KR102061369B1 - 제품 기판을 캐리어 기판에 임시로 결합하기 위한 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 제품 기판(2)을 캐리어 기판(6)에 임시로 결합하기 위한 방법에 관한 것으로서,
상기 방법은:
- 상호연결 층(5)을 제품 기판 수용 면(6o)의 상호연결 표면 섹션(13)에서 캐리어 기판(6)의 제품 기판 수용 면(6o)에 제공하는 단계를 포함하고;
- 작은 접착력을 사용하여 상호연결 면(2u)의 접착방지 표면 섹션(15)에서 제품 기판(2)의 상호연결 면(2u)에 접착방지 층(4)을 제공하는 단계를 포함하며, 상기 섹션(15)은, 면적에 있어서, 상호연결 표면 섹션(13)에 적어도 부분적으로, 바람직하게는 완전히 상응하며, 구조(3)를 수용하기 위해, 접착방지 층(4) 및 제품 기판(2) 뿐만 아니라 캐리어 기판(6) 및 상호연결 층(5)에 의해 경계가 형성된(bordered) 수용 공간(14)이 형성되고, 상기 구조(3)는 제품 기판(2)의 상호연결 면(2u) 위에 제공되고 상호연결 면(2u)으로부터 돌출되며;
- 제품 기판(2)을 캐리어 기판(6)에 대해 나란하게 정렬하고 접촉 표면(16) 위에서 상호연결 층(5)을 접착방지 층(4)에 결합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

제품 기판을 캐리어 기판에 임시로 결합하기 위한 방법{METHOD FOR THE TEMPORARY CONNECTION OF A PRODUCT SUBSTRATE TO A CARRIER SUBSTRATE}
본 발명은 청구항 제1항에 따라 제품 기판을 캐리어 기판에 임시로 결합하기 위한 방법에 관한 것이다.
반도체 업계에서, 구조(structure), 가령, 칩(chip)들이 제공된 제품 기판(product substrate)을 처리하는 공정이 종종 요구되는데, 이러한 처리 공정은 기계적 및/또는 화학적 또는 그 밖의 처리 단계(리소그래피(lithograph), 저항 도포(resist application), 코팅 등) 뿐만 아니라 제품 기판을 A위치에서 B위치로 이송시키는 단계를 포함할 수 있다.
그 외에도, 구성요소의 밀도를 추가로 증가하기 위하여, 큰 반경을 가진 제품 기판(200 mm, 300 mm, 최대 450 mm) 및 전체적인 압력을 최소로 할 필요가 존재한다. 이러한 매우 얇은 박막 크기의 제품 기판을 취급하면 주요한 기술적 문제점이 발생할 것이라는 사실은 쉽게 상상할 수 있을 것이다.
캐리어 기판(carrier substrate)과 제품 기판 사이에서 사용되는 상호연결 층(interconnect layer) 및 사용되는 캐리어 재료에 따라, 상호연결 층을 용해하거나(dissolving) 또는 파괴하기(destroying) 위해 다양한 방법, 가령, 예를 들어, UV 광, 레이저 빔, 온도의 작용, 혹은 용매를 사용하는 방법들이 알려져 있다.
스트리핑(stripping) 공정은 점점 더 가장 중요한 공정 중 하나를 구성하는데, 그 이유는 스트리핑/제거 공정 동안에 수 마이크론의 기판 두께를 가진 얇은 기판이 쉽게 파괴되거나 스트리핑 공정에 필요한 힘에 의해 쉽게 파손되기 때문이다.
게다가, 얇은 기판은 임의의 안정적인 형태를 거의 가지지 못하거나 전혀 가지지 못하며, 지지 재료(support material) 없이는 통상 말리게 된다(roll up). 일반적으로 뒷면이 얇은 웨이퍼(back-thinned wafer)에 따라 제품 기판을 취급하는 동안, 웨이퍼를 고정하고 지지하는 것을 본질적으로 필수적이다.
