JP2012208351A - 測光装置および露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高圧もしくは超高圧水銀ランプである放電ランプ21を使用してパターンを形成する露光装置10において、照度演算制御部30および受光部40から構成される照度測定制御装置50を備え、受光部40の分光感度曲線L1を、感度のピークP1がh線(405nm)、i線(365nm)からシフトし、2つの輝線からほぼ中間の波長域に設ける。
【選択図】図2
Description
21 放電ランプ
30 照度演算制御部
40 受光部
41 受光素子
42 フィルタ
50 照度測定制御装置
100 照度計
110 受光部
114 フィルタ
120 本体
Claims (15)
- g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)の輝線を含む光を放射する放電ランプと、
受光部を有し、前記放電ランプから放射される光を測定する光測定手段と、
前記光測定手段における測定値に基づき、前記放電ランプへ供給する電力を調整する照明調整手段とを備え、
前記光測定手段が、g線、h線、i線のうち隣り合う2つの輝線間にピーク感度のある分光感度特性を有することを特徴とする露光装置。 - 前記分光感度特性における分光感度曲線の半値幅が、前記隣り合う2つの輝線間の波長域よりも広いことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記分光感度特性において、前記隣り合う2つの輝線における感度が、ともに前記ピーク感度の85パーセント以下であることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記分光感度特性が、i線とh線との間の波長域(365nm〜405nm)にピーク感度を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の露光装置。
- 前記分光感度特性が、h線とg線との間の波長域(405nm〜436nm)にピーク感度のある分光感度特性を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の露光装置。
- 前記分光感度特性における分光感度曲線が、前記ピーク感度を中心とした略ガウス分布曲線によって表されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の露光装置。
- 前記光測定手段が、前記放電ランプから放射される光の照度を測定し、
前記照明調整手段が、一定照度を維持するように供給電力を調整することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の露光装置。 - 前記放電ランプが、水銀を0.2mg/mm3以上封入した水銀ランプであることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の露光装置。
- 受光素子と、入射光路上に配置されるフィルタとを有する受光部と、
前記受光素子に入射する光に基づいて、測光演算する測定部とを備え、
前記受光部が、g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)のうち隣り合う2つの輝線間にピーク感度のある分光感度特性を有することを特徴とする測光装置。 - 前記分光感度特性における分光感度曲線の半値幅が、前記隣り合う2つの輝線間の波長域よりも広いことを特徴とする請求項9に記載の測光装置。
- 前記分光感度特性において、前記隣り合う2つの輝線における感度が、ともに前記ピーク感度の85パーセント以下であることを特徴とする請求項9に記載の測光装置。
- 前記分光感度特性が、i線とh線との間の波長域(365nm〜405nm)にピーク感度を有することを特徴とする請求項9乃至11のいずれかに記載の測光装置。
- 前記分光感度特性が、h線とg線との間の波長域(405nm〜436nm)にピーク感度のある分光感度特性を有することを特徴とする請求項9乃至11のいずれかに記載の測光装置。
- 測光装置本体に信号ケーブルを介して接続可能であり、
受光素子と、
入射光路上に配置されるフィルタとを備え、
輝線であるg線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)のうち隣り合う2つの輝線間にピーク感度のある分光感度特性を有することを特徴とする測光装置の受光部。 - 受光素子と、入射光路上に配置されるフィルタとを有する受光部と、
前記受光素子に入射する光に基づいて、測光演算する測定部とを備え、
前記受光部が、隣り合う2つの輝線間にピーク感度のある分光感度特性を有することを特徴とする測光装置。
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