지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면, 3조 이상의 홀수 조가 설치되어 있어도 된다.
또, 각 제1 롤러와 각 제2 롤러와 각 제3 롤러는, 도 1에 나타내는 구성에서는 서로 본체부의 외경이 차이가 나지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면, 서로 본체부의 외경이 동일해도 된다.
또, 적층시트 제조장치는 2매의 시트재 사이로부터 송출된 적층시트를 건조하도록 구성되어 있어도 된다.
또, 적층시트는, 도 7에 나타내는 구성에서는 섬유기재의 양면에 각각 수지층이 접합된 것이지만, 이것에 한정되지 않고, 섬유기재의 편면에만 수지층이 접합된 것이라도 된다. 이와 같은 구성의 적층시트도 적층시트 제조장치로 제조할 수 있다.
또, 적층시트는, 도 7에 나타내는 구성에서는 섬유기재에 제1 수지 조성물 및 제2 수지 조성물을 각각 함침한 것이지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 다음과 같은 것이라도 된다. 1번째의 예는, 섬유기재의 두께방향 전체에 걸쳐서 제1 수지 조성물을 함침하고, 제2 수지 조성물은 함침하고 있지 않은 적층시트. 2번째의 예는, 섬유기재의 두께방향 전체에 걸쳐서 제2 수지 조성물을 함침하고, 제1 수지 조성물은 함침하고 있지 않은 적층시트. 3번째의 예는, 섬유기재의 두께방향의 일부에 제1 수지 조성물을 함침하고, 제2 수지 조성물은 함침하고 있지 않은 적층시트. 4번째의 예는, 섬유기재의 두께방향의 일부에 제2 수지 조성물을 함침하고, 제1 수지 조성물은 함침하고 있지 않은 적층시트. 이상 4개의 예의 적층시트에서도, 제1 수지 조성물과 제2 수지 조성물은, 서로 조성이 다른 것이라도 되고, 또, 서로 조성이 동일한 것이라도 된다. 그리고, 이와 같은 구성의 적층시트도 적층시트 제조장치로 제조할 수 있다.
또, 적층시트는, 도 7에 나타내는 구성에서는 함침부(31, 41)의 두께가 동일하고, 또, 비함침부(32, 42)의 두께도 동일했지만, 함침부(31, 41)의 두께가 달라도 되고, 비함침부(32, 42)의 두께가 달라도 된다. 이와 같은 구성의 적층시트도 적층시트 제조장치로 제조할 수 있다.
또, 적층시트는, 도 7에 나타내는 구성에서는 섬유기재를 가지는 것이지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면, 섬유기재에 대신하여, 프린트 배선판 등의 기재를 가지는 것이라도 된다.
또, 제1 실시형태에서는, 섬유기재(2)의 표리면에 수지층을 배치했지만, 섬유기재(2)의 한쪽의 면에만 수지층을 마련해도 된다.
또한, 상기 각 실시형태에서는, 롤러(72a, 72b)에 의해, 수지층(3, 4)을 섬유기재(2) 내부에 함침시킨다고 했지만, 이것에 한정하지 않고, 롤러(72a, 72b)에 의해, 수지층(3, 4)을 섬유기재(2) 내부에 함침시키지 않아도 된다. 이와 같은 경우에, 예를 들어, 제1 실시형태에 있어서, 한 쌍의 시트재(91a, 91b)의 길이방향의 거리가 매우 길게 함으로써, 한 쌍의 시트재(91a, 91b)에 의해 적층체(40')를 반송하면서, 수지층(3, 4)을 섬유기재(2) 내부에 완전 함침시킬 수 있다.
이상과 같은 발명은, 이하와 같은 구성에 근거한 것이다.
(1) 고형 또는 반고형의 수지 조성물로 구성된 수지층을 가지는 지지체의 상기 수지층을, 박판 모양의 기재의 편면 또는 양면에 접합하여 적층시트를 제조하는 적층시트 제조장치로서, 상기 수지층과 상기 기재를 겹치고, 아직 접합되어 있지 않은 상태의 미접합체를 사이에 끼우는 2매의 시트재와, 상기 미접합체가 상기 2매의 시트재 사이에 끼워진 상태에서 이 시트재 사이의 공간을 감압하는 감압수단을 구비하며, 상기 감압수단의 작동에 의해 상기 공간이 감압되었을 때, 상기 미접합체를 상기 시트재마다 눌러, 상기 수지층과 상기 기재를 압착하여, 상기 적층시트를 얻도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 적층시트 제조장치.