웨이퍼를 용이하게 스트리핑 하기 위하여, 제품 기판을 캐리어 기판에 임시로 결합하기 위한 공지 방법들은, 가령, 예를 들어, 2중-면 접착 필름, 액체, 왁스 또는 이와 비슷한 물질에 좌우되며, 이에 따라 처리 공정 후에 제품 기판은 가능한 에너지를 거의 소모하지 않고도 최대한 용이하게 캐리어 기판으로부터 분리될 수 있다. 이러한 방법들은, US 5,725,923호, US 2007/0184630호, EP 1286385A2호 및 US 5,863,375호에 기술되어 있다.
임시 결합 방법에는, 다음과 같은 기술적 문제점들이 존재한다:
1. 부분적으로 값비싼 재료의 높은 재료 소모율.
2. 임시 결합에서 발생하는 높은 온도 및 이러한 이유로 인한 높은 에너지 소모율.
3. 시간이 많이 소모되는 스트리핑 공정, 특히, 통상 복잡하고 오염을 많이 시키고 그에 따라 비효율적인 습식 화학적 공정(wet chemical process)에 대해, 특히, 상호연결 층의 화학적 분리/용해 공정. 더욱이, 화학적 용해 공정에서, 제품 기판의 스트리핑 공정 전에, 상호연결 층이 불완전하게 용해됨으로써, 몇몇 부위들은 지속적으로 서로 접착하도록 작용되고 이에 따라 이 부위들에서 스트리핑 공정 동안 제품 웨이퍼가 파괴하게 된다.
4. 스트리핑 공정 후에는 제품 기판의 세척 공정이 필요하게 된다.
따라서, 본 발명의 목적은, 가능한 최대로 비-파괴적이며 가능한 에너지 소모율을 최소로 하면서도 제품 기판이 캐리어 기판으로부터 쉽게 분리될 수 있도록, 제품 기판을 캐리어 기판 위에 임시로 결합하기 위한 방법을 고안하는 데 있다.
이 목적은 청구항 제1항의 특징들로 구현된다. 본 발명의 바람직한 변형예들은 종속항들에 제공된다. 본 명세서, 청구범위 및/또는 도면들에 제공된 특징들 중 2개 이상의 특징들을 결합한 모든 조합은 본 발명의 범위 내에 있다. 주어진 값 범위들에서, 한계(limit)값 내에 있는 값들은 경계값(boundary value)으로서 기술된 것으로 이해되어야 하며 이들의 임의의 조합도 기술될 것이다.
본 발명은 접착방지 층(antiadhesion layer)을 캐리어 기판 대신 제품 기판, 특히 칩(chip)에 의해 점유된 영역 내에, 바람직하게는 제품 기판의 주변 에지(peripheral edge) 위에, 심지어 가장 바람직하게는 캐리어 기판 위의 맞은편 쪽에 상호연결 층이 있는 영역에 제공하는 개념에 기초한다.
이런 방식으로, 본 발명에서는, 캐리어 기판 위에, 상호연결 층 및 캐리어 기판에 의해 제품 기판 위에 제공된 구조, 특히, 칩을 위한 수용 공간이 형성되는 것이 가능하다.
접착방지 층은, 본 발명에 따라, 캐리어 기판 위에서 상호연결 층과 접촉할 시에, 제품 기판이 처리되고 이송되기에 충분한 접착력(adhesion force)이 작용하도록 제작되고 수치가 결정된다.
제품 기판은 통상 0.5 μm 내지 250 μm 사이의 두께로 얇게 제작되는 제품 기판, 가령, 예를 들어, 반도체 웨이퍼로서 정의되며, 최근의 경향은 제품 기판의 두께가 점점 더 얇게 된다.
