JP4678240B2 - 半導体素子の製造方法 - Google Patents
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ところで、半導体ウエーハから半導体素子を製造する方法として、半導体ウエーハ表面(回路形成面側の全面)に成膜・エッチング等を行う工程を経て、その半導体ウエーハから半導体チップを個片化(ダイシング)し、ピックアップする工程を有する方法がある。
従来、このような製造方法にあって、半導体ウエーハ表面がエッチング液により化学的に損傷したり、搬送時やダイシング時において物理的に損傷することを防ぐために、半導体ウエーハの表面に保護テープを貼り付ける方策が採られている。
そこで保護テープとして、UV(Ultraviolet rays:紫外線)の照射前は強い粘着力を示し、照射後は粘着剤が硬化して粘着力が弱まり又はなくなり、したがってその剥離が容易になるというUVテープを用いる技術(例えば、特許文献1,2参照)の適用が考えられる。
すなわち、ダイシング前の半導体ウエーハ上には、その周辺部を除く部分に多数の半導体チップが形成されているが、このような半導体チップにおいて、センサ部分が基板から浮いた状態であったり、櫛歯型構造といった構造を有するMEMS等の微細薄膜構造では、隣り合う薄膜に微小な隙間を有している。これらの隙間にダイシング時の切削水が浸入するとその衝撃で上記薄膜が破壊したり、水の表面張力で隣接する他の薄膜や基板面に上記薄膜が張り付くという問題が生じるため、粘着力を強くする必要があった。
このような状態において、UVテープを半導体ウエーハの回路形成面の全面にそのまま貼り付けると、薄型チップの微細薄膜構造部分がUVテープの粘着剤中にめり込む。微細薄膜構造部分がめり込んだ粘着剤は、UVテープ剥離時に行われるUV照射によって硬化するが、その際、薄型チップの微細薄膜構造部分をクランプ状態(つかみ込んだ、あるいは挟み込んだ状態)で硬化することがある。特に、可動の櫛歯薄膜パターンを有するMEMSデバイスの微細櫛歯型薄膜構造においては、その可動の櫛歯薄膜パターン部分がUVテープの粘着剤中にめり込み(櫛歯薄膜パターン部分とこれに近接する部分との間にUVテープの粘着剤が回り込み)、粘着剤が櫛歯薄膜パターン部分をクランプした状態で硬化することが少なくない。
このため、クランプされた櫛歯薄膜パターン等の微細薄膜構造部分が、ダイシング後のUVテープ剥離時にUVテープと共に剥離され、素子破壊に至らしめることがあった。
特許請求の範囲の請求項2に記載の発明は、上記請求項1に記載の発明において、前記半導体チップは力学量センサ素子を形成する力学量センサ素子チップであり、前記保護テープの第2領域は、前記力学量センサ素子チップ毎に、周囲が前記第1領域で囲まれ少なくとも前記力学量センサ素子チップの微細櫛歯型薄膜構造部分を含む領域に対応して形成されていることを特徴とする。
これによれば、保護テープを半導体ウエーハに貼り合わせた際に、半導体チップの膜構造部分(隣り合う薄膜間に微小空隙部を有する膜構造部分を含む。)は、粘着力がないか第1領域よりも粘着力が弱いか又は粘着力を与える粘着剤が硬化した第2領域に当接する。したがって、上記膜構造部分が保護テープの粘着剤(粘着力を有する第1領域)中にめり込むことはなく、この部分が、ダイシング後の保護テープ剥離時に保護テープと共に剥離して素子破壊を生じさせることが防止される。
半導体ウエーハの周辺部及び各半導体チップ相互間部分は、粘着力を有する第1領域が形成されたままとなっているので、これらの部分においては、保護テープは半導体ウエーハに貼り付いている。したがって保護テープは、ダイシング時において半導体チップの損傷を防止する保護テープとしての機能を充分に果たす。一方、ダイシング後の保護テープ剥離時には、上記のように素子破壊を生じさせることなくその剥離が可能である。
つまりダイシング時の、半導体ウエーハ面及び保護テープ面相互間からの水浸入の防止と、ダイシング後の保護テープ剥離の容易性とを両立でき、かつ、保護テープの剥離時に半導体ウエーハに形成された半導体チップ部分の少なくとも膜構造部分を含む領域に対応する部分の剥離による素子の破壊も防止できる。
