JP2012109473A - ウエハパレット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】厚み(高さ)の異なる複数種類のスペーサの中から、ダイシングシート41の必要とするエキスパンド量に応じた厚みのスペーサ48を選択して、該スペーサ48をパレットベースプレート42の所定位置にセットした後、パレットベースプレート42に設けたエキスパンド用円筒部材44上にダイシングシート41を載せて、押さえプレート47でダイシングシート41の外周部のダイシングフレーム46を押さえ付けて、該押さえプレート47とパレットベースプレート42との間にダイシングフレーム46とスペーサ48とを挟み込んでナット49を完全に締め付けて固定する。
【選択図】図7
Description
図1に示すように、本実施例のダイ供給装置11は、マガジン保持部12(トレイタワー)、パレット引き出しテーブル13、パレット引き出し機構14、サブロボット15、シャトル機構16、反転ユニット17、突き上げユニット18(図2参照)、NGコンベア19、ノズルチェンジャー20等を備えた構成となっている。このダイ供給装置11は、図3に示すように、部品実装機25のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル13を差し込んだ状態にセットされる。
小さいダイ21の場合は、サブロボット15→シャトルノズル26→部品実装機25の吸着ノズルへのダイ21のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部12からウエハパレット22を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該ウエハパレット22のダイシングシート上のダイ21を部品実装機25の吸着ノズルで直接ピックアップする。
ダイ21のつかみ替えが可能なサイズのダイ21の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部12内のマガジンからウエハパレット22をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット15の吸着ノズル15aで当該ウエハパレット22のダイシングシート上の複数のダイ21をピックアップし、当該複数のダイ21をシャトル機構16のシャトルノズル26で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構16のシャトルノズル26からダイ21を部品実装機25の吸着ノズルでピックアップする。
トレイ部品の場合は、マガジン保持部12内のマガジンからトレイパレットを部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上のトレイ部品を部品実装機25の吸着ノズルで直接ピックアップする。
図6及び図7に示すように、ウエハパレット22のパレットベースプレート42には、ダイシングシート41に貼着されたウエハ21の外径よりも内径が大きい円形開口部43が形成され、該円形開口部43の内周縁には、エキスパンド用円筒部材44の下端が固着されている。これにより、エキスパンド用円筒部材44がパレットベースプレート42に上方に突出するように設けられ、該エキスパンド用円筒部材44の厚み(高さ)がダイシングシート41の最大のエキスパンド量よりも大きくなっている。尚、エキスパンド用円筒部材44をパレットベースプレート42に一体に形成しても良い。
まず、厚み(高さ)の異なる複数種類のスペーサの中から、ダイシングシート41の必要とするエキスパンド量に応じた厚みのスペーサ48を選択して、図6に示すように、該スペーサ48をパレットベースプレート42の所定位置にセットする。この後、ダイシングシート41をエキスパンド用円筒部材44上に載せて、該ダイシングシート41の外周部を保持するダイシングフレーム46の2つの位置決め溝を2本の位置決めピン45に嵌合することで、ダイシングシート41のXY方向の位置をエキスパンド用円筒部材44上で位置決めする。
Claims (2)
- 碁盤目状にダイシングされたウエハから分割したダイを部品実装機に供給するダイ供給装置内で該ウエハを搬送するウエハパレットにおいて、
パレットベースプレートに上方に突出するように設けられ、前記ウエハが貼着されたエキスパンド可能なダイシングシートのうちの前記ウエハの貼着部分の外径よりも内径が大きいエキスパンド用円筒部材と、
前記ダイシングシートの外周部を保持する円環状のダイシングフレームを前記パレットベースプレートとの間に挟み込んで固定することで前記ダイシングシートを前記エキスパンド用円筒部材上でエキスパンドした状態に保持する固定手段と、
前記パレットベースプレートと前記ダイシングフレームとの間に挟み込まれる交換可能なスペーサとを備え、
前記パレットベースプレートと前記ダイシングフレームとの間に挟み込む前記スペーサの厚みを、前記ダイシングシートの必要とするエキスパンド量に応じて変更することを特徴とするウエハパレット。 - 前記固定手段は、前記ダイシングフレームを押さえ付ける押さえプレートと、該押さえプレートと前記パレットベースプレートとの間に前記ダイシングフレームと前記スペーサとを挟み込んでこれらの部材間に隙間が無くなるまで締め付けて固定するねじ部材とから構成されていることを特徴とする請求項1に記載のウエハパレット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010258504A JP5652868B2 (ja) | 2010-11-19 | 2010-11-19 | ウエハパレット及び部品実装機並びにダイシングシートの取付方法 |
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JP2010258504A JP5652868B2 (ja) | 2010-11-19 | 2010-11-19 | ウエハパレット及び部品実装機並びにダイシングシートの取付方法 |
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JP2012109473A true JP2012109473A (ja) | 2012-06-07 |
JP5652868B2 JP5652868B2 (ja) | 2015-01-14 |
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JP (1) | JP5652868B2 (ja) |
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