캐리어는 예를 들어 50 μm 내지 5000 μm 사이, 특히 500 μm 내지 1000 μm 사이의 두께를 가진 캐리어 기판이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 상호연결 표면 섹션은 캐리어 기판의 주변 에지(peripheral edge) 위에, 특히, 바람직하게는, 제품 기판 수용 면에 대해 동심구성되는 링 섹션(ring section) 내에 위치된다. 캐리어 기판 및/또는 제품 기판의 횡방향 주변(lateral periphery) 위에, 특히, 바람직하게는, 동심구성의 링 섹션 내에, 각각의 표면 위에 균일하게 분포된 상호연결 층 및/또는 접착방지 층을 제공하거나 및/또는 균질적으로 제공함으로써, 가능한 최대로 힘을 들이지 않고도 제품 기판이 캐리어 기판에 결부되고(attached), 제품 기판에 형성되는 구조(structure)를 파손시키지 않고도 제품 기판을 캐리어 기판으로부터 분리시킬 수 있다.
상기 구조는 접착방지 층에 의해 적어도 부분적으로, 바람직하게는 완전히 둘러싸이는 것이 바람직하다. 이런 방식으로, 상기 구조는 동시에 접착방지 층에 의해 외부 효과로부터 보호된다.
본 발명의 또 다른 바람직한 실시예에 따르면, 제품 기판은 캐리어 기판에 인장력(tensile force)을 제공함으로써 캐리어 기판으로부터 스트리핑되고, 상기 인장력은 캐리어 기판의 스트리핑 면에 적어도 대부분은 횡방향으로(laterally) 또는 적어도 대부분은 중앙에(centrically) 작용하며, 상기 스트리핑 면은 제품 기판 수용 면으로부터 멀어지도록 향한다(face away).
여기서, 인장력이, 특히 블랭킷(blanket)과 같이, 스트리핑 면에서 끌어당겨지는(draw), 바람직하게는 가요성의(flexible) 캐리어 홀더(carrier holder)에 의해 제공되는 것이 특히 바람직하다. 특히, 음압(negative pressure)에 의해 캐리어 기판을 수용하기 위한 캐리어 홀더, 가령, 예를 들어, 흡입 트랙(suction track), 홀(hole) 또는 흡입 컵(suction cup)으로서, 척(chuck), 특히, 스피너 척(spinner chuck)이 특히 잘 맞는다. 대안으로, 예컨대, 횡방향 클램프(lateral clamp)에 의한 기계식 고정장치(mechanical holding)도 고려할 수 있다. 또 다른 대안의 형상에서, 정전기식으로(electrostatically) 고정되기도 한다. 특히, 임시적 스트리핑(temporary stripping)에서, 횡방향 스트리핑(lateral stripping)을 위해 강성의(rigid) 캐리어 홀더가 고려되면서도, 제품 기판이 특히 조심스럽게 스트리핑될 수 있도록 가요성의 캐리어 홀더가 바람직하다.
제품 기판 홀더는, 특히, 바람직하게는 캐리어 홀더와 동일하게 제작되며, 특히 블랭킷과 같이, 제품 기판에 대해 캐리어 홀더의 맞은편에 힘을 제공한다.
스트리핑 공정이 수용 공간을 향하는 접촉 표면의 내측면으로부터 동심적으로 수행될 때, 이는, 스트리핑 공정 동안, 특히 가요성의 캐리어 홀더와 함께, 캐리어 기판 위의 중앙에 작용하도록 제공된다. 그에 따라, 중앙으로부터 주변으로 균일하게 한 피스(piece) 한 피스씩 조심스럽게 스트리핑 공정이 수행된다.
본 발명에 따르면, 기계식 분리 수단에 의해 부분적으로 분리하기 위하여, 대부분 캐리어 기판으로부터 제품 기판을 횡방향으로 스트리핑하거나 혹은 그 반대로, 제품 기판으로부터 캐리어 기판을 스트리핑하는 것도 바람직하며, 그 결과, 스트리핑 공정은 덜 급격하게 시작되고 따라서 제품 기판을 위해 보다 조심스럽다.
본 발명에 따르면, 상호연결 층 및 접착방지 층 사이에 작용하는 접착력은 0.1 mJ/m2 내지 10 J/m2 사이, 특히 1 mJ/m2 내지 1 J/m2 사이인 것이 바람직하며, 접촉 면적의 크기 및 재료 선택에 의해 조절될 수 있다.