(2) 상기 수지층과 상기 기재와의 압착 후, 상기 적층시트에서는, 상기 2매의 시트재가 각각 박리되는 상기 (1)에 기재한 적층시트 제조장치.
(3) 상기 2매의 시트재가 각각 무단(無端) 상태로 걸쳐서 돌려지고, 이 시트재를 반송하는 한 쌍의 롤러를 구비하는 상기 (1) 또는 (2)에 기재한 적층시트 제조장치.
(4) 상기 2매의 시트재를 같은 방향으로 반송하면서, 상기 공간을 감압하는 상기 (1) 내지 (3) 중 어느 하나에 기재한 적층시트 제조장치.
(5) 상기 한 쌍의 롤러 사이에는, 상기 2매의 시트재를 반송하면서, 이 2매의 시트재의 반송방향과 평행한 가장자리부끼리를 기밀적으로 밀착시키는 복수의 보조롤러를 구비하는 상기 (3) 또는 (4)에 기재한 적층시트 제조장치.
(6) 상기 2매의 시트재의 상기 가장자리부끼리를 밀착시킬 때에 이 가장자리부를 가열하여 연화(軟化)시키는 가열수단을 구비하는 상기 (5)에 기재한 적층시트 제조장치.
(7) 상기 가장자리부끼리의 밀착 후, 상기 연화한 가장자리부를 냉각하는 냉각수단을 구비하는 상기 (6)에 기재한 적층시트 제조장치.
(8) 서로 대향 배치된 한 쌍의 벽부를 가지고, 이 한 쌍의 벽부 중 적어도 한쪽에 개구부가 형성된 하우징과, 상기 한 쌍의 롤러 중 한쪽의 롤러 측에서 상기 한 쌍의 벽부 사이에 가설되며, 상기 2매의 시트재의 사이를 향하여 상기 기재를 송출하는 한 쌍의 송출롤러를 구비하고, 상기 공간은 상기 각 한쪽의 롤러와 상기 한 쌍의 벽부와 상기 한 쌍의 송출롤러로 둘러싸이며, 상기 개구부가 개구하는 소공간과 연통하고, 상기 감압수단의 작동에 의해, 상기 개구부로부터 상기 소공간을 통하여 상기 공간 내의 공기를 흡인하여 이 공간이 감압되는 상기 (3) 내지 (7) 중 어느 하나에 기재한 적층시트 제조장치.
(9) 상기 감압수단은, 펌프와, 이 펌프와 상기 개구부와 접속하는 접속관을 가지는 상기 (8)에 기재한 적층시트 제조장치.
(10) 상기 2매의 시트재는, 각각, 고분자 필름으로 구성되어 있는 상기 (1) 내지 (9) 중 어느 하나에 기재한 적층시트 제조장치.
본 출원은 2011년 3월 30일에 출원된 일본특허출원2011-076664 및 2012년 3월 22일에 출원된 일본특허출원2012-065021을 기초로 하는 우선권을 주장하고, 그 개시를 모두 여기에 원용한다.

Claims (21)

  1. 수지층을 가지는 시트의 상기 수지층을, 길이가 긴 박판(薄板) 모양의 기재(基材)의 편면(片面) 또는 양면(兩面)에 접합하여 적층시트를 제조하는 적층시트의 제조방법에 있어서,
    상기 기재는 반송방향으로 연통함과 아울러, 표리면(表裏面)에 연통하는 구멍이 형성된 섬유기재이며,
    감압(減壓)수단에 의해 감압된 감압실 내로, 상기 시트와 상기 기재를 반송하고, 감압 상태에서, 상기 시트의 수지층과 상기 기재를 맞닿게 하여, 적층체를 구성하는 공정과,
    상기 감압실로부터 상기 적층체를 송출(送出)하는 공정과,
    상기 적층체를 한 쌍의 시트재에 의해 사이에 끼우는 공정과,
    상기 감압실 외부에 위치하고, 상기 적층체를 사이에 끼운 상기 한 쌍의 시트재의 내측의 공간이, 상기 감압실에 연통하고 있으며, 상기 감압수단에 의해, 상기 한 쌍의 시트재의 내측의 공간을 감압하는 공정을 포함하는 적층시트의 제조방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 한 쌍의 시트재의 내측의 공간을 감압하는 상기 공정에서는 상기 적층체를 가열하는 적층시트의 제조방법.
