JP2012169002A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】データを保持可能なメモリセルが列及び行に沿って設けられたメモリセルアレイ1と、前記メモリセルの電流経路の一端と接続されるビット線と、前記ビット線の他端と接続され、前記データの読み出し時において、前記ビット線の前記他端とチャージシェア動作を行う第1ノードN1を備え、この第1ノードに一方の電極が接続されたキャパシタ素子84によって保持される電荷に応じた電位をラッチするセンスアンプ5と、前記キャパシタ素子の他方の電極に電圧を印加し、前記第1ノードをブーストするドライバ回路85とを具備し、前記ドライバ回路は、前記チャージシェア動作前から前記メモリセルの保持する前記データのラッチ動作が完了するまでの期間、前記他方の電極に前記電圧を印加する。
【選択図】図11
Description
メモリセルトランジスタMTは閾値分布として、消去状態(以下、“1”データ)とプログラム状態(以下、“0”データ)とのいずれか分布を取る。本実施形態では、メモリセルトランジスタMTが保持する“1”データを読み出す際、ビット線とチャージシェア動作を行うセンスアンプの検知部(後述するノードN1)の電位をブーストする事で、読み出しマージンを確保するものである。
1.全体構成例について
図1に示すように本実施形態に係る半導体記憶装置は、メモリセルアレイ1、ロウデータ2、データ入出力回路3、制御部4、及びセンスアンプ5を備える。
メモリセルアレイ1は、複数の不揮発性のメモリセルトランジスタMTを含んだブロックBLK0乃至BLKsを備える(sは自然数)。ブロックBLK0乃至BLKsの各々は、不揮発性のメモリセルトランジスタMTが直列接続された複数のNANDストリング10を備えている。NANDストリング10の各々は、例えば64個のメモリセルトランジスタMTと、選択トランジスタST1、ST2とを含んでいる。
図2を用いて上記メモリセルトランジスタMTの閾値分布について説明する。図2は、横軸に閾値分布(電圧)をとり、縦軸にメモリセルトランジスタMTの数を示したグラフである。
図3を用いて、上記メモリセルトランジスタMTが上記いずれかの閾値分布を保持した際に、メモリセルトランジスタMTのチャネルに流れる電流(Icell)について説明する。図3は、横軸に電流分布をとり、縦軸にメモリセルトランジスタMTの数を示したグラフである。
図1に戻ってロウデコーダ2について説明する。ロウデコーダ2は、データの書き込み動作時、読み出し動作時、及び消去時において、制御部4から与えられるブロック選択信号をデコードし、その結果に基づいてブロックBLKを選択する。次いで、選択したブロックBLKに対し書き込み電圧、読み出し電圧、及び消去電圧のいずれかを転送する。具体的には、ロウデコーダ2は書き込み電圧として、書き込み対象のメモリセルトランジスタMTに転送する選択書き込み電圧(以下、電圧Vpgm)とそれ以外のメモリセルトランジスタMTに転送する非選択書き込み電圧(以下、電圧Vpass)を転送する。また、ロウデコーダ2は、読み出し電圧として、読み出し対象のメモリセルトランジスタMTに転送する選択読み出し電圧(以下、Vcgr)とそれ以外のメモリセルトランジスタMTに転送する非選択読み出し電圧(以下、電圧Vread)を転送する。また、消去時には、選択ブロックBLKを貫通する全ワード線WLにゼロ電位を転送する。なお、この際、メモリセルトランジスタMTが配置される半導体基板(ウェル領域)には、正の高電圧が印加される。
データ入出力回路3は、図示せぬI/O端子を介してホスト(host)から供給されたアドレス及びコマンドを制御部4へ出力する。またデータ入出力回路3は、書き込みデータを、データ線Dlineを介してセンスアンプ5へと出力する。データをホストへ出力する際は、制御部4の制御に基づき、センスアンプ5が増幅したデータを、データ線Dlineを介して受け取った後、I/O端子を介してホストへ出力する。
制御部4は、NAND型フラッシュメモリ全体の動作を制御する。すなわち、データ入出力回路3を介して、図示せぬホストから与えられた上記アドレス、及びコマンドに基づいて、データの書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作における動作シーケンスを実行する。制御部4はアドレス、及び動作シーケンスに基づき、ブロック選択信号/カラム選択信号を生成する。