본 발명의 그 밖의 이점, 특징 및 세부내용들은 첨부된 도면들을 참조하여 바람직한 대표 실시예들을 기술한 하기 설명으로부터 자명하게 될 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 방법 순서를 개략적으로 도시한 도면,
도 2는 캐리어 기판에 결합된 제품 기판의 개략적인 측면도,
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따라 캐리어 기판으로부터의 제품 기판의 스트리핑 공정을 개략적으로 도시한 도면,
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따라 캐리어 기판으로부터의 제품 기판의 스트리핑 공정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도면에서, 동일한 구성요소 및 동일한 기능을 가진 구성요소들은 똑같은 도면부호로 표시된다.
도 1은, 본 발명에 따라, 구조(structure)(3), 특히, 지형(topography), 바람직하게는 적어도 부분적으로 칩(chip)으로 구성된 구조가 제공된 제품 기판(2)을 캐리어 기판(6)에 임시로 결합하기 위한 방법 순서를 도시한다. 이 방법 순서는 도면 평면에서 좌측으로부터 우측으로 최종 제품 기판-캐리어 기판 콤포지트(composite)(7)를 보여준다.
캐리어 기판(6)에 대해, 캐리어 기판(6)의 제품 기판 수용 면(6o)의 상호연결 표면 섹션(13)에 링 형태의 상호연결 층(5)이 제공되며, 상기 링 형태의 상호연결 층(5)은 제품 기판 수용 면(6o)에 대해 동심 구성되고 캐리어 기판(6)의 횡방향 주변(6s)으로부터 내부로 연장된다. 상호연결 층(5)은 제품 기판 수용 면(6o)으로부터 돌출된다.
특히, 이와 평행하게, 바람직하게는, 동시에, 제품 기판(2)의 한 상호연결 면(2u)에서 접착방지 표면 섹션(15)에 접착방지 층(4)이 제공된다. 이 접착방지 층(4)은 제품 기판(2)의 한 횡방향 주변(2s)으로부터 내부로 연장되며 동심의 링 섹션을 형성한다. 접착방지 층(4)의 링 폭(4b)은 상호연결 층(5)의 링 폭(5b)에 대략적으로 상응한다. 이와 비슷하게, 접착방지 층(4)도 상호연결 면(2u)으로부터 돌출된다. 접착방지 층(4)은 동시에 상호연결 면(2u)에 제공된 구조(3)를 둘러싸고, 특히 에워싼다.
링 폭(4b) 및/또는 링 폭(5b)은 1 mm 내지 25 mm 사이가 바람직하며, 특히 5 mm 내지 15 mm 사이이다.
그 뒤, 상호연결 층(5)이 있는 캐리어 기판(6)에 대해 접착방지 층(4)이 있는 제품 기판(2)을, 또 다른 단계에서, 기계적으로 및/또는 선택적으로 나란하게 정렬하기 위하여, 제품 기판(2)은 180°만큼 회전되며, 따라서 대략 거꾸로 회전된다.
그 뒤, 또 다른 방법 단계에서, 접착방지 층(4)은 한 접촉 표면(16) 위에서 상호연결 층(5)에 임시로 결합된다.