  3. 청구항 1 또는 2에 있어서,
    상기 감압실에는 상기 기재가 연속적으로 공급됨과 아울러, 상기 감압실로부터 상기 기재가 연속적으로 송출되고,
    상기 감압수단에 의해, 상기 한 쌍의 시트재의 내측의 공간을 감압하는 상기 공정에서는,
    상기 감압실 내에 위치하는 상기 기재 내부의 기체를 상기 감압수단으로 흡인(吸引)함으로써, 상기 한 쌍의 시트재의 내측의 상기 기재 내부의 공간의 기체가 흡인되는 적층시트의 제조방법.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 감압수단에 의해, 상기 한 쌍의 시트재의 내측의 공간을 감압하는 상기 공정에서는,
    상기 수지층을 상기 기재 내부에 함침(含浸)시키는 적층시트의 제조방법.
  5. 청구항 4에 있어서,
    적층체를 구성하는 상기 공정에서는, 상기 기재와 상기 시트를 압착하고, 상기 시트의 상기 수지층을 상기 기재에 함침시키는 적층시트의 제조방법.
  6. 청구항 3 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,
    적층체를 구성하는 상기 공정에서는,
    상기 기재의 표리면에 상기 시트의 상기 수지층을 겹쳐지게 함과 아울러, 상기 각 수지층의 반송방향에 따른 단부끼리를 압착하여, 상기 수지층 사이에 상기 기재를 내포(內包)시키는 적층시트의 제조방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 시트재는 상기 시트의 수지층의 상기 기재에 맞닿는 면과 반대 측의 면에 마련되고, 상기 수지층을 지지하는 지지체이며,
    상기 시트재가 부착된 상기 시트를 상기 감압실에 공급하고, 상기 시트재가 부착된 상기 시트의 상기 수지층을 상기 기재에 맞닿게 함으로써, 적층체를 구성하는 상기 공정과, 상기 한 쌍의 시트재에 의해 상기 적층체를 사이에 끼우는 상기 공정을 실시하는 적층시트의 제조방법.
  8. 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 시트재의 내측의 공간을 감압하는 상기 공정에서는,
    상기 한 쌍의 시트재의 대향하는 내면 사이에 공극(空隙)이 형성되고, 상기 공극 내를 감압함으로써, 상기 한 쌍의 시트재에 의해 상기 시트와 상기 기재를 압착하는 적층시트의 제조방법.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 한 쌍의 시트재의 내측의 공간을 감압하는 상기 공정 후, 상기 한 쌍의 시트재는 상기 적층체로부터 박리(剝離)되는 적층시트의 제조방법.
  10. 청구항 1 내지 9 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 시트재의 내측의 공간을 감압하는 상기 공정에서는,
    상기 적층체를 사이에 끼운 상기 한 쌍의 시트재가 대기압 이상의 분위기하에 위치하는 상태에서, 상기 감압수단에 의해, 상기 한 쌍의 시트재의 내측의 공간을 감압하는 적층시트의 제조방법.
  11. 청구항 1 내지 10 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 시트재의 내측의 공간을 감압하는 상기 공정에서는,
    상기 적층체를 반송하면서, 상기 한 쌍의 시트재의 내측의 공간을 감압하는 적층시트의 제조방법.
  12. 수지층을 가지는 시트의 상기 수지층을, 박판 모양의 기재의 편면 또는 양면에 접합하여 적층시트를 제조하는 적층시트 제조장치로서,
    상기 시트와 상기 기재가 공급되고, 감압수단에 의해 감압되는 감압실과,
    상기 감압실 내의 상기 시트와 상기 기재를 압착하여 적층체를 구성하는 압착수단과,
    상기 감압실로부터 송출된 적층체를 사이에 끼우는 2매의 시트재를 구비하고,
    상기 적층체를 상기 2매의 시트재 사이에 끼운 상태에서, 이 시트재 사이의 공간이 상기 감압실에 연통하며,
    상기 감압수단의 작동에 의해, 상기 감압실을 통하여 상기 공간이 감압되고, 상기 공간이 감압되는 것에 의해, 상기 적층체를 상기 2매의 시트재에 의해 눌러서, 상기 시트와 상기 기재를 압착하여, 상기 적층시트를 얻도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 적층시트 제조장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 각 시트재는 한 쌍의 롤러 사이에 무단(無端) 상태로 걸쳐서 돌려지고 있는 적층시트 제조장치.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 한 쌍의 롤러 사이에 배치되고, 상기 시트재를 반송하면서, 이 2매의 시트재의 반송방향과 평행한 가장자리부끼리를 밀착시키는 복수의 보조롤러를 구비하는 적층시트 제조장치.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 2매의 시트재의 상기 가장자리부끼리를 밀착시킬 때에 이 가장자리부를 가열하여 연화시키는 가열수단을 구비하는 적층시트 제조장치.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 가장자리부끼리의 밀착 후, 상기 연화한 가장자리부를 냉각하는 냉각수단을 구비하는 적층시트 제조장치.