加えて、特許請求の範囲の請求項1に記載の発明によれば、上記保護テープにUVテープを用い、第2領域をそのUVテープ(UVテープからなる保護テープ。以下、本段落において同じ。)の第1領域中に紫外線を照射することにより形成することとしたので第2領域を容易に形成できる。テープ剥離も、テープ面への紫外線の照射によって第1,第2領域全体(テープ全面)の粘着剤を硬化させ得るので、極めて容易に行える。
また、半導体チップの膜構造部分(隣り合う薄膜間に微小空隙部を有する膜構造部分を含む。)がUVテープの粘着剤(粘着力を有する第1領域)中にめり込まないので、剥離のためにUVテープに紫外線を照射し、粘着剤を硬化させてもその粘着剤が上記膜構造部分をクランプ状態で硬化することがない。したがって、ダイシング後のUVテープ剥離時に上記膜構造部分がそのUVテープと共に剥離して素子破壊を生じさせることが防止される。
特許請求の範囲の請求項2に記載の発明によれば、半導体ウエーハのダイシング時及びダイシング後の保護テープ剥離時において極めて損傷しやすい力学量センサ素子チップの微細櫛歯型薄膜構造部分について、請求項1の発明を適用し、請求項1と同様の効果を発揮できる。
図1は、本発明に係る半導体素子の製造方法の一実施形態における工程途中の、具体的にはダイシング前の半導体ウエーハの拡大断面図である。
図示するように本発明方法では、ダイシング前において、複数の半導体チップが形成された半導体ウエーハ1を保護する保護テープ2は、粘着力を有する第1領域3及び、粘着力がないか上記第1領域3よりも粘着力が弱いか又は上記粘着力を与える粘着剤が硬化した第2領域4が形成された状態で、半導体ウエーハ1に貼り合わされている。ここで、上記保護テープ2の第2領域4は、半導体チップ毎に、周囲が上記第1領域3で囲まれ少なくとも上記半導体チップの、隣り合う薄膜間に微小空隙部を有する膜構造部分を含む領域、ここでは隣り合う薄膜間に微小空隙部を有する膜構造部分の領域5に対応して形成されている。なお、以下の説明において「膜構造部分」とは、隣り合う薄膜間に微小空隙部を有する膜構造部分を指す。「薄膜構造部分」における「膜構造部分」についても同様とする。
基板表面側から見た力学量センサ素子チップ(半導体チップ)の模式図及び同チップのセンサ部にある微細櫛歯型薄膜構造の拡大図を纏めて図4に示す。
この図において、1点鎖線41で囲まれたほぼ正方形の領域は微細櫛歯型薄膜構造部分を複数有するセンサ部42(上記領域5に相当する部分)を示し、この1点鎖線41と点線43で挟まれた領域は配線部44を示す。点線43と2点鎖線45で挟まれた領域はアルミニウム領域46を示す。最外周はダイシングラインとなる。
図中のセンサ部42は上記第2領域4に相当し、アルミニウム領域46は上記第1領域3に相当する。配線部44は、本例では第2領域4が延出されている。
図示するように、第2領域4に相当するセンサ部42は、櫛歯状に形成された複数の櫛歯型電極部51を備えている。各電極部51は、図示しない振動子と一体に設けられた可動電極52と、基板上に固定された固定電極53とを有している。可動電極52と固定電極53とは、常態で所定の隙間を空けて対向するように配置されている。
UVテープ2は、前述したようにUV(紫外線)照射前は強い粘着力を示し、照射後は粘着剤が硬化して粘着力が弱まり又はなくなり、したがってその剥離が容易になるテープである。
本実施形態では、その強い粘着力を有する第1領域3中にUV照射することによって粘着剤が硬化した(粘着力が弱まった又はなくなった)第2領域4を形成し、この第2領域4を形成した状態でUVテープ2をMEMSウエーハ1に貼り合わせている。
UVテープ2の第2領域4は、力学量センサ素子チップ毎に、周囲が上記第1領域3で囲まれ少なくとも上記力学量センサ素子チップの微細櫛歯型薄膜構造部分を含む領域、ここでは微細櫛歯型薄膜構造部分の領域に若干の余裕をもたせた領域(以下、微細櫛歯型薄膜構造領域と称する。)5に対応して形成されている。
このため、櫛歯薄膜パターン部分周辺に回り込んだ上記粘着剤が、UVテープ剥離時に行われるUV照射によって上記櫛歯薄膜パターン部分をクランプした状態で硬化し、クランプされた櫛歯薄膜パターン部分が、ダイシング後のUVテープ剥離時にUVテープ2と共に剥離され、素子破壊を生じさせた。
