JPH04343032A - 露光装置用照度計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レジスト膜が形成され
たウェーハに光を放射し、ウェーハにパターンを転写す
る露光装置における光源の照度を測定する露光装置用照
度計に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の露光装置用照度計は、図
面には示さないが、光電変換する受光素子と、この受光
素子の上を被せるとともに透過する波長を制限するフィ
ルタと、光から変換される電流値を表示回路部とを有し
ていた。

【０００３】図３は従来の露光装置用照度計の一例にお
けるスペクトル成度を示すグラフ、図４は水銀ランプが
放射する相対分光強度を示すグラフ、図５（ａ）及び（
ｂ）は水銀ランプにおける相対分光強度の時間経過に対
する変化を説明するためのグラフである。また、通常、
露光装置における露光用光源ランプとしては、水銀ラン
プが使用されてきた。この水銀ランプの相対分光強度は
、図４に示すように、５００ｎｍ以下の紫外線領域の光
から５００〜６００ｎｍの可視領域の波長をもっている
。そして露光光として使用される波長光は、図５に示す
５００ｎｍ以下の紫外線領域における３６５ｎｍ，４０
５ｎｍ及び４３６ｎｍの輝線スペクトルであった。 さらに、この水銀ランプは、時間とともに相対分光強度
は変化し、図５（ａ）の点灯開始時と図５（ｂ）の５０
０時間経過後とでは、輝線スペクトル３６５ｎｍにおい
ては、著しく低下する。

【０００４】一方、光量を設定する照度計のスペクトル
成度は、図３に示すように、４００ｎｍ附近が高く、こ
るを境にして波長の短い方向及び長い方向に行くに従っ
て、急激に低下していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
露光装置用照度計では、成度のピークが４００ｎｍ付近
であるため、図５（ａ）から図５（ｂ）に相対分光強度
が変化すると、正確に照度測定は出来ず、光量設定が出
来ないという問題がある。

【０００６】本発明の目的は、かかる問題を解消すべく
、露光すべき光の波長光における強度を正確に測定出来
る露光装置用照度計を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の露光装置
用照度計は、レジスト膜が形成されるウェーハを露光す
る光強度を測定する露光装置用照度計において、前記光
強度を電流に変換する受光素子と、この受光素子の上に
配置され、前記露光光の所定の波長を透過する複数のバ
ンドパスフィルタに分割されるフィルタとを備えている
。また、本発明の第２の露光装置用照度計は、前記受光
素子が前記バンドパスフィルタに対応して分割されてい
ることを特徴としている。

【０００８】

【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１（ａ）及び（ｂ）は本発明の露光装置用照度計の
一実施例における概略を示す図である。この露光装置用
照度計は、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、受光素
子上のフィルタを分割フィルタ２としたことである。 すなわち、この分割フィルタは、４３６ｎｍの波長の光
を透過するバンドパスフィルタ２ａと、４０５ｎｍ，３
６５ｎｍの波長の光を透過するバンドスフィルタ２ｂ及
び２ｃとに分割したことである。勿論、これらのフィル
タの相対的な透過度は、ウェーハ露光において使用する
フォトレジストの感度にあわせてあり、したがって、こ
の分割フィルタ２を使用している照度計では、上記の３
波長の照度が別々に変化した場合でもウェーハ露光に適
正な照度表示が行えるとともに正確な光量設定が出来る
。

【０００９】図２は本発明の露光装置用照度計の他の実
施例における概略を示す図である。この実施例における
露光装置用照度計では、前述の実施例における分割フィ
ルタ２を使用し、受光素子１ａが分割されたバンドパス
フィルタに対応して３分割されており、それぞれの受光
素子で光電変換された電気信号Ｓａから電気信号Ｓｃま
で得られる。この信号をそれぞれ増幅回路３ａ，３ｂ及
び３ｃで可変調整することができる。この実施例では、
それぞれの波長別の照度表示が行えるため、フェトレジ
ストの感度特性が変更になった場合の調整が容易に行え
るという利点がある。

【００１０】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、受光素子
上のフィルタを、露光光源として使用される露光波長の
３波長それぞれ透過するバンドパスフィルタに分割しフ
ォトレジストの感度に応じた波長光の光強度を測定する
ことによって、水銀ランプの露光光源の光の波長光にお
ける光強度を正確に測定出来る露光装置用照度計が得ら
れるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の露光装置用照度計の一実施例における
概略を示し、（ａ）は全体の構成を示す図、（ｂ）は分
割フィルタの平面図である。

【図２】本発明の露光装置用照度計の他の実施例におけ
る概略を示す図である。

【図３】従来の露光装置用照度計の一例におけるスペク
トル感度を示すグラフである。

【図４】水銀ランプが放射する光の相対分光強度を示す
グラフである。

【図５】水銀ランプにおける相対分光強度の時間経過に
対する変化を説明するためのグラフである。

【符号の説明】

１，１ａ　　　　受光素子 ２　　　　分割フィルタ ２ａ，２ｂ，２ｃ　　　　バンドパスフィルタ３ａ，３
ｂ，３ｃ　　　　増幅器 ４　　　　表示回路

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　レジスト膜が形成されるウェーハを露
   光する光強度を測定する露光装置用照度計において、前
   記光強度を電流に変換する受光素子と、この受光素子の
   上に配置され、前記露光光の所定の波長を透過する複数
   のバンドパスフィルタに分割されるフィルタとを備える
   ことを特徴とする露光装置用照度計。
2. 【請求項２】　　前記受光素子が前記バンドパスフィル
   タに対応して分割されていることを特徴とする請求項１
   記載の露光装置用照度計。