도 2에 따르면, 본 발명에 따른 접근방법은, 접착방지 층(4)을 오직 에지(edge) 위에만 제공하며 이에 따라 주변 방향으로만(peripherally) 제공하고 캐리어 기판(6) 및/또는 제품 기판(2)의 표면 전체에 걸쳐서는 제공하지 않는 단계로 구성된다. 구조(3), 특히, 제품 웨이퍼의 제품 기판(2)의 다이스(dice)는 환형의 접착방지 층(4) 내에 위치된다. 상응하게 강력한 접착 작용(adhesive action)을 가진 상호연결 층(5)도 주변 방향으로 캐리어 기판(6)에 제공되어 접착방지 층(4)과 상응한다. 접촉하고 나서는, 제품 기판(2) 및 각각의 횡방향 주변(2s 및 6s), 및 접착방지 층(4) 및 캐리어 기판(6)에 제공된 각각의 원형의 링 형태의 상호연결 층(5)에 의해, 구조(3)를 수용하기 위한 수용 공간(14)이 형성되는데, 특히, 씰(seal)이 형성되며, 접착방지 층(4)의 두께(4d) 및 상호연결 층(5)의 두께(5d)는 함께 수용 공간(14)의 높이(H)를 형성하는데, 본 발명에 따르면 상기 높이(H)는 제품 웨이퍼(2) 상의 구조(3)보다 더 높고, 이에 따라 구조(3)는 캐리어 웨이퍼(6)와 접촉되지 않는다. 상기 두께(4d)는 단일층(monolayer)의 두께보다 더 두꺼우며 5 μm 미만, 특히 2 μm인 것이 바람직하다. 한 바람직한 형상에서 두께(5d)는 1 μm 내지 1000 μm 사이, 특히 5 μm 내지 500 μm 사이, 바람직하게는 10 μm 내지 200 μm 사이이다. 두께(5d)를 조절함으로써, 수용 공간(14)의 높이(H)는 구조(3)의 높이에 꼭 맞을 수 있다(adapted).
캐리어 기판(6)과 제품 기판(2) 사이에 임시 결합을 형성하는 접촉 표면(16)은 기존의 방법에 비해 훨씬 더 작은 영역을 가지며, 스트리핑(stripping) 공정 동안에는 접착방지 층(4)과 상호연결 층(5) 사이에 작용하는 오직 접착력(adhesion force) 만이 필요하며, 상기 접착력은 이송 공정 및 상기 공정 동안 제품 기판(2)과 캐리어 기판(6)을 함께 고정하기에 충분히 크지만, 특히 접촉 표면(16)이 오직 상호연결 면(2u) 및/또는 제품 기판 수용 면(6o)의 전체 영역 중 오직 작은 부분만 차지하기 때문에, 제품 기판(2)과 캐리어 기판(6)은 상대적으로 힘을 거의 쓰지 않고도 서로 분리될 수 있다.
상응하는 처리 단계 또는 이송 공정을 수행한 후에, 캐리어 기판(6)으로부터 제품 기판(2)의 스트리핑 공정을 위하여, 본 발명에 따르면, 두 바람직한 실시예가 도 3 및 4에 도시되는데, 캐리어 기판(6)에 제공된 접착력을 극복하기 위해 인장력(tensile force)을 제공하는 위치에서 특히 상이하다.
도 3에 도시된 실시예에서, 적어도 대부분 횡방향 주변(6s)의 한 주변 섹션 위에 있는 캐리어 기판(6)에 인장력을 제공함으로써, 캐리어 기판(6)으로부터 제품 기판(2)을 스트리핑하는 공정이 수행되는데, 상기 인장력은 제품 기판 수용 면(6o)으로부터 멀어지도록 향하는 한 스트리핑 면(6u) 위에 있는 강성의 캐리어 홀더(12)에 의해 캐리어 기판(6)에 전달된다. 이런 방식으로, 캐리어 기판(6)은, 특히, 상기 주변 섹션 내의 접촉 표면(16) 위에서 상호연결 층(5)과 접착방지 층(4) 사이에 작용하는 접착력을 극복함으로써, 제품 기판(2)의 주변 섹션 위에서 시작되는 상호연결 면(2u)으로부터 멀어지도록 향하는 한 고정 면(2o) 위에서 제품 기판 홀더(9)에 의해 고정된 제품 기판(2)으로부터 분리된다(detached). 인장력이 횡방향이 아니라 중앙에 제공되면, 강성의 캐리어 홀더(12)를 사용할 때, 접착력은 전체 접촉 표면(16) 위에서 실질적으로 동시에 극복될 수 있으며, 이에 따라 더 높은 인장력에 의해 제품 기판(2)에 더 많은 응력이 작용한다. 특히, 시작부에서 제공되어야 하는 인장력은 인장력이 제공되는 영역에서, 따라서, 측면으로부터, 특히, 기계식 분리 수단, 가령, 예를 들어, 블레이드(blade) 또는 웨지(wedge) 에 의해, 상호연결 층(5)과 접착방지 층(4) 사이의 결합을 부분적으로 파괴함으로써 지지될 수 있으며, 이에 따라 인장력은 추가로 감소될 수 있다.
