JP2012206295A - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズルプレート31が導電性セラミックスからなり、ノズルプレート31は接地されているので、ノズルプレート31に電荷が蓄積しにくく、電荷がノズル開口310から圧力発生室320を満たしたインクを流れて、振動板33に到達しにくい。したがって、振動板33に蓄積した電荷による振動板33の絶縁破壊を抑えることができ、駆動回路370の損傷が抑えられたインクジェット式記録ヘッド100を得ることができる。
【選択図】図4
Description
液体噴射ヘッドの一種に、駆動回路からの駆動信号に従って、振動板の表面に形成された圧電素子に電圧を印加して撓み変形させることで液滴を噴射させるようにしたものがある。この液体噴射ヘッドは、振動板、振動板が一部を構成する圧力発生室、ノズル開口、マニホールドを備えたヘッドユニットを有している。ヘッドユニットは、振動板、流路形成基板、ノズル開口が形成されたノズルプレート等を積み重ねて製造される。
例えば、セラミックスからなる板部材を一体に焼成接続した液体噴射ヘッドとしてのインクジェット記録ヘッドが知られている(例えば、特許文献1参照)。
圧力発生室および液体流路の隔壁が形成されたセラミックスからなる流路形成基板と、前記流路形成基板の一方面に配置され、前記圧力発生室および前記液体流路の一部を構成し、絶縁性セラミックスからなる振動板と、前記振動板を挟んで前記圧力発生室に対向する前記振動板上に形成され、一対の電極を備えた圧電素子と、前記電極に接続された駆動回路と、前記圧力発生室と連通したノズル開口が形成され、導電性セラミックスからなるノズルプレートとを備えていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
上記液体噴射ヘッドにおいて、前記ノズルプレートを収める導電性のカバーケースを備え、前記ノズルプレートは前記カバーケースを介して接地されることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、導電性のカバーケースを介してノズルプレートが接地されているので、前述の効果が達成できるとともに、ノズルプレートの保護ができる液体噴射ヘッドが得られる。
上記液体噴射ヘッドにおいて、前記流路形成基板、前記振動板および前記ノズルプレートが一体焼成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、セラミックスからなる流路形成基板、振動板およびノズルプレートが一体焼成されているので、熱収縮による流路形成基板、振動板およびノズルプレート間の位置ずれが少なく、組み立ての行い易い液体噴射ヘッドが得られる。
上記に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
図1はプリンター1000の概略構成を示す図である。図1中、X方向は、キャリッジ104が移動する主走査方向を示し、Y方向は、記録媒体Pが移送される副走査方向を示している。Z方向は、X方向およびY方向と直交する方向である。
そのため、モーター109が作動すると、キャリッジ104は、プリンター1000に架設されたガイドロッド110に案内されて、主走査方向であるX方向に往復移動する。
図2において、インクジェット式記録ヘッド100は、取り付け板10とケースヘッド20とヘッドユニット30とカバーケース40とを有している。ケースヘッド20の底部にはヘッドユニット30が配置され、ヘッドユニット30はカバーケース40に収められている。ヘッドユニット30およびカバーケース40は、1つしか描かれていないが、複数を組み合わせた構成であってもよい。
図3および図4において、ヘッドユニット30は、図1に示した記録媒体Pに対向する位置に、ノズルプレート31を有している。ノズルプレート31には、インクを噴射するためのノズル開口310が形成されている。ノズル開口310は、ドット形成密度に応じたピッチで開設されている。
ノズルプレート31の上には、ノズルプレート31にインクを供給するための流路形成基板32、振動板33、リザーバープレート34およびコンプライアンス基板35が積層されている。
圧力発生室320のインクジェット式記録ヘッド100の長手方向であるY方向と直交する幅方向であるX方向の断面形状は矩形状で、圧力発生室320は、インクジェット式記録ヘッド100の幅方向であるX方向に長く形成されている。この方向を圧力発生室320の長手方向とする。断面形状は矩形状に限らず、例えば、台形状であってもよい。
振動板33には、電圧が印加されるとたわみ振動をする圧電素子36が形成されている。図3において、圧電素子36は、共通電極で接地されている下電極360と圧電体361と個別電極としての上電極362とを備えている。
圧電素子36は、振動板33を挟んで、圧力発生室320とは反対側の振動板33の表面に、圧力発生室320を覆い隠すように形成され、各圧力発生室320に対応してノズル列方向に列設されている。
圧電体361の膜の製造方法としては、金属有機物を触媒に溶解・分散したいわゆるゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに高温で焼成することで金属酸化物からなる圧電体361の膜を得る、いわゆるゾル−ゲル法を用いることができる。
なお、ゾル−ゲル法に限定されず、例えば、MOD(Metal−Organic Decomposition)法等を用いてもよい。さらに、これらの液相法による圧電体361の膜の製造方法に限定されず、スパッタリングなどの蒸着法を用いた圧電体361の膜の製造方法であってもよい。
導電性セラミックスは、アルミナやジルコニア等の絶縁性セラミックスに導電性の粒子を分散させたものを用いることができる。例えば、導電性の粒子としては、シリコンの粒子を用いることができる。
例えば、グリーンシート(未焼成のシート材)に対して切削や打ち抜き等の加工を施して必要な通孔等を形成し、ノズルプレート31、流路形成基板32および振動板33の各シート状前駆体を形成する。
そして、各シート状前駆体を積層し焼成することにより、各シート状前駆体は一体化されて1枚のセラミックスシートとなる。この場合、各シート状前駆体は一体焼成されるので、特別な接着処理が不要である。また、各シート状前駆体の接合面において高いシール性を得ることもできる。
フレキシブル基板37は、COF(Chip On film)基板を用いることができる。
フレキシブル基板37は、図2に示したケースヘッド20に配置されているケースヘッド側基板13と接続され、ケースヘッド側基板13から電力の供給を受ける構成となっている。フレキシブル基板37には、図2に示したケースヘッド側基板13からの駆動信号を圧電素子36に対して選択的に供給する制御を行う駆動回路370が実装されている。
(1)ノズルプレート31が導電性セラミックスからなり、ノズルプレート31は接地されているので、ノズルプレート31に電荷が蓄積しにくく、電荷がノズル開口310から圧力発生室320を満たしたインクを流れて、振動板33に到達しにくい。したがって、蓄積した電荷による振動板33の絶縁破壊を抑えることができ、駆動回路370の損傷が抑えられたインクジェット式記録ヘッド100を得ることができる。
例えば、流路形成基板32が導電性セラミックスで形成されていてもよい。
Claims (4)
- 圧力発生室および液体流路の隔壁が形成されたセラミックスからなる流路形成基板と、