  17. 청구항 12 내지 16 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기재를 송출하는 한 쌍의 제1 롤러와,
    상기 제1 롤러로부터 송출된 상기 기재가 공급되는 한 쌍의 제2 롤러와,
    상기 제1 롤러의 기재반송방향 하류 측에 배치됨과 아울러, 상기 제2 롤러의 기재반송방향 상류 측에 배치되고, 상기 한 쌍의 제1 롤러로부터 송출된 상기 기재의 표면 측 및 이면 측에 각각 배치된 제3 롤러를 구비하며,
    상기 한 쌍의 제2 롤러 중 한쪽은 상기 시트재가 무단 상태로 걸쳐진 상기 한 쌍의 롤러 중 한쪽의 롤러이고,
    상기 한 쌍의 제2 롤러 중 다른 쪽은 상기 시트재가 무단 상태로 걸쳐진 다른 상기 한 쌍의 롤러 중 한쪽의 롤러이며,
    상기 감압수단은,
    상기 한 쌍의 제1 롤러, 상기 한 쌍의 제2 롤러, 상기 제3 롤러로 둘러싸인 제2 공간 내를 감압하는 것이고,
    상기 한 쌍의 제1 롤러는 상기 제2 공간 내에 상기 기재를 송출하는 롤러이며,
    상기 기재의 표면 측 또는 이면 측에서, 한쪽의 상기 제3 롤러와 한쪽의 상기 제2 롤러와의 사이로부터, 상기 제2 공간 내를 향해서 상기 시트가 송출되고,
    상기 제2 롤러는 상기 기재와 상기 시트의 상기 수지층을 압착함과 아울러, 상기 기재 및 상기 시트를 포함하는 적층체를 상기 2매의 시트재 사이로 송출하는 롤러이며,
    상기 시트재 사이의 상기 공간은 상기 제2 공간과 연통하고 있는 적층시트 제조장치.
  18. 청구항 12 내지 17 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 2매의 시트재는, 각각, 고분자 필름으로 구성되어 있는 적층시트 제조장치.
  19. 반송방향으로 연통함과 아울러 표리면에 연통하는 구멍이 형성된 다공질기재와, 수지층이 연속적으로 공급되는 감압실과,
    상기 감압실 내를 감압하는 감압수단과,
    상기 감압실 내로 공급된 상기 다공질기재와 상기 수지층을 압착하여, 적층체를 구성하는 압착수단과,
    상기 감압실로부터 연속적으로 송출되는 상기 적층체를 가열하고, 상기 수지층을 상기 다공질기재에 함침시키는 함침수단을 구비하는 적층시트 제조장치.
  20. 청구항 19에 있어서,
    상기 압착수단은 상기 수지층을 압착한 후의 상기 다공질기재 내부의 구멍이 상기 감압실 내에 위치하여 상기 수지층이 압착되기 전의 상기 다공질기재의 구멍에 연통하는 정도로 상기 수지층과 상기 다공질기재를 압착하도록 구성되어 있고,
    당해 제조장치는 상기 감압실 내를 상기 감압수단에 의해 감압 상태로 하면서, 상기 압착수단에 의해서 얻어진 상기 적층체를 상기 함침수단으로 가열하도록 구성된 적층시트 제조장치.
  21. 청구항 20에 있어서,
    상기 감압실 내에는 상기 다공질기재와 한 쌍의 수지층이 공급되고,
    상기 압착수단은 상기 다공질기재와, 이 다공질기재를 사이에 끼워 배치된 상기 한 쌍의 수지층을 압착하고,
    상기 다공질기재의 반송방향과 직교하는 방향의 폭치수는 상기 각 수지층의 반송방향과 직교하는 방향의 폭치수보다도 작으며,
    상기 압착수단은 상기 한 쌍의 상기 수지층의 폭방향의 단부끼리를 압착하여, 상기 수지층 사이에 상기 기재를 내포시키는 수단인 적층시트 제조장치.
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