これによれば、UVテープ2をMEMSウエーハ1に貼り合わせた際に、上記微細櫛歯型薄膜構造領域5内の微細櫛歯型薄膜構造部分(可動の櫛歯薄膜パターン部分を含む。)には、粘着剤を硬化した第2領域4が当接するので、UVテープ2の粘着剤(強い粘着力を有する第1領域3)中にめり込むことはない。したがって、この微細櫛歯型薄膜構造部分が、ダイシング後のUVテープ剥離時にUVテープ2と共に剥離して素子破壊を生じさせることが防止される。
MEMSウエーハ1の周辺部及びこのMEMSウエーハ1に形成された各力学量センサ素子チップ相互間部分は、強い粘着力を有する第1領域3が形成されたままとなっているので、これらの部分においては、UVテープ2はMEMSウエーハ1に強固の貼り付いている。したがってUVテープ2は、ダイシング時において薄型チップをなす力学量センサ素子チップの損傷を防止する保護テープとしての機能を充分に果たす。一方、ダイシング後のUVテープ剥離時には、UVテープ2の第1領域3に、実際にはテープ全面(第1,第2領域4)にUV照射すれば、第1領域3を含めてテープ全面の粘着剤が硬化した状態となり、UVテープ2は容易に剥離することができる。
すなわちダイシング時の、MEMSウエーハ1面及びUVテープ2面相互間からの水浸入の防止と、ダイシング後のUVテープ剥離の容易性とを両立でき、かつ、UVテープ2の剥離時にMEMSウエーハ1に形成された力学量センサ素子チップ部分の微細櫛歯型薄膜構造部分(半導体チップの膜構造部分)の剥離による素子の破壊も防止できる。
なお、図1中の一点鎖線はダイシング位置の一例を示している。
図2(A)〜(L)に工程(A)〜(L)を示す。
まず、工程(A)において、多数の力学量センサ素子チップが形成されたMEMSウエーハ1を次工程(B)以降の工程に渡すか否かの受入検査を行う〔図2(A)〕。
工程(B)ではテープマウント11を組み立てる〔図2(B)〕。具体的には、MEMSウエーハ1の表面(回路形成面側、ここでは力学量センサ素子チップの微細櫛歯型薄膜構造部分の露出面側の面)を保護するUVテープ2をリング状フレーム12に貼り付ける。UVテープ2は、本実施形態では透明のものが用いられる。
ステンシルマスク13は、粘着剤が硬化した第2領域4(図1参照)を、上記UVテープ2中の粘着力を有する第1領域3(同図参照)中に形成する(第1領域3に加えて第2領域4を形成する)ために用いられるUV遮蔽マスクであり、UVテープ2の非粘着面側に固定される。
UVテープ2の上記第2領域4は、力学量センサ素子チップ毎に、微細櫛歯型薄膜構造領域5(図1参照)に対応して形成されるので、ステンシルマスク13は、そのような位置関係をもってUV透過孔とUV遮蔽部が形成されている。
図3に、ステンシルマスク13の一例を示す。図示ステンシルマスク13の中央部分に集中して多数描かれた小さな四角形(ほぼ正方形)の各々が上記微細櫛歯型薄膜構造領域5(図1参照)に対応して形成されたUV透過孔21である。斜線が付された領域はおおよそMEMSウエーハ1が重ね合わされる領域(ウエーハ領域)である。UV遮蔽部22は、このウエーハ領域内についてはUV透過孔21を除いた全ての部分、すなわち、MEMSウエーハ1の周辺部及びこのウエーハ1に形成された各力学量センサ素子チップ相互間部分に対応する部分である。
図1は、この工程(E)においてUVテープ2面に貼り付けられた(UVテープ2を貼り合わせた)MEMSウエーハ1部分の断面図に相当する。
すなわち、工程(E)の終了時において、MEMSウエーハ1は、その周辺部及びこのMEMSウエーハ1に形成された各力学量センサ素子チップ相互間部分が強い粘着力を有する第1領域3(図1参照)のままとなっており、MEMSウエーハ1の各力学量センサ素子チップの微細櫛歯型薄膜構造領域5のみが、粘着剤が硬化した第2領域4となっている。
このように、UVテープ2をMEMSウエーハ1に貼り合わせた際に、そのウエーハ1に形成された各力学量センサ素子チップの微細櫛歯型薄膜構造部分(可動の櫛歯薄膜パターン部分を含む。)の領域5には、粘着剤を硬化した第2領域4が当接するので、UVテープ2の粘着剤(強い粘着力を有する第1領域3)中にめり込むことはない。したがって、この領域5内の上記微細櫛歯型薄膜構造部分が、後工程によるダイシング後のUVテープ剥離時にUVテープ2と共に剥離して素子破壊を生じさせることが防止される。