センスアンプ5は、データの読み出し時にメモリセルトランジスタMTからビット線BLに読み出されたデータをセンスして増幅する。またデータの書き込み時には、対応するビット線BLに書き込みデータを転送する。具体的には、ビット線BLを所定の電圧にプリチャージした後、ビット線BLを放電させ、そのビット線BLの放電状態をセンスする。つまり、センスアンプ5でビット線BLの電圧を増幅してメモリセルトランジスタMTの有するデータをセンスする。
図4に示すようにセンスアンプ5は、プライマリデータキャッシュ(PDC)、ダイナミックデータキャッシュ(DDC)、テンポラリデータキャッシュ(TDC)、及びMOSトランジスタ6を有している。すなわち、本実施形態に係るセンスアンプ5は、2値データに対応したセンスアンプである。図示するように、カラム選択MOSトランジスタ65の電流経路の一端はノードN1bに接続され、他端は入出力データ線Dline(信号線I/O)に接続される。入出力データ線DlineからこのMOSトランジスタ65を介して、“L”または“H”レベルいずれかの信号がPDCに入出力される。
次に、図5〜図8を用いて上記構成におけるデータの読み出し動作について説明する。なお、奇数ビット線BL(i+1)と偶数ビット線BLiとに行うプリチャージ動作は同一であることから、ここでは偶数ビット線BLiが選択ビット線BLとされた場合についてのみ説明する。すなわち、以下読み出し動作時において奇数ビット線BL(i+1)の電圧は非選択電圧(電圧VDD)まで充電される。
図5に示すように、信号BLPRE、信号BLCLAMP、及び信号BLSiをそれぞれ“H”レベルとし、MOSトランジスタ76、81、及び6cをオン状態とする。これにより、電圧VDDがMOSトランジスタ76、81、及び6cを介して偶数ビット線BLiに供給される。この際、ノードN12の電圧も電圧VDDとされる。
次に、図6に示すように信号BLCLAMP、信号BLSiをそれぞれ“L”レベルとする。これにより、偶数ビット線BLiへのプリチャージが停止される。ここで、ロウデコーダ2から選択ワード線WLに読出しレベルとしての電圧Vcgrが供給され、またロウデコーダ2から非選択ワード線WLに電圧Vreadが供給される。選択ワード線WLに接続されたメモリセルトランジスタMTの閾値電圧が、電圧Vcgrより低い場合(非書込み状態である場合、図2参照)、このメモリセルトランジスタMTはオン状態とされる。非選択メモリセルトランジスタMTは電圧Vreadによりオン状態とされているため、NANDストリング10の全てのメモリセルトランジスタMTがオン状態となり、電流Icell_onが流れる(図3参照)。これによって、ビット線BLの電位(電荷)がソース線SLに放電される。
次に、ドライバ回路85によるブースト動作について説明する。制御部4はドライバ回路85に対し、例えば電圧VDDを供給するよう制御する。これに対し、ドライバ回路85は、電圧VDDをキャパシタ素子84の他方の電極に供給する。これによって、ノードN12の電位は、電圧VDD×2までブーストされる。
図7に示すように、信号BLCLAMP及び信号BLSiをそれぞれ“H”レベルに設定し、偶数ビット線BLiとノードN12とを電気的に接続する。これにより、チャージトランスファが生じる。すなわち、NANDストリング10が導通状態である場合、偶数ビット線BLiの電荷がソース線SLに向かって放電される。この結果、例えブースト状態であっても、ノードN12は電圧VDD×2から例えばゼロ電位へと遷移する。つまり、ノードN12における電荷が、偶数ビット線BLiに移動する。これは、ノードN12の配線容量よりも、偶数ビット線BLi容量の方が大きいからである。
図8を用いてセンスについて説明する。センス動作は信号SEN1を“H”レベルとしてビット線BL(配線83)の電位をPDCに取り込む動作である。NANDストリング10が導通した結果、ノードN12の電位が例えばゼロ電位まで遷移するとMOSトランジスタ79はオフ状態とされる。このため、信号SEN1が“H”レベルとされMOSトランジスタ80がオン状態とされた場合であっても、PDCのノードN1b(以下、PDC(ノードN1b)と表記する)は“H”レベルを保持する。
次に、図9を用いて上記データの読み出し動作において、各信号に着目した場合について説明する。図9は、半導体記憶装置の読み出し動作における各信号の遷移を示したタイムチャートである。縦軸にビット線BLの電位、MOSトランジスタ81のゲートに供給される信号BLCLAMP、ドライバ回路85の出力、MOSトランジスタ6cのゲートに供給される信号BLSi、及びノードN12の電位を取り、横軸に時間をとる。