캐리어 홀더(12) 및 제품 기판 홀더(9)는, 제품 기판(2)의 고정 면(2o) 또는 캐리어 기판(6)의 스트리핑 면(6u) 위에서, 특히 블랭킷(blanket)과 같이, 가능한 최대로 균질적으로(homogeneously) 제품 기판(2) 또는 캐리어 기판(6)을 고정하는 흡입 트랙(8)에 의해 가공되는(work) 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 바람직한 스트리핑 공정의 실시예에서, 도 4에 따르면, 제품 기판(2)으로부터 캐리어 기판(6)을 스트리핑하기 위해 가요성 특히 탄성 캐리어 홀더(12')가 사용되며, 캐리어 기판(6)의 스트리핑 공정 동안, 인장력은 대부분 캐리어 기판(6)의 중앙에 제공되며, 이에 따라 스트리핑 공정은, 도 3에 따른 스트리핑 공정에 비해, 외측면(outside)으로부터 시작되지 않고, 접촉 표면(16)의 한 내측면(16i)으로부터 시작된다.
따라서, 스트리핑 공정은 내측면으로부터, 따라서, 중앙으로부터, 외측면으로 동심적으로(concentrically) 수행되며, 제품 기판 수용 면(6o)을 따라 캐리어 기판(6)의 굽힘(bending)은 캐리어 홀더(12')의 두께 및 탄성에 의해 조절될 수 있다.
도 4에 도시된 실시예에서, 스트리핑 공정 동안 캐리어 기판(6)을 가요성의 캐리어 홀더(12')에 안정적으로 고정시키기 위하여, 캐리어 기판(6)의 스트리핑 면(6u) 위의 흡입 트랙(8)이 캐리어 기판(6)의 횡방향 주변(6s)에, 특히, 뒷면(back) 위에서 상호연결 표면 섹션(13)에 가능한 최대로 가깝게 작용하는 것이 중요하다.
스트리핑 공정은 스트리핑 장치(1)에 의해 수행되는데, 상기 스트리핑 장치(1)는 제품 기판 홀더(9)를 수용하기 위해 서포트(support)(11) 위에 고정되는 리시버(10)에 의해, 제품 기판 홀더(9)에 의해, 뿐만 아니라, 흡입 트랙(8)의 연결을 위해, 도시되지는 않았지만, 진공 기기에 의해 형성된다. 또한, 스트리핑 장치(1)는 인장력을 캐리어 홀더(12, 12')에 제공하는 로봇기계, 특히, 도시되지는 않았지만, 로봇 암(robot arm) 형태의 로봇들을 가진다.
캐리어 기판의 주된 구성요소는 본 발명에 따라 하기 재료 즉 Si, 유리, 세라믹 중 하나 또는 그 이상의 재료로 제작되는 것이 바람직하다. 본 발명에 따른 접착방지 층/상호연결 층(5)의 주된 구성요소는 하기 재료 즉 폴리머, 금속, 저-점성 재료, 필름 중 하나 또는 그 이상의 재료로 제작된다.
