JP2012156292A - 基板の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板2の外周に沿うリング状の第1支持部材1を基板2の第1面に接着する第1接着工程と、基板2を加工する第1加工工程と、基板2と第1支持部材1とを分離する第1分離工程とを有する。また、第1支持部材1は透光性を有し、基板2と第1支持部材1とは、UV光により剥離可能、または、高温加熱にて剥離可能な接着剤または接着テープにて接着される。
【選択図】図1
Description
本適用例に係る基板の加工方法は、基板の外周に沿ってリング状の第1支持部材を前記基板の第1面に接着する第1接着工程と、前記基板を加工する第1加工工程と、前記接着された場所にて前記基板と前記第1支持部材とを分離する第1分離工程と、を有することを特徴とする。
上記適用例に記載の基板の加工方法では、前記第1支持部材は透光性を有し、前記第1接着工程では前記基板と前記第1支持部材とをUV光の照射により剥離する接着剤または接着テープ、もしくは、加熱により剥離する接着剤または接着テープにて接着することが好ましい。
上記適用例に記載の基板の加工方法は、前記基板の前記第1面を覆って第2支持部材を接着する第2接着工程と、前記基板を加工する第2加工工程と、前記基板と前記第2支持部材とを分離する第2分離工程と、をさらに有することが好ましい。
上記適用例に記載の基板の加工方法では、前記接着剤及び前記接着テープは耐熱性を有し、加熱により剥離する前記接着剤または前記接着テープは剥離する温度まで耐熱性を有することが好ましい。
上記適用例に記載の基板の加工方法は、前記第1加工工程では、前記第1面と、前記第1面の裏面である第2面との両面を同時に加工する工程を有することが好ましい。
上記適用例に記載の基板の加工方法は、前記第1分離工程ではUV光を照射後または加熱後に前記第1支持部材を前記基板に対して垂直な向きに移動して前記基板と前記第1支持部材とを分離することが好ましい。
図1は、支持部材に支持された基板を示す概略分解斜視図である。図2は、支持部材に支持された基板を示す模式縦断面図である。図1において、リングサポートシステム7はリング状の第1支持部材1と基板2とが接着された構成となっている。第1支持部材1と基板2とが接着された状態において各種の加工が実施される。そして、基板2は複数の格子状に区画され、区画された各領域にMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)、IC(Integrated Circuit)、LSI(Large Scale Integrated Circuit)等のデバイスが形成される。
(1)本実施形態によれば、リング状の第1支持部材1と基板2とを貼り合わせることによって、第1面2aが露出する。これにより、露出した第1面2aの加工が容易に行える。また、第1分離工程では接着力を弱めた後で接着層3にて第1支持部材1と基板2とを分離している。従って、基板2を切削して第1支持部材1を除去する方法に比べて生産性良く第1支持部材1と基板2とを分離することができる。
実施形態では接着テープは連続したリング状の形状をしていたが、これに限らない。分割されたテープを用いても良い。リング状の第1支持部材を貼り合せるテープの形状について記載する。図5は接着テープの形状を示す模式平面図である。
実施形態では接着テープが連続したリング状の形状をしていたが、これに限らない。接着テープは外周部に切り込みを加工した形状のテープを用いても良い。第1支持部材1を貼り合せる接着テープの形状について記載する。図6は接着テープの形状を示す模式平面図である。
実施形態では接着テープの平面視における幅は第1支持部材1と同じ幅の形状をしていた。接着テープの幅は第1支持部材1より幅の狭い形状の接着テープを用いても良い。図7は接着テープの形状を示す模式平面図である。
実施形態では接着テープがリング状の形状をしていたが、さらに接着テープに穴加工を施した接着テープを用いても良い。第1支持部材を貼り合せる接着テープの形状について記載する。図8は接着テープの形状を示す模式平面図である。
Claims (6)
- 基板の外周に沿ってリング状の第1支持部材を前記基板の第1面に接着する第1接着工程と、
前記基板を加工する第1加工工程と、
前記接着された場所にて前記基板と前記第1支持部材とを分離する第1分離工程と、を有することを特徴とする基板の加工方法。 - 請求項1に記載の基板の加工方法において、
前記第1支持部材は透光性を有し、前記第1接着工程では前記基板と前記第1支持部材とをUV光の照射により剥離する接着剤または接着テープ、もしくは、加熱により剥離する接着剤または接着テープにて接着することを特徴とする基板の加工方法。 - 請求項1に記載の基板の加工方法において、
前記基板の前記第1面を覆って第2支持部材を接着する第2接着工程と、
前記基板を加工する第2加工工程と、
前記基板と前記第2支持部材とを分離する第2分離工程と、をさらに有することを特徴とする基板の加工方法。 - 請求項2に記載の基板の加工方法において、
前記接着剤及び前記接着テープは耐熱性を有し、
加熱により剥離する前記接着剤または前記接着テープは剥離する温度まで耐熱性を有することを特徴とする基板の加工方法。 - 請求項4に記載の基板の加工方法において、
前記第1加工工程では、前記第1面と、前記第1面の裏面である第2面との両面を同時に加工する工程を有することを特徴とする基板の加工方法。 - 請求項1に記載の基板の加工方法において、
前記第1分離工程ではUV光を照射後または加熱後に前記第1支持部材を前記基板に対して垂直な向きに移動して前記基板と前記第1支持部材とを分離することを特徴とする基板の加工方法。
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