前記流路形成基板の一方面に配置され、前記圧力発生室および前記液体流路の一部を構成し、絶縁性セラミックスからなる振動板と、
前記振動板を挟んで前記圧力発生室に対向する前記振動板上に形成され、一対の電極を備えた圧電素子と、
前記電極に接続された駆動回路と、
前記圧力発生室と連通したノズル開口が形成され、導電性セラミックスからなるノズルプレートとを備えている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記ノズルプレートを収める導電性のカバーケースを備え、
前記ノズルプレートは前記カバーケースを介して接地される
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1または請求項2に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記流路形成基板、前記振動板および前記ノズルプレートが一体焼成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えた
ことを特徴とする液体噴射装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011071872A JP5903769B2 (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
US13/431,812 US8622526B2 (en) | 2011-03-29 | 2012-03-27 | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
CN2012201203620U CN202640996U (zh) | 2011-03-29 | 2012-03-27 | 液体喷射头和液体喷射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011071872A JP5903769B2 (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012206295A true JP2012206295A (ja) | 2012-10-25 |
JP5903769B2 JP5903769B2 (ja) | 2016-04-13 |
Family
ID=46926673
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011071872A Active JP5903769B2 (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8622526B2 (ja) |
JP (1) | JP5903769B2 (ja) |
CN (1) | CN202640996U (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6939051B2 (ja) * | 2017-04-26 | 2021-09-22 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP6990053B2 (ja) * | 2017-07-10 | 2022-01-12 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP7196641B2 (ja) * | 2018-06-19 | 2022-12-27 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07156396A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-20 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
JPH10305574A (ja) * | 1997-05-09 | 1998-11-17 | Kyocera Corp | インクジェットプリンタヘッド |
JP2000015003A (ja) * | 1998-07-02 | 2000-01-18 | Ngk Insulators Ltd | 原料・燃料用吐出装置 |
JP2000015819A (ja) * | 1998-07-06 | 2000-01-18 | Ngk Insulators Ltd | 液体吐出装置用ノズル及びその製造方法 |
JP2001141649A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-05-25 | Shimadzu Corp | フレーム式原子吸光分光光度計 |
US6273544B1 (en) * | 1998-10-16 | 2001-08-14 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printhead having a self aligned nozzle |
JP2002031062A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-01-31 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置 |
EP1275440A1 (en) * | 2001-07-11 | 2003-01-15 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Electrostatic coating device and method |
JP2003024835A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 静電塗布装置および静電塗布方法 |
JP2003341079A (ja) * | 2002-05-28 | 2003-12-03 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
JP2006175667A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド |
US20060164467A1 (en) * | 2004-12-21 | 2006-07-27 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting head |
JP2006256231A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法 |
JP2007062367A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-03-15 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2007190684A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Seiko Epson Corp | ヘッドユニットおよび液体吐出装置 |