1 : 스트리핑 장치 2 : 제품 기판
2o : 고정 면 2s : 횡방향 주변
2u : 상호연결 면 3 : 구조
4 : 접착방지 층 4b : 링 폭
4d : 두께 5 : 상호연결 층
5b : 링 폭 5d : 두께
6 : 캐리어 기판 6o : 제품 기판 수용 면
6s : 횡방향 주변 6u : 스트리핑 면
7 : 제품 기판-캐리어 기판 콤포지트 8 : 흡입 구조
9 : 제품 기판 홀더 10 : 리시버
11 : 서포트 12, 12' : 캐리어 홀더
13 : 상호연결 표면 섹션 14 : 수용 공간
15 : 접착방지 표면 섹션 16 : 접촉 표면
16i : 내측면 H : 높이

Claims (9)

  1. 제품 기판(2)을 캐리어 기판(6)에 임시로 결합하기 위한 방법에 있어서,
    제품 기판 수용 면(6o)의 상호연결 표면 섹션(13)에서 캐리어 기판(6)의 제품 기판 수용 면(6o)에 상호연결 층(5)을 제공하는 단계를 포함하고,
    접착력을 사용하여 제품 기판(2)의 상호연결 면(2u)의 접착방지 표면 섹션(15)에서 제품 기판(2)의 상호연결 면(2u)에 접착방지 층(4)을 제공하는 단계를 포함하며, 상기 접착방지 표면 섹션(15)은, 면적에 있어서, 상호연결 표면 섹션(13)과 일치하고,
    제품 기판(2)을 캐리어 기판(6)에 대해 나란하게 정렬하는 단계를 포함하며,
    접촉 표면(16) 위에서 상호연결 층(5)을 접착방지 층(4)에 결합하는 단계를 포함하고,
    제품 기판(2)로부터 캐리어 기판(6)을 스트리핑하는 단계를 포함하며,
    상기 상호연결 층(5) 및 캐리어 기판(6)과 제품 기판(2) 및 접착방지 층(4)에 의해 경계가 형성된(bordered) 수용 공간(14)이 형성되고, 상기 수용 공간(14)은 제품 기판(2)의 상호연결 면(2u) 위에 제공되고 상호연결 면(2u)으로부터 돌출하는 구조(3)를 수용하는 것을 특징으로 하는 제품 기판을 캐리어 기판에 임시로 결합하기 위한 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상호연결 표면 섹션(13)은 제품 기판 수용 면(6o)에 대해 동심구조를 가지는 링 섹션 내에서 캐리어 기판(6)의 횡방향 주변(6s) 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 제품 기판(2)을 캐리어 기판(6)에 임시로 결합하기 위한 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 접착방지 표면 섹션(15)은 접착방지 표면 섹션(15)에 대해 동심구조를 가지는 링 섹션 내에서 제품 기판(2)의 횡방향 주변(2s) 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 제품 기판을 캐리어 기판에 임시로 결합하기 위한 방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 구조(3)는 접착방지 층(4)에 의해 적어도 부분적으로 둘러싸이는 것을 특징으로 하는 제품 기판을 캐리어 기판에 임시로 결합하기 위한 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 스트리핑하는 단계는 캐리어 기판(6)의 스트리핑 면(6u)에서 횡방향으로 작용하거나 중앙에서 작용하는 인장력이 캐리어 기판(6)에 제공되어 수행되고, 상기 스트리핑 면(6u)은 제품 기판 수용 면(6o)으로부터 멀어지도록 향하는 것을 특징으로 하는 제품 기판을 캐리어 기판에 임시로 결합하기 위한 방법.
  6. 제5항에 있어서, 인장력은 스트리핑 면(6u)에서 블랭킷(blanket)과 같이 끌어당겨지는(draw) 가요성의 캐리어 홀더(12, 12')에 의해 제공되는 것을 특징으로 하는 제품 기판을 캐리어 기판에 임시로 결합하기 위한 방법.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 스트리핑하는 단계는 접촉 표면(16)의 내측면(16i)으로부터 동심적으로 수행되며, 상기 내측면은 수용 공간(14)을 향하는 것을 특징으로 하는 제품 기판을 캐리어 기판에 임시로 결합하기 위한 방법.
  8. 제5항에 있어서, 상기 스트리핑하는 단계는 횡방향 스트리핑(lateral stripping) 시작부에서, 기계식 분리 수단에 의해 부분적으로 분리가 되는 것을 특징으로 하는 제품 기판을 캐리어 기판에 임시로 결합하기 위한 방법.
  9. 삭제
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