工程(G)では、テープマウント11に貼り付けられたMEMSウエーハ1の裏面側に、リング状フレーム12裏面を含めてダイシングテープ15を貼り付ける。
ダイシングテープ15は、MEMSウエーハ1の裏面に貼り付けられ、その粘着力によりダイシング、すなわちMEMSウエーハ1を所定のサイズに切断し、力学量センサ素子チップ毎に個片化する次工程(H)において、そのウエーハ1をリング状フレーム12に固定する目的で使用される。
工程(H)では、ダイシングを行う。ダイシングはMEMSウエーハ1にUVテープ2が貼り付けられたまま、UVテープ2側から行う〔図2(H)〕。
工程(I)では、ダイシングテープ15が貼り付けられたテープマウント11に対し、その表裏両面側からUVを照射する〔図2(I)〕。UV照射は、本実施形態では片面ずつ2回に分けて行っている。
これによれば、強い粘着力を有する第1領域3を含めてUVテープ2全面の粘着剤が硬化した状態となり、UVテープ2は容易に剥離可能となる。
本実施形態では、UV照射により硬化する粘着剤が塗布されたダイシングテープ15を用いているので、このダイシングテープ15側からもUV照射している。ダイシングテープ15の粘着剤は、UV照射による粘着性の低下がUVテープ2の粘着剤に比べて小さくされている。
工程(K)では、UVテープ2上面に貼り付けた剥離テープ16ごと、UVテープ2を剥離する〔図2(K)〕。このUVテープ2の剥離は、工程(I)で行ったUV照射によってUVテープ2全面の粘着剤が硬化した状態となっているので容易に、特にMEMSウエーハ1に形成された力学量センサ素子チップ上の上記微細櫛歯型薄膜構造部分の剥離による素子の破壊もなく容易に行える。
工程(L)では、センサ用ブロー装置17により、ダイシング後ブロー処理をして、ダイシングによるチッピング生成物やMEMSウエーハ1上に付着した異物を風圧で除去する〔図2(L)〕。
その後、MEMSウエーハ1の検査工程を経てピックアップ工程に移行し、ウエーハから半導体チップ、ここでは力学量センサ素子チップをピックアップする。
また、製造方法の対象となる半導体素子は力学量センサ素子のみに限られることはなく、微小空隙部を有する素子であれば同様に適用することができる。
Claims (2)
- 複数の半導体チップが形成された半導体ウエーハを保護する保護テープに、粘着力を有する第1領域及び、粘着力がないか前記第1領域よりも粘着力が弱いか又は前記粘着力を与える粘着剤が硬化した第2領域を形成する第1工程と、
前記保護テープを前記半導体ウエーハに貼り合わせる第2工程と、
前記半導体ウエーハの、前記保護テープを貼り合わせた面とは反対側の面にダイシングテープを貼り付ける第3工程と、
前記保護テープを貼り合わせた状態で該保護テープ側から前記半導体ウエーハをダイシングして前記半導体チップ毎に個片化する第4工程と、
前記半導体ウエーハをダイシングした後に前記保護テープの上面に剥離テープを貼り付ける第5工程と、
前記保護テープを、該保護テープ上面に貼り付けた剥離テープごと剥離する第6工程とを備え、
前記保護テープはUVテープからなり、該保護テープの第2領域は、前記半導体チップ毎に、周囲が前記第1領域で囲まれ少なくとも前記半導体チップの膜構造部分を含む領域に対応するように、前記第1領域中に紫外線を照射することにより形成されていることを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 前記半導体チップは力学量センサ素子を形成する力学量センサ素子チップであり、前記保護テープの第2領域は、前記力学量センサ素子チップ毎に、周囲が前記第1領域で囲まれ少なくとも前記力学量センサ素子チップの微細櫛歯型薄膜構造部分を含む領域に対応して形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。
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