JP2009149104A (ja) * | 1998-10-16 | 2009-07-09 | Silverbrook Research Pty Ltd | ページ幅インクジェットプリントヘッド及び同プリントヘッドを駆動する方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6494566B1 (en) | 1997-01-31 | 2002-12-17 | Kyocera Corporation | Head member having ultrafine grooves and a method of manufacture thereof |
JPH10286956A (ja) | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録ヘッド |
EP1837181A3 (en) * | 2006-03-20 | 2009-04-29 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for producing piezoelectric actuator, method for producing liquid droplet jetting apparatus, piezoelectric actuator, and liquid droplet jetting apparatus |
JP5206956B2 (ja) * | 2008-02-06 | 2013-06-12 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP5708098B2 (ja) * | 2011-03-18 | 2015-04-30 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置および画像形成装置 |
-
2011
- 2011-03-29 JP JP2011071872A patent/JP5903769B2/ja active Active
-
2012
- 2012-03-27 CN CN2012201203620U patent/CN202640996U/zh not_active Expired - Lifetime
- 2012-03-27 US US13/431,812 patent/US8622526B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07156396A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-20 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
JPH10305574A (ja) * | 1997-05-09 | 1998-11-17 | Kyocera Corp | インクジェットプリンタヘッド |
JP2000015003A (ja) * | 1998-07-02 | 2000-01-18 | Ngk Insulators Ltd | 原料・燃料用吐出装置 |
JP2000015819A (ja) * | 1998-07-06 | 2000-01-18 | Ngk Insulators Ltd | 液体吐出装置用ノズル及びその製造方法 |
US6273544B1 (en) * | 1998-10-16 | 2001-08-14 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printhead having a self aligned nozzle |
JP2009149104A (ja) * | 1998-10-16 | 2009-07-09 | Silverbrook Research Pty Ltd | ページ幅インクジェットプリントヘッド及び同プリントヘッドを駆動する方法 |
JP2001141649A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-05-25 | Shimadzu Corp | フレーム式原子吸光分光光度計 |
JP2002031062A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-01-31 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置 |
JP2003024835A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 静電塗布装置および静電塗布方法 |
EP1275440A1 (en) * | 2001-07-11 | 2003-01-15 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Electrostatic coating device and method |
JP2003341079A (ja) * | 2002-05-28 | 2003-12-03 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
JP2006175667A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド |
US20060164467A1 (en) * | 2004-12-21 | 2006-07-27 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting head |
JP2006256231A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法 |
JP2007062367A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-03-15 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2007190684A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Seiko Epson Corp | ヘッドユニットおよび液体吐出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN202640996U (zh) | 2013-01-02 |
US8622526B2 (en) | 2014-01-07 |
US20120249682A1 (en) | 2012-10-04 |
JP5903769B2 (ja) | 2016-04-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131213 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140718 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140922 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160216 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160229 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5903769 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |