JP2008094002A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力発生室12が設けられた流路形成基板10と、該流路形成基板10の前記圧力発生室12に対応する領域に絶縁膜55を介して設けられた下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300とを具備し、前記圧電素子300は、前記圧力発生室12に相対向する領域に実質的な駆動部となる圧電体能動部320と、前記下電極60が除去された除去部61によって形成された実質的に駆動されない圧電体非能動部330とを具備し、前記圧電体非能動部330を前記圧力発生室12に相対向する領域に当該圧力発生室12の長手方向に亘って所定の間隔で複数設ける。
【選択図】図3
Description
かかる第1の態様では、圧電素子の駆動時に圧電体非能動部によって圧電素子の長手方向の撓み変形による応力集中を緩和して、圧電素子の長手方向の応力集中に起因する短手方向のクラックの発生を防止することができる。また、下電極を除去した除去部によって圧電体非能動部を設けることによって、圧電素子の剛性を低下させて圧電素子の変位量を確保することができ、液体噴射特性が低下するのを防止することができると共に圧電素子の静電容量を小さくすることができ、消費電力を小さくすることができる。
かかる第2の態様では、除去部の幅方向両側に圧電体能動部が形成されるのを防止して、圧電素子の長手方向の応力集中を確実に防止することができる。
かかる第3の態様では、、圧電素子の駆動時に長手方向の応力集中を確実に緩和することができると共に、圧電素子の剛性を低下させて圧電体非能動部が圧電体能動部に追随して変位する変位量を確保することができるため、液体噴射特性が低下するのを確実に防止することができる。
かかる第4の態様では、圧電素子の変位量を確保して排除堆積の低下を確実に防止することができると共に、圧電素子の長手方向の応力集中を確実に防止することができる。
かかる第5の態様では、圧電体非能動部の剛性をさらに低下させて、圧電体非能動部が圧電体能動部に追随して変位する変位量を確保することができ、液体噴射特性が低下するのを確実に防止することができる。
かかる第6の態様では、共通電極である下電極に除去部を設けるようにしたため、圧電素子の電極が断線したり、電気抵抗が高くなるのを確実に防止することができる。
かかる第7の態様では、圧電素子及び振動板の破壊を防止して、信頼性を向上することができると共に、消費電力を小さくすることができる液体噴射装置を実現できる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、流路形成基板の平面図及び圧力発生室の長手方向の断面図であり、図3は、図2のA−A′断面の要部を拡大した図及びB−B′断面の要部を拡大した図である。
以上、本発明の実施形態1を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。上述した実施形態1では、流路形成基板10及び流路形成基板用ウェハ110として、結晶面方位が(110)面のシリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、結晶面方位が(100)面のシリコン単結晶基板を用いるようにしてもよく、また、SOI基板、ガラス等の材料を用いるようにしてもよい。
Claims (7)
- 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に対応する領域に絶縁膜を介して設けられた下電極、該下電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた上電極からなる圧電素子とを具備し、
前記圧電素子は、前記圧力発生室に相対向する領域に実質的な駆動部となる圧電体能動部と、前記下電極が除去された除去部によって形成された実質的に駆動されない圧電体非能動部とを具備し、前記圧電体非能動部が、前記圧力発生室に相対向する領域に当該圧力発生室の長手方向に亘って所定の間隔で複数設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記圧力発生室の短手方向における前記除去部の幅が、前記圧電体能動部の幅よりも幅広に設けられていることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧力発生室の長手方向における前記除去部の長さが、前記圧力発生室の短手方向の幅よりも幅広に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッド。
- 互いに隣接する前記除去部の間隔が、前記圧力発生室の短手方向の幅以上で、且つ前記圧力発生室の短手方向の幅の2倍以下であることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体非能動部の前記圧電体層の厚さが、前記圧電体能動部の厚さよりも薄いことを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記下電極が複数の圧電素子に亘って設けられて共通電極となっていると共に、前記上電極が複数の圧電素子毎に設けられて個別電極となっていることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜6の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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