<本実施形態に係る効果>
本実施形態に係る半導体記憶装置であると、以下(1)〜(3)の効果を得ることが出来る。
(1)チャージトランスファの動作速度が向上する。
本実施形態に係る半導体記憶装置であると、前述した様に、ノードN12の電位はブーストされた結果、電圧VDDから電圧VDD×2まで上昇する。例えば、ディスチャージの後、NANDストリング10が導通したことでビット線BLの電位がゼロ電位とされた場合を想定する。この場合、MOSトランジスタ81におけるソース−ドレイン間の電位差Vdsは電圧(VDD×2−0)、すなわち電圧VDD×2の電位差が生じる。したがって、電圧Vdsを大きくすることが出来ることから、例えノードN12の電位を電圧VDD×2としてもチャージトランスファ動作速度が向上する。
本実施形態に係る半導体記憶装置であると、チャージトランスファ動作に入る前に、制御部4によってタイミング制御されたドライバ回路85がキャパシタ素子84の一方の電極に電圧VDDを供給する。これによってノードN12の電位が、電圧VDDから電圧VDD×2までブーストされる。この電圧VDD×2の値が、MOSトランジスタ79の閾値電圧VtTP2よりも十分高い値であるため、“0”Read Marginを大きく取ることが出来る。この様子について図10(a)、及び(b)を用いて説明する。図10(a)は、図9を拡大し、本実施形態に係るノードN12の電位とMOSトランジスタ79の閾値電圧VtTP2との電位差に着目したタイムチャートである。図10(b)は、本実施形態に係る半導体記憶装置に対する比較例であって、ノードN12をブーストしない、つまり電圧VDDのノードN12とMOSトランジスタ79の閾値電圧VtTP2との電位差に着目したタイムチャートである。
上記効果について、図11(a)及び図11(b)を用いて説明する。図11(a)は、図10においてビット線BLとノードN12に着目したタイムチャートである。具体的には、ビット線BLに流れる電流Icellの値を変化させ、変化させたそれぞれの電流Icellにおいてチャージトランスファ動作を行ったときのノードN12の電位変化について示したタイムチャートである。また、図11(b)は、図11(a)に示したビット線BLに流れる電流IcellとノードN12の電圧との関係を示したグラフ、すなわちI−V特性のグラフである。
次に、第2の実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。本実施形態に係る半導体記憶装置は、センスアンプ5においてブーストダウンする際の電流経路をビット線BLからプリチャージ経路に変更したものである。図12を用いて本実施形態に係るブーストダウンについて説明する。なお、本実施形態に係るセンスアンプ5の構成は上記第1の実施形態と同一である為、説明を省略する。
図12は、上記図4で示したセンスアンプ5の回路図であって、ブーストダウンの動作を行う経路を示したものである。図示するように、ノードN12のブーストダウンは、MOSトランジスタ76をオン状態とすることで行う。この際、MOSトランジスタ76の電流経路の一端には、電圧VSSが供給される。つまり、ブーストダウンする場合には、信号BLPREを“H”レベルとしMOSトランジスタ76をオン状態とすることで、ラッチ回路LAT1の保持データに関わらずノードN12を接地させる。
本実施形態に係る半導体記憶装置であると、上記(1)〜(3)の効果に加え、更に(4)の効果を得ることが出来る。
(4)制御を簡素化する事が出来る。
本実施形態に係る半導体記憶装置であると、上述したように、ノードN12のブーストダウンはプリチャージ経路を用いる。この為、上記第1の実施形態におけるMOSトランジスタ81のゲートに供給する信号BLCLAMP(=電圧Vtr+Vth1)を、ブーストダウンの際に発生させなくてもよい。つまり、上記第1の実施形態では、制御部4は、読み出し動作の中で信号BLCLAMPとして、さまざまな電圧を発生する。具体的には図9でも説明したように、制御部4は電圧(Vclamp+Vth1)や、電圧(Vsen+Vth1)などに加え、電圧(Vtr+Vth1)を発生させる必要性があった。
次に、第3の実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。本実施形態に係る半導体記憶装置は、ノードN12のセンスアンプ5においてブーストダウンする際の電流経路を、DDCを経由してノードN12とMOSトランジスタ76の電流経路の一端とを電気的に接続する経路に変更したものである。DDCはトランスファゲートとして機能する。図13を用いて本実施形態に係るブーストダウンについて説明する。なお、本実施形態に係るセンスアンプ5の構成は上記第1の実施形態と同一である為、説明を省略する。
図13は、上記図4で示したセンスアンプ5の回路図であって、ブーストダウンの動作を行う経路を示したものである。上述したように、ノードN12の電位をブーストダウンする際には、ノードN12と、DDCを構成するMOSトランジスタ75及び77を経由し、電圧VSSとされるMOSトランジスタ76の電流経路の一端とを接続する。すなわち、この経路でブーストダウンするには、MOSトランジスタ74に加え、トランスファゲートとして機能するMOSトランジスタ75及び77をオン状態とする必要がある。つまり、ノードN1aを“L”レベル、N1bを“H”レベルとする必要がある。換言すれば、ラッチ回路LAT1が“L”レベルを保持している必要がある。つまり、チャージトランスファ動作の結果、ノードN12がゼロ電位とされ、ドライバ回路85からの電圧VDDが停止するブーストダウンにより、ノードN12の電位が−VDDとされる場合にのみ、ノードN12の電位を接地させる。すなわち、ノードN12の電位がドライバ回路85による電圧VDDの停止により、電圧VDD×2から電圧VDDとされる場合、及び電圧VDDからゼロ電位とされる場合は、ノードN12を接地させ無くとも良い。
本実施形態に係る半導体記憶装置によると、上記(1)〜(4)の効果に加え(5)の効果を得ることが出来る。
(5)放電電流を抑止することが出来る。
本実施形態に係る半導体記憶装置であると、上述したように、ブーストダウン動作によってノードN12の電位が−VDDに低下してしまう場合に限り、選択的にノードN12の電位を接地させる。これにより、ノードN12の電位を固定電圧(ここでは、ゼロ電位)としなくともよいケース(ブーストダウン動作後、ノードN12の電位が電圧VDDまたはゼロ電位)のノードN12の電位を放電する必要がなくなり、余計な放電電流を抑止することが出来る。
Claims (6)
- データを保持可能なメモリセルが列及び行に沿って設けられたメモリセルアレイと、
前記メモリセルの電流経路の一端と接続されるビット線と、
前記ビット線の他端と接続され、前記データの読み出し時において、前記ビット線の前記他端とチャージシェア動作を行う第1ノードを備え、この第1ノードに一方の電極が接続されたキャパシタ素子によって保持される電荷に応じた電位をラッチするセンスアンプと、
前記キャパシタ素子の他方の電極に電圧を印加し、前記第1ノードをブーストするドライバ回路と
を具備し、
前記ドライバ回路は、前記チャージシェア動作前から前記メモリセルの保持する前記データのラッチ動作が完了するまでの期間、前記他方の電極に前記電圧を印加する
ことを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記ドライバ回路は、前記ラッチ動作の完了後、前記他方の電極への前記電圧の印加を停止する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記センスアンプは、前記データの読み出し時に第2ノードに電圧が供給され、前記第1ノードを介して前記ビット線をプリチャージする経路を備え、
前記他方の電極に印加される電圧の放電は、前記経路を介して行われる
ことを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。 - 前記センスアンプは、前記データをラッチするラッチ回路と、
前記ラッチ回路が“H”レベルの前記データを保持する場合、オン状態とされ、前記経路として前記第1ノードと第2ノードとを接続するスイッチと
を備えることを特徴とする請求項3記載の半導体記憶装置。 - 前記他方の電極への前記電圧の印加を行う場合、前記一方の電極の電位変化に対する前記ビット線に流れる電流変化の比率は、
前記他方の電極への前記電圧の印加を行わない場合よりも、小さい
ことを特長とする請求項2記載の半導体記憶装置。 - 前記第1ノードの放電は、
前記ビット線を介して行われる
